JP4641535B2 - 還元性雰囲気炉用炭素複合材料及びその製造方法 - Google Patents
還元性雰囲気炉用炭素複合材料及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4641535B2 JP4641535B2 JP2007195643A JP2007195643A JP4641535B2 JP 4641535 B2 JP4641535 B2 JP 4641535B2 JP 2007195643 A JP2007195643 A JP 2007195643A JP 2007195643 A JP2007195643 A JP 2007195643A JP 4641535 B2 JP4641535 B2 JP 4641535B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- composite material
- carbon composite
- reducing atmosphere
- atmosphere furnace
- graphite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
(1)本発明の複合材料は、微粒子状の緻密で均質な積層結晶組織を有するTaC被膜を黒鉛基材の表面に被覆した構成であるため、高温の還元性雰囲気下で黒鉛基材中の不純物(Fe、Al等)が拡散してTaC被膜に到達しても、TaC被膜内からの抜け出しは非常に困難となり、ピンホールが生じるまでの時間を非常に長く延ばすことができる。
(3)本発明の複合材料を半導体薄膜の成膜炉用ヒーターに適用した場合には、このヒーターの著しい延命化により、半導体薄膜の成膜に要するコストの低減化を図ることができる。
(4)TaC被膜の形成には、コンパクトな汎用装置でもあるAIP装置を利用できるので、経済的である。
(1)熱膨張係数が、TaC被膜の熱膨張係数±2.0×10−6/Kである。黒鉛基材とTaC被膜との熱膨張係数差によりTaC被膜に発生する熱応力を減少させるためである。
図4に示す円筒型スリット型(φ100mm×t5mm)の形状寸法からなる黒鉛製ヒーターであって、表1に示す特性値を有する高純度等方性黒鉛の実施例1(基材No.1〜4)及び参考例1(基材No.1、2)に対してAIP処理を行い、黒鉛製ヒーターの表面にTaC被膜を形成した。TaC被膜の組成比(Ta/C)=1とし、膜厚の変更は蒸着時間を調整することにより行った。AIP条件は、次の通りである。
(1)ターゲット材:金属Ta
(2)反応ガス :CH4
(3)熱処理温度 :400〜600℃
(4)ベース圧力 :1×10−5Torr
(5)蒸着圧力 :20mTorr
(6)蒸着電流 :200A
(7)蒸着電圧 :43V
(8)バイアス電圧:−20V
(9)蒸着時間 :25分(5μm)〜500分(100μm)
得られたTaC被膜の嵩密度は14.30g/cm3 以上であった。
実施例1(基材No.1〜4)及び参考例1(基材No.1、2)と同一の形状寸法及び特性からなるそれぞれの黒鉛製ヒーターに対してCVD処理を行い、ヒーターの表面にSiC被膜を20μmの厚みで形成した。得られた従来型製品としてのアンモニア雰囲気炉用ヒーターを使用して、実施例1と同様にして同一条件下にある半導体薄膜の成膜炉でのGaN成膜実験を繰り返し行い、断線した時点をもってヒーターの寿命とした。結果は、表1に併せて示す。表1からも明らかなように、従来型ヒーターの場合はすべて50回の繰り返し使用で(延べ時間にして150時間の使用で)断線したのに対し、本発明に係るヒーターの場合は、500回繰り返し使用しても(延べ時間にして1500時間使用しても)、断線は起こらなかった。
実施例1(基材No.1)と同一の形状寸法及び特性からなる黒鉛製ヒーターに対してCVD処理を行い、ヒーターの表面にSiC被膜を100μmの厚みで形成した。得られた従来型製品としてのアンモニア雰囲気炉用ヒーターを使用して、実施例1(基材No.1)と同様にして同一条件下にある半導体薄膜成膜炉でのGaN成膜実験を繰り返し行い、断線した時点をもってヒーターの寿命とした。結果は、表2に併せて示す。表2からも明らかなように、従来型ヒーターの場合は50回の繰り返し使用で(延べ時間にして150時間の使用で)断線したのに対し、本発明に係るヒーターの場合は、すべて500回繰り返し使用しても(延べ時間にして1500時間使用しても)、断線は起こらなかった。
2 黒鉛基材
3 TaC被膜
4 洗浄部
5 チャンバ
6 回転テーブル
7 供給口
8 バイアス電源
9 排気口
10 ターゲット材(金属Ta)
11 アーク電源
12 陽極
Claims (9)
- タンタル微粒子を、炭素を含む反応性ガス粒子と共に、黒鉛基材の表面に付着させることによって、前記表面に炭化タンタル微粒子を緻密に積層してなる結晶組織の炭化タンタルの被膜が形成され、かつ該黒鉛基材の特性値として熱膨張係数が、前記炭化タンタル被膜の熱膨張係数±2.0×10−6/Kの範囲内であることを特徴とする還元性雰囲気炉用炭素複合材料。
- 前記黒鉛基材の曲げ強さが69.6MPa以上であることを特徴とする請求項1に記載の還元性雰囲気炉用炭素複合材料。
- 前記黒鉛基材の嵩密度が1.82Mg/m 3 以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載の還元性雰囲気炉用炭素複合材料。
- 前記黒鉛基材の固有抵抗が14.4μΩm以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の還元性雰囲気炉用炭素複合材料。
- 前記被膜の嵩密度が14.30g/cm 3 以上であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の還元性雰囲気炉用炭素複合材料。
- 前記被膜の膜厚が5〜100μmであることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の還元性雰囲気炉用炭素複合材料。
- 前記還元性雰囲気炉がアンモニア雰囲気炉であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の還元性雰囲気炉用炭素複合材料。
- 前記炭素複合材料が成膜炉用ヒーターであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の還元性雰囲気炉用炭素複合材料。
- ターゲット材としての金属タンタル及び炭素を含む反応ガスを使用して、400〜600℃の雰囲気下でアークイオンプレーティング(AIP)式反応性蒸着法により前記金属タンタルの微粒子を前記反応ガスの粒子と共に黒鉛基材の表面に付着させて、前記表面に炭化タンタル微粒子を緻密に積層してなる炭化タンタルの被膜を形成する工程を有しており、前記黒鉛基材の特性値としての熱膨張係数が、前記炭化タンタル被膜の熱膨張係数±1.5×10−6/Kの範囲内であることを特徴とする還元性雰囲気炉用炭素複合材料の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007195643A JP4641535B2 (ja) | 2007-07-27 | 2007-07-27 | 還元性雰囲気炉用炭素複合材料及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007195643A JP4641535B2 (ja) | 2007-07-27 | 2007-07-27 | 還元性雰囲気炉用炭素複合材料及びその製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP06738597A Division JP4498477B2 (ja) | 1997-03-04 | 1997-03-04 | 還元性雰囲気炉用炭素複合材料及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007308369A JP2007308369A (ja) | 2007-11-29 |
JP4641535B2 true JP4641535B2 (ja) | 2011-03-02 |
Family
ID=38841575
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007195643A Expired - Fee Related JP4641535B2 (ja) | 2007-07-27 | 2007-07-27 | 還元性雰囲気炉用炭素複合材料及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4641535B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5267709B2 (ja) | 2011-09-14 | 2013-08-21 | 株式会社豊田中央研究所 | 高耐熱部材、その製造方法、黒鉛ルツボおよび単結晶インゴットの製造方法 |
RU2499850C1 (ru) * | 2012-06-04 | 2013-11-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Чувашский государственный университет имени И.Н. Ульянова" | Способ получения металлсодержащего углеродного наноматериала |
KR101907900B1 (ko) * | 2017-04-28 | 2018-10-16 | 주식회사 티씨케이 | TaC를 포함하는 코팅층을 갖는 탄소 재료 및 그 제조방법 |
KR102136197B1 (ko) * | 2018-12-17 | 2020-07-22 | 주식회사 티씨케이 | 탄화탄탈 코팅 재료 |
CN113735627B (zh) * | 2021-09-06 | 2022-11-01 | 杭州幄肯新材料科技有限公司 | 一种表面涂覆碳化钽涂层的石墨热场材料及其制备方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5617914A (en) * | 1979-07-24 | 1981-02-20 | Inoue Japax Res Inc | Surface treated graphite material |
JPH01249679A (ja) * | 1988-03-29 | 1989-10-04 | Toyo Tanso Kk | 黒鉛一炭化珪素複合体並びにその製造法 |
JPH03243776A (ja) * | 1990-02-22 | 1991-10-30 | Toyo Tanso Kk | セラミックス被覆用黒鉛基材及びcvd炉用内部部品 |
JPH04325681A (ja) * | 1991-04-26 | 1992-11-16 | Ngk Insulators Ltd | セラミックス焼結体の製造方法および製造装置 |
JPH06300130A (ja) * | 1993-04-08 | 1994-10-28 | Teikoku Piston Ring Co Ltd | 硬質被覆材およびそれを被覆した摺動部材ならびにその製造方法 |
JP2007327143A (ja) * | 2007-07-27 | 2007-12-20 | Toyo Tanso Kk | 還元性雰囲気炉用炭素複合材料の製造方法 |
JP2007332024A (ja) * | 2007-07-27 | 2007-12-27 | Toyo Tanso Kk | 還元性雰囲気炉用炭素複合材料 |
JP4498476B2 (ja) * | 1997-02-25 | 2010-07-07 | 東洋炭素株式会社 | 還元性雰囲気炉用炭素複合材料及びその製造方法 |
-
2007
- 2007-07-27 JP JP2007195643A patent/JP4641535B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5617914A (en) * | 1979-07-24 | 1981-02-20 | Inoue Japax Res Inc | Surface treated graphite material |
JPH01249679A (ja) * | 1988-03-29 | 1989-10-04 | Toyo Tanso Kk | 黒鉛一炭化珪素複合体並びにその製造法 |
JPH03243776A (ja) * | 1990-02-22 | 1991-10-30 | Toyo Tanso Kk | セラミックス被覆用黒鉛基材及びcvd炉用内部部品 |
JPH04325681A (ja) * | 1991-04-26 | 1992-11-16 | Ngk Insulators Ltd | セラミックス焼結体の製造方法および製造装置 |
JPH06300130A (ja) * | 1993-04-08 | 1994-10-28 | Teikoku Piston Ring Co Ltd | 硬質被覆材およびそれを被覆した摺動部材ならびにその製造方法 |
JP4498476B2 (ja) * | 1997-02-25 | 2010-07-07 | 東洋炭素株式会社 | 還元性雰囲気炉用炭素複合材料及びその製造方法 |
JP2007327143A (ja) * | 2007-07-27 | 2007-12-20 | Toyo Tanso Kk | 還元性雰囲気炉用炭素複合材料の製造方法 |
JP2007332024A (ja) * | 2007-07-27 | 2007-12-27 | Toyo Tanso Kk | 還元性雰囲気炉用炭素複合材料 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007308369A (ja) | 2007-11-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5250321B2 (ja) | 炭化珪素単結晶成長用種結晶の製造方法並びに炭化珪素単結晶の製造方法 | |
JP5762735B2 (ja) | 炭化タンタル被覆炭素材料 | |
JP5275567B2 (ja) | 炭化タンタル被覆炭素材料およびその製造方法 | |
JP4641536B2 (ja) | 還元性雰囲気炉用炭素複合材料及びその製造方法 | |
JP4641535B2 (ja) | 還元性雰囲気炉用炭素複合材料及びその製造方法 | |
JP4498477B2 (ja) | 還元性雰囲気炉用炭素複合材料及びその製造方法 | |
JP2007173828A (ja) | エッチング耐性ウェーハ加工装置及びその製造方法 | |
JP4498476B2 (ja) | 還元性雰囲気炉用炭素複合材料及びその製造方法 | |
JP4641533B2 (ja) | 還元性雰囲気炉用炭素複合材料及びその製造方法 | |
JP4690367B2 (ja) | 還元性雰囲気炉用炭素複合材料 | |
JP3680281B2 (ja) | タンタルの炭化物、タンタルの炭化物の製造方法、タンタルの炭化物配線、タンタルの炭化物電極 | |
JP4641534B2 (ja) | 還元性雰囲気炉用炭素複合材料の製造方法 | |
KR100361067B1 (ko) | 염소계 가스에 대한 내식성 부재 | |
JP6210445B2 (ja) | カーボンナノチューブの製造方法 | |
JP2006045059A (ja) | 窒化アルミニウム質焼結体、耐蝕性部材、金属埋設品および半導体保持装置 | |
JP4028274B2 (ja) | 耐食性材料 | |
JP4056774B2 (ja) | 発熱体及びその製造方法 | |
FR2585730A1 (fr) | Procede de depot de metaux en couche mince sur un substrat non metallique, avec depot intermediaire d'hydrures par pulverisation cathodique reactive | |
JP4386663B2 (ja) | 炭素複合材料 | |
JP2012052235A (ja) | タンタルチューブとpit炭素芯の製造方法、タンタルチューブとpit炭素芯、タンタル炭化物配線の製造方法及びタンタル炭化物配線 | |
JP6797068B2 (ja) | 原子層堆積法による炭化チタン含有薄膜の製造方法 | |
JP2011093772A (ja) | 耐プラズマ特性を備えたグラファイト部材 | |
JP5269819B2 (ja) | 金属埋設品 | |
KR20240006608A (ko) | 웨이퍼 지지체 | |
KR20140051700A (ko) | 산화몰리브덴 분말을 이용한 이규화몰리브덴 코팅층의 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080128 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100727 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100916 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101124 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101129 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131210 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |