JP2007300002A - 電子部品 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子部品1は、基板51の平坦化層52上に形成された下部導体(第1導体)21と、下部導体21上に形成された誘電体膜31と、誘電体膜31上に形成されて下部導体21より薄い上部導体(第2導体)23とを有している。コンデンサ素子(容量素子)11が、下部導体21と誘電体膜31と上部導体23とで構成されている。
【選択図】図1
Description
本発明の第1の実施の形態による電子部品について図1乃至図11を用いて説明する。まず、本実施の形態による電子部品1について図1を用いて説明する。図1(a)は、電子部品1の平面図であり、図1(b)は、図1(a)のA−A線で切断した断面図である。また、図1(c)は、電子部品1の等価回路図である。図1(a)では、隠れ線を破線で示している。
まず、本実施の形態の変形例1による電子部品2について図8(a)及び図8(b)を用いて説明する。図8(a)は、本変形例による電子部品2を示す平面図であって、導体部のみを示し、図8(b)は、電子部品2の等価回路を示している。図8(a)に示すように、電子部品2では、スパイラル形状のコイル導体12の外周側の端部の導体の一部がコンデンサ素子11の下部導体21として機能している。図8(b)に示すように、コンデンサ素子11とインダクタ素子13とは直列に接続されて直列共振回路を構成している。導体61及び導体25がそれぞれ通電用の端子となる。以上の点を除いた電子部品2の構成は、電子部品1と同様であるため説明は省略する。
次に、本実施の形態の変形例2による電子部品3について図9(a)及び図9(b)を用いて説明する。図9(a)は、本変形例による電子部品3を示す平面図であって、導体部のみを示し、図9(b)は、電子部品3の等価回路図を示している。図9(a)に示すように、インダクタ素子13は、スパイラル状のコイル導体12と、コイル導体12の内周側の端部で接続されて図の左右方向に延伸する長方形状の導体61とを有している。コンデンサ素子11は、コイル導体12と一体的に形成され、コイル導体12の外周側の端部と接続されて図中左右方向に延伸する長方形状の下部導体21と、下部導体21上に形成された誘電体膜31と、誘電体膜31上に形成された上部導体23とを有している。上部導体23には、導体61と一体的に形成されて下部導体21上に対向配置されたL字形状の導体25が接続されている。図9(b)に示すように、コンデンサ素子11とインダクタ素子13とは並列に接続されて、並列共振回路を構成している。導体25は、導体61と電気的に接続されている。導体61及び下部導体21がそれぞれ通電用の端子となる。以上の点を除いた電子部品3の構成は、電子部品1と同様であるため説明は省略する。
次に、本実施の形態の変形例3による電子部品4について図10(a)及び図10(b)を用いて説明する。図10(a)は、本変形例による電子部品4を示す平面図であって、導体部のみを示し、図10(b)は、電子部品4の等価回路図を示している。図10(a)に示すように、インダクタ素子13は、スパイラル状のコイル導体12と、コイル導体12の内周側の端部で接続されて図の左右方向に延伸する長方形状の導体61とを有している。コンデンサ素子11は、コイル導体12と一体的に形成され、コイル導体12の外周側の端部と接続されて図中左右方向に延伸する長方形状の下部導体21と、下部導体21上に形成された誘電体膜31と、誘電体膜31上に形成された上部導体23とを有している。上部導体23には、下部導体21上に対向配置された長方形状の導体25が接続されている。図10(b)に示すように、インダクタ素子13とコンデンサ素子11とは低域通過フィルタを構成している。導体61は入力側の端子となる。また、コイル導体12の外周側の端部近傍から引き出された引き出し導体62が出力側の端子となる。導体25はグランド接続用の端子となる。以上の点を除いた電子部品4の構成は、電子部品1と同様であるため説明は省略する。
次に、本実施の形態の変形例4による電子部品5について図11(a)及び図11(b)を用いて説明する。図11(a)は、本変形例による電子部品5を示す平面図であって、導体部のみを示し、図11(b)は、電子部品5の等価回路図を示している。図11(a)に示すように、インダクタ素子13は、スパイラル状のコイル導体12と、コイル導体12の内周側の端部で接続されて図の上下方向に延伸する長方形状の導体61とを有している。コンデンサ素子11は、コイル導体12と一体的に形成され、コイル導体12の外周側の端部と接続されて図中左右方向に延伸する長方形状の下部導体21と、下部導体21上に形成された誘電体膜31と、誘電体膜31上に形成された上部導体23とを有している。上部導体23には、下部導体21上に対向配置された長方形状の導体25が接続されている。図11(b)に示すように、インダクタ素子13とコンデンサ素子11とは高域通過フィルタを構成している。導体25が入力側の端子となり、下部導体21が出力側の端子となる。導体61はグランド接続用の端子となる。以上の点を除いた電子部品5の構成は、電子部品1と同様であるため説明は省略する。
本発明の第2の実施の形態による電子部品及びその製造方法について図12乃至図14を用いて説明する。まず、本実施の形態による電子部品101について図12を用いて説明する。図12は、本実施の形態による電子部品101を示す断面図である。
本発明の第3の実施の形態による電子部品及びその製造方法について図15を用いて説明する。図15は、本実施の形態による電子部品201を示す断面図である。なお、図15及び以降の図は、開口部33a、33b周囲の絶縁膜33のテーパ形状を省略して示している。
本発明の第4の実施の形態による電子部品について図16を用いて説明する。図16は、本実施の形態による電子部品301を示す断面図である。
本発明の第5の実施の形態による電子部品及びその製造方法について図17乃至図22を用いて説明する。図17は、本実施の形態による電子部品401を示す断面図である。
本発明の第6の実施の形態による電子部品及びその製造方法について図23乃至図28を用いて説明する。図23は、本実施の形態による電子部品501を示す断面図である。
本発明の第7の実施の形態による電子部品について図29を用いて説明する。図29は、本実施の形態による電子部品601を示す断面図である。
本発明の第8の実施の形態による電子部品及びその製造方法について図30乃至図34を用いて説明する。図30は、本実施の形態による電子部品701を示す断面図である。
上記実施の形態では、電子部品としてコンデンサ素子11及びインダクタ素子13のみを含む電子部品を例に挙げたが、本発明はこれに限られない。例えば、インダクタ素子13の代わりに抵抗素子が形成されたRC複合型の電子部品に適用できる。また、コンデンサ素子11及びインダクタ素子13の他に抵抗素子を有するRLC複合型の電子部品にも適用できる。また、コンデンサ素子11を含む電子部品であれば、受動素子のみを含む電子部品に限らず、トランジスタやダイオード等の能動素子を含む電子部品にも適用できる。さらに、コンデンサ素子11を含む電子部品であれば、デジタル・アナログ混在回路にも適用できる。さらに、所望の機能を得るためにLCRのいずれかの素子を複数組合わせた所望の回路により当該所望の機能を達成する事ができる。もちろん、集中定数素子に限らず、分布定数回路と複合した回路構成であってもよく、半導体素子とこれらを組合わせることも行える。
11、411、611 コンデンサ素子
12 コイル導体
12a、21a、25a、27a、29a、61a、63a、65a、71 下地導体
12b、21b、25、25b、27b、29、29b、61、61b、63b、65、65b 導体
13 インダクタ素子
21、421 下部導体(第1導体)
23、423、623 上部導体(第2導体)
27 柱状導体
31、431 誘電体膜
31a、33a ビア開口部
33、135 絶縁膜
33b、81a、81b、82a、135a、135b 開口部
51 基板
52 平坦化層
54 保護膜
62 引き出し導体
63 ビア導体
73 上部導体形成用導体
81、82、83、84 感光性樹脂層
Claims (16)
- 基板上に形成された第1導体と、
前記第1導体上に形成された誘電体膜と、
前記誘電体膜上に形成されて前記第1導体より薄い第2導体とを有し、
容量素子が前記第1導体と前記第2導体と前記誘電体膜とで構成されていること
を特徴とする電子部品。 - 請求項1記載の電子部品であって、
前記容量素子の電極面積は、前記第2導体の面積で規定されていること
を特徴とする電子部品。 - 請求項1又は2に記載の電子部品であって、
前記第1導体の厚さをt1とし、
前記第2導体の厚さをt2とし、
前記第2導体の粒径をxとすると、
t1>t2、
x≦t2であること
を特徴とする電子部品。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の電子部品であって、
前記第2導体の全表面は、平坦であること
を特徴とする電子部品。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の電子部品であって、
前記第2導体上に形成された絶縁膜をさらに有すること
を特徴とする電子部品。 - 請求項5記載の電子部品であって、
前記第2導体上の前記絶縁膜の一部に前記第2導体表面が露出する開口部が形成されていること
を特徴とする電子部品。 - 請求項6記載の電子部品であって、
前記開口部に形成され、前記第2導体より厚い第3導体をさらに有すること
を特徴とする電子部品。 - 請求項7記載の電子部品であって、
前記第3導体は、前記絶縁膜上に延在していること
を特徴とする電子部品。 - 請求項8記載の電子部品であって、
前記第1導体及び前記第3導体は、別の層に形成されていること
を特徴とする電子部品。 - 請求項5乃至9のいずれか1項に記載の電子部品であって、
前記絶縁膜の表面は、平坦であること
を特徴とする電子部品。 - 請求項5乃至10のいずれか1項に記載の電子部品であって、
前記絶縁膜は、前記基板のほぼ全面に形成されていること
を特徴とする電子部品。 - 請求項11記載の電子部品であって、
前記第1導体と同層に形成された第4導体と、
前記第4導体と前記絶縁膜を介して対向配置された第5導体とをさらに有すること
を特徴とする電子部品。 - 請求項5乃至12のいずれか1項に記載の電子部品であって、
前記誘電体膜の膜厚は、前記絶縁膜の膜厚より薄いこと
を特徴とする電子部品。 - 請求項5乃至13のいずれか1項に記載の電子部品であって、
前記誘電体膜の誘電率は、前記絶縁膜の誘電率より高い又は同じであること
を特徴とする電子部品。 - 請求項1乃至14のいずれか1項に記載の電子部品であって、
前記誘電体膜は、前記第1導体上にのみ形成されていること
を特徴とする電子部品。 - 基板上に第1導体を形成し、
前記第1導体上に誘電体膜を形成し、
前記誘電体膜上に前記第1導体より薄い第2導体を形成し、
容量素子が前記第1導体と前記第2導体と前記誘電体膜とで構成され、
前記第2導体上に絶縁膜を形成し、
前記絶縁膜に前記第2導体表面が露出する開口部を形成し、
前記開口部に前記第2導体より厚い第3導体を形成すること
を特徴とする電子部品の製造方法。
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