JP2008153422A - 塗布・現像装置およびパターン形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】塗布・現像装置は、レジスト塗布および現像のための一連の処理を行う処理部と、処理部と液浸露光装置との間に設けられたインターフェイス部と、インターフェイス部に設けられ、液浸露光処理直後のウエハWを乾燥させる第1の乾燥ユニット(DRY1)と具備し、第1の乾燥ユニット(DRY1)は、ウエハWを収容するチャンバー40と、チャンバー40内でウエハWを載置する載置部41と、チャンバー40内に温調エアを供給する温調エア供給機構42と、チャンバー40内を排気する排気機構43とを具備し、チャンバー40内の載置部41にウエハWを載置した状態で、排気機構43によってチャンバー40内を排気しつつ、温調エア供給機構42によって温調エアを供給してウエハWを乾燥させる。
【選択図】図5
Description
図1は本発明に係る塗布・現像装置を具備したパターン形成装置の概略平面図であり、図2はその概略斜視図である。
後洗浄ユニット(POCLN)は、図4の概略断面図に示すように、ウエハWを収容する筐体60と、筐体60内でウエハWを水平に保持して回転させるスピンチャック61と、スピンチャック61に保持されたウエハWに洗浄液としてイソプロピルアルコールやブチルアルコール等のアルキルアルコールを供給する洗浄液供給機構62と、スピンチャック61に保持されたウエハWから振り切られた洗浄液等の処理液を受け止めるカップ体64と、スピンチャック61を回転させるモータ65とを備えている。
第1の乾燥ユニット(DRY1)は、図5の概略断面図に示すように、ウエハWを収容する処理容器としてのチャンバー40と、このチャンバー40内に設けられた、ウエハを載置する基板載置部材としての載置部41と、この載置部41に載置されたウエハWの表面に温度調節された気体、例えば温調エアを供給する温調気体供給機構としての温調エア供給機構42と、チャンバー40内を排気する排気機構43とを備えている。
第2の乾燥ユニット(DRY2)は、図6の概略断面図に示すように、ウエハWを収容する処理容器としてのチャンバー50と、このチャンバー50内に設けられた、ウエハを載置する基板載置部材としての載置部51と、チャンバー50内を減圧する減圧機構52とを備えている。
2:塗布・現像装置
3:露光装置(液浸露光装置)
12:処理ステーション(処理部)
13:インターフェイスステーション(インターフェイス部)
19:制御部
31:プロセスコントローラ
32:ユーザーインターフェイス
33:記憶部
40、50:チャンバー(処理容器)
41、51:載置部(基板載置部材)
42:温調エア供給機構(温調気体供給機構)
43:排気機構
45b:吐出孔(温調エア供給孔)
52:減圧機構
55c:排気孔
62:洗浄液供給機構
COT:レジスト塗布ユニット
DEV:現像ユニット
DRY1:第1の乾燥ユニット(乾燥処理部)
DRY2:第2の乾燥ユニット(乾燥処理部)
ITC:トップコーティングユニット(保護膜形成ユニット)
POCLN:後洗浄ユニット(露光後洗浄部:乾燥補助部)
W:ウエハ(基板)
Claims (27)
- 基板を液体に浸漬させた状態で基板上のレジスト膜を露光する液浸露光装置に隣接して設けられ、基板上にレジスト液を塗布してレジスト膜を形成し、前記液浸露光装置により液浸露光処理が施された後のレジスト膜を現像する塗布・現像装置であって、
レジスト塗布および現像のための一連の処理を行う複数の処理ユニットを備えた処理部と、
前記処理部と前記液浸露光装置との間に設けられたインターフェイス部と、
前記インターフェイス部に設けられ、液浸露光処理直後の基板を乾燥させる乾燥処理部と
を具備し、
前記乾燥処理部は、
基板を収容する処理容器と、
前記処理容器内で基板を載置する基板載置部材と、
前記処理容器内に温度調節された気体を供給する温調気体供給機構と、
前記処理容器内を排気する排気機構と
を備え、
前記処理容器内の前記基板載置部材に基板を載置した状態で、前記排気機構によって排気しつつ前記温調気体供給機構によって気体を供給して基板を乾燥させることを特徴とする塗布・現像装置。 - 前記温調気体供給機構は、前記基板載置部材に載置された基板と対向するように前記処理容器の上部に設けられた温調気体供給孔を有し、この温調気体供給孔を介して気体を供給することを特徴とする請求項1に記載の塗布・現像装置。
- 前記基板載置部材は加熱可能であり、
前記乾燥処理部は、前記基板載置部材を加熱しながら、前記温調気体供給機構によって気体を供給して基板を乾燥させることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の塗布・現像装置。 - 前記処理部は、液浸露光処理後に乾燥させた基板に現像処理に先立って加熱処理を施す露光後ベークユニットを有し、
前記乾燥処理部での基板の処理温度は、前記露光後ベークユニットでの基板の処理温度よりも低いことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の塗布・現像装置。 - 基板を液体に浸漬させた状態で基板上のレジスト膜を露光する液浸露光装置に隣接して設けられ、基板上にレジスト液を塗布してレジスト膜を形成し、前記液浸露光装置により液浸露光処理が施された後のレジスト膜を現像する塗布・現像装置であって、
レジスト塗布および現像のための一連の処理を行う複数の処理ユニットを備えた処理部と、
前記処理部と前記液浸露光装置との間に設けられたインターフェイス部と、
前記インターフェイス部に設けられ、液浸露光処理直後の基板を乾燥させる乾燥処理部と
を具備し、
前記乾燥処理部は、
基板を収容する処理容器と、
前記処理容器内で基板を載置する基板載置部材と、
前記処理容器内を減圧する減圧機構と
を備え、
前記処理容器内の前記基板載置部材に基板を載置した状態で、前記減圧機構によって前記処理容器内を減圧して基板を乾燥させることを特徴とする塗布・現像装置。 - 前記減圧機構は、前記基板載置部材に載置された基板と対向するように前記処理容器の上部に設けられた排気孔を有し、この排気孔を介して処理容器内を排気することにより減圧することを特徴とする請求項5に記載の塗布・現像装置。
- 前記インターフェイス部に設けられ、液浸露光処理直後で前記乾燥処理部による乾燥前の基板に乾燥を補助する媒体を供給する乾燥補助部をさらに具備することを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の塗布・現像装置。
- 前記乾燥を補助する媒体は、アルキルアルコール、エーテルおよびオゾンのうちの少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項7に記載の塗布・現像装置。
- 前記乾燥補助部は、基板に洗浄液を供給する洗浄液供給機構を有し、前記洗浄液供給機構による洗浄後の基板に乾燥を補助する媒体を供給することを特徴とする請求項7または請求項8に記載の塗布・現像装置。
- 前記インターフェイス部に設けられ、液浸露光処理直後で前記乾燥処理部による乾燥前の基板に洗浄液を供給する洗浄液供給機構を有する露光後洗浄部をさらに具備することを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の塗布・現像装置。
- 前記洗浄液供給機構は、アルキルアルコールおよびエーテルの少なくとも一方を含む洗浄液を基板に供給することを特徴とする請求項10に記載の塗布・現像装置。
- 前記処理部は、液浸露光処理前に基板に形成されたレジスト膜上に保護膜を形成する保護膜形成ユニットを有し、
前記洗浄液供給機構は、基板に形成された保護膜に、その表面の接触角を低減させる機能を有する洗浄液または表面張力の小さい洗浄液を供給することを特徴とする請求項10に記載の塗布・現像装置。 - 前記保護膜の接触角を低減させる機能を有する洗浄液は、加熱された水、アルコールおよび前記保護膜を酸化させる機能を有する液体のうちの少なくとも1種を含み、
前記表面張力の小さい洗浄液は界面活性剤を含むことを特徴とする請求項12に記載の塗布・現像装置。 - 基板に所定のレジストパターンを形成するパターン形成方法であって、
基板上にレジストを塗布してレジスト膜を形成する工程と、
基板上に形成されたレジスト膜を液体に浸漬させた状態で所定のパターンに液浸露光する工程と、
前記液浸露光工程を経た直後の基板を乾燥させる工程と、
前記乾燥工程後のレジスト膜を現像する工程と
を含み、
前記乾燥工程は、基板を処理容器内に収容して基板載置部材に載置した状態で、前記処理容器内を排気しつつ、前記処理容器内に温度調節された気体を供給して行うことを特徴とするパターン形成方法。 - 温度調節された気体の供給は、前記基板載置部材に載置された基板と対向するように前記処理容器の上部に設けた温調気体供給孔を介して行うことを特徴とする請求項14に記載のパターン形成方法。
- 前記乾燥工程は、前記基板載置部材を加熱しながら、温度調節された気体を供給して行うことを特徴とする請求項14または請求項15に記載のパターン形成方法。
- 前記乾燥工程後の基板に前記現像工程に先立って加熱処理を施す露光後ベーク工程をさらに含み、
前記乾燥工程での基板の処理温度は、前記露光後ベーク工程での基板の処理温度よりも低いことを特徴とする請求項14から請求項16のいずれか1項に記載のパターン形成方法。 - 基板に所定のレジストパターンを形成するパターン形成方法であって、
基板上にレジストを塗布してレジスト膜を形成する工程と、
基板上に形成されたレジスト膜を液体に浸漬させた状態で所定のパターンに液浸露光する工程と、
前記液浸露光工程を経た直後の基板を乾燥させる工程と、
前記乾燥工程後のレジスト膜を現像する工程と
を含み、
前記乾燥工程は、基板を処理容器内に収容して基板載置部材に載置した状態で、前記処理容器内を減圧して行うことを特徴とするパターン形成方法。 - 前記処理容器内の減圧は、前記基板載置部材に載置された基板と対向するように前記処理容器の上部に設けた排気孔を介して行うことを特徴とする請求項18に記載のパターン形成方法。
- 前記液浸露光工程直後で前記乾燥工程前の基板に乾燥を補助する媒体を供給する工程をさらに含むことを特徴とする請求項14から請求項19のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 前記乾燥を補助する媒体は、アルキルアルコール、エーテルおよびオゾンのうちの少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項20に記載のパターン形成方法。
- 前記液浸露光工程直後で前記乾燥補助媒体供給工程前の基板を洗浄液を用いて洗浄する工程をさらに含むことを特徴とする請求項20または請求項21に記載のパターン形成方法。
- 前記液浸露光工程直後で前記乾燥工程前の基板を洗浄液を用いて洗浄する工程を含むことを特徴とする請求項14から請求項19のいずれか1項に記載のパターン形成方法。
- 前記洗浄液は、アルキルアルコールおよびエーテルの少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項23に記載のパターン形成方法。
- 前記液浸露光工程前に基板に形成されたレジスト膜上に保護膜を形成する工程をさらに含み、
前記洗浄工程は、基板に形成された保護膜の表面の接触角を低減させる機能を有する洗浄液または表面張力の小さい洗浄液を用いて行うことを特徴とする請求項23に記載のパターン形成方法。 - 前記保護膜の接触角を低減させる機能を有する洗浄液は、加熱された水、アルコールおよび前記保護膜を酸化させる機能を有する液体のうちの少なくとも1種を含み、
前記表面張力の小さい洗浄液は界面活性剤を含むことを特徴とする請求項24に記載のパターン形成方法。 - コンピュータ上で動作する制御プログラムが記憶されたコンピュータ読取可能な記憶媒体であって、
前記制御プログラムは、実行時に請求項14から請求項26のいずれか1項に記載のパターン形成方法が行われるように、コンピュータに処理装置を制御させることを特徴とするコンピュータ読取可能な記憶媒体。
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