JP2009014993A - 回折光学素子および光ビーム検出手段および光走査装置および画像形成装置 - Google Patents
回折光学素子および光ビーム検出手段および光走査装置および画像形成装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】1次元の周期構造を持つ回折面を備えた光学素子10であって、回折面10Aにおける1次元の周期構造の周期:P、使用する光ビームの波長:λ、回折面による回折次数:m、回折次数:mに対するp偏光およびs偏光の透過回折効率:Tp(m)およびTs(m)が、条件:
(1) 0.5λ<P<1.5λ
(2) |{Tp(m)−Ts(m)}/{Tp(m)+Ts(m)}|<0.1
を満たす。
【選択図】図1
Description
即ち、「回折により分離すべき光ビームの波長と同程度の周期」の周期構造を持つ回折光学素子では、大きな分離角を実現できるが構造複屈折による偏光依存性も現れ始める。
回折光学素子は「偏光状態に拘わり無く光ビームの分離を行える」ものであることが好ましい。
また、そのような回折光学素子であれば、光ビームの偏光状態に拘わらず使用でき、種々の光学装置に対して共通化が可能となるので、低コスト化の観点からも望ましい。
この発明はまた、光ビームを偏向させて被走査面を走査して光書込みを行う光走査装置において、光ビームを検出する新たな光ビーム検出手段を、この発明の回折光学素子を用いて実現すること、さらには、かかる光ビーム検出手段を用いた新たな光走査装置、画像形成装置の実現を課題とする。
即ち、回折面における1次元の周期構造の周期:P、使用する光ビームの波長:λ、回折面による回折次数:m、回折次数:mに対するp偏光およびs偏光の透過回折効率:Tp(m)およびTs(m)が、条件:
(1) 0.5λ<P<1.5λ
(2) |{Tp(m)−Ts(m)}/{Tp(m)+Ts(m)}|<0.1
を満たす。
(3) sinθ0=λ/2P
を満たす角:θ0に近い入射角で入射されることが好ましい(請求項3)。
請求項1〜3の任意の1に記載の回折光学素子は、回折次数:mのビームに対するp偏光およびs偏光の透過回折効率:Tp(m)およびTs(m)により、次式:
T(m)={Tp(m)+Ts(m)}/2
で定義されるT(m)が、条件:
(4) |{T(0)−T(−1)}/{T(0)+T(−1)}|<0.1
を満足することが好ましい(請求項4)。
「光検出手段」は、複数の受光部が副走査方向に配置され、回折光学素子により分離した複数のビームを個別に検出する。即ち、回折光学素子により分離された各ビームは、1ビームずつ「光検出手段における対応する受光部」に入射して検出される。回折光学素子は、光ビームを副走査方向に「大きな分離角」を持って分離するので、光検出手段における受光部相互の間隔を大きく取り、なおかつ、光検出手段を回折光学素子に近づけて配置することができ、光検出手段をコンパクトに構成できる。
図1は回折光学素子の実施の1形態を説明する図である。
図1(a)において符号10は回折光学素子である。回折光学素子10は、使用波長の光に対して透明な平行平板状で、片面に「1次元の周期構造」を持つ回折面10Aを有している。1次元の周期構造は「矩形波状の断面形状を持つ凹凸を、図の上下方向を周期方向として、周期:Pで形成したもの」である。
光ビームLBの入射角を「θ」とする。回折面10Aで回折されたビームのうち、回折次数:mのビームを考え、その回折角を「θd(m)」とすると、回折の式:
sinθ+mλ/P=Nsinθd(m) (11)
が成り立つ。右辺の「N」は回折光学素子をなす材料の屈折率である。
Nsinθd(m)=sinθt(m) (12)
が成り立つので、(11)、(12)式を合わせれば、回折光学素子10に入射角:θで入射し、回折されて射出する回折次数:mのビームについて、
sinθ+mλ/P=Nsinθd(m)=sinθt(m) (13)
が得られる。
回折面10Aで回折された回折次数:mのビームについて「回折光学素子10を透過したときの透過率」をT(m)とする。回折光学素子10へ入射する光ビームLBの偏光方向によって「回折面10Aでの透過回折効率・フレネル透過率」は異なるので、p偏光(紙面に平行な方向)とs偏光(紙面に垂直な方向)に対する透過率をそれぞれTp(m)、Ts(m)とする。これらTp(m)、Ts(m)を用いれば、上記T(m)は、
T(m)={Tp(m)+Ts(m)}/2
で与えられる。即ち、T(m)は「Tp(m)、Ts(m)に対する平均的な透過率」である。
sinθ0=λ/2P
を満たす角θ0である場合を説明する。即ち、入射角:θ=θ0である。
sinθ0−2λ/P=sinθt(−2)
を満たす角:θt(−2)は存在しない。
sinθ0−2λ/P=λ/2P−2λ/P=−3λ/2P<−1
となり、これから、
P<3λ/2 (14)
が得られる。
sinθ0+λ/P=sinθt(+1)
を満たす角:θt(+1)は存在しない。
従って、
sinθ0+λ/P=λ/2P+λ/P=3λ/2P>1
となり、これから、
P<3λ/2 (15)
が得られる。
sinθ0−λ/P=λ/2P−λ/P=−λ/2P=sinθt(−1)>−1
となり、これから、
P>λ/2 (16)
が得られる。
0.5λ<P<1.5λ (17)
の範囲であり、このように周期:Pを「波長程度とする」ことにより、大きな回折角が得られ、光ビームを効果的に分離できる。また、周期:Pを調整することにより、分離した2ビームの間の角度(分離角)を変更できるので、光学系のレイアウトに応じた分離角で分離する2ビームを得ることができる。
m=−2の回折が生じないから、
sinθ−2λ/P=sinθt(m)<−1 (18)
であり、m=+1の回折が生じないから、
sinθ+λ/P>1 (19)
である。
min{A1,A2,A3,・・・}
=A1(A1≦A2,A3,・・・のとき)
=A2(A1>A2,A2≦A3,・・のとき)
・・
=Ai(Ai≦A1、A2、・・Ai−1,Ai+1・のとき)
・・
と定義すると、(18)、(19)を満足するPの範囲は、
P<min{2λ/(sinθ+1),λ/(1−sinθ)} (20)
である。
0>sinθ−λ/P>−1 (21)
であり、従って、
λ/(1+sinθ)<P<λ/sinθ (22)
が成り立つ。
2λ/(sinθ+1)<λ/sinθ (23)
成り立つから、入射角:θに対して、回折次数:m=0、m=−1の回折のみを生じさせるためには、周期:Pを「光ビームの波長:λに対して以下の範囲に設定する」ことが必要である。
λ/(1+sinθ)<P<min{2λ/(sinθ+1),λ/(1−sinθ)} 。
2λ/3<P<4/3λ
即ち、
0.67λ<P<1.33λ
であり、
θ=60度のときは,
2λ/(2+√3)<P<4λ/(2+√3)
即ち、
0.54λ<P<1.07λ
となる。
(3) sinθ0=λ/2P
を満足する角:θ0に近いほど、(1)式の範囲内で、周期:Pに許容される範囲が大きい。
{|Tp(m)−Ts(m)|}/{|Tp(m)+Ts(m)|}<0.1
が満足されるように設定することにより、実用上偏光依存性のない、即ち「任意の偏光状態に適用できる回折光学素子」を実現できる。
「計算例1」
使用波長:λ=0.655μmとした。
回折光学素子として、屈折率:N=1.46の平行平面基板を用い、回折面の1次元的な周期構造の周期:P=λ=0.655μmとした。1次元的な周期構造は、図1(a)に示すような「矩形波状の断面形状の凹凸」とし、矩形状の凹凸の幅:Wと高さ:Hをパラメータとして変化させた。なお、高さ:Hは使用波長:λ(=0.655μm)を単位として「H=hλ」とし、パラメータ値として「h」を用いる。
以下、計算結果をグラフ化したものを示す。グラフにおいて縦軸の「m次の透過率」はm次の回折光の透過率であり、横軸の「高さh」は上記パラメータ:hである。
{|Tp(m)−Ts(m)|}/{|Tp(m)+Ts(m)|}
の値を求めてグラフ化したものを図4に示す。このパラメータが大きいほど「p波とs波の透過率差」が大きい。図において、曲線400は「m=0、W=0.7P」、曲線410は「m=−1、W=0.7P」の場合であり、曲線401は「m=0、W=0.3P」、曲線411は「m=−1、W=0.3P」の場合である。
図5に、図4における「1<h<2の領域」を拡大して示す。
図5から明らかなように、幅:W=0.7Pで、高さ:H=hλが1.25<h<1.6程度に設定された周期構造の場合には、回折次数:m=−1及びm=0で分離した2つのビーム(曲線400、曲線410)について、(2)式のパラメータ:
{|Tp(m)−Ts(m)|}/{|Tp(m)+Ts(m)|}
の値が0.1以下に抑えられており、従って、このような回折光学素子は実質的な偏光依存性がなく、実用上「任意の偏光状態の光ビームの分離」に適用できる。
上には、回折次数:m=0と−1で回折されたビームの場合を説明したが、回折光学素子が、m=0、m=−1以外の回折次数で光ビームを分離するようにすることもできる。しかしながら「高い透過率で分離するビーム」を得るには、不要な回折次数の回折光の発生による「回折したビームのパワーロス」を生じないことが好ましく、回折光学系に求められる最小数の分離数であることが好ましい。従って、請求項2のように、斜め入射(入射角:θ≠0)時に発生する回折次数:m=0及びm=−1を採用するのが良い。
|{T(0)−T(−1)}/{T(0)+T(−1)}|<0.1
のパラメータ:
|{T(0)−T(−1)}/{T(0)+T(−1)}|
について説明する。
平均的な透過率:T(m)は、以下に示すように「凹凸構造の高さ:H=hλの変化」により変化させることができる。従って、周期構造の形状を条件(4)が満足されるように設定することで、回折により分離した2ビームを「実用上、等価なパワーを持つビーム」として扱うことができる。
|{T(0)−T(−1)}/{T(0)+T(−1)}|
を求めた結果を図8に示す。図8における縦軸の値が大きいほど「0次のビームと−1次のビームのパワー偏差」が大きい。
図9から明らかなように、周期構造の凹凸における凸部の幅:W=0.7Pで、高さ:H=hλが「1.22<h<1.38程度」に設定された場合には、回折次数:m=−1及び0に対する2つの分離光ビームに対して、
|{T(0)−T(−1)}/{T(0)+T(−1)}|
の値が0.1以下に抑えられ、入射ビームを「等価なパワーを持つ2ビームに分離」できる。特に、h=1.3近傍に設定された周期構造では、偏光依存性もなく(図の例では、(2)式が満足されている。)、等価なパワーを持つ2つのビームに分離可能である。
「計算例2」
図10〜図13は、使用波長:λ=0.655μm、回折光学素子(平行平面基板)の材料の屈折率:N=1.46、周期構造(断面形状矩形波状)の周期:P=λ=0.655μm、凹凸の凸部の幅:W=0.4PとW=0.6Pの場合であり、
図10 Tp(m)のグラフ (曲線1004はm=0、W=0.4P、曲線1014はm=−1、W=0.4P、曲線1006はm=0、W=0.6P、曲線1016はm=−1、W=0.6Pに関するものである。)
図11 Ts(m)のグラフ (曲線1104はm=0、W=0.4P、曲線1114はm=−1、W=0.4P、曲線1106はm=0、W=0.6P、曲線1116はm=−1、W=0.6Pに関するものである。)
図12 条件(2)のパラメータの「0<h<1.75の領域」の図 (曲線1204はm=0、W=0.4P、曲線1214はm=−1、W=0.4P、曲線1206はm=0、W=0.6P、曲線1216はm=−1、W=0.6Pに関するものである。)
図13 条件(4)のパラメータの「W=0.6Pでの0<h<1.75の領域」の図である。
条件(2)のパラメータ:
{|Tp(m)−Ts(m)|}/{|Tp(m)+Ts(m)|}
の値が0.1以下に抑えられて、条件(2)を満足し、実質的に偏光依存性がなく、任意の偏光状態に適用できる。
|{T(0)−T(−1)}/{T(0)+T(−1)}|
の値が0.1以下に抑えられて条件(4)を満足するから、実質的に等価なパワーを持つ2ビームに分離可能である。
図14〜図17は、使用波長:λ=0.655μm、回折光学素子の材料の屈折率:N=1.46、周期構造(断面形状矩形波状)の周期:P=0.6λ=0.393μm、凹凸の凸部の幅:W=0.4PとW=0.6Pの場合であり、
図14 Tp(m)のグラフ (曲線1404はm=0、W=0.4P、曲線1414はm=−1、W=0.4P、曲線1406はm=0、W=0.6P、曲線1416はm=−1、W=0.6Pに関するものである。)
図15 Ts(m)のグラフ (曲線1504はm=0、W=0.4P、曲線1514はm=−1、W=0.4P、曲線1506はm=0、W=0.6P、曲線1516はm=−1、W=0.6Pに関するものである。)
図16 条件(2)のパラメータの「2<h<3の領域」の図 (曲線1604はm=0、W=0.4P、曲線1614はm=−1、W=0.4P、曲線1606はm=0、W=0.6P、曲線1616はm=−1、W=0.6Pに関するものである。)
図18 条件(4)のパラメータの「W=0.6Pでの2<h<3の領域」の図
である。
{|Tp(m)−Ts(m)|}/{|Tp(m)+Ts(m)|}
の値が0.1以下に抑えられて条件(2)を満足し、任意の偏光状態に適用できる。また、図17に示すように、hの値が上記範囲内において2.23<h<2.25程度の範囲では、条件(4)のパラメータ:
|{T(0)−T(−1)}/{T(0)+T(−1)}|
の値が0.1より小さく、条件(4)を満足し、実質的に等価なパワーを持つ2ビームに分離可能である。
図18〜図21は、使用波長:λ=0.655μm、回折光学素子の材料の屈折率:N=1.46、周期構造(断面形状矩形波状)の周期:P=1.4λ=0.917μm、凹凸の凸部の幅:W=0.3PとW=0.7Pの場合であり、
図18 Tp(m)のグラフ (曲線1803はm=0、W=0.3P、曲線1813はm=−1、W=0.3P、曲線1807はm=0、W=0.7P、曲線1817はm=−1、W=0.6Pに関するものである。)
図19 Ts(m)のグラフ (曲線1903はm=0、W=0.3P、曲線1913はm=−1、W=0.3P、曲線1907はm=0、W=0.7P、曲線1917はm=−1、W=0.7Pに関するものである。)
図20 (2)式のパラメータの「1.5<h<2.5の領域」の図 (曲線2003はm=0、W=0.3P、曲線2013はm=−1、W=0.3P、曲線2007はm=0、W=0.7P、曲線2017はm=−1、W=0.7Pに関するものである。)
図21 条件(4)のパラメータの「W=0.7Pでの1.5<h<2.5の領域」の図
である。
{|Tp(m)−Ts(m)|}/{|Tp(m)+Ts(m)|}
の値が0.1以下に抑えられて条件(2)を満足し、任意の偏光状態に適用できる。
即ち、条件(2)と条件(4)とを両立させることができない。
図22〜図24は、使用波長:λ=0.655μm、回折光学素子の材料の屈折率:N=1.46、周期構造(断面形状矩形波状)の周期:P=0.8λ=0.524μm、凹凸の凸部の幅:W=0.3PとW=0.7Pの場合であり、
図22 Tp(m)のグラフ (曲線2203はm=0、W=0.3P、曲線2213はm=−1、W=0.3P、曲線2207はm=0、W=0.7P、曲線2217はm=−1、W=0.7Pに関するものである。)
図23 Ts(m)のグラフ (曲線2303はm=0、W=0.3P、曲線2313はm=−1、W=0.3P、曲線2307はm=0、W=0.7P、曲線2317はm=−1、W=0.7Pに関するものである。)
図24 条件(2)のパラメータの「0<h<1の領域」の図 (曲線2403はm=0、W=0.3P、曲線2407はm=0、W=0.7P、曲線2417はm=−1、W=0.7Pに関するものである。)
である。
{|Tp(m)−Ts(m)|}/{|Tp(m)+Ts(m)|}
の値が0.1以下に抑えられており、任意の偏光状態に適用できる。W=0.3Pの場合には「条件(2)を満たすh」は存在しない。
図25は、画像形成装置の実施の1形態である「レーザプリンタ」の概略構成を示す図である。
レーザプリンタ100は、光走査装置900、走査対象物としての感光体ドラム901、帯電チャージャ902、現像ローラ903、トナーカートリッジ904、クリーニングブレード905、給紙トレイ906、給紙コロ907、レジストローラ対908、転写チャージャ911、定着ローラ909、排紙ローラ912、及び排紙トレイ910などを備えている。
帯電チャージャ902は、感光体ドラム901の表面を均一に帯電させる。
光走査装置900は、帯電チャージャ902で均一帯電された感光体ドラム901の表面に、上位装置(例えばパソコン)からの画像情報に基づいて変調された光ビームを走査して光書込みを行う。
この光書込みに関して、感光体ドラム901の長手方向(回転軸に沿った方向)は「主走査方向」、感光体ドラム901の回転方向は「副走査方向」と呼ばれる。感光体ドラム901における走査開始位置から走査終了位置までの主走査方向の走査領域のうち、潜像が形成される領域を「有効画像形成領域」という。
走査結像光学系28を介して、主走査方向における走査開始側の有効画像形成領域外に向かう光ビームは光ビーム検出手段31に入射し、光ビームの副走査方向位置が検出される。光ビーム検出手段31はまた、主走査方向の光ビームの位置を検出して、主走査方向の書込開始位置までのタイミングを調整する所謂同期検知を行っている。
図27は光ビーム検出手段31の構成を説明するための図である。走査結像光学系28を介して有効画像形成領域外に配置された光ビーム検出手段31に向かう光ビームは、分離光学系をなす回折光学素子33に入射し、回折により副走査方向(図の上下方向)に2ビームC1、C2に分離される。分離したビームC1、C2は、受光部を副走査方向に配置された2つの光検出器34−1、34−2によって各々検出される。図27の図面に直交する方向が主走査方向である。
光検出器34−1、34−2にビームC1、C2が入射する時刻:Td1、Td2は上記の如くとTd1≠Td2であるが、ビームC10、C20は「基準となる光ビーム」により定まるから、これらの時間Td1、Td2に応じて、遅延回路1、2の遅延時間を、遅延後におけるこれらの時間がTd1=Td2となるように調整する。
AMP2で増幅された後、Td1=Td2となるように各々の遅延回路の遅延時間を設定される。その後、CMP(コンパレータ)により、入力される2つの信号の立ち下がり信号の時刻:Td1、Td2の差分を測定する。光検出器34−1、34−2の「立ち下がり時間」は立ち上がり時間より早いので、検出精度を高めるためにTd1、Td2を用いるのである。即ち、光検出器30の受光部35−1、35−2がビームC1、C2を検出する側の縁部としては、走査開始側の縁部(図28における左側の縁部)が用いられる。
光ビームの波長変化が生じた場合、回折光学素子33に入射する光ビームの副走査方向の位置は変化していないにも拘わらず、ビームC1の回折角が変化して、光検出器34−1に入射する入射位置が副走査方向に変化してしまう。
図32に示す実施の形態は、図26に示した実施の形態に対して「光ビームの副走査方向の位置を補正」する位置補正手段50を付加した形態である。
位置補正手段50は、光偏向手段25と走査結像光学系28との間に設けられ、光ビーム検出手段31により検出される「光ビームの副走査方向の位置」に基づき、有効画像形成領域へ導かれる光ビームの副走査方向の位置を補正する機能を有している。位置補正手段50の配置位置は、図32の位置に限定されるものではなく、光源手段20から被走査面に至る任意の位置に配置することができる。
液晶偏向素子51は、液晶の光学効果により光ビームを偏向させる素子であり、入射する光ビームLBを副走査方向(図の上下方向)に偏向させることができる。
図34の光走査装置は、光源手段20が2つの半導体レーザを備え、各半導体レーザから出射された光ビームを対応する2個のカップリングレンズ21を有している。そして、カップリングされた各光ビームはアパーチャ22によって光ビームの一部を遮光された後、間隔補正手段62を介して、シリンドリカルレンズ23によって副走査方向に収束され、光偏向手段25の偏向反射面近傍に主走査方向に長い線像として結像される。
30に入射する2本のビームの光量は小さく、最大でも光ビームの光量の1/2となるが、有効画像形成領域外で光ビーム検出を行う場合は、光ビーム検出手段で光ビームを検出する時のみ、光ビームの発光出力を「光検出器の受光特性や感度に合わせて調整」することが可能となり、検出精度を向上させることができる。光ビーム検出手段31は、主走査方向の書込開始位置を定める同期検知手段としても用いることができることは言うまでも無い。
10A 回折面
Claims (9)
- 1次元の周期構造を持つ回折面を備えた光学素子であって、
回折面における1次元の周期構造の周期:P、使用する光ビームの波長:λ、回折面による回折次数:m、回折次数:mに対するp偏光およびs偏光の透過回折効率:Tp(m)およびTs(m)が、条件:
(1) 0.5λ<P<1.5λ
(2) |{Tp(m)−Ts(m)}/{Tp(m)+Ts(m)}|<0.1
を満たすことを特徴とする回折光学素子。 - 請求項1記載の回折光学素子において、
入射する光ビームを、回折次数:m=0およびm=−1を用いて2つのビームに分離することを特徴とする回折光学素子。 - 請求項2記載の回折光学素子において、
入射する光ビームが、条件:
(3) sinθ0=λ/2P
を満たす角:θ0に近い入射角で入射されることを特徴とする回折光学素子。 - 請求項2または3記載の回折光学素子において、
回折次数:mのビームに対するp偏光およびs偏光の透過回折効率:Tp(m)およびTs(m)により、次式:
T(m)={Tp(m)+Ts(m)}/2
で定義されるT(m)が、条件:
(4) |{T(0)−T(−1)}/{T(0)+T(−1)}|<0.1
を満足することを特徴とする回折光学素子。 - 請求項1〜4の任意の1に記載の回折光学素子において、
回折面における1次元の周期構造が、略矩形波状の断面形状を持つことを特徴とする回折光学素子。 - 光ビームを偏向させて被走査面を走査して光書込みを行う光走査装置において、光ビームを検出する光ビーム検出手段であって、
偏向された光ビームの通過位置に設けられて、上記光ビームを、回折により副走査方向に複数のビームに分離する回折光学素子と、複数の受光部が副走査方向に配置され、上記回折光学素子により分離した複数のビームを個別に検出する光検出手段とを有し、
上記回折光学素子として請求項1〜5の任意の1に記載の回折光学素子が用いられたことを特徴とする光ビーム検出手段。 - 請求項6記載の光ビーム検出手段において、
光検出手段における複数の受光部の少なくとも1つは、受光するビームの副走査方向への入射位置変動により出力が変化しないものであり、受光部の他の少なくとも1つは、受光するビームの副走査方向への入射位置変動により出力が時間的に変化するものであることを特徴とする光ビーム検出手段。 - 光ビームを偏向させて被走査面を走査して光書込みを行う光走査装置であって、
光ビームによる被走査面の走査の、少なくとも開始側において光ビームを検出する光ビーム検出手段として、請求項6または7に記載の光ビーム検出手段を用いたことを特徴とする光走査装置。 - 請求項8記載の光走査装置を用いて画像形成を行う画像形成装置。
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