JP2007113115A - 消耗材料からなるスラブ - Google Patents
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Abstract
【課題】耐用寿命の終点検出器を少なくとも1つ備えた、消耗材料からなるスラブを提供する。
【解決手段】物理的気相成長法が用いられるPVDターゲット構造体に関するものである。PVDターゲット構造体は、原料からなる消耗スラブと、原料からなる消耗スラブが、ターゲット構造体の耐用寿命の終点に相当する所定量に接近しているか、または、この所定量にまで減量しているときを指示する一乃至複数の検出器と、を含む。
【選択図】図2B
Description
110 PVDターゲット(消耗スラブ)
120 フィラメント検出器
120’ 電極検出器
122 管
124 フィラメント
124a’ 電極
124b’ 電極
220 不活性ガス検出器
224 不活性ガス
330 監視装置
440 検出器層
520 多管状検出器
520’ 多管状検出器
610 PVDターゲット
610.1 原料部材
610.2 接合部材
610.3 薄膜
620 管状検出器
620’ 管状検出器
810 消耗PVDターゲット
820 不活性ガス検出器または検出器層
850 ベース板
940 バルク材料
941 孔
942 別個の管
950 成型/押し出しダイスの装置
951 外側部材
951a 外側部材の内面
952 内側部材
952a 内側部材の外面
980 シート
980’ シート
981 管
981’ 管
982 対向する各端部
982’ 対向する各端部
Claims (10)
- 少なくとも1つの検出器を備えた、消耗材料からなるスラブであって、
前記少なくとも1つの検出器は、当該消耗材料からなるスラブが当該消耗材料の所定量に接近しているか、もしくは、当該所定量にまで減量していることを信号で伝達することを特徴とする消耗材料からなるスラブ。 - 前記少なくとも1つの検出器は、
前記消耗材料からなるスラブ内に少なくとも部分的に埋め込まれた筐体と、
前記筐体の中に設けられた、フィラメント素子または電極素子と、
を備えていることを特徴とする請求項1記載の消耗材料からなるスラブ。 - 前記筐体は当該筐体内部を真空にするように排気され、前記フィラメント素子または電極素子は、信号監視装置へ接続可能となるように当該筐体内から延びていることを特徴とする請求項2記載の消耗材料からなるスラブ。
- 前記筐体は前記消耗材料から構成され、かつ、前記フィラメント素子または電極素子は、前記消耗材料もしくは、ある不活性材料から構成されることを特徴とする請求項2記載の消耗材料からなるスラブ。
- 前記少なくとも1つの検出器は、
前記消耗材料からなるスラブ内に少なくとも部分的に埋め込まれた筐体と、
前記筐体の中に配置された、気体、液体、または固体と、
を備えることを特徴とする請求項1記載の消耗材料からなるスラブ - 前記気体、前記液体、または前記固体の検出により、前記スラブに係る消耗材料の残存量が前記所定量に接近しているか、または前記所定量に達しているかが指示されることを特徴とする請求項5記載の消耗材料からなるスラブ。
- 前記少なくとも1つの検出器は、前記消耗材料とは異なった組成を有する第2材料からなる層を備え、かつ、前記第2材料からなる層は、前記消耗材料からなるスラブ近くに設けられ、前記第2材料からなる層は、蒸発したときに検出可能であることを特徴とする請求項1記載の消耗材料からなるスラブ。
- 前記第2材料からなる前記層は、前記消耗材料からなるスラブと、前記消耗材料からなる追加の層と、の間に設けられることを特徴とする請求項7記載の消耗材料からなるスラブ。
- 前記消耗材料からなるスラブは、物理的気相成長プロセスに用いられるターゲットから構成され、かつ、前記気体、前記液体、または前記固体は、前記物理的気相成長プロセスに影響を与えない組成となっていることを特徴とする請求項5記載の消耗材料からなるスラブ。
- 前記消耗材料からなるスラブは、物理的気相成長プロセスに用いられるターゲットから構成され、かつ、前記第2材料からなる前記層の組成は物理的気相成長プロセスに影響を与えないことを特徴とする請求項7記載の消耗材料からなるスラブ。
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