JP2007221098A - ボンディング装置のボンディングヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】バックフレームに装着されるLMガイドと、LMガイドに移動可能に結合される第1移動ブロックと、第1移動ブロックを直線運動させる第1駆動ユニットと、第1移動ブロックに装着される第1リニアモータと、第1移動ブロックの移動方向に対して直角方向に移動可能に第1移動ブロックに結合される第2移動ブロックと、第1リニアモータの直線駆動力を前記第2移動ブロックに伝達する伝達ユニットと、チップをピックアップするツールが備えられて第2移動ブロックに回転可能に結合されるヘッドと、ヘッドを回転させる回転駆動ユニットとから構成される。
【選択図】図1
Description
200 LMガイド
300 第1移動ブロック
400 第1駆動ユニット
500 第1リニアモータ
600 第2移動ブロック
700 伝達ユニット
720、930 サブブラケット
730 支持台
740、950 弾性連結ユニット
750、960 円筒状カム
800 ヘッド
830 ツール
900 回転駆動ユニット
940 支持バー
Claims (9)
- バックフレームに装着されるLMガイドと、
前記LMガイドに移動可能に結合される第1移動ブロックと、
前記第1移動ブロックを直線運動させる第1駆動ユニットと、
前記第1移動ブロックに装着される第1リニアモータと、
前記第1移動ブロックの移動方向に対して直角方向に移動可能に該第1移動ブロックに結合される第2移動ブロックと、
前記第1リニアモータの直線駆動力を前記第2移動ブロックに伝達する伝達ユニットと、
チップをピックアップするツールが備えられて前記第2移動ブロックに回転可能に結合されるヘッドと、
前記ヘッドを回転させる回転駆動ユニットと、から構成されることを特徴とするボンディング装置のボンディングヘッド。 - 前記第1リニアモータは、第1リニアモータの可動子が前記第1移動ブロックの移動方向に対して直角方向に動くように前記第1移動ブロックに装着されることを特徴とする請求項1に記載のボンディング装置のボンディングヘッド。
- 前記伝達ユニットは、前記第1リニアモータ側と第2移動ブロック側が互いに弾性的に連結されるように弾性部材を含むことを特徴とする請求項1に記載のボンディング装置のボンディングヘッド。
- 前記伝達ユニットは、前記第1リニアモータの可動子に結合されるブラケットと、前記第2移動ブロックに結合される支持台と、前記ブラケットと前記支持台を連結して引張力を発生する弾性連結ユニットと、前記ブラケットに回転可能に結合されて前記支持台と接触支持される円筒状カムとから構成されることを特徴とする請求項1に記載のボンディング装置のボンディングヘッド。
- 前記弾性連結ユニットは、前記ブラケットに固定結合される第1連結ピンと、前記支持台に固定結合される第2連結ピンと、前記第1連結ピンと前記第2連結ピンを連結する引張スプリングとから構成されることを特徴とする請求項4に記載のボンディング装置のボンディングヘッド。
- 前記第1移動ブロックと前記第2移動ブロック間に前記第2移動ブロックの直線移動を案内するように備えられるガイドユニットをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のボンディング装置のボンディングヘッド。
- 前記回転駆動ユニットは、直線駆動力を回転力に変換することを特徴とする請求項1に記載のボンディング装置のボンディングヘッド。
- 前記回転駆動ユニットは、前記第2移動ブロックに装着される第2リニアモータと、前記第2リニアモータの可動子に結合されるブラケットと、前記ヘッドに備えられる支持バーと、前記ブラケットと前記支持バーを連結して引張力を発生する弾性連結ユニットと、前記支持バーと接触支持されるように前記ブラケットに回転可能に結合されて前記第2リニアモータの直線運動を支持バーに伝達してヘッドを回転させる円筒状カムとから構成されることを特徴とする請求項1に記載のボンディング装置のボンディングヘッド。
- 前記第2リニアモータは、前記第2リニアモータの可動子が前記第1移動ブロックの移動方向に対して直角方向に動くように前記第2移動ブロックに装着されることを特徴とする請求項8に記載のボンディング装置のボンディングヘッド。
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