JP2008141173A - メモリ素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】1ビット以上のデータを格納し得るフラッシュメモリ素子を提供する。
【解決手段】フラッシュメモリ素子は、第1の導電型の不純物をドープした領域110と、第1の導電型の不純物をドープした領域110上に、第2の導電型の不純物をドープした第1のポリシリコン層120と、第1のポリシリコン層120上に、第1の導電型の不純物をドープした第2のポリシリコン層130と、第1のポリシリコン層120及び第2のポリシリコン層130の両側面に形成されたONO層等の電子捕獲層140と、電子捕獲層140の側面に形成された制御ゲート160と、を含み、第1の不純物をドープした領域110と第2のポリシリコン層130とは、それぞれ垂直構造のソース/ドレーン領域を形成する。
【選択図】図2
【解決手段】フラッシュメモリ素子は、第1の導電型の不純物をドープした領域110と、第1の導電型の不純物をドープした領域110上に、第2の導電型の不純物をドープした第1のポリシリコン層120と、第1のポリシリコン層120上に、第1の導電型の不純物をドープした第2のポリシリコン層130と、第1のポリシリコン層120及び第2のポリシリコン層130の両側面に形成されたONO層等の電子捕獲層140と、電子捕獲層140の側面に形成された制御ゲート160と、を含み、第1の不純物をドープした領域110と第2のポリシリコン層130とは、それぞれ垂直構造のソース/ドレーン領域を形成する。
【選択図】図2
Description
本発明は、メモリ素子に関する。
フラッシュメモリ素子は、プログラミング及び消去特性を備えたEPROMと、電気的にプログラミング及び消去特性を確保するEEPROMとの長所を生かして製造された素子である。
図1は、フラッシュメモリ素子を示す図である。
図1に示すように、フラッシュメモリ素子は、シリコン基板1上に形成された薄膜のトンネル酸化膜3と、トンネル酸化膜3上に形成されたフローティングゲート4と、フローティングゲート4上に形成された絶縁膜5と、絶縁膜5上に形成された制御ゲート6と、シリコン基板1に形成されたソース及びドレーン領域2とからなる。
フラッシュメモリ素子は、1ビットのデータを格納し、合わせて、電気的にプログラミング及び消去を遂行する。
本発明の目的は、メモリ素子を提供することにある。
本発明の他の目的は、1ビット以上のデータを格納し得るメモリ素子を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明のメモリ素子は、第1の導電型の不純物をドープした領域と、前記第1の導電型の不純物をドープした領域上に、第2の導電型の不純物をドープした第1のポリシリコン層と、前記第1のポリシリコン層上に、前記第1の導電型の不純物をドープした第2のポリシリコン層と、前記第1のポリシリコン層の側面に形成された電子捕獲層と、前記電子捕獲層の側面に形成された制御ゲートとを備える。
また、本発明のメモリ素子は、第1の導電型の不純物をドープした領域と、前記第1の導電型の不純物をドープした領域上に、第2の導電型の不純物をドープした第1のポリシリコン層と、前記第1のポリシリコン層上に、前記第1の導電型の不純物をドープした第2のポリシリコン層と、前記第1のポリシリコン層の両側面に形成された電子捕獲層と、前記電子捕獲層の側面に形成された第1の制御ゲート及び第2の制御ゲートとを備える。
また、本発明のメモリ素子は、ソース領域及びドレーン領域と、前記ソース領域とドレーン領域との間に形成されるチャネル領域と、前記チャネル領域に接する電子捕獲層と、前記電子捕獲層に接する制御ゲートとを備え、前記ソース領域とチャネル領域とドレーン領域とは垂直方向に配列され、前記チャネル領域と電子捕獲層と制御ゲートとは水平方向に配列されることを特徴とする。
また、本発明のメモリ素子は、第1の方向に配列されたソース領域と、共通チャネル領域及びドレーン領域と、前記共通チャネル領域で電子を捕獲する複数の電子捕獲層と、制御電圧が印加される複数の制御ゲートとを備える。
本実施例によるフラッシュメモリ素子によれば、垂直構造のソース/ドレーン間に形成されたチャネルの両側に電子捕獲層を備えることで、小さなサイズで2ビットのデータを格納できる。
また、マルチ−レベルビット(Multi-level Bit)技術を適用すれば、一個のセルで4ビット〜8ビットまで格納できる。
以下、添付図面に基づき、本発明の好適な実施形態を詳細に説明する。
実施形態の説明において、各層(膜)、領域、パッド、パターン又は構造物が、基板、各層(膜)、領域、パッド又はパターンの“上部”又は“下部”に形成されると記載される場合において、その意味は各層(膜)、領域、パッド、パターン又は構造物が、直接基板、各層(膜)、領域、パッド又はパターンに接触して形成される場合であると解釈することができ、また他の層(膜)、他の領域、他のパッド、他のパターン又は他の構造物が、その間に追加的に形成される場合であると解釈することもできる。よって、その意味は、発明の技術的思想によって判断されるべきである。
(第1の実施例)
図2は、第1の実施例によるフラッシュメモリ素子を示す図、図3は、図2のフラッシュメモリ素子をX軸方向に切断した断面図である。
図2は、第1の実施例によるフラッシュメモリ素子を示す図、図3は、図2のフラッシュメモリ素子をX軸方向に切断した断面図である。
図2及び図3によれば、第1の実施例によるフラッシュメモリ素子は、第1の導電型の不純物のドープした領域110が半導体基板(図示せず)上に形成される。このとき、第1の導電型の不純物は、リン又は砒素のようなN型不純物、或いは、ホウ素のようなP型不純物になり得る。
但し、本実施例では、第1の導電型の不純物はN型不純物とし、半導体基板はN型不純物をドープした基板とする。
第1の導電型の不純物をドープした領域110上に形成された第1のポリシリコン層120には、第1の導電型の不純物と、他の第2の導電型の不純物とがドープされる。第1の導電型の不純物がN型不純物である場合、第2の導電型の不純物はP型不純物であって、第1のポリシリコン層120はP型ウェルを形成することになる。
第1のポリシリコン層120上に形成された第2のポリシリコン層130には、第1の導電型の不純物がドープされる。
よって、第1の導電型の不純物をドープした領域110、第1のポリシリコン層120及び第2のポリシリコン層130は、N型不純物/P型不純物/N型不純物を順次ドープして積層される垂直構造をなす。
第1のポリシリコン層120及び第2のポリシリコン層130の両側面には、電子捕獲層140が形成される。
電子捕獲層140は絶縁膜からなるが、本実施例では、第1の酸化膜141、窒化膜142及び第2の酸化膜143の順に積層されたONO層で形成される。
詳しくは、SiO2−Si3N4−SiO2、SiO2−Si3N4−Al2O3、SiO2−Si3N4−Al2O3、SiO2−Si3N4−SiO2−Si3N4−SiO2等の多様な形態の構造膜質の何れか一つが形成される。
電子捕獲層140上には、ポリシリコンで形成された第1の制御ゲート150及び第2の制御ゲート160が形成される。
詳しくは、第1の導電型の不純物がドープした領域110上と、第1のポリシリコン層120及び第2のポリシリコン層130の両側面とに、第1の制御ゲート150及び第2の制御ゲート160が形成される。
(第2の実施例)
図4は、第2の実施例によるフラッシュメモリ素子を示す図である。
図4は、第2の実施例によるフラッシュメモリ素子を示す図である。
図4によれば、第2の実施例によるフラッシュメモリ素子では、第2のポリシリコン層130は、第1の制御ゲート150及び第2の制御ゲート160よりも高く形成される。
(第3の実施例)
図5は、第3の実施例によるフラッシュメモリ素子を示す図である。
図5は、第3の実施例によるフラッシュメモリ素子を示す図である。
図5によれば、第3の実施例によるフラッシュメモリ素子では、第1のポリシリコン層120及び第2のポリシリコン層130の側面に形成された電子捕獲層140が、第1の酸化膜141、窒化膜142及び第2の酸化膜143の順に積層されたONO層で形成される。
詳しくは、SiO2−Si3N4−SiO2、SiO2−Si3N4−Al2O3、SiO2−Si3N4−Al2O3、SiO2−Si3N4−SiO2−Si3N4−SiO2等の多様な形態の構造膜質の何れか一つが形成される。
一方、第1の制御ゲート150及び第2の制御ゲート160と、第1の不純物がドープした領域110との間には、ONO層と異なる構造の絶縁膜144が形成される。
(第4の実施例)
図6は、第4の実施例によるフラッシュメモリ素子を示す図である。
図6は、第4の実施例によるフラッシュメモリ素子を示す図である。
図6によれば、第4の実施例によるフラッシュメモリ素子は、第1の不純物がドープした領域110に、所定部分の突出された突出部111が形成される。
第1のポリシリコン層120は、突出部111上に形成される。このとき、突出部111は、第1の導電型の不純物がドープした領域110と同一の材質である。
(第5の実施例)
図7は、第5の実施例によるフラッシュメモリ素子を示す図である。
図7は、第5の実施例によるフラッシュメモリ素子を示す図である。
図7によれば、第5の実施例によるフラッシュメモリ素子は、半導体基板100上にトレンチ103を備えた絶縁層105が形成され、第1の導電型の不純物のドープした領域110がトレンチ103内に形成される。
(第6の実施例)
図8は、第6の実施例によるフラッシュメモリ素子を示す図である。
図8は、第6の実施例によるフラッシュメモリ素子を示す図である。
図8によれば、第6の実施例によるフラッシュメモリ素子は、半導体基板100は、P型半導体基板であり、P型の半導体基板100の所定領域上にN型ポリシリコン層として第1の導電型の不純物のドープした領域110が形成され、第1の導電型の不純物のドープした領域110の両側面には絶縁層105が形成される。
(第7の実施例)
図9は、第7の実施例によるフラッシュメモリ素子を示す図である。
図9は、第7の実施例によるフラッシュメモリ素子を示す図である。
図9によれば、第7の実施例によるフラッシュメモリ素子は、P型ポリシリコンで形成された第2の不純物のドープした領域210が形成され、第2の不純物がドープした領域210の上に、N型不純物をドープしてN型ウェルを形成する第1のポリシリコン層220と、P型不純物をドープした第2のポリシリコン層230とが形成される。
第1のポリシリコン層220及び第2のポリシリコン層230の両側面には、電子捕獲層240が形成される。
電子捕獲層240上には、ポリシリコンで形成された第1の制御ゲート250及び第2の制御ゲート260が形成される。
前述した実施例によるフラッシュメモリ素子によれば、第1の不純物をドープした領域110及び第2の不純物をドープした領域210と、第2のポリシリコン層130、230とは、それぞれ垂直構造のソース/ドレーン領域を形成することになる。
このとき、P型不純物をドープしてP型ウェルを形成した第1のポリシリコン層120と、N型不純物をドープしてN型ウェルを形成した第1のポリシリコン層220とは、それぞれ電荷(又は正孔)の移動経路であるチャネル役割を果すことになる。
また、第1の酸化膜141、窒化膜142及び第2の酸化膜143の順に積層されたONO層で形成された電子捕獲層140は、窒化膜142で電荷がプログラミング又は消去される。また、第1の酸化膜141は、チャネルから窒化膜142に電荷がトンネリングされるためのトンネリング酸化膜の役割を果し、第2の酸化膜143は、窒化膜142から第1の制御ゲート150及び第2の制御ゲート160に電荷が移動することを防止するためのブロッキング酸化膜の役割を果す。
すなわち、第1の制御ゲート150に電圧が印加されると、ソース役割を果す第1の不純物のドープした領域110から電子(又は正孔)が排出され、排出された電子は電子捕獲層140内の窒化膜142にプログラミングされ、第1の制御ゲート150の電圧が除去されると、窒化膜142にプログラミングされた電子(又は正孔)は消去される。
同様に、第2の制御ゲート160に電圧が印加されると、ソース役割を果す第1の不純物のドープした領域110から電子(又は正孔)が排出されて窒化膜142にプログラミングされ、第2の制御ゲート160の電圧が除去されると、窒化膜142にプログラミングされた電子(又は正孔)は消去される。
なお、本発明の詳細な説明では具体的な実施形態について説明したが、本発明の要旨から逸脱しない範囲内で多様に変形できる。よって、本発明の範囲は、前述の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載及びこれと均等なものに基づいて定められるべきである。
100・・半導体基板、103・・トレンチ、105・・絶縁層、110・・領域、111・・突出部、120・・第1のポリシリコン層、130・・第2のポリシリコン層、140・・電子捕獲層、141・・第1の酸化膜、142・・窒化膜、143・・第2の酸化膜、144・・絶縁膜、150・・第1の制御ゲート、160・・第2の制御ゲート。
Claims (20)
- 第1の導電型の不純物をドープした領域と、
前記第1の導電型の不純物をドープした領域上に、第2の導電型の不純物をドープした第1のポリシリコン層と、
前記第1のポリシリコン層上に、前記第1の導電型の不純物をドープした第2のポリシリコン層と、
前記第1のポリシリコン層の側面に形成された電子捕獲層と、
前記電子捕獲層の側面に形成された制御ゲートと、を備える
ことを特徴とするメモリ素子。 - 前記電子捕獲層は、第1の酸化膜と、窒化膜と、第2の酸化膜と、を備える
ことを特徴とする請求項1に記載のメモリ素子。 - 前記電子捕獲層は、SiO2−Si3N4−SiO2、SiO2−Si3N4−Al2O3、SiO2−Si3N4−Al2O3、SiO2−Si3N4−SiO2−Si3N4−SiO2の何れか一つである
ことを特徴とする請求項1に記載のメモリ素子。 - 前記第2のポリシリコン層は、前記制御ゲートよりも突出して形成される
ことを特徴とする請求項1に記載のメモリ素子。 - 前記第1の導電型の不純物をドープした領域には突出部が形成され、前記第1のポリシリコン層は前記突出部上に形成される
ことを特徴とする請求項1に記載のメモリ素子。 - 前記第1の導電型の不純物をドープした領域の両側には、絶縁層が形成される
ことを特徴とする請求項1に記載のメモリ素子。 - 第1の導電型の不純物をドープした領域と、
前記第1の導電型の不純物をドープした領域上に、第2の導電型の不純物をドープした第1のポリシリコン層と、
前記第1のポリシリコン層上に、前記第1の導電型の不純物をドープした第2のポリシリコン層と、
前記第1のポリシリコン層の両側面に形成された電子捕獲層と、
前記電子捕獲層の側面に形成された第1の制御ゲート及び第2の制御ゲートと、を備える
ことを特徴とするメモリ素子。 - 前記電子捕獲層は、第1の酸化膜と、窒化膜と、第2の酸化膜と、を備える
ことを特徴とする請求項7に記載のメモリ素子。 - 前記電子捕獲層は、SiO2−Si3N4−SiO2、SiO2−Si3N4−Al2O3、SiO2−Si3N4−Al2O3、SiO2−Si3N4−SiO2−Si3N4−SiO2の何れか一つである
ことを特徴とする請求項7に記載のメモリ素子。 - 前記第2のポリシリコン層は、前記制御ゲートよりも突出して形成される
ことを特徴とする請求項7に記載のメモリ素子。 - 前記第1の導電型の不純物をドープした領域には突出部が形成され、前記第1のポリシリコン層は前記突出部上に形成される
ことを特徴とする請求項7に記載のメモリ素子。 - 前記第1の導電型の不純物をドープした領域の両側には、絶縁層が形成される
ことを特徴とする請求項7に記載のメモリ素子。 - 前記電子捕獲層は、第2のポリシリコン層の両側面にも形成される
ことを特徴とする請求項7に記載のメモリ素子。 - 前記電子捕獲層は、前記第1の導電型の不純物をドープした領域と、前記第1及び第2の制御ゲートと、の間にも形成される
ことを特徴とする請求項7に記載のメモリ素子。 - 前記第1の導電型の不純物をドープした領域と、前記第1及び第2の制御ゲートとの間に絶縁層が形成される
ことを特徴とする請求項7に記載のメモリ素子。 - ソース領域と、
ドレーン領域と、
前記ソース領域とドレーン領域との間に形成されるチャネル領域と、
前記チャネル領域に接する電子捕獲層と、
前記電子捕獲層に接する制御ゲートと、を備え、
前記ソース領域、チャネル領域及びドレーン領域は垂直方向に配列され、前記チャネル領域と電子捕獲層と、制御ゲートと、は水平方向に配列される
ことを特徴とするメモリ素子。 - 前記チャネル領域と、電子捕獲層と、制御ゲートとは、少なくとも一部分が同一の水平面上に形成される
ことを特徴とする請求項16に記載のメモリ素子。 - 前記電子捕獲層は、第1の酸化膜と、窒化膜と、第2の酸化膜と、が水平方向に配列される
ことを特徴とする請求項16に記載のメモリ素子。 - 前記電子捕獲層は、前記チャネル領域の両側面に形成される
ことを特徴とする請求項16に記載のメモリ素子。 - 第1の方向に配列されたソース領域と共通チャネル領域とドレーン領域と、
前記共通チャネル領域で電子を捕獲する複数の電子捕獲層と、
制御電圧が印加される複数の制御ゲートと、を備える
ことを特徴とするメモリ素子。
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