JP2009200093A - 中空型の電子部品 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】素子用基板20の一方主面20a側に素子部21の周囲を囲むように金属材料を用いて形成された素子側金属封止部24と、キャップ用基板10の素子用基板20に対向する対向主面10a側に金属材料を用いて形成されたキャップ側金属封止部14とが接合され、素子部21が気密封止される。素子用基板20及びキャップ用基板10は、脆性を有する高絶縁性基板からなる。素子用基板20及びキャップ用基板10の少なくとも一方の線膨張係数は、素子側金属封止部24及びキャップ側金属封止部14の少なくとも一方により形成されるハンダ合金の線膨張係数に近い。
【選択図】図1
Description
12,12t キャップ側基端部
14,14t キャップ側金属封止部(キャップ部)
16,16t キャップ側接合部
20,20t 素子用基板(素子構造部)
21,21t 素子部(素子構造部)
22,22t 素子側基端部
23,23t 電極部(素子構造部)
24,24t 素子側金属封止部(素子構造部)
26,26t 素子側接合部
Claims (5)
- 脆性を有する高絶縁性基板からなる素子用基板と、前記素子用基板の一方主面側に形成された素子部と、前記素子部に接続された電極部と、前記素子用基板の前記一方主面側に前記素子部の周囲を囲むように金属材料を用いて形成された素子側金属封止部とを含む素子構造部と、
前記素子用基板の前記一方主面に対向して配置され、前記素子用基板の前記一方主面側に形成された前記素子部との間に間隔を設けて前記素子部を覆う、脆性を有する高絶縁性基板からなるキャップ用基板と、前記素子用基板の前記キャップ用基板に対向する対向主面側に金属材料を用いて形成され、前記素子構造部の前記素子側金属封止部に当接し前記素子側金属封止部と接合され、前記素子部を封止するキャップ側金属封止部と、
を含むキャップ部と、
を備え、
前記素子用基板及びキャップ用基板の少なくとも一方の線膨張係数が、前記素子側金属封止部及びキャップ側金属封止部の少なくとも一方により形成されるハンダ合金の線膨張係数に近いことを特徴とする、中空型の電子部品。 - 前記キャップ用基板の前記対向主面と前記キャップ側金属封止部との間に、前記キャップ側金属封止部に隣接して、前記キャップ側金属封止部よりも幅の広いハンダ濡れだし防止層を備えることを特徴とする、請求項1に記載の中空型の電子部品。
- 前記キャップ用基板の前記対向主面と前記キャップ側金属封止部との間に、緩衝層を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の中空型の電子部品。
- 前記素子用基板の前記一方主面と前記素子側金属封止部との間に、前記素子側金属封止部に隣接して、前記素子側金属封止部よりも幅の広いハンダ濡れだし防止層を備えることを特徴とする、請求項1に記載の中空型の電子部品。
- 前記素子用基板と前記素子側金属封止部との間に、緩衝層を備えることを特徴とする請求項1又は4に記載の中空型の電子部品。
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