JP2007173828A - エッチング耐性ウェーハ加工装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
フッ素エッチング耐性に優れ、裏側粒子発生が低減し、かつウェーハプロセスの汚染の少ない改良型ウェーハ加工装置の提供。
【解決手段】
ウェーハ加工装置の製造に当たり、ベース基板の表面上にフィルム電極を堆積し、この構造を次にB、Al、Si、Ga、高融点硬金属、遷移金属及びこれらの組合せからなる群から選択される元素の窒化物、炭化物、炭窒化物及び酸窒化物の少なくとも1種を含んでなる保護コーティングフィルム層で被覆する。フィルム電極の熱膨張係数は、下側のベース基板層の熱膨張係数及び保護コーティング層の熱膨張係数と略合致する。
【選択図】 図1
Description
一実施形態では、保護コーティングフィルム5は、B、Al、Si、Ga、高融点硬金属、遷移金属及びこれらの組合せからなる群から選択される元素の窒化物、炭化物、炭窒化物及び酸窒化物の少なくとも1種を含んでなるもので、25〜1000℃の温度範囲で2.0×10−6/K〜10×10−6/Kの範囲の熱膨張係数(CTE)を有する。
本発明の装置10のフィルム電極6は、1500℃超の融点並びに該フィルム電極を堆積させる隣接ベース層9(又は図1に示すような基板8)の熱膨張係数(CTE)及び保護コーティング層5のCTEと略合致するCTE、つまり25〜1000℃の温度範囲で2.0×10−6/K〜10×10−6/Kの範囲のCTEを有する金属を含んでなることを特徴とする。
本発明の第二の実施形態を図2に示すが、この実施形態では、ベースコア基板8は、グラファイト、高融点金属及び合金(例えばMo、Wなど)からなる群から選択される1種以上の導電性材料からなるコア材料を含んでなり、基板8は最初にベースコーティング層9で被覆してから、その上にフィルム電極6を形成する。グラファイト、高融点金属/合金からなるコア8はベースコーティング層9に機械的健全性を与え、作業に必要な支持を与える。ベースコーティング層9は電気絶縁性であり、導電層6とベース基板8の間に電気絶縁及び合致したCTEをもたらす。
図3に示すような本発明の第三の実施形態では、層9をベースコア基板8上に堆積する前に、中間結合層2をベース基板8上に導入する。中間結合層2は、電気絶縁性ベースコーティング層9とベース基板8との接着性を高めるのに有効である。一実施形態では、中間結合層2は、Al、Si、高融点金属(Ta、W、Moなど)、遷移金属(チタン、クロム、鉄など)及びこれらの混合物からなる群から選択される元素の窒化物、炭化物、炭窒化物、ホウ化物、酸化物及び酸窒化物の少なくとも1種を含んでなる。一実施形態では、結合層はTiC、TaC、SiC、MoC及びこれらの混合物の少なくとも1種を含んでなる。
図2及び図3に示すような本発明の実施形態では、ベース基板8は導電性であり、グラファイト、高融点金属(W、Moなど)、遷移金属、希土類金属及び合金及びこれらの混合物の少なくとも1種を含んでなる。ベースコーティング層9(場合によっては層9と追加の結合層2)がベース基板8と電極5の間に介在するので、ベース基板8の熱膨張係数が電極層5の熱膨張係数に略合致する必要はない。
本発明の一実施形態では、装置10はさらに電気接点12を含む。電極6に電気接点12を形成する方法は当技術分野で公知である。当技術分野で公知のロウ材を用いて電気接点12を電極6にロウ付けすればよい。一実施形態では、電気接点12は電極6と共通の金属を含む合金である。
保護コーティング層及び略合致する熱膨張係数の電極を有する本発明の装置は、半導体加工部品、例えば基板、加熱素子、ウェーハキャリヤ、静電チャック、サセプタなどに好適に用いられる。本装置は、室温乃至1000℃以上に短時間で加熱する加熱ステージを含む用途、並びに約200℃以上の温度でのフッ素プラズマクリーニングのような苛酷な環境での用途に特に適している。
直径4インチ、厚さ0.125インチの焼結AlNディスクをベース基板基準として用いて、図1に示す構造のヒータを製造した。基板上にMo−Mn(30%フリット)電極をフィルム厚さ50μmにスクリーン印刷した。この構造体を厚さ50〜100μmの化学気相堆積(CVD)AlN層で被覆した。AlNコーティングを形成するCVD法は約1000℃の温度の炉内で行い、1〜3slmの範囲のCl2の流れを約350〜500℃の高温Alバーに流し、さらに1〜10slmの流量のNH3、5〜8slmのN2及び0.8〜5slmのH2と混合した。
厚さ0.25インチのグラファイトコア及び厚さ100〜200μmの化学気相堆積(CVD)AlNコーティング層を有する直径4インチのディスクをベース基板として用いて、図2に示す構造のヒータを製造した。化学気相堆積AlN層とグラファイトコアの間に厚さ10μmのTaC結合層を使用した。これらの基板上にMo−Mn(30%フリット)電極をフィルム厚さ50μmにスクリーン印刷し、最後にフィルム厚さ50〜100μmのもう一つの化学気相堆積AlN層を被覆した。このプロトタイプ・ディスクヒータに電力を加えて、400℃〜600℃の範囲で15℃〜30℃の昇温速度で昇温を繰り返した。AlNを被覆するCVD法は実施例1と同じであった。
5 保護コーティングフィルム
6 フィルム電極
8 ベース基板
9 ベース層
10 ウェーハ加工装置
12 接点ホール
20 プラットホーム
30 シャフト
Claims (20)
- 様々な寸法の加工品を載置するためのプラットホームを備えるウェーハ加工装置であって、上記プラットホームが、
グラファイト、高融点金属、遷移金属、希土類金属及びこれらの合金の少なくとも1種を含んでなるベース基板と、
ベース基板上に堆積した電気絶縁層であって、Al、B、Si、Ga、高融点硬金属、遷移金属及びこれらの組合せからなる群から選択される元素の酸化物、窒化物及び酸窒化物の少なくとも1種を含んでなる電気絶縁層と、
電気絶縁層上に設けられたフィルム電極と、
フィルム電極上に設けられたコーティング層であって、B、Al、Si、Ga、高融点硬金属、遷移金属及びこれらの組合せからなる群から選択される元素の窒化物、炭化物、炭窒化物及び酸窒化物の少なくとも1種を含んでなるコーティング層と
を備えており、
上記フィルム電極が電気絶縁層及びコーティング層各々の熱膨張係数の0.75〜1.25倍の熱膨張係数を有しており、
上記電気絶縁層とコーティング層が同一又は異なる材料からなり、
上記フィルム電極が、スクリーン印刷、スピンコーティング、プラズマ溶射、溶射熱分解、反応性溶射、ゾル−ゲル、燃焼トーチ、電気アーク、イオンプレーティング、イオンインプランテーション、スパッタリング、レーザーアブレーション、蒸着、電気メッキ及びレーザー表面合金化の少なくと1つの方法で堆積したものであり、
上記コーティング層が膨張熱プラズマ(ETP)、化学気相堆積(CVD)、プラズマ励起化学気相堆積、有機金属化学気相堆積、有機金属気相エピタキシ、スパッタリング、電子ビーム及びプラズマ溶射の少なくとも1つの方法でフィルム電極上に堆積したものである、
ウェーハ加工装置。 - 前記電気絶縁層が、膨張熱プラズマ(ETP)、化学気相堆積(CVD)、プラズマ励起化学気相堆積、有機金属化学気相堆積、有機金属気相エピタキシ、スパッタリング、電子ビーム及びプラズマ溶射の少なくとも1つの方法でベース基板上に堆積したものである、請求項1記載のウェーハ加工装置。
- 前記プラットホームがさらに、Al、Si、高融点金属、遷移金属及びこれらの組合せからなる群から選択される元素の窒化物、炭化物、酸化物及び酸窒化物の少なくとも1種を含んでなる結合層を備えていて、
上記結合層がベース基板上に堆積されていてベース基板と電気絶縁層の間に配置され、
上記結合層が、膨張熱プラズマ(ETP)、化学気相堆積(CVD)、プラズマ励起化学気相堆積、有機金属化学気相堆積、有機金属気相エピタキシ、スパッタリング、電子ビーム及びプラズマ溶射の少なくとも1つの方法でベース基板上に堆積したものであり、
上記電気絶縁層が、膨張熱プラズマ(ETP)、化学気相堆積(CVD)、プラズマ励起化学気相堆積、有機金属化学気相堆積、有機金属気相エピタキシ、スパッタリング、電子ビーム及びプラズマ溶射の少なくとも1つの方法で結合層上に堆積したものである、
請求項1記載のウェーハ加工装置。 - 前記結合層が少なくとも、TiC、SiC、MoC、TaC、ZrC、NbC、TiC及びこれらの混合物からなる群から選択される高融点金属炭化物を含んでなる、請求項3記載のウェーハ加工装置。
- 前記結合層が炭素の拡散によって炭化され、該結合層が炭素と平衡状態にある炭素/高融点金属原子比を有することを特徴とする、請求項3又は請求項4記載のウェーハ加工装置。
- 前記ベース基板がグラファイトを含んでなり、前記結合層がTiC、SiC、MoC、TaC、ZrC、NbC及びこれらの混合物の少なくとも1種を含んでなり、結合層がグラファイトベース基板上にETP及びCVDの少なくとも1つの方法で堆積したものである、請求項3乃至請求項5のいずれか1項記載のウェーハ加工装置。
- 前記電気絶縁層がコーティング層と同じ材料からなる、請求項1乃至請求項6のいずれか1項記載のウェーハ加工装置。
- 前記電気絶縁層が25℃で>108Ω・cmの体積抵抗率を有する、請求項1乃至請求項7のいずれか1項記載のウェーハ加工装置。
- 前記電気絶縁層が25〜1000℃の範囲で2.0×10−6/K〜10×10−6/Kの熱膨張係数を有する、請求項1乃至請求項8のいずれか1項記載のウェーハ加工装置。
- 前記ベース基板がグラファイトを含んでなり、電気絶縁層及びコーティング層が窒化アルミニウムを含んでなる、請求項1乃至請求項9のいずれか1項記載のウェーハ加工装置。
- 前記フィルム電極が電気絶縁層及びコーティング層各々の熱膨張係数の0.80〜1.15倍の熱膨張係数を有する、請求項1乃至請求項10のいずれか1項記載のウェーハ加工装置。
- 様々な寸法の加工品を載置するためのプラットホームを備えるウェーハ加工装置であって、上記プラットホームが、
B、Si、Ga及びこれらの組合せの酸化物、窒化物及び酸窒化物の少なくとも1種を含んでなるベース基板と、
ベース基板上に堆積したフィルム電極と、
フィルム電極上に設けられたコーティング層であって、B、Al、Si、Ga、高融点硬金属、遷移金属及びこれらの組合せからなる群から選択される元素の窒化物、炭化物、炭窒化物及び酸窒化物の少なくとも1種を含んでなるコーティング層と
を備えており、
上記フィルム電極がベース基板及びコーティング層各々の熱膨張係数の0.75〜1.25倍の熱膨張係数を有しており、
上記ベース基板が電気絶縁性であり、
上記コーティング層が膨張熱プラズマ(ETP)、化学気相堆積(CVD)、プラズマ励起化学気相堆積、有機金属化学気相堆積、有機金属気相エピタキシ、スパッタリング、イオンプレーティング、電子ビーム及びプラズマ溶射の少なくとも1つの方法でフィルム電極上に堆積したものである、
ウェーハ加工装置。 - 前記ベース基板が45〜5重量%のAlNと55〜95重量%のBNからなる焼結セラミック材料を含んでなる、請求項12記載のウェーハ加工装置。
- 前記ベース基板が25〜1000℃の温度範囲で2.0×10−6/K〜10×10−6/Kの熱膨張係数を有する、請求項1乃至請求項13のいずれか1項記載のウェーハ加工装置。
- 前記フィルム電極がモリブデン、タングステン、ルテニウム及びこれらの合金の少なくとも1種を含んでなる、請求項1乃至請求項14のいずれか1項記載のウェーハ加工装置。
- 前記フィルム電極が25〜1000℃の温度範囲で2.0×10−6/K〜10×10−6/Kの熱膨張係数を有する、請求項1乃至請求項15のいずれか1項記載のウェーハ加工装置。
- コーティング層が25〜1000℃の温度範囲で2.0×10−6/K〜10×10−6/Kの熱膨張係数を有する、請求項1乃至請求項16のいずれか1項記載のウェーハ加工装置。
- ウェーハ加工装置の製造方法であって、
B、Si、Ga及びこれらの組合せの酸化物、窒化物、炭化物、炭窒化物及び酸窒化物の少なくとも1種を含んでなるベース基板であって、25℃で>1010Ω・cmの体積抵抗率を有するベース基板を用意し、
スクリーン印刷、スピンコーティング、プラズマ溶射、溶射熱分解、反応性溶射、ゾル−ゲル、燃焼トーチ、電気アーク、イオンインプランテーション、スパッタリング、レーザーアブレーション、蒸着、電気メッキ及びレーザー表面合金化の少なくとも1つの方法によって、ベース基板層の熱膨張係数の0.75〜1.25倍の熱膨張係数を有するフィルム電極をベース基板上に堆積し、
膨張熱プラズマ、プラズマ励起化学気相堆積、有機金属化学気相堆積、有機金属気相エピタキシ、スパッタリング、イオンプレーティング、電子ビーム及びプラズマ溶射の少なくとも1つの方法によって、フィルム電極の熱膨張係数の0.75〜1.25倍の熱膨張係数を有するコーティングフィルム層をフィルム電極上に積層する
工程を含んでなる方法。 - ウェーハ加工装置の製造方法であって、
グラファイト、高融点金属、遷移金属、希土類金属及びこれらの合金の少なくとも1種を含んでなるベース基板を用意し、
膨張熱プラズマ、プラズマ励起化学気相堆積、有機金属化学気相堆積、有機金属気相エピタキシ、スパッタリング、イオンプレーティング、電子ビーム及びプラズマ溶射の少なくとも1つの方法によって、Al、B、Si、Ga、高融点硬金属、遷移金属及びこれらの組合せからなる群から選択される元素の酸化物、窒化物及び酸窒化物の少なくとも1種を含んでなる電気絶縁層をベース基板上に堆積し、
スクリーン印刷、スピンコーティング、プラズマ溶射、溶射熱分解、反応性溶射、ゾル−ゲル、燃焼トーチ、電気アーク、イオンプレーティング、イオンインプランテーション、スパッタリング、レーザーアブレーション、蒸着、電気メッキ及びレーザー表面合金化の少なくとも1つの方法によって、ベース基板層の熱膨張係数の0.75〜1.25倍の熱膨張係数を有するフィルム電極をベース基板上に堆積し、
膨張熱プラズマ、プラズマ励起化学気相堆積、有機金属化学気相堆積、有機金属気相エピタキシ、スパッタリング、イオンプレーティング、電子ビーム及びプラズマ溶射の少なくとも1つの方法によって、フィルム電極の熱膨張係数の0.75〜1.25倍の熱膨張係数を有するコーティングフィルム層をフィルム電極上に積層する
工程を含んでなる方法。 - さらに、電気絶縁層の堆積に先立って、Al、Si、高融点金属、遷移金属及びこれらの組合せからなる群から選択される元素の窒化物、酸化物及び酸窒化物の少なくとも1種を含んでなる結合層をベース基板上に堆積する工程を含んでいて、
上記結合層上への電気絶縁層の堆積を、膨張熱プラズマ、プラズマ励起化学気相堆積、有機金属化学気相堆積、有機金属気相エピタキシ、スパッタリング、イオンプレーティング、電子ビーム及びプラズマ溶射の少なくとも1つの方法によって行う、
請求項19記載の方法。
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