JP2008204600A - Otpセル及びこれを備えるメモリ装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】簡単かつ信頼性の高い駆動を有し、また、低い消費電力及び小面積のOTPセル及びメモリ装置に関する。
【解決手段】本発明のOTPセル及びこれを備えるメモリ装置は、読み出し制御信号に応じて、第1及び第2ノード間に電流経路を形成する第1MOSトランジスタと、書き込み制御信号に応じて、第3及び前記第2ノード間に電流経路を形成する第2MOSトランジスタと、前記第2ノードと接地電圧の供給端との間に接続されるアンチヒューズとを備え、前記第2ノードにかかった電圧を出力信号として出力する。
【選択図】図4

Description

本発明は、半導体設計技術に関し、特に、簡単かつ信頼性の高い駆動を有し、また、低い消費電力及び小面積のOTPセル及びメモリ装置に関する。
一般的に、OTPセル(One−Time Programmable cell)は、単一メモリ(single memory)又はメモリアレイ(memory array)形式でICチップに多く適用されている。特に、ダイ(die)又はチップのID表示、パラメータ値の設定、内部電圧レベルの調整のために主に用いられている。したがって、単位OTPセル及びOTPメモリアレイは、実際のICチップの歩留まり及び特性に大きな影響を及ぼす。
一方、LCDドライバICにOTPセル及びOTPメモリアレイが用いられるが、これは、前述のような目的のために用いられる。また、欠陥のあるSRAMのリペア(repair/replace)のためのダミーアドレスの指定に用いられる。なお、近来は、モジュール業界で求められているLCD setting auto−sequenceの内部条件の設定にも頻繁に用いられている。
このようなOTPセルは、通常、2つの形態、つまりヒューズ又はアンチヒューズを備えて実現される。
まず、ヒューズで実現される形態は、メタルやポリ抵抗をカットすることである。すなわち、ノーマル状態でのOTPセル内のヒューズは、短絡することで最小の抵抗を有し、カット後は開放されて無限の抵抗を有する。ところが、このようにヒューズを備えるOTPセルの場合、メタルやポリ抵抗をカットするためのレーザー装備を備えなければならないため、コストと時間が多くかかるという短所がある。それだけでなく、温度などの外部条件によって、カットされたメタルやポリ抵抗がまた短絡して、信頼性の低下という問題をもたらす。
一方、アンチヒューズで実現される形態は、CMOSトランジスタのゲートと基板とを電極とするゲート絶縁層キャパシタ(gate oxide capacitor)によって実現される。ノーマル状態でキャパシタが無限の抵抗を有し、アンチヒューズが開放され、ゲート又は基板に高電圧VPPが印加されると、ゲート及び基板が短絡して、アンチヒューズは、数〜数十Ωの抵抗値を有する。このとき、数〜数十Ωの抵抗値は、ゲート絶縁層が破壊される場合に有する抵抗値である。
このように、CMOSゲート絶縁層からなるアンチヒューズで実現される形態は、回路の設計によってカットのための電圧を印加するものであって、ヒューズで実現される形態とは異なり、レーザー装備による投資コストがかからず、時間及び温度に影響されないため、信頼性が高いという長所がある。
このようなアンチヒューズを用いるOTPセルに関する米国特許「US6927997B2」を参照して、従来技術について説明する。
図1は、従来技術に係る単位OTPセルの回路図である。
同図に示すように、従来技術に係る単位OTPセルは、ノードAとノードBとの間に接続されるアンチヒューズANT_FS1と、ノードBと接地電圧の供給端とを切替えるためのスイッチSW1と、ノードCにかかった電圧がゲート端に印加され、かつ、ノードBに自体のドレイン端が接続されるNMOSトランジスタNM1と、ノードDにかかった電圧がゲート端に印加され、かつ、NMOSトランジスタNM1のソース端とノードEとの間にドレイン・ソース経路を有するNMOSトランジスタNM2とを備える。
参考までに、NMOSトランジスタNM1は、高電圧MOSトランジスタであって、高電圧VPPの印加によってNMOSトランジスタNM2のゲート絶縁層の破壊を防止する。
一方、図1に示す単位OTPセルにデータを書き込み、これを読み出す過程を下記表1と図2A及び図2Bを参照して説明する。
Figure 2008204600
図2Aは、図1の単位OTPセルにデータを書き込む場合の駆動を示す図である。
前記表1及び図2Aに示すように、Aノードには高電圧VPPが印加され、ノードC及びノードDには論理レベル「L」が印加され、スイッチSW1はターンオンされる。したがって、図2Aに示すように、NMOSトランジスタNM1及びNMOSトランジスタNM2はターンオフされ、スイッチSW1のみターンオンされることによって、ノードAからスイッチSW1を経て接地電圧の供給端に至る経路が形成される。すなわち、CMOSトランジスタからなるアンチヒューズANT_FS1の基板とゲートとに高電圧VPPが印加されるため、ゲート絶縁層が破壊されてアンチヒューズANT_FS1は、数〜数十Ωの抵抗値を有する。
一方、図2Bは、図1の単位OTPセルに書き込まれているデータを読み出す場合の駆動を示す図である。
前記表1及び図2Bに示すように、Aノードには外部電圧VDDが印加され、ノードC及びノードDには論理レベル「H」が印加され、スイッチSW1はターンオフされる。したがって、図2Bに示すように、NMOSトランジスタNM1及びNMOSトランジスタNM2はターンオンされ、スイッチSW1のみターンオフされることによって、ノードAからアンチヒューズANT_FS1、NMOSトランジスタNM1及びNMOSトランジスタNM2を経てノードEに至る経路が形成される。
まず、アンチヒューズANT_FS1がカットされて、出力ノードEに論理レベル「H」のデータが出力される場合について説明する。ノードAに印加される外部電圧VDDは、アンチヒューズANT_FS1の数〜数十Ωによる電圧降下と、NMOSトランジスタNM1及びNMOSトランジスタNM2のターンオン抵抗による電圧降下とを経て、ノードEに出力される。すなわち、このようなNMOSトランジスタNM1及びNMOSトランジスタNM2とアンチヒューズANT_FS1とによる電圧降下によって、ノードEには外部電圧VDDに相応するレベルの電圧が出力される。
また、アンチヒューズANT_FS1がカットされず、出力ノードEに論理レベル「L」のデータが出力される場合について説明する。アンチヒューズANT_FS1がカットされていないため、アンチヒューズANT_FS1は無限の抵抗を有する。したがって、ノードAに印加される外部電圧VDDは、アンチヒューズANT_FS1の無限の抵抗による電圧降下と、NMOSトランジスタNM1及びNMOSトランジスタNM2のターンオン抵抗による電圧降下とを経て、ノードEに出力される。すなわち、アンチヒューズANT_FS1によって、ノードEには接地電圧に相応するレベルの電圧が出力される。
参考までに、図面には示していないが、ノードEを介して出力されるデータは、差動増幅器によって感知及び増幅される。
一方、図1に示すような単位OTPセルを複数備えるOTPメモリについて図面を参照して説明する。
図3は、従来技術に係るOTPメモリのブロック構成図である。
同図に示すように、従来技術に係るOTPメモリは、ロウ方向に形成されて、読み出し駆動時に印加される該当アドレスによって活性化される複数の第1及び第2読み出し駆動ラインRD_CTRL1<0:N>,RD_CTRL2<0:N>と、ロウ方向に形成されて、書き込み駆動時に印加される該当アドレスによって活性化される複数の書き込み駆動ラインWR_CTRL<0:N>と、第1及び第2読み出し駆動ラインRD_CTRL1<0:N>,RD_CTRL2<0:N>、及び書き込み駆動ラインWR_CTRL<0:N>に接続される複数の単位OTPセル10と、カラム方向に形成されて、互いに異なる読み出し駆動ラインRD_CTRL1<0:N>,RD_CTRL2<0:N>、及び書き込み駆動ラインWR_CTRL<0:N>に接続される複数の単位OTPセル10からの出力データを伝達する複数のデータラインBL0〜BLnと、各データラインBL0〜BLnによって伝達されるデータを感知及び増幅して、該当データを出力する複数の感知増幅器20と、複数の単位OTPセル10に高電圧VPPを印加するための高電圧供給部30とを備える。
参考までに、感知増幅器20は、差動増幅器によって実現される。
しかし、このような従来技術を用いる場合、アンチヒューズをカットしてデータを書き込む過程が複雑なため、アクセス時間が長くなるという問題がある。また、差動増幅器によって実現された感知増幅器を使用することによって、バイアス端による持続的な電流の消費及び大面積による問題もある。
そこで、本発明は、上記のような従来技術の問題を解決するためになされたものであって、その目的は、簡単かつ信頼性の高い駆動を有し、また、低い消費電力及び小面積のOTPセル及びメモリ装置を提供することにある。
上記目的を達成するための本発明のOTPセルは、読み出し制御信号に応じて、第1及び第2ノード間に電流経路を形成する第1MOSトランジスタと、書き込み制御信号に応じて、第3及び前記第2ノード間に電流経路を形成する第2MOSトランジスタと、前記第2ノードと接地電圧の供給端との間に接続されるアンチヒューズとを備え、前記第2ノードにかかった電圧を出力信号として出力する。
また、上記目的を達成するための本発明のメモリ装置は、カラム方向に形成されて、読み出し駆動時に印加される該当アドレスによって活性化される複数の読み出し駆動ラインと、カラム方向に形成されて、書き込み駆動時に印加される該当アドレスによって活性化される複数の書き込み駆動ラインと、互いに異なる前記読み出し駆動ライン及び前記書き込み駆動ラインに接続されてデータを書き込む複数の単位OTPセルと、ロウ方向に形成されて、前記複数の単位OTPセルからの出力データを伝達する複数のデータラインと、前記各データラインに接続されて、伝達されるデータを感知及び増幅して出力する複数の感知増幅器とを備える。
更に、本発明のメモリ装置は、カラム方向に形成されて、読み出し駆動時に印加される該当アドレスによって活性化される複数の読み出し駆動ラインと、カラム方向に形成されて、書き込み駆動時に印加される該当アドレスによって活性化される複数の書き込み駆動ラインと、互いに異なる前記読み出し駆動ライン及び前記書き込み駆動ラインに接続されてデータを書き込む複数の単位OTPセルと、ロウ方向に形成されて、前記複数の単位OTPセルからの出力データを伝達する複数のデータラインとを備える。
また、本発明のメモリ装置は、カラム方向に形成されて、読み出し駆動時に印加される該当アドレスによって活性化される第1ないし第N読み出し駆動ラインと、カラム方向に形成されて、書き込み駆動時に印加される該当アドレスによって活性化される第1ないし第N書き込み駆動ラインと、前記読み出し駆動ライン及び書き込み駆動ラインに接続されてデータを書き込む複数の単位OTPセルと、ロウ方向に形成されて、前記複数の単位OTPセルからの出力データを伝達する第1ないし第Mデータラインと、前記各データラインに接続されて、伝達されるデータを感知及び増幅して出力する第1ないし第M感知増幅器と、ロウ方向に形成されて、前記複数のデータラインのうち、共通のデータラインに接続される前記複数の単位OTPセルに高電圧を供給する第1ないし第M高電圧供給ラインと、書き込み駆動時に印加される前記該当アドレスに対応する高電圧供給ラインに選択的に前記高電圧を供給する供給選択手段とを備える。
また、本発明のメモリ装置は、カラム方向に形成されて、読み出し駆動時に印加される該当アドレスによって活性化される第1ないし第N読み出し駆動ラインと、カラム方向に形成されて、書き込み駆動時に印加される該当アドレスによって活性化される第1ないし第N書き込み駆動ラインと、互いに異なる前記読み出し駆動ライン及び前記書き込み駆動ラインに接続されてデータを書き込む複数の単位OTPセルと、ロウ方向に形成されて、前記複数の単位OTPセルからの出力データを伝達する第1ないし第Mデータラインと、ロウ方向に形成されて、前記複数のデータラインのうち、共通のデータラインに接続される前記複数の単位OTPセルに高電圧を供給する第1ないし第M高電圧供給ラインと、書き込み駆動時に印加される前記該当アドレスに対応する高電圧供給ラインに選択的に前記高電圧を供給する供給選択手段とを備える。
以下、添付された図面を参照して本発明の好ましい実施形態をより詳細に説明する。
図4は、本発明に係る単位OTPセルの回路図である。
同図に示すように、本発明に係る単位OTPセルは、ノードN3と接地電圧の供給端との間に接続されるアンチヒューズANT_FS2と、書き込み制御信号WR_CTRLをゲートで受信し、かつ、ノードN2とノードN3との間に接続されるPMOSトランジスタPM1と、読み出し制御信号RD_CTRLをゲートで受信し、かつ、ノードN1とノードN3との間に接続されるPMOSトランジスタPM2とを備え、ノードN3にかかった電圧を出力信号として出力する。
そして、出力信号を感知及び増幅するために、インバータ式感知増幅器100を更に備える。
このように、本発明に係る単位OTPセルは、図1に示す従来技術に比べて、より小さいMOSトランジスタを使用するため、小面積を有する。
また、データを感知及び出力するためにインバータ式感知増幅器を使用するため、従来の差動増幅器よりも短いアクセス時間を有し、バイアス電流が要らないため、不要な電力消費を減らす。そして、インバータ式感知増幅器は、従来の差動増幅器よりも小面積を有する。
それだけでなく、インバータ式感知増幅器は、ノードN3にかかった電圧をゲートで受信するため、感知増幅器による電流の消費が発生せず、データを書き込むとき、それによる電流が漏れない。すなわち、データを書き込むときに印加される高電圧VPPが電流の漏れなくアンチヒューズANT_FS2のゲート端に印加される。したがって、正確なレベルの高電圧が印加されるため、アンチヒューズのカットが適宜に行われて信頼性が高い。
参考までに、読み出し制御信号RD_CTRL及び書き込み制御信号WR_CTRLが印加されるPMOSトランジスタPM1及びPMOSトランジスタPM2は、NMOSトランジスタによって実現でき、このような場合、読み出し制御信号RD_CTRL及び書き込み制御信号WR_CTRLの活性化レベルが反転する。
また、PMOSトランジスタPM1は、高電圧によって破壊される現象(ブレイクダウン)を防止するために、高電圧MOSトランジスタによって実現することができる。
一方、図4に示す本発明に係る単位OTPセルの駆動について下記表2、図5A及び図5Bを参照して具体的に説明する。
Figure 2008204600
図5Aは、図4の単位OTPセルにデータを書き込む場合の駆動を示す図である。
前記表2及び図5Aに示すように、ノードN2には高電圧VPPが印加され、ノードN1には外部電圧VDDが印加される。そして、書き込み制御信号WR_CTRLが論理レベル「L」に活性化され、読み出し制御信号RD_CTRLが論理レベル「H」に非活性化される。
したがって、図5Aに示すように、PMOSトランジスタPM1のみターンオンされることによって、ノードN2からアンチヒューズANT_FS2に至る経路が形成される。すなわち、CMOSトランジスタからなるアンチヒューズANT_FS2のゲートに高電圧VPPが印加されるため、ゲート絶縁層が破壊されてアンチヒューズANT_FS2は、数〜数十Ωの抵抗値を有する。
一方、図5Bは、図4の単位OTPセルに書き込まれているデータを読み出す場合の駆動を示す図である。
前記表2及び図5Bに示すように、ノードN2には高電圧VPPが印加され、ノードN1には外部電圧VDDが印加される。そして、書き込み制御信号WR_CTRLが論理レベル「H」に非活性化され、読み出し制御信号RD_CTRLが論理レベル「L」に活性化される。したがって、図5Bに示すように、PMOSトランジスタPM2のみターンオンされることによって、ノードN1からアンチヒューズANT_FS2に至る経路が形成される。
まず、アンチヒューズANT_FS2がカットされて、出力ノードN3に論理レベル「L」のデータが出力される場合について説明する。アンチヒューズANT_FS2のカットによって数〜数十Ωの抵抗値を有するため、ノードN3は、接地電圧に相応するレベルを有する。
また、アンチヒューズANT_FS2がカットされず、出力ノードN3に論理レベル「H」のデータが出力される場合について説明する。アンチヒューズANT_FS2がカットされていないため、アンチヒューズANT_FS2は無限の抵抗を有する。したがって、アンチヒューズANT_FS2の無限の抵抗によって電流経路が形成されないため、ノードN3は、ノードN1と同じ高電圧VPPを有する。
したがって、図5A及び図5Bに示すように、本発明に係る単位OTPセルの駆動方法は従来に比べて単純であり、アクセス時間及び消費する電流量を減らす。
次は、前記単位OTPセルを複数備えるメモリ装置について図面を参照して説明する。
図6は、第1実施形態に係るOTPメモリのブロック構成図である。
同図に示すように、第1実施形態に係るOTPメモリは、カラム方向に形成されて、読み出し駆動時に印加される該当アドレスによって活性化される複数の読み出し駆動ラインRD_CT_LN<0:N>と、カラム方向に形成されて、書き込み駆動時に印加される該当アドレスによって活性化される複数の書き込み駆動ラインWR_CT_LN<0:N>と、読み出し駆動ラインRD_CT_LN<0:N>及び書き込み駆動ラインWR_CT_LN<0:N>に接続される複数の単位OTPセル200と、ロウ方向に形成されて、互いに異なる読み出し駆動ラインRD_CT_LN<0:N>及び書き込み駆動ラインWR_CT_LN<0:N>に接続される複数の単位OTPセルからの出力データを伝達する複数のデータラインDT_LN<0:N>と、複数の単位OTPセルに高電圧VPPを印加するための高電圧供給部300とを備える。
ここで、前記単位OTPセルは、読み出し駆動ラインRD_CT_LN<0>にゲート端が接続され、かつ、外部電圧VDDの供給端とノードN4との間にソース・ドレイン経路を有するPMOSトランジスタPM3と、書き込み駆動ラインWR_CT_LN<0>にゲート端が接続され、かつ、高電圧VPPの供給端とノードN4との間にソース・ドレイン経路を有するPMOSトランジスタPM4と、ノードN4と接地電圧の供給端との間に配置されるアンチヒューズANT_FS3とを備える。
そして、前記単位OTPセルは、ノードN4にかかった電圧を感知及び増幅して、該当データラインDT_LN<0>に出力する感知増幅器220を更に備える。
また、共通のデータラインDT_LN<0:N>に接続される単位OTPセルは、感知増幅器を共有することができる。このような場合、感知増幅器は、単位OTPセル内に備えられず、データラインDT_LN<0:N>の単位として備えられる。
駆動について簡略に説明する。まず、データをプログラムする場合であって、該当アドレスに対応する書き込み駆動ラインWR_CT_LN<0>が活性化される場合、書き込み駆動ラインWR_CT_LN<0>に接続される複数の単位OTPセルのアンチヒューズANT_FS3がカットされる。
したがって、該当アドレスに対応する読み出し駆動ラインRD_CTRL<0>が活性化されると、それに接続される複数の単位OTPセルが活性化されて、該当データラインDT_LN<0:N>には論理レベル「L」のデータが出力される。
したがって、第1実施形態に係るOTPメモリ内のアレイ形態に配置されている図4のような単位OTPセルは、従来に比べて単純な駆動方式を有するため、アクセス時間が速くなる。そして、単純な駆動によって、従来の読み出し駆動ラインの数を減らすことができ、そのため駆動ラインの配置による面積を減らすことができる。それだけでなく、インバータ式によって実現された感知増幅器を介して出力されるデータを感知及び増幅することによって、従来の差動増幅器に比べて小面積及びバイアス端による不要な電流消費を減らす。
図7は、第2実施形態に係るOTPメモリのブロック構成図である。
同図に示すように、第2実施形態に係るOTPメモリは、カラム方向に形成されて、読み出し駆動時に印加される該当アドレスによって活性化される複数の読み出し駆動ラインRD_CT_LN<0:N>と、カラム方向に形成されて、書き込み駆動時に印加される該当アドレスによって活性化される複数の書き込み駆動ラインWR_CT_LN<0:N>と、読み出し駆動ラインRD_CT_LN<0:N>及び書き込み駆動ラインWR_CT_LN<0:N>に接続される複数の単位OTPセル200_00,200_10,…200_NNと、ロウ方向に形成されて、互いに異なる読み出し駆動ラインRD_CT_LN<0:N>及び書き込み駆動ラインWR_CT_LN<0:N>に接続される複数の単位OTPセルからの出力データを伝達する複数のデータラインDT_LN<0:N>と、共通のデータラインDT_LN<0:N>に接続される複数の単位OTPセルに高電圧VPPを供給するためにロウ方向に形成された複数の高電圧供給ラインVPP_LN<0:N>と、高電圧VPPを印加するための高電圧供給部500と、複数の高電圧供給ラインVPP_LN<0:N>のうち、書き込み駆動時に印加される該当アドレスに対応するラインに選択的に高電圧VPPを供給する供給選択部400とを備える。
ここで、前記単位OTPセルは、図6で言及した内容と同様であるため、具体的な説明は省略する。
参考までに、前記単位OTPセル内に備えられる感知増幅器は、共通のデータラインDT_LN<0:N>に接続される複数の単位OTPセルによって共有することができる。このような場合、感知増幅器は、単位OTPセル内に備えられず、データラインDT_LN<0:N>の単位として備えられる。
駆動について簡略に説明する。まず、データをプログラムする場合であって、該当アドレスに対応する書き込み駆動ラインWR_CT_LN<0>が活性化され、供給選択部400に高電圧供給ラインVPP_LN<0>が選択される場合、単位OTPセル200_00のみ活性化されて、アンチヒューズがカットされる。
したがって、該当アドレスに対応する読み出し駆動ラインRD_CT_LN<0>が活性化される場合、単位OTPセル200_00が活性化されて、データラインDT_LN<0>には論理レベル「L」のデータが出力される。
このように、第2実施形態に係るOTPメモリは、図6に示す第1実施形態とは異なり、データを書き込むときに1つの単位OTPセルのみ活性化される。したがって、データプログラム時に1つのセルのみ活性化されるため、第1実施形態に比べて正確なデータが書き込まれ、そのためデータに対する信頼性が高い。
したがって、本発明に係る単位OTPセルと、これをアレイ形態に備えるメモリ装置は、従来に比べて小さいMOSトランジスタによって実現されて、駆動方法が簡単かつ短いアクセス時間を有する。
また、出力データをインバータ式感知増幅器を介して感知及び増幅することによって、従来のバイアス端によって発生した持続的な電流消費を減らすことができ、短いアクセス時間を有する。それだけでなく、インバータ式感知増幅器は、アンチヒューズのカット時に電流が漏れず、アンチヒューズに正確なレベルの高電圧が印加されて正確なカットが行われるようにする。低い消費電流及び正確なカット駆動によって、データの信頼性が高まる。
本発明は、より小さいMOSトランジスタによって実現されて、小面積及び短いアクセス時間を有し、インバータ式感知増幅器を備えて、電流の漏れ及び面積を減らすことができる。
以上、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、本発明に係る技術的思想の範囲から逸脱しない範囲内で様々な変更が可能であり、それらも本発明の技術的範囲に属する。
従来技術に係る単位OTPセルの回路図である。 図1の単位OTPセルにデータを書き込む場合の駆動を示す図である。 図1の単位OTPセルに書き込まれているデータを読み出す場合の駆動を示す図である。 従来技術に係るOTPメモリのブロック構成図である。 本発明に係る単位OTPセルの回路図である。 図4の単位OTPセルにデータを書き込む場合の駆動を示す図である。 図4の単位OTPセルに書き込まれているデータを読み出す場合の駆動を示す図である。 第1実施形態に係るOTPメモリのブロック構成図である。 第2実施形態に係るOTPメモリのブロック構成図である。
符号の説明
200 単位OTPセル
400 供給選択部

Claims (20)

  1. 読み出し制御信号に応じて、第1及び第2ノード間に電流経路を形成する第1MOSトランジスタと、
    書き込み制御信号に応じて、第3及び前記第2ノード間に電流経路を形成する第2MOSトランジスタと、
    前記第2ノードと接地電圧の供給端との間に接続されるアンチヒューズとを備え、
    前記第2ノードにかかった電圧を出力信号として出力することを特徴とするOTPセル。
  2. 前記第1MOSトランジスタが、
    前記読み出し制御信号をゲートで受信し、かつ、前記第1及び第2ノード間にソース・ドレイン経路を有する第1PMOSトランジスタであることを特徴とする請求項1に記載のOTPセル。
  3. 前記第2MOSトランジスタが、
    前記書き込み制御信号をゲートで受信し、かつ、前記第3及び第2ノード間にソース・ドレイン経路を有する第2PMOSトランジスタであることを特徴とする請求項1に記載のOTPセル。
  4. 前記第1MOSトランジスタが、
    前記読み出し制御信号をゲートで受信し、かつ、前記第1及び第2ノード間にドレイン・ソース経路を有する第1NMOSトランジスタであり、
    前記第2MOSトランジスタが、
    前記書き込み制御信号をゲートで受信し、かつ、前記第3及び第2ノード間にドレイン・ソース経路を有する第2NMOSトランジスタである
    ことを特徴とする請求項2に記載のOTPセル。
  5. 前記第2ノードにかかった電圧を感知及び増幅するインバータ式感知増幅器を更に備えることを特徴とする請求項4に記載のOTPセル。
  6. 前記第1PMOSトランジスタ及び第1NMOSトランジスタが、
    高電圧トランジスタであることを特徴とする請求項5に記載のOTPセル。
  7. カラム方向に形成されて、読み出し駆動時に印加される該当アドレスによって活性化される複数の読み出し駆動ラインと、
    カラム方向に形成されて、書き込み駆動時に印加される該当アドレスによって活性化される複数の書き込み駆動ラインと、
    互いに異なる前記読み出し駆動ライン及び前記書き込み駆動ラインに接続されてデータを書き込む複数の単位OTPセルと、
    ロウ方向に形成されて、前記複数の単位OTPセルからの出力データを伝達する複数のデータラインと、
    前記各データラインに接続されて、伝達されるデータを感知及び増幅して出力する複数の感知増幅器と
    を備えることを特徴とするメモリ装置。
  8. 前記複数の単位OTPセルに高電圧を印加する高電圧供給部を更に備えることを特徴とする請求項7に記載のメモリ装置。
  9. 前記単位OTPセルが、
    前記読み出し駆動ラインにゲート端が接続され、かつ、外部電圧の供給端とノードとの間に接続される第1MOSトランジスタと、
    前記書き込み駆動ラインにゲート端が接続され、かつ、前記高電圧供給部の出力端と前記ノードとの間に接続される第2MOSトランジスタと、
    前記ノードと接地電圧の供給端との間に配置されるアンチヒューズとを備え、
    前記ノードにかかった電圧を前記データラインを介して出力することを特徴とする請求項8に記載のメモリ装置。
  10. 前記第1MOSトランジスタが、
    前記読み出し駆動ラインにゲート端が接続され、かつ、前記外部電圧の供給端と前記ノードとの間にソース・ドレイン経路を有する第1PMOSトランジスタであり、
    前記第2MOSトランジスタが、
    前記書き込み駆動ラインにゲート端が接続され、かつ、前記高電圧供給部の出力端と前記ノードとの間にソース・ドレイン経路を有する第2PMOSトランジスタである
    ことを特徴とする請求項9に記載のメモリ装置。
  11. 前記第1PMOSトランジスタが、
    高電圧CMOSトランジスタであることを特徴とする請求項10に記載のメモリ装置。
  12. カラム方向に形成されて、読み出し駆動時に印加される該当アドレスによって活性化される複数の読み出し駆動ラインと、
    カラム方向に形成されて、書き込み駆動時に印加される該当アドレスによって活性化される複数の書き込み駆動ラインと、
    互いに異なる前記読み出し駆動ライン及び前記書き込み駆動ラインに接続されてデータを書き込む複数の単位OTPセルと、
    ロウ方向に形成されて、前記複数の単位OTPセルからの出力データを伝達する複数のデータラインと
    を備えることを特徴とするメモリ装置。
  13. 前記単位OTPセルが、
    前記読み出し駆動ラインにゲート端が接続され、かつ、外部電圧の供給端とノードとの間に接続される第1MOSトランジスタと、
    前記書き込み駆動ラインにゲート端が接続され、かつ、高電圧の供給端と前記ノードとの間に接続される第2MOSトランジスタと、
    前記ノードと接地電圧の供給端との間に配置されるアンチヒューズと、
    前記ノードにかかった電圧を感知及び増幅して、前記データラインを介して出力する感知増幅器と
    を備えることを特徴とする請求項12に記載のメモリ装置。
  14. 前記第1MOSトランジスタが、
    前記読み出し駆動ラインにゲート端が接続され、かつ、前記外部電圧の供給端と前記ノードとの間にソース・ドレイン経路を有する第1PMOSトランジスタであり、
    前記第2MOSトランジスタが、
    前記書き込み駆動ラインにゲート端が接続され、かつ、前記高電圧の供給端と前記ノードとの間にソース・ドレイン経路を有する第2PMOSトランジスタである
    ことを特徴とする請求項13に記載のメモリ装置。
  15. カラム方向に形成されて、読み出し駆動時に印加される該当アドレスによって活性化される第1ないし第N読み出し駆動ラインと、
    カラム方向に形成されて、書き込み駆動時に印加される該当アドレスによって活性化される第1ないし第N書き込み駆動ラインと、
    前記読み出し駆動ライン及び書き込み駆動ラインに接続されてデータを書き込む複数の単位OTPセルと、
    ロウ方向に形成されて、前記複数の単位OTPセルからの出力データを伝達する第1ないし第Mデータラインと、
    前記各データラインに接続されて、伝達されるデータを感知及び増幅して出力する第1ないし第M感知増幅器と、
    ロウ方向に形成されて、前記複数のデータラインのうち、共通のデータラインに接続される前記複数の単位OTPセルに高電圧を供給する第1ないし第M高電圧供給ラインと、
    書き込み駆動時に印加される前記該当アドレスに対応する高電圧供給ラインに選択的に前記高電圧を供給する供給選択手段と
    を備えることを特徴とするメモリ装置。
  16. 前記単位OTPセルが、
    前記読み出し駆動ラインにゲート端が接続され、かつ、外部電圧の供給端とノードとの間に接続される第1MOSトランジスタと、
    前記書き込み駆動ラインにゲート端が接続され、かつ、高電圧の供給端と前記ノードに接続される第2MOSトランジスタと、
    前記ノードと接地電圧の供給端との間に配置されるアンチヒューズとを備え、
    前記ノードにかかった電圧を前記データラインを介して出力することを特徴とする請求項15に記載のメモリ装置。
  17. 前記第1MOSトランジスタが、
    前記読み出し駆動ラインにゲート端が接続され、かつ、前記外部電圧の供給端と前記ノードとの間にソース・ドレイン経路を有する第1PMOSトランジスタであり、
    前記第2MOSトランジスタが、
    前記書き込み駆動ラインにゲート端が接続され、かつ、前記高電圧の供給端と前記ノードとの間にソース・ドレイン経路を有する第2PMOSトランジスタである
    ことを特徴とする請求項16に記載のメモリ装置。
  18. カラム方向に形成されて、読み出し駆動時に印加される該当アドレスによって活性化される第1ないし第N読み出し駆動ラインと、
    カラム方向に形成されて、書き込み駆動時に印加される該当アドレスによって活性化される第1ないし第N書き込み駆動ラインと、
    互いに異なる前記読み出し駆動ライン及び前記書き込み駆動ラインに接続されてデータを書き込む複数の単位OTPセルと、
    ロウ方向に形成されて、前記複数の単位OTPセルからの出力データを伝達する第1ないし第Mデータラインと、
    ロウ方向に形成されて、前記複数のデータラインのうち、共通のデータラインに接続される前記複数の単位OTPセルに高電圧を供給する第1ないし第M高電圧供給ラインと、
    書き込み駆動時に印加される前記該当アドレスに対応する高電圧供給ラインに選択的に前記高電圧を供給する供給選択手段と
    を備えることを特徴とするメモリ装置。
  19. 前記単位OTPセルが、
    前記読み出し駆動ラインにゲート端が接続され、かつ、外部電圧の供給端とノードとの間に接続される第1MOSトランジスタと、
    前記書き込み駆動ラインにゲート端が接続され、かつ、高電圧の供給端と前記ノードとの間に接続される第2MOSトランジスタと、
    前記ノードと接地電圧の供給端との間に配置されるアンチヒューズと、
    前記ノードにかかった電圧を感知及び増幅して、前記データラインを介して出力する感知増幅器と
    を備えることを特徴とする請求項18に記載のメモリ装置。
  20. 前記第1MOSトランジスタが、
    前記読み出し駆動ラインにゲート端が接続され、かつ、外部電圧の供給端と前記ノードとの間にソース・ドレイン経路を有する第1PMOSトランジスタであり、
    前記第2MOSトランジスタが、
    前記書き込み駆動ラインにゲート端が接続され、かつ、前記高電圧の供給端と前記ノードとの間にソース・ドレイン経路を有する第2PMOSトランジスタである
    ことを特徴とする請求項19に記載のメモリ装置。
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