JP4690367B2 - 還元性雰囲気炉用炭素複合材料 - Google Patents
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本発明の複合材料は、微粒子状の緻密で均質な積層結晶組織を有するTaC被膜を黒鉛基材の表面に被覆した構成であるため、高温の還元性雰囲気下で黒鉛基材中の不純物(Fe、Al等)が拡散してTaC被膜の下層に到達しても、TaC被膜内からの抜け出しは非常に困難となる。また、高温でTaC被膜にピンホール及びクラックが生じるまでの時間を非常に長く延ばすことができる。従って、ピンホールが生じるまではTaCの本来有する好ましい特長である高耐熱性及び化学的安定性が有効に発揮され、複合材料からなる製品の寿命を従来品よりも大きく延ばすことができる。
図4に示す円筒型スリット型(φ100mm×t5mm)の形状寸法からなる黒鉛製ヒーターであって、黒鉛の特性として嵩密度が1.82(g/cm3)、熱膨張係数が7.1(10−6/K)のものに対してAIP処理を行い、黒鉛製ヒーターの表面にTaC被膜を形成した。TaC被膜の組成比(Ta/C)の変更はCH4ガスの流量及びアーク電流を調整することにより行い、TaC被膜の膜厚の変更は蒸着時間を調整することにより行った。AIP条件は、次の通りである。
(1)ターゲット材:金属Ta
(2)反応ガス :CH4
(3)熱処理温度 :400〜600℃
(4)ベース圧力 :1×10−5Torr
(5)蒸着圧力 :20mTorr
(6)蒸着電流 :200A
(7)蒸着電圧 :43V
(8)バイアス電圧:−20V
(9)蒸着時間 :25分(5μm)〜500分(100μm)
得られたTaC被膜の嵩密度は14.30g/cm3以上であった。
実施例1〜4と同一の形状寸法及び特性からなる黒鉛製ヒーターに対してCVD処理を行い、ヒーターの表面にSiC被膜を30μmの厚みで形成した。得られた従来型製品としてのアンモニア雰囲気炉用ヒーターを使用して、実施例1と同様にして同一条件下にある半導体薄膜の成膜炉での成膜実験を繰り返し行い、断線した時点をもってヒーターの寿命とした。結果は、表1に併せて示す。表1からも明らかなように、従来型ヒーターの場合は50回の繰り返し使用で(延べ時間にして150時間の使用で)断線したのに対し、本発明に係るヒーターの場合は、500回繰り返し使用しても(延べ時間にして1500時間使用しても)、断線は起こらなかった。
次に、(Ta/C)=1(一定)の条件下で実施例1〜4と同様にAIP処理してTaC被膜の膜厚が表2のように異にして得られた製品としてのアンモニア雰囲気炉用ヒーター(4種類)をそれぞれ使用して、実施例1〜4と同様に1200℃のアンモニア雰囲気下にある半導体薄膜の成膜炉での成膜実験を順次、繰り返して行った。断線した時点をもってヒーターの寿命とした。その結果を、表2に併せて示す。
実施例1〜8と同一の形状寸法及び特性からなる黒鉛製ヒーターに対してCVD処理を行い、ヒーターの表面にSiC被膜を100μmの厚みで形成した。得られた従来型製品としてのアンモニア雰囲気炉用ヒーターを使用して、実施例1〜8と同様にして同一条件下にある半導体薄膜成膜炉での成膜実験を繰り返し行い、断線した時点をもってヒーターの寿命とした。結果は、表2に併せて示す。表2からも明らかなように、従来型ヒーターの場合は50回の繰り返し使用で(延べ時間にして150時間の使用で)断線したのに対し、本発明に係るヒーターの場合は、500回繰り返し使用しても(延べ時間にして1500時間使用しても)、断線は起こらなかった。
2 黒鉛基材
3 TaC被膜
4 洗浄部
5 チャンバ
6 回転テーブル
7 供給口
8 バイアス電源
9 排気口
10 ターゲット材(金属Ta)
11 アーク電源
12 陽極
Claims (5)
- タンタル微粒子を、炭素を含む反応性ガス粒子と共に、黒鉛基材の表面に付着させることによって、前記表面に炭化タンタル微粒子を積層してなる結晶組織の炭化タンタルの被膜を有していることを特徴とする還元性雰囲気炉用炭素複合材料。
- 前記被膜の嵩密度が14.30g/cm 3 以上であることを特徴とする請求項1に記載の還元性雰囲気炉用炭素複合材料。
- 前記炭化タンタルの被膜の膜厚が5〜100μmである請求項1又は2に記載の還元性雰囲気炉用炭素複合材料。
- 前記還元性雰囲気炉がアンモニア雰囲気炉である請求項1〜3にいずれか1項に記載の還元性雰囲気炉用炭素複合材料。
- 上記炭素複合材料が成膜炉用ヒーターである請求項1〜4にいずれか1項に記載の還元性雰囲気炉用炭素複合材料。
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