JP2009038392A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体装置は、導電性基板11の上に形成された高抵抗のAlxGa1−xNからなるバッファ層12と、該バッファ層12の上に形成され、チャネル層を有するアンドープのGaN及びN型のAlyGa1−yNからなる素子形成層14と、素子形成層14の上に選択的に形成されたソース電極16、ドレイン電極17及びゲート電極15とを備えている。ソース電極16は、バッファ層12及び素子形成層14に設けられた貫通孔12aに充填されることにより導電性基板11と電気的に接続されている。
【選択図】 図1
Description
このように、III-V族窒化物半導体からなる第1の半導体層及び第2の半導体層に対してショットキー障壁を有する金属を用いているため、金属とIII-V族窒化物半導体との界面に生じるショットキー障壁によって漏れ電流をさらに小さくすることができる。
本発明の第1の実施形態について図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の第2の実施形態について図面を参照しながら説明する。
(第2の実施形態の第1変形例)
図3は本発明の第2の実施形態の第1変形例に係る半導体装置であって、HFETの断面構成を模式的に示している。図3において、図2に示す構成部材と同一の構成部材には同一の符号を付すことにより説明を省略する。
図4は本発明の第2の実施形態の第2変形例に係る半導体装置であって、HFETの断面構成を模式的に示している。図4において、図2に示す構成部材と同一の構成部材には同一の符号を付すことにより説明を省略する。
図5は本発明の第2の実施形態の第3変形例に係る半導体装置であって、HFETの断面構成を模式的に示している。図5において、図3に示す構成部材と同一の構成部材には同一の符号を付すことにより説明を省略する。
以下、本発明の第3の実施形態について図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の第4の実施形態について図面を参照しながら説明する。
図8は本発明の第4の実施形態の第1変形例に係る半導体装置であって、HFETの断面構成を模式的に示している。図8において、図7に示す構成部材と同一の構成部材には同一の符号を付すことにより説明を省略する。
図9は本発明の第4の実施形態の第2変形例に係る半導体装置であって、HFETの断面構成を模式的に示している。図9において、図7に示す構成部材と同一の構成部材には同一の符号を付すことにより説明を省略する。
図10は本発明の第4の実施形態の第3変形例に係る半導体装置であって、HFETの断面構成を模式的に示している。図10において、図8に示す構成部材と同一の構成部材には同一の符号を付すことにより説明を省略する。
以下、本発明の第5の実施形態について図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の第6の実施形態について図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の第7の実施形態について図面を参照しながら説明する。
12 バッファ層(第1の半導体層)
12a 貫通孔(バイアホール)
13A キャリア走行層
13B 表面障壁層
14 素子形成層(第2の半導体層)
15 ゲート電極
16 ソース電極
17 ドレイン電極
18 裏面電極
19 接地電源
21 空乏形成層(第3の半導体層)
21a 下部層(P型)
21b 上部層(N型)
21A 空乏形成層
22 導電性基板(N型)
31 導電性基板(N型)
32 バッファ層(第1の半導体層)
32a 貫通孔(バイアホール)
33A キャリア走行層
33B 表面障壁層
34 素子形成層(第2の半導体層)
35 ゲート電極
36 ソース電極
37 ドレイン電極
38 裏面電極
41 空乏形成層(第3の半導体層)
41a 下部層(P型)
41b 上部層(N型)
41A 空乏形成層
42 導電性基板(P型)
43 熱酸化膜
50 絶縁膜
50a 開口部
51 金属配線
Claims (21)
- 導電性基板と、
前記導電性基板の上に形成され、高抵抗の第1のIII-V族窒化物半導体からなる第1の半導体層と、
前記第1の半導体層の上に形成され、チャネル層を有する第2のIII-V族窒化物半導体からなる第2の半導体層と、
前記第2の半導体層の上に選択的に形成されたソース電極、ドレイン電極及びゲート電極とを備え、
前記ソース電極は、前記第1の半導体層及び第2の半導体層に設けられた貫通孔に充填されることにより、前記導電性基板と電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1の半導体層は、その厚さが前記ドレイン電極に印加される最大電圧よりも高い耐圧を持つように設定されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記導電性基板はP型の半導体基板であり、
前記第1の半導体層と前記半導体基板とは、前記第1の半導体層及び半導体基板に伸張する空乏層によって支えられる最大電圧が前記ドレイン電極に印加される最大電圧よりも高くなるような、前記第1の半導体層の厚さと前記半導体基板の不純物濃度とを有していることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記導電性基板はP型の半導体基板であり、
前記半導体基板と前記第1の半導体層との間に形成され、前記ソース電極が貫通すると共に不純物濃度が前記半導体基板よりも低いP型の第3の半導体層をさらに備え、
前記第1の半導体層と前記第3の半導体層とは、前記第1の半導体層及び第3の半導体層に伸張する空乏層によって支えられる最大電圧が前記ドレイン電極に印加される最大電圧よりも高くなるような、前記第1の半導体層及び第3の半導体層の厚さと、該第3の半導体層の不純物濃度とを有していることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記導電性基板はP型の半導体基板であり、
前記半導体基板と前記第1の半導体層との間に形成され、前記ソース電極が貫通するN型の第3の半導体層をさらに備え、
前記第1の半導体層と前記第3の半導体層とは、前記第1の半導体層及び第3の半導体層に伸張する空乏層によって支えられる最大電圧が前記ドレイン電極に印加される最大電圧よりも高くなるような、前記第1の半導体層及び第3の半導体層の厚さと、該第3の半導体層の不純物濃度とを有していることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記導電性基板はP型の半導体基板であり、
前記半導体基板と前記第1の半導体層との間に形成され、前記ソース電極が貫通すると共に1つ以上のPN接合を有する積層体からなる第3の半導体層をさらに備え、
前記第1の半導体層と前記第3の半導体層とは、前記第1の半導体層及び第3の半導体層に伸張する空乏層によって支えられる最大電圧が前記ドレイン電極に印加される最大電圧よりも高くなるような、前記第1の半導体層及び第3の半導体層の厚さと、該第3の半導体層の不純物濃度とを有していることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記導電性基板はN型の半導体基板であり、
前記半導体基板と前記第1の半導体層との間に形成され、前記ソース電極が貫通するP型の第3の半導体層をさらに備え、
前記第1の半導体層と前記第3の半導体層とは、前記第1の半導体層及び第3の半導体層に伸張する空乏層によって支えられる最大電圧が前記ドレイン電極に印加される最大電圧よりも高くなるような、前記第1の半導体層及び第3の半導体層の厚さと、該第3の半導体層の不純物濃度とを有していることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記導電性基板はN型の半導体基板であり、
前記半導体基板と前記第1の半導体層との間に形成され、前記ソース電極が貫通すると共に1つ以上のPN接合を有する積層体からなる第3の半導体層をさらに備え、
前記第1の半導体層と前記第3の半導体層とは、前記第1の半導体層及び第3の半導体層に伸張する空乏層によって支えられる最大電圧が前記ドレイン電極に印加される最大電圧よりも高くなるような、前記第1の半導体層及び第3の半導体層の厚さと、該第3の半導体層の不純物濃度とを有していることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 導電性基板と、
前記導電性基板の上に形成され、高抵抗の第1のIII-V族窒化物半導体からなる第1の半導体層と、
前記第1の半導体層の上に形成され、チャネル層を有する第2のIII-V族窒化物半導体からなる第2の半導体層と、
前記第2の半導体層の上に選択的に形成されたソース電極、ドレイン電極及びゲート電極とを備え、
前記ドレイン電極は、前記第1の半導体層及び第2の半導体層に設けられた貫通孔に充填されることにより、前記導電性基板と電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1の半導体層は、その厚さが前記ドレイン電極に印加される最大電圧よりも高い耐圧を持つように設定されていることを特徴とする請求項9に記載の半導体装置。
- 前記導電性基板はN型の半導体基板であり、
前記第1の半導体層と前記半導体基板とは、前記第1の半導体層及び半導体基板に伸張する空乏層によって支えられる最大電圧が前記ドレイン電極に印加される最大電圧よりも高くなるような、前記第1の半導体層の厚さと前記半導体基板の不純物濃度とを有していることを特徴とする請求項9に記載の半導体装置。 - 前記導電性基板はN型の半導体基板であり、
前記半導体基板と前記第1の半導体層との間に形成され、前記ドレイン電極が貫通すると共に不純物濃度が前記半導体基板よりも低いN型の第3の半導体層をさらに備え、
前記第1の半導体層と前記第3の半導体層とは、前記第1の半導体層及び第3の半導体層に伸張する空乏層によって支えられる最大電圧が前記ドレイン電極に印加される最大電圧よりも高くなるような、前記第1の半導体層及び第3の半導体層の厚さと、該第3の半導体層の不純物濃度とを有していることを特徴とする請求項9に記載の半導体装置。 - 前記導電性基板はN型の半導体基板であり、
前記半導体基板と前記第1の半導体層との間に形成され、前記ドレイン電極が貫通すると共に1つ以上のPN接合を有する積層体からなる第3の半導体層をさらに備え、
前記第1の半導体層と前記第3の半導体層とは、前記第1の半導体層及び第3の半導体層に伸張する空乏層によって支えられる最大電圧が前記ドレイン電極に印加される最大電圧よりも高くなるような、前記第1の半導体層及び第3の半導体層の厚さと、該第3の半導体層の不純物濃度とを有していることを特徴とする請求項9に記載の半導体装置。 - 前記導電性基板はP型の半導体基板であり、
前記半導体基板と前記第1の半導体層との間に形成され、前記ドレイン電極が貫通すると共に1つ以上のPN接合を有する積層体からなる第3の半導体層をさらに備え、
前記第1の半導体層と前記第3の半導体層とは、前記第1の半導体層及び第3の半導体層に伸張する空乏層によって支えられる最大電圧が前記ドレイン電極に印加される最大電圧よりも高くなるような、前記第1の半導体層及び第3の半導体層の厚さと、該第3の半導体層の不純物濃度とを有していることを特徴とする請求項9に記載の半導体装置。 - 前記ソース電極、ドレイン電極及びゲート電極を含め前記第2の半導体層を覆うように形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜の上に形成され、前記絶縁膜に設けられた開口部を介して前記ドレイン電極と電気的に接続された配線とをさらに備え、
前記絶縁膜は、その厚さが前記ドレイン電極と前記ゲート電極との間に印加される最大電圧よりも高い耐圧を持つように設定されていることを特徴とする請求項1〜8のうちのいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記ソース電極、ドレイン電極及びゲート電極を含め前記第2の半導体層を覆うように形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜の上に形成され、前記絶縁膜に設けられた開口部を介して前記ソース電極と電気的に接続された配線とをさらに備え、
前記絶縁膜は、その厚さが前記ドレイン電極と前記ソース電極との間に印加される最大電圧よりも高い耐圧を持つように設定されていることを特徴とする請求項9〜14のうちのいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記絶縁膜は、ベンゾシクロブテン又はベンゾシクロブテンを含む積層構造からなることを特徴とする請求項15又は16に記載の半導体装置。
- 前記ソース電極は、前記導電性基板に対してオーミック特性を示し、且つ前記第1の半導体層及び第2の半導体層に対してショットキー特性を示す金属からなることを特徴とする請求項1〜8、15及び17のうちのいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記ドレイン電極は、前記導電性基板に対してオーミック特性を示し、且つ前記第1の半導体層及び第2の半導体層に対してショットキー特性を示す金属からなることを特徴とする請求項9〜14、16及び17のうちのいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記金属は、金、銀、銅、白金、パラジウム、ニッケル、クロム、イリジウム、タングステン、モリブデン、シリコン若しくは亜鉛又はこれらのうちの少なくとも2つを含む積層体若しくは合金であることを特徴をする請求項18又は19に記載の半導体装置。
- 前記導電性基板は、シリコン、炭化シリコン又は窒化ガリウムからなることを特徴とする請求項1〜20のうちのいずれか1項に記載の半導体装置。
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