JP2007049115A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一方の面10aの厚み方向の少なくとも一部の領域が除去された除去領域11を有する半導体基板10と、除去領域11に充填された絶縁材料からなる絶縁部12と、該絶縁部12上に複数回周回されて形成された配線21とを備えることを特徴とする。
【選択図】図2
Description
このように、電子機器の小型化が進む中で、半導体装置に高性能なコンデンサ及びインダクタを集積化することが求められている。半導体基板上に形成されるインダクタの多くはスパイラル形状をなしている。また、このインダクタの特性を現すパラメータとしては、Q値(インダクタンスと抵抗値との比)がある。
また、特許文献2に記載の半導体装置は、半導体基板上に形成されたポリイミド樹脂からなる複数の柱上に、スパイラル状のインダクタの金属配線を形成する。このように、半導体基板とスパイラルインダクタとの間に中空部分を有するので、誘電率が低くなるため、インダクタの特性が向上する。
本発明の半導体装置は、一方の面の厚み方向の少なくとも一部の領域が除去された除去領域を有する半導体基板と、前記除去領域に充填された絶縁材料からなる絶縁部と、該絶縁部上に複数回周回されて形成された配線とを備えることを特徴とする。
また、従来のように、半導体基板上に絶縁膜を形成した半導体装置では、半導体装置を外部機器等に実装した際、絶縁膜に応力が加わり、その結果、絶縁膜が剥がれてしまう。
しかしながら、本発明では、半導体基板と半導体基板に形成された除去領域に充填された絶縁材料とが密着するので、半導体基板と絶縁部との間でアンカー効果が得られるため、接合強度を向上させることができ、信頼性に優れた半導体装置を得ることができる。
本発明に係る半導体装置では、スパイラル状の配線に電流が供給されると、半導体基板の厚み方向に磁界が生じる。しかしながら、半導体基板には、一方の面の厚み方向の少なくとも一部の領域が除去された除去領域が形成され、この除去領域に絶縁材料が充填されているため、絶縁部上に設けられた配線と半導体基板との距離を遠ざけることができる。
したがって、配線と半導体基板に形成されている回路等との電磁気的カップリングを抑えることが可能となる。
本発明に係る半導体装置では、トロイダル状の配線に電流が供給されると、トロイダル状の配線に囲まれた半導体基板の厚み方向に磁界が生じる。しかしながら、半導体基板には、一方の面の厚み方向の少なくとも一部の領域が除去された除去領域が形成され、この除去領域に絶縁材料が充填されているため、絶縁部上に設けられた配線と半導体基板との距離を遠ざけることができる。したがって、配線と半導体基板に形成されている回路等との電磁気的カップリングを抑えることが可能となる。また、配線としてトロイダルインダクタを用いることにより、少ない占有面積でインダクタンス値(L値)を向上させることができる。
本発明に係る半導体装置では、半導体装置を外部機器等に実装した際、配線及び半導体基板に加わる衝撃を応力緩和層により吸収させることが可能となる。このため、配線下の半導体基板に能動素子を配置した場合においても、配線に加わる衝撃が能動素子に直接伝わることを防止することができ、能動素子に加わる衝撃を緩和することが可能となる。この結果、能動素子に及ぶ負荷を抑制することを可能にしつつ、配線下に能動素子を配置することが可能となり、半導体装置を小型化することが可能となる。
本発明に係る半導体装置では、配線と半導体基板とが近接していると、半導体基板に形成されている回路等に影響を及ぼしてしまうことが分かった。そこで、発明者らは配線と半導体基板との距離における電磁気的カップリングを測定した結果、配線と半導体基板との距離が5μm以内で、電磁気的カップリングが発生することが分かった。これにより、配線と半導体基板との距離を5μm以上、すなわち、除去領域の深さを5μm以上とすることで、配線が半導体基板に及ぼす影響を極力抑えることができる。
本発明に係る半導体装置では、比誘電率が高い絶縁材料を用いると、配線に誘電損失が生じてしまうことが分かった。そこで、発明者らは絶縁材料の比誘電率における誘電損失を測定した結果、絶縁材料の比誘電率が10以上で、配線の誘電損失が高くなることが分かった。これにより、絶縁材料の比誘電率が10以下とすることで、配線の誘電損失が低くなり、Q値を向上させることが可能となる。
本発明に係る半導体装置では、除去領域が配線に囲まれた領域に対応する半導体基板の厚み方向の領域に形成され、この除去領域に絶縁材料が充填されているため、半導体装置全体の強度を保つとともに、さらに半導体装置と絶縁部との密着性を向上させることが可能となる。
このような構成とすることで、1チップ内に前記配線を用いたアンテナやインダクタを形成することができる。そして、半導体基板の能動面と反対側を加工して前記除去領域を設け、かかる除去領域に前記配線を形成しているので、ICの実装面積を変えることなく高性能なインダクタ等をIC上に内蔵することができる。
次に、本発明の半導体装置1の第1実施形態について、図1及び図2を参照して説明する。
本実施形態に係る半導体装置1は、図1に示すように、シリコン基板(半導体基板)10と、このシリコン基板10上に設けられた配線部20と、シリコン基板10の周辺部に形成された電極30を備えている。
シリコン基板10の一方の面10aの厚み方向には、図2に示すように、一部の領域が除去された除去領域11が形成されている。また、この除去領域11には、絶縁材料が充填されており、絶縁部12となっている。
配線部20は、絶縁部12上に形成された四角形のスパイラル状のインダクタ(配線)21と、このインダクタ21上に設けられた絶縁層(応力緩和層)22とを備えている。
なお、フォトレジストをマスクとしたが、これに限ることはなく、例えば、ハードマスクとしてSiO2膜を用いても良く、フォトレジストマスク及びハードマスクを併用しても良い。また、エッチング方法としてはドライエッチングに限らず、ウエットエッチング、レーザ加工、あるいはこれらを併用しても良い。
また、この除去領域11に、絶縁材料を充填する方法としては、液滴吐出法(インクジェット法)、スピンコート法等を用いることができる。
インダクタ21には、図1に示すように、一端21bが電極30に電気的に接続されており、周辺部から中央に向かうスパイラル状のパターンとなっており、他端21cがスパイラル状のパターンの中央Oに位置している。また、絶縁層22には、図2に示すように、インダクタ21の他端21cに対応した位置に貫通孔22aが設けられている。この貫通孔22aにより、インダクタ21の他端21cが露出されている。そして、インダクタ21には、一端23aが貫通孔22a内のインダクタ21の他端21cと電気的に接続された引き出し線23が形成されている。この引き出し配線23の他端23bには、外部機器等と接続可能な外部電極24が設けられ、この外部電極24上には、例えば鉛フリーハンダからなるバンプ25が形成されている。そして、半導体装置1はこのバンプ25を介してプリント配線板(図示略)に電気的に接続されている。
まず、スパイラル状のインダクタ21に電流が供給されると、磁界がシリコン基板10の厚み方向に発生する。このとき、従来のように、シリコン基板10に絶縁部12が形成されていない半導体装置は、磁界の発生により、インダクタ21に囲まれた領域に、渦電流が誘起する。しかしながら、本実施形態の半導体装置1のように、シリコン基板10に除去領域11を設け、この除去領域11に絶縁材料を充填することにより、磁界の発生が抑制される。
さらに、インダクタ21とシリコン基板10に形成されている回路等との電磁気的カップリングを抑えることができ、インダクタ21のQ値を向上させることができる。さらに、インダクタ21上に絶縁層22を設けることにより、半導体装置1を外部機器等に実装した際、インダクタ21に外力が加わった場合でも、絶縁層22が応力緩和層として機能することにより、インダクタ21への力を緩和するようになる。
次に、本発明に係る第2実施形態について、図3を参照して説明する。なお、以下に説明する各実施形態において、上述した第1実施形態に係る半導体装置1と構成を共通とする箇所には同一符号を付けて、説明を省略することにする。
本実施形態に係る半導体装置50において、第1実施形態では、除去領域11が、インダクタ21に囲まれた領域Aに対応するシリコン基板10の厚み方向の領域に形成されているが、第2実施形態では、インダクタ21のパターンに沿って除去領域51が形成されている。
スパイラル状のインダクタ21に電流が供給されると、磁界がシリコン基板10の厚み方向に発生する。このとき、絶縁部52がインダクタ21に対応するシリコン基板10の厚み方向の領域にのみ形成されているため、インダクタ21により発生する磁界が、シリコン基板10に形成されている回路等に与える影響は少なくなる。
次に、本発明に係る第3実施形態について、図4及び図5を参照して説明する。
本実施形態に係る半導体装置60において、第1実施形態では、配線としてスパイラル状のインダクタ21を用いたが、第2実施形態では、配線としてトロイダル型のインダクタ61を用いる点が異なっている。
トロイダル型のインダクタ21に電流が供給されると、磁界がシリコン基板10の厚み方向に発生する。このとき、絶縁部67が、インダクタ61を含めコア部材62に囲まれた領域Bに対応するシリコン基板10の厚み方向の領域に形成されているため、インダクタ61により発生する磁界が、シリコン基板10に形成されている回路等に与える影響は少なくなる。
次に、本発明に係る半導体装置の第4実施形態について、図7及び図8を参照して説明する。
図7は本実施形態の半導体装置を示す図であり、図7(a)は図7(b)に示す平面構成図に付したY−Y線に沿う断面構成図である。図7に示す本実施形態の半導体装置100は、ウエハレベルCSP(W−CSP)構造の半導体装置である。
図8は、図7に示す半導体装置の製造方法を示す断面工程図である。
また、第2面110bに設けた配線部120の配線を、貫通電極112を介して能動面である第1面110a側に引き出し、かかる第1面110a上に形成した再配置配線134を介して外部接続端子であるはんだバンプ137と電気的に接続している。これにより、フリップチップ実装が可能な半導体装置となるので、アンテナ等として機能する配線部120が半導体装置100を基板に実装した場合に上面に位置することとなり、かかるアンテナによる送受信に有利な構成となる。
次に、半導体装置100の製造方法について図8を参照して説明する。
本実施形態に係る製造方法は、実際には同一のシリコンウエハ(シリコン基板)上に半導体装置100を複数一括して形成しておき、その後、ダイシング装置によりダイシング(切断)して個片化することにより、半導体装置100を得る方法であるが、図8では説明の簡単のため、単純化して1つの半導体装置100の製造工程のみを示している。
次いで、電極122に接続する再配置配線134をパターン形成する。再配置配線134の形成については、パッシべーション膜121上で露出している電極122に導通するようにして導電材料、例えばTiW、Cuをこの順にスパッタ法で成膜し、配線形状にパターニングした後、得られたパターン上にCuをメッキ法で積層することなどによって行う。
なお、本工程では、フォトレジストをマスクとするパターニング方法に限ることなく、例えば、ハードマスクとしてSiO2膜を用いても良く、フォトレジストマスク及びハードマスクを併用しても良い。また、エッチング方法としてはドライエッチングに限らず、ウエットエッチング、レーザ加工、あるいはこれらを併用してもよい。
また、本実施形態では、貫通孔111bの内部に導電材料を充填して貫通電極112を埋め込んでいるが、完全に埋め込まなくても、少なくとも貫通孔111bの内壁に沿って基板の厚さ方向に貫通電極112が形成され、第1面110a側で電極122と電気的に接続されていればよい。
次いで、第1端子配線部118b及びパッド144が形成された第2面110b上にスピンコート法等を用いて感光性樹脂材料等の絶縁材料を塗布し、これを周知のフォトリソグラフィ法及びエッチング法を用いて所望形状にパターニングすることで、図8(c)に示す絶縁層116をシリコン基板110上に選択的に形成する。またこのとき、絶縁層116の下層に位置する第1端子配線部118bと、後段の工程で絶縁層116上に形成されるインダクタ部118aとを電気的に接続するための貫通孔を絶縁層116に形成しておく。
以上詳細に説明したように、本実施形態の製造方法によれば、効率良く半導体装置100を製造することができ、半導体装置100の低コスト化を実現できる。
例えば、上記各実施形態において、除去領域は、少なくともインダクタ21,61に対応するシリコン基板10の厚み方向の少なくとも一部の領域に形成されていれば良い。すなわち、図6に示すように、除去領域71が、半導体装置70のシリコン基板10の一方の面10aから他方の面10bに貫通していても良い。
この構成では、除去領域71を形成することにより、インダクタ21に対応するシリコン基板10の厚み方向の領域がすべて絶縁材料により充填され、絶縁部72となっているため、インダクタ21とシリコン基板10に形成されている回路等との電磁気的カップリングを最大限に抑えることが可能となる。
Claims (9)
- 一方の面の厚み方向の少なくとも一部の領域が除去された除去領域を有する半導体基板と、
前記除去領域に充填された絶縁材料からなる絶縁部と、
該絶縁部上に複数回周回されて形成された配線とを備えることを特徴とする半導体装置。 - 前記配線がスパイラルインダクタであることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記配線がトロイダルインダクタであることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記配線上に応力緩和層が形成されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記除去領域の深さが5μm以上であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記絶縁材料の比誘電率が10以下であることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記除去領域が、前記配線の最外周に囲まれた全ての領域に形成されていることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記半導体基板を厚さ方向に貫通する貫通電極を備えるとともに、前記半導体基板の能動面と反対側の面に前記除去領域及び前記絶縁部が形成されており、前記絶縁部上に形成された前記配線と前記貫通電極とが、前記能動面と反対側の面において電気的に接続されていることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記半導体基板の能動面側に外部接続端子が形成され、前記外部接続端子と前記貫通電極とが、前記能動面において電気的に接続されていることを特徴とする請求項8に記載の半導体装置。
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