JP2007281091A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
半導体装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007281091A JP2007281091A JP2006103463A JP2006103463A JP2007281091A JP 2007281091 A JP2007281091 A JP 2007281091A JP 2006103463 A JP2006103463 A JP 2006103463A JP 2006103463 A JP2006103463 A JP 2006103463A JP 2007281091 A JP2007281091 A JP 2007281091A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating film
- semiconductor substrate
- gate electrode
- region
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 376
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 27
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 152
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 102
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 102
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 35
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 31
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 25
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 19
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 7
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 claims description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 24
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 14
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 12
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 11
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 9
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 8
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 8
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 6
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 6
- 239000002784 hot electron Substances 0.000 description 6
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 6
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 6
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 5
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 description 5
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 5
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 5
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 3
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 3
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 3
- 229910019001 CoSi Inorganic materials 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- -1 Metal Oxide Nitride Chemical class 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
- H01L29/4232—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate
- H01L29/42324—Gate electrodes for transistors with a floating gate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/401—Multistep manufacturing processes
- H01L29/4011—Multistep manufacturing processes for data storage electrodes
- H01L29/40114—Multistep manufacturing processes for data storage electrodes the electrodes comprising a conductor-insulator-conductor-insulator-semiconductor structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/401—Multistep manufacturing processes
- H01L29/4011—Multistep manufacturing processes for data storage electrodes
- H01L29/40117—Multistep manufacturing processes for data storage electrodes the electrodes comprising a charge-trapping insulator
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/66825—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET with a floating gate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/66833—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET with a charge trapping gate insulator, e.g. MNOS transistors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/788—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with floating gate
- H01L29/7881—Programmable transistors with only two possible levels of programmation
- H01L29/7884—Programmable transistors with only two possible levels of programmation charging by hot carrier injection
- H01L29/7885—Hot carrier injection from the channel
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/40—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the peripheral circuit region
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/40—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the peripheral circuit region
- H10B41/42—Simultaneous manufacture of periphery and memory cells
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B69/00—Erasable-and-programmable ROM [EPROM] devices not provided for in groups H10B41/00 - H10B63/00, e.g. ultraviolet erasable-and-programmable ROM [UVEPROM] devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Non-Volatile Memory (AREA)
Abstract
【解決手段】不揮発性メモリのメモリセルMCは、半導体基板1Sの主面上に電荷蓄積用の絶縁膜2を介して形成されたメモリゲート電極MGを有している。このメモリゲート電極MGの側面にはサイドウォール4Aが形成されている。さらに、そのサイドウォール4Aの側面には、サイドウォール12Aが形成されている。メモリセルMCのソース用のn+型の半導体領域5Spの上面には、メモリゲート電極MG側の端部が上記サイドウォール12Aで規定されるシリサイド層7sが形成されている。
【選択図】図5
Description
まず、発明者が初めて見出した課題について説明する。
明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることは言うまでもない。
2 電荷蓄積用の絶縁膜
2a 絶縁膜
2b 絶縁膜
2c 絶縁膜
3 ゲート絶縁膜
4A サイドウォール(第1絶縁膜)
4B サイドウォール(第3絶縁膜)
4C〜4F サイドウォール
5S ソース用の半導体領域
5Sm n−型の半導体領域(第1半導体領域)
5Sp n+型の半導体領域(第2半導体領域)
5D ドレイン用の半導体領域
5Dm n−型の半導体領域(第3半導体領域)
5Dp n+型の半導体領域(第4半導体領域)
7 シリサイド層
7s シリサイド層(第1シリサイド層)
7d シリサイド層(第2シリサイド層)
7c,7m シリサイド層
9 窪み
10 分離部
10s 分離用絶縁膜
10t 分離溝
11 窪み
12A サイドウォール(第2絶縁膜)
12B サイドウォール(第4絶縁膜)
12C サイドウォール(絶縁膜)
12D,12E 絶縁膜
12F,12G サイドウォール
12H,12J サイドウォール
15 半導体領域
15a n−型の半導体領域
15b n+型の半導体領域
19 フォトレジストパターン
20 絶縁膜
21 コンタクトホール
22 プラグ
MC メモリセル
S ソース電極
D ドレイン電極
Qc メモリセル選択用のnチャネル型のMISFET
Qm データ記憶用のnチャネル型のMISFET
Qn nチャネル型のMISFET
MG メモリゲート電極(第1ゲート電極)
CG 制御ゲート電極(第2ゲート電極)
FG ゲート電極
RG 抵抗体
M メモリ領域
P 周辺回路領域
RA,RB 抵抗領域
DNWL n型の埋込ウエル
PWL p型のウエル
RWL 抵抗体
Claims (10)
- 半導体基板の主面上に複数の不揮発性メモリセルを備え、
前記複数の不揮発性メモリセルの各々は、
前記半導体基板上に形成された電荷蓄積用の絶縁膜と、
前記電荷蓄積用の絶縁膜上に形成され、前記半導体基板の主面に沿う方向に沿って互いに反対側に位置する第1、第2側面を持つ第1ゲート電極と、
前記第1ゲート電極の前記第1側面に形成された第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜の側面に形成された第2絶縁膜と、
前記半導体基板の主面において、前記第1ゲート電極の前記第1側面に対して自己整合的に形成された第1半導体領域と、
前記半導体基板の主面において、前記第1半導体領域に電気的に接続されるように、前記第1絶縁膜の側面に対して自己整合的に形成された第2半導体領域と、
前記第2半導体領域の上部に、前記第2絶縁膜の側面に対して自己整合的に形成された第1シリサイド層とを有し、
前記第1シリサイド層の前記第1ゲート電極側の端部は、前記第2絶縁膜によって、前記第1半導体領域と前記第2半導体領域との接合端から離れた位置に形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記半導体基板の主面には分離部で規定される活性領域が形成されており、
前記分離部は、前記半導体基板の主面に掘られた溝の内部に分離用絶縁膜が埋め込まれることで形成されており、
前記半導体基板の主面の前記分離用絶縁膜の上面において、前記活性領域との隣接部分には、前記溝の側面の前記半導体基板の一部が露出するような窪みが形成されており、
前記窪みには、前記窪みから露出する前記溝の側面の前記半導体基板の一部を覆うように、絶縁膜が形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記複数の不揮発性メモリセルの各々は、
前記半導体基板の主面上に形成されたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上であって、前記第1ゲート電極の前記第2側面に前記電荷蓄積用の絶縁膜を介して隣接する位置に設けられ、前記第1ゲート電極の前記第2側面に対向する第3側面と、前記第3側面に対して前記半導体基板の主面に沿う方向に沿って反対側に位置する第4側面とを有する第2ゲート電極と、
前記第2ゲート電極の前記第4側面に設けられた第3絶縁膜と、
前記第3絶縁膜の側面に設けられた第4絶縁膜と、
前記半導体基板の主面において、前記第2ゲート電極の前記第4側面に対して自己整合的に形成された第3半導体領域と、
前記半導体基板の主面において、前記第3半導体領域に電気的に接続されるように、前記第3絶縁膜の側面に対して自己整合的に形成された第4半導体領域と、
前記第4半導体領域の上部に、前記第4絶縁膜の側面に対して自己整合的に形成された第2シリサイド層とを有し、
前記第2シリサイド層の前記第2ゲート電極側の端部は、前記第4絶縁膜によって、前記第3半導体領域と前記第4半導体領域との接合端から離れた位置に形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、前記第2絶縁膜が対向する前記半導体基板の主面は、前記第1ゲート電極が対向する前記半導体基板の主面よりも窪んでいることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1記載の半導体装置において、前記第2絶縁膜の厚さは10nm〜80nmであることを特徴とする半導体装置。
- (a)半導体基板の主面に、分離部と、これによって規定される活性領域とを形成する工程、
(b)前記半導体基板の主面に不揮発性メモリセルの電荷蓄積用の絶縁膜を形成する工程、
(c)前記電荷蓄積用の絶縁膜上に、前記半導体基板の主面に沿う方向に沿って互いに反対側に位置する第1、第2側面を持つ第1ゲート電極を形成する工程、
(d)前記半導体基板の主面に、前記第1ゲート電極の第1側面に対して自己整合的に第1半導体領域を形成する工程、
(e)前記(d)工程後、前記第1ゲート電極の第1側面に第1絶縁膜を形成する工程、
(f)前記(e)工程後、前記半導体基板の主面に、前記第1半導体領域に電気的に接続されるように、前記第1絶縁膜の側面に対して自己整合的に第2半導体領域を形成する工程、
(g)前記(f)工程後、前記第1絶縁膜の側面に第2絶縁膜を形成する工程、
(h)前記(g)工程後、前記第2半導体領域の上部に、前記第2絶縁膜の側面に対して自己整合的に形成された第1シリサイド層を形成する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項6記載の半導体装置の製造方法において、
前記第2絶縁膜は、前記半導体基板の主面上に、シリサイド層を形成しない領域を覆う絶縁膜のパターンを形成する工程と同一工程で形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項6記載の半導体装置の製造方法において、
前記分離部の形成工程は、
前記半導体基板の主面に溝を形成する工程と、
前記溝内に分離用絶縁膜を埋め込む工程とを有しており、
前記(g)工程では、
前記半導体基板の主面の前記分離用絶縁膜の上面において、前記活性領域との隣接部分に形成された窪みに、前記窪みから露出する前記溝の側面の前記半導体基板の一部を覆うように、絶縁膜を形成する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項6記載の半導体装置の製造方法において、
前記(b)工程の前に、
前記半導体基板の主面の前記不揮発性メモリセルの形成領域にゲート絶縁膜を形成する工程、
前記ゲート絶縁膜上であって、前記第1ゲート電極の前記第2側面に前記電荷蓄積用の絶縁膜を介して隣接する位置に、前記第1ゲート電極の前記第2側面に対向する第3側面と、前記第3側面に対して前記半導体基板の主面に沿う方向に沿って反対側に位置する第4側面とを有する第2ゲート電極を形成する工程を有し、
前記(d)工程の前記第1半導体領域の形成においては、前記半導体基板の主面に、前記第2ゲート電極の前記第4側面に対して自己整合的に第3半導体領域を形成し、
前記(e)工程の前記第1絶縁膜の形成工程においては、前記第2ゲート電極の前記第4側面に第3絶縁膜を形成し、
前記(f)工程の前記第2半導体領域の形成工程においては、前記半導体基板の主面に、前記第3半導体領域に電気的に接続されるように、前記第3絶縁膜の側面に対して自己整合的に第4半導体領域を形成し、
前記(g)工程の前記第2絶縁膜の形成工程においては、前記第3絶縁膜の側面に第4絶縁膜を形成し、
前記(h)工程の前記第1シリサイド層の形成工程においては、前記第4半導体領域の上部に、前記第4絶縁膜の側面に対して自己整合的に第2シリサイド層を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項6記載の半導体装置の製造方法において、前記第2絶縁膜の厚さは10nm〜80nmであることを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006103463A JP5086558B2 (ja) | 2006-04-04 | 2006-04-04 | 半導体装置およびその製造方法 |
US11/717,053 US7745288B2 (en) | 2006-04-04 | 2007-03-13 | Semiconductor device and a method of manufacturing the same |
CN2007100922678A CN101051641B (zh) | 2006-04-04 | 2007-04-03 | 半导体器件及其制造方法 |
US12/718,002 US8530958B2 (en) | 2006-04-04 | 2010-03-05 | Semiconductor device having split gate type, non-volatile memory cells and a method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006103463A JP5086558B2 (ja) | 2006-04-04 | 2006-04-04 | 半導体装置およびその製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007281091A true JP2007281091A (ja) | 2007-10-25 |
JP2007281091A5 JP2007281091A5 (ja) | 2009-04-30 |
JP5086558B2 JP5086558B2 (ja) | 2012-11-28 |
Family
ID=38557527
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006103463A Active JP5086558B2 (ja) | 2006-04-04 | 2006-04-04 | 半導体装置およびその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7745288B2 (ja) |
JP (1) | JP5086558B2 (ja) |
CN (1) | CN101051641B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20170022899A (ko) | 2015-08-20 | 2017-03-02 | 르네사스 일렉트로닉스 가부시키가이샤 | 반도체 장치의 제조 방법 |
US10446569B2 (en) | 2016-06-06 | 2019-10-15 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI333691B (en) * | 2006-05-23 | 2010-11-21 | Ememory Technology Inc | Nonvolatile memory with twin gate and method of operating the same |
JP2010092929A (ja) | 2008-10-03 | 2010-04-22 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP5448082B2 (ja) * | 2010-03-05 | 2014-03-19 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
US20120241710A1 (en) | 2011-03-21 | 2012-09-27 | Nanyang Technological University | Fabrication of RRAM Cell Using CMOS Compatible Processes |
US8698118B2 (en) * | 2012-02-29 | 2014-04-15 | Globalfoundries Singapore Pte Ltd | Compact RRAM device and methods of making same |
US9276041B2 (en) | 2012-03-19 | 2016-03-01 | Globalfoundries Singapore Pte Ltd | Three dimensional RRAM device, and methods of making same |
US8993407B2 (en) * | 2012-11-21 | 2015-03-31 | Globalfoundries Singapore Pte. Ltd. | Compact localized RRAM cell structure realized by spacer technology |
US9466496B2 (en) * | 2013-10-11 | 2016-10-11 | Cypress Semiconductor Corporation | Spacer formation with straight sidewall |
US9660106B2 (en) * | 2014-08-18 | 2017-05-23 | United Microelectronics Corp. | Flash memory and method of manufacturing the same |
US10163979B2 (en) | 2014-09-11 | 2018-12-25 | Globalfoundries Singapore Pte. Ltd. | Selector-resistive random access memory cell |
JP6573792B2 (ja) | 2015-07-10 | 2019-09-11 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
JP6629142B2 (ja) | 2016-06-03 | 2020-01-15 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002198523A (ja) * | 2000-12-26 | 2002-07-12 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置およびその製造方法 |
JP2004235255A (ja) * | 2003-01-28 | 2004-08-19 | Nec Electronics Corp | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
JP2006041354A (ja) * | 2004-07-29 | 2006-02-09 | Renesas Technology Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2006049576A (ja) * | 2004-08-04 | 2006-02-16 | Denso Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2006278854A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Seiko Epson Corp | 半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5064776A (en) * | 1990-10-03 | 1991-11-12 | Micron Technology, Inc. | Method of forming buried contact between polysilicon gate and diffusion area |
US5672525A (en) * | 1996-05-23 | 1997-09-30 | Chartered Semiconductor Manufacturing Pte Ltd. | Polysilicon gate reoxidation in a gas mixture of oxygen and nitrogen trifluoride gas by rapid thermal processing to improve hot carrier immunity |
US6541343B1 (en) * | 1999-12-30 | 2003-04-01 | Intel Corporation | Methods of making field effect transistor structure with partially isolated source/drain junctions |
US6287925B1 (en) * | 2000-02-24 | 2001-09-11 | Advanced Micro Devices, Inc. | Formation of highly conductive junctions by rapid thermal anneal and laser thermal process |
US6593198B2 (en) * | 2000-09-18 | 2003-07-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor device and method for fabricating the same |
US6376320B1 (en) * | 2000-11-15 | 2002-04-23 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method for forming field effect transistor with silicides of different thickness and of different materials for the source/drain and the gate |
US20020123180A1 (en) * | 2001-03-01 | 2002-09-05 | Peter Rabkin | Transistor and memory cell with ultra-short gate feature and method of fabricating the same |
US6864547B2 (en) * | 2001-06-15 | 2005-03-08 | Agere Systems Inc. | Semiconductor device having a ghost source/drain region and a method of manufacture therefor |
JP4647175B2 (ja) * | 2002-04-18 | 2011-03-09 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体集積回路装置 |
JP2004079893A (ja) | 2002-08-21 | 2004-03-11 | Denso Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2004266203A (ja) | 2003-03-04 | 2004-09-24 | Renesas Technology Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP4746835B2 (ja) * | 2003-10-20 | 2011-08-10 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP4521597B2 (ja) * | 2004-02-10 | 2010-08-11 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体記憶装置およびその製造方法 |
JP4546117B2 (ja) * | 2004-03-10 | 2010-09-15 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP4773073B2 (ja) * | 2004-08-11 | 2011-09-14 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP4546795B2 (ja) * | 2004-09-15 | 2010-09-15 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
JP4928825B2 (ja) * | 2006-05-10 | 2012-05-09 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
-
2006
- 2006-04-04 JP JP2006103463A patent/JP5086558B2/ja active Active
-
2007
- 2007-03-13 US US11/717,053 patent/US7745288B2/en active Active
- 2007-04-03 CN CN2007100922678A patent/CN101051641B/zh active Active
-
2010
- 2010-03-05 US US12/718,002 patent/US8530958B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002198523A (ja) * | 2000-12-26 | 2002-07-12 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置およびその製造方法 |
JP2004235255A (ja) * | 2003-01-28 | 2004-08-19 | Nec Electronics Corp | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
JP2006041354A (ja) * | 2004-07-29 | 2006-02-09 | Renesas Technology Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2006049576A (ja) * | 2004-08-04 | 2006-02-16 | Denso Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2006278854A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Seiko Epson Corp | 半導体装置の製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20170022899A (ko) | 2015-08-20 | 2017-03-02 | 르네사스 일렉트로닉스 가부시키가이샤 | 반도체 장치의 제조 방법 |
EP3144959A2 (en) | 2015-08-20 | 2017-03-22 | Renesas Electronics Corporation | Method of manufacturing semiconductor device |
US9876024B2 (en) | 2015-08-20 | 2018-01-23 | Renesas Electronics Corporation | Method of manufacturing semiconductor device |
US10141325B2 (en) | 2015-08-20 | 2018-11-27 | Renesas Electronics Corporation | Method of manufacturing semiconductor device |
US10446569B2 (en) | 2016-06-06 | 2019-10-15 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101051641B (zh) | 2012-05-23 |
JP5086558B2 (ja) | 2012-11-28 |
US8530958B2 (en) | 2013-09-10 |
US20070228446A1 (en) | 2007-10-04 |
US7745288B2 (en) | 2010-06-29 |
US20100237404A1 (en) | 2010-09-23 |
CN101051641A (zh) | 2007-10-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5086558B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP5191633B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP5538838B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
TWI408800B (zh) | 非揮發性記憶體單元及其製造方法 | |
JP4818061B2 (ja) | 不揮発性半導体メモリ | |
CN108231783B (zh) | 半导体装置与制造半导体存储器装置的方法 | |
TWI390713B (zh) | 非揮發性半導體記憶裝置及其製造方法 | |
JP2019197772A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP5039368B2 (ja) | 半導体記憶装置、その製造方法及びその駆動方法 | |
JP4080485B2 (ja) | ビット線構造およびその製造方法 | |
JP2006222203A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
US10777688B2 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
JP2008294088A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2008186975A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP6786440B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
US20080042191A1 (en) | Non-volatile memory device and method of fabricating the same | |
KR100683389B1 (ko) | 플래시 메모리의 셀 트랜지스터 및 그 제조 방법 | |
JP2005026696A (ja) | Eeprom素子およびその製造方法 | |
JP2005064178A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2007067043A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
KR100685880B1 (ko) | 플래쉬 이이피롬 셀 및 그 제조방법 | |
JP2012069652A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2011159712A (ja) | 不揮発性半導体記憶装置、および不揮発性半導体記憶装置の製造方法 | |
JP2011151072A (ja) | 不揮発性半導体記憶装置 | |
JP4480541B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090312 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090312 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20100528 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110413 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120508 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120709 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120814 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120907 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5086558 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150914 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |