JPH04243144A - ボンディング用ヘッド保持機構 - Google Patents
ボンディング用ヘッド保持機構Info
- Publication number
- JPH04243144A JPH04243144A JP410991A JP410991A JPH04243144A JP H04243144 A JPH04243144 A JP H04243144A JP 410991 A JP410991 A JP 410991A JP 410991 A JP410991 A JP 410991A JP H04243144 A JPH04243144 A JP H04243144A
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- Japan
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- head
- substrate
- holding mechanism
- chip component
- elastic body
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- Withdrawn
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 34
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 4
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 abstract 2
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000012508 resin bead Substances 0.000 description 2
- 229920006311 Urethane elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は導電性接着材を介しチッ
プ部品を基板にボンディングする装置に係り、特に背面
に当接しチップ部品を基板に押し付けるヘッドの保持機
構に関する。
プ部品を基板にボンディングする装置に係り、特に背面
に当接しチップ部品を基板に押し付けるヘッドの保持機
構に関する。
【0002】近年、電子機器の小型化、高密度実装化が
進展するに伴って、リード端子の無いディスクリート部
品(チップ部品と称する)を、基板表面に直接実装する
技術(surface mounting techn
ology) が広く取り入れられている。例えばチッ
プ部品と基板の間に熱硬化性樹脂等と金属粒子または金
属コートされた樹脂ビーズからなる導電性接着材を介在
せしめ、チップ部品を基板に押し付けながら加熱するこ
とによってチップ部品と基板が機械的に結合され、且つ
金属粒子を介してチップ部品の電極と基板上の導体パタ
ーンが電気的に接続される。
進展するに伴って、リード端子の無いディスクリート部
品(チップ部品と称する)を、基板表面に直接実装する
技術(surface mounting techn
ology) が広く取り入れられている。例えばチッ
プ部品と基板の間に熱硬化性樹脂等と金属粒子または金
属コートされた樹脂ビーズからなる導電性接着材を介在
せしめ、チップ部品を基板に押し付けながら加熱するこ
とによってチップ部品と基板が機械的に結合され、且つ
金属粒子を介してチップ部品の電極と基板上の導体パタ
ーンが電気的に接続される。
【0003】しかしチップ部品を押し付ける際に電極形
成面と基板の平行状態を維持しながら押さないと、強く
押し付けられた部分では金属粒子または金属コートされ
た樹脂ビーズが潰れて電流がリークする要因になり、押
し付ける力の弱い部分では電極と導体パターンの完全な
接続が行われない。そこで自動的にヘッドの傾きを補正
して電極形成面と基板の平行状態を維持し、チップ部品
を基板に押し付けることが可能なボンディング用ヘッド
の保持機構の開発が要望されている。
成面と基板の平行状態を維持しながら押さないと、強く
押し付けられた部分では金属粒子または金属コートされ
た樹脂ビーズが潰れて電流がリークする要因になり、押
し付ける力の弱い部分では電極と導体パターンの完全な
接続が行われない。そこで自動的にヘッドの傾きを補正
して電極形成面と基板の平行状態を維持し、チップ部品
を基板に押し付けることが可能なボンディング用ヘッド
の保持機構の開発が要望されている。
【0004】
【従来の技術】図3は従来のヘッド保持機構を示す側断
面図である。図において従来のボンディング用ヘッド保
持機構は保持機構本体1と抑え金具2からなり、保持機
構本体1は先端にヘッド3の取付軸31が嵌挿される取
付孔11が開口しており、ヘッド3の本体32は抑え金
具2と保持機構本体1の間に挟持されている。基板4を
載置するテーブル5に対して垂直になるよう保持機構本
体1が支持されており、保持機構本体1を降下させると
ヘッド3の本体32がチップ部品6の背面に当接し、基
板4との平行状態を維持しながらチップ部品6を基板4
に押し付けるよう構成されている。
面図である。図において従来のボンディング用ヘッド保
持機構は保持機構本体1と抑え金具2からなり、保持機
構本体1は先端にヘッド3の取付軸31が嵌挿される取
付孔11が開口しており、ヘッド3の本体32は抑え金
具2と保持機構本体1の間に挟持されている。基板4を
載置するテーブル5に対して垂直になるよう保持機構本
体1が支持されており、保持機構本体1を降下させると
ヘッド3の本体32がチップ部品6の背面に当接し、基
板4との平行状態を維持しながらチップ部品6を基板4
に押し付けるよう構成されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし装置の機械的な
精度で平行状態を維持する従来のボンディング用ヘッド
保持機構は、例えばチップ部品の上下面の平行度や基板
の直線性にばらつきがあると、チップ部品の電極形成面
と基板の平行状態が崩れるという問題があった。
精度で平行状態を維持する従来のボンディング用ヘッド
保持機構は、例えばチップ部品の上下面の平行度や基板
の直線性にばらつきがあると、チップ部品の電極形成面
と基板の平行状態が崩れるという問題があった。
【0006】本発明の目的は自動的にヘッドの傾きを補
正して電極形成面と基板の平行状態を維持し、チップ部
品を基板に押し付けることが可能なボンディング用ヘッ
ドを提供することにある。
正して電極形成面と基板の平行状態を維持し、チップ部
品を基板に押し付けることが可能なボンディング用ヘッ
ドを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】図1は本発明になるヘッ
ド保持機構を示す側断面図である。なお全図を通し同じ
対象物は同一記号で表している。
ド保持機構を示す側断面図である。なお全図を通し同じ
対象物は同一記号で表している。
【0008】上記課題は導電性接着材7を介してチップ
部品6を基板4にボンディングする装置において、背面
に当接しチップ部品6を基板4に押し付けるヘッド3を
保持する機構であって、先端にヘッド3の取付軸31が
嵌挿される円筒部81を有する保持機構本体8と、円筒
部81とヘッド3の取付軸31との隙間に装着する円筒
状の弾性体9と、ヘッド3の本体32および弾性体9を
円筒部81内に押し込む抑え金具2を有し、弾性体9を
介してヘッド3が保持される本発明のボンディング用ヘ
ッド保持機構によって達成される。
部品6を基板4にボンディングする装置において、背面
に当接しチップ部品6を基板4に押し付けるヘッド3を
保持する機構であって、先端にヘッド3の取付軸31が
嵌挿される円筒部81を有する保持機構本体8と、円筒
部81とヘッド3の取付軸31との隙間に装着する円筒
状の弾性体9と、ヘッド3の本体32および弾性体9を
円筒部81内に押し込む抑え金具2を有し、弾性体9を
介してヘッド3が保持される本発明のボンディング用ヘ
ッド保持機構によって達成される。
【0009】
【作用】図1において先端にヘッドの取付軸が嵌挿され
る円筒部を有する保持機構本体と、円筒部とヘッドの取
付軸との隙間に装着する円筒状の弾性体と、ヘッドの本
体および弾性体を円筒部内に押し込む抑え金具を有し、
弾性体を介してヘッドが保持される本発明のボンディン
グ用ヘッド保持機構は、例えばヘッド本体の当接面とチ
ップ部品の上面が平行でない場合においても、保持機構
本体を降下させる間にヘッドの傾きが補正されてヘッド
本体がチップ部品に密着する。即ち、自動的にヘッドの
傾きを補正し電極形成面と基板の平行状態を維持しなが
ら、チップ部品を基板に押し付けるボンディング用ヘッ
ドを実現することができる。
る円筒部を有する保持機構本体と、円筒部とヘッドの取
付軸との隙間に装着する円筒状の弾性体と、ヘッドの本
体および弾性体を円筒部内に押し込む抑え金具を有し、
弾性体を介してヘッドが保持される本発明のボンディン
グ用ヘッド保持機構は、例えばヘッド本体の当接面とチ
ップ部品の上面が平行でない場合においても、保持機構
本体を降下させる間にヘッドの傾きが補正されてヘッド
本体がチップ部品に密着する。即ち、自動的にヘッドの
傾きを補正し電極形成面と基板の平行状態を維持しなが
ら、チップ部品を基板に押し付けるボンディング用ヘッ
ドを実現することができる。
【0010】
【実施例】以下添付図により本発明の実施例について説
明する。なお図2は本発明になるヘッド保持機構の効果
を説明するための図である。
明する。なお図2は本発明になるヘッド保持機構の効果
を説明するための図である。
【0011】図1において本発明のヘッド保持機構は保
持機構本体8と弾性体9と抑え金具2からなり、保持機
構本体8は先端にヘッド3の取付軸31が嵌挿される円
筒部81を有し、円筒部81の最深部には取付軸31を
位置決めするための支持孔82が設けられている。なお
ヘッド3の取付軸31と円筒部81の間には弾性体9を
装着可能な隙間があり、ヘッド3の取付軸31と支持孔
82の間にはヘッド3が傾斜し得る隙間が設けられてい
る。
持機構本体8と弾性体9と抑え金具2からなり、保持機
構本体8は先端にヘッド3の取付軸31が嵌挿される円
筒部81を有し、円筒部81の最深部には取付軸31を
位置決めするための支持孔82が設けられている。なお
ヘッド3の取付軸31と円筒部81の間には弾性体9を
装着可能な隙間があり、ヘッド3の取付軸31と支持孔
82の間にはヘッド3が傾斜し得る隙間が設けられてい
る。
【0012】図2(a) に示す如く円筒部81の深さ
L1より若干長いL2なる長さを有する円筒状の弾性体
9は、適当な柔軟性(例えばゴム硬度70程度)を有す
るウレタンゴム等によって形成されており、抑え金具2
の取付部深さL4はヘッド3の本体32の厚さL5より
若干浅く作られている。したがって図1に示す如く抑え
金具2を保持機構本体8にネジ止めすることによって、
ヘッド3の本体32および弾性体9は円筒部81内に押
し込まれ弾性体9の長さはL3まで圧縮される。
L1より若干長いL2なる長さを有する円筒状の弾性体
9は、適当な柔軟性(例えばゴム硬度70程度)を有す
るウレタンゴム等によって形成されており、抑え金具2
の取付部深さL4はヘッド3の本体32の厚さL5より
若干浅く作られている。したがって図1に示す如く抑え
金具2を保持機構本体8にネジ止めすることによって、
ヘッド3の本体32および弾性体9は円筒部81内に押
し込まれ弾性体9の長さはL3まで圧縮される。
【0013】組立前の弾性体9の内径はヘッド3の取付
軸31に容易に嵌挿可能な寸法を有し、弾性体9の外径
は保持機構本体8の円筒部81に容易に嵌挿可能な寸法
に形成されている。しかし、かかる弾性体9の長さをL
2からL3まで圧縮することによって内径方向および外
径方向に広がり、ヘッド3は圧縮された弾性体9を介し
て保持機構本体8にしっかりと保持される。
軸31に容易に嵌挿可能な寸法を有し、弾性体9の外径
は保持機構本体8の円筒部81に容易に嵌挿可能な寸法
に形成されている。しかし、かかる弾性体9の長さをL
2からL3まで圧縮することによって内径方向および外
径方向に広がり、ヘッド3は圧縮された弾性体9を介し
て保持機構本体8にしっかりと保持される。
【0014】組立後のヘッド3は圧縮された弾性体9を
介して保持機構本体8に保持されるが、材料を適宜選択
された弾性体9はこの時点においても若干の柔軟性を残
しており、図2(b) に示す如くヘッド本体32の当
接面とチップ部品6の上面が平行でない場合、ヘッド3
は押され同図に示す如く円筒部81の最深部を支点とし
て回動して、保持機構本体8の軸芯に対してヘッド3の
軸芯が傾きヘッド本体32の当接面がチップ部品6に密
着する。
介して保持機構本体8に保持されるが、材料を適宜選択
された弾性体9はこの時点においても若干の柔軟性を残
しており、図2(b) に示す如くヘッド本体32の当
接面とチップ部品6の上面が平行でない場合、ヘッド3
は押され同図に示す如く円筒部81の最深部を支点とし
て回動して、保持機構本体8の軸芯に対してヘッド3の
軸芯が傾きヘッド本体32の当接面がチップ部品6に密
着する。
【0015】このように先端にヘッドの取付軸が嵌挿さ
れる円筒部を有する保持機構本体と、円筒部とヘッドの
取付軸との隙間に装着する円筒状の弾性体と、ヘッドの
本体および弾性体を円筒部内に押し込む抑え金具を有し
、弾性体を介してヘッドが保持される本発明のボンディ
ング用ヘッド保持機構は、例えばヘッド本体の当接面と
チップ部品の上面が平行でない場合においても、保持機
構本体を降下させる間にヘッドの傾きが補正されてヘッ
ド本体がチップ部品に密着する。即ち、自動的にヘッド
の傾きを補正し電極形成面と基板の平行状態を維持しな
がら、チップ部品を基板に押し付けるボンディング用ヘ
ッドを実現する ことができる。
れる円筒部を有する保持機構本体と、円筒部とヘッドの
取付軸との隙間に装着する円筒状の弾性体と、ヘッドの
本体および弾性体を円筒部内に押し込む抑え金具を有し
、弾性体を介してヘッドが保持される本発明のボンディ
ング用ヘッド保持機構は、例えばヘッド本体の当接面と
チップ部品の上面が平行でない場合においても、保持機
構本体を降下させる間にヘッドの傾きが補正されてヘッ
ド本体がチップ部品に密着する。即ち、自動的にヘッド
の傾きを補正し電極形成面と基板の平行状態を維持しな
がら、チップ部品を基板に押し付けるボンディング用ヘ
ッドを実現する ことができる。
【0016】
【発明の効果】上述の如く本発明によれば自動的にヘッ
ドの傾きを補正して電極形成面と基板の平行状態を維持
し、チップ部品を基板に押し付けることが可能なボンデ
ィング用ヘッドを提供することができる。
ドの傾きを補正して電極形成面と基板の平行状態を維持
し、チップ部品を基板に押し付けることが可能なボンデ
ィング用ヘッドを提供することができる。
【図1】 本発明になるヘッド保持機構を示す側断面
図である。
図である。
【図2】 本発明になるヘッド保持機構の効果を説明
するための図である。
するための図である。
【図3】 従来のヘッド保持機構を示す側断面図であ
る。
る。
Claims (1)
- 【請求項1】 導電性接着材(7) を介してチップ
部品(6) を基板(4) にボンディングする装置に
おいて、背面に当接し該チップ部品(6) を該基板(
4) に押し付けるヘッド(3) を保持する機構であ
って、先端に該ヘッド(3) の取付軸(31)が嵌挿
される円筒部(81)を有する保持機構本体(8) と
、該円筒部(81)と該ヘッド(3) の取付軸(31
)との隙間に装着する円筒状の弾性体(9) と、該ヘ
ッド(3) の本体(32)および該弾性体(9) を
該円筒部(81)内に押し込む抑え金具(2) を有し
、該弾性体(9) を介して該ヘッド(3) が保持さ
れることを特徴とするボンディング用ヘッド保持機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP410991A JPH04243144A (ja) | 1991-01-18 | 1991-01-18 | ボンディング用ヘッド保持機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP410991A JPH04243144A (ja) | 1991-01-18 | 1991-01-18 | ボンディング用ヘッド保持機構 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04243144A true JPH04243144A (ja) | 1992-08-31 |
Family
ID=11575627
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP410991A Withdrawn JPH04243144A (ja) | 1991-01-18 | 1991-01-18 | ボンディング用ヘッド保持機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04243144A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100435303C (zh) * | 2003-09-22 | 2008-11-19 | 优利讯国际贸易有限责任公司 | 用于对准芯片焊接机的焊接头的方法 |
CN100440470C (zh) * | 2006-02-16 | 2008-12-03 | 塔工程有限公司 | 芯片焊接机的焊接头 |
-
1991
- 1991-01-18 JP JP410991A patent/JPH04243144A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100435303C (zh) * | 2003-09-22 | 2008-11-19 | 优利讯国际贸易有限责任公司 | 用于对准芯片焊接机的焊接头的方法 |
CN100440470C (zh) * | 2006-02-16 | 2008-12-03 | 塔工程有限公司 | 芯片焊接机的焊接头 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |