JP2006519115A5 - - Google Patents
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Description
有用なポリヒドロキシアルカンのアルキレンオキシド付加物の例としては、エチレングリコール、プロピレングリコール、1,3−ジヒドロキシプロパン、1,4−ジヒドロキシブタン、1,6−ジヒドロキシヘキサン、グリセロール、1,2,4−トリヒドロキシブタン、1,2,6−トリヒドロキシヘキサン、1,1,1−トリメチロールエタン、1,1,1−トリメチロールプロパン、ペンタエリトリトール、ポリカプロラクトン、キシリトール、アラビトール、ソルビトール、マンニトールの付加物があげられる。ポリヒドロキシアルカンの他の有用なアルキレンオキシド付加物には、ジヒドロキシ−及びトリヒドロキシアルカンの、プロピレンオキシド付加物及びエチレンオキシド末端閉鎖プロピレンオキシド付加物が含まれる。更に他の有用なアルキレンオキシド付加物には、エチレンジアミン、グリセリン、ピペラジン、水、アンモニア、1,2,3,4−テトラヒドロキシブタン、フルクトース、スクロースの付加物が含まれる。ポリ(オキシプロピレン)グリコール、トリオール、テトロール及びヘキソール及びポリ(オキシプロピレンオキシエチレン)ポリオールを含むエチレンオキシドで末端閉塞されたこれらの任意の化合物が含まれる。存在する場合、オキシエチレン含有量は、全ポリオールの約40〜約80重量%を含んでいてよい。使用するときエチレンオキシドは、ポリマー鎖に沿った任意の様式で、例えば、内部ブロック、末端ブロック、ランダムに分布されたブロック又はこれらの任意の組合せとして含有されていてよい。
Claims (34)
- 少なくとも1種のポリマー及びポリマー形成性混合物、研磨粒子並びに界面活性剤を含む水性分散液を形成する工程;
前記水性分散液中に起泡剤を注入する工程;
前記水性分散液及び起泡剤を機械的に起泡させて、実質的に均一な泡を形成する工程;
前記泡を硬化させて、相互連結された気泡及び研磨粒子が全体的に実質的に均一に分布しているポリマーマトリックスを有する連続気泡発泡体を形成する工程を含んでなる固定研磨材料の形成方法。 - 気泡が300μmよりも小さい中央値気泡直径を有する請求項1に記載の固定研磨材料の形成方法。
- 研磨粒子が2μmよりも小さい平均粒子サイズを有する請求項1に記載の固定研磨材料の形成方法。
- 研磨粒子がアルミナ、セリア、シリカ、チタニア及びジルコニアからなる群から選択される少なくとも1種の粒状材料を含む請求項3に記載の固定研磨材料の形成方法。
- 研磨粒子がポリマーマトリックスの20重量%〜70重量%を構成し、泡が5,000〜15,000cpsの粘度及び500〜1500グラム/リットルの密度を有し、そして連続気泡発泡体が20〜40%の多孔度及び200μmよりも小さい中央値孔径を有する請求項4に記載の固定研磨材料の形成方法。
- ポリマーマトリックスがポリウレタンを含む請求項1に記載の固定研磨材料の形成方法。
- 界面活性剤が少なくとも起泡性界面活性剤及びフォーム安定化界面活性剤を含む請求項1に記載の固定研磨材料の形成方法。
- 水性分散液が粘度調節剤を更に含む請求項1に記載の固定研磨材料の形成方法。
- 水性分散液が60重量%よりも小さい有機含有量、60重量%よりも小さい無機含有量及び1〜20重量%の界面活性剤含有量を有する請求項1に記載の固定研磨材料の形成方法。
- 水性分散液が1〜10重量%の粘度調節剤含有量を更に有する請求項9に記載の固定研磨材料の形成方法。
- 界面活性剤がスルホスクシンアミド酸ナトリウム、ステアリン酸アンモニウム及びスルホコハク酸ナトリウム塩の混合物を含む請求項10に記載の固定研磨材料の形成方法。
- スルホスクシンアミド酸ナトリウムが1〜6部の量で存在し、ステアリン酸アンモニウムが3〜15部の量で存在し、そしてスルホコハク酸ナトリウム塩が1〜6部の量で存在する請求項11に記載の固定研磨材料の形成方法。
- スルホスクシンアミド酸ナトリウム、ステアリン酸アンモニウム及びスルホコハク酸ナトリウム塩が1:3:1の比で存在する請求項12に記載の固定研磨材料の形成方法。
- 少なくとも1種のポリマー及びポリマー形成性混合物、2μmよりも小さい平均粒子サイズを有する研磨粒子及び界面活性剤を含む水性分散液を形成する工程;
水性分散液中に起泡剤を注入する工程;
水性分散液及び起泡剤を機械的に起泡して、実質的に均一な泡を形成する工程;
泡の層を基板材料に適用する工程;
泡の層を硬化させて、相互連結された気泡及び研磨粒子が全体的に実質的に均一に分布しているポリマーマトリックスを含む連続気泡発泡体の層を形成する工程を含んでなる固定研磨材研磨パッドの形成方法。 - 水性分散液が、少なくとも、アロイ化した脂肪族ポリエステルベースウレタン及びポリアクリレートを第一成分として、そして自己架橋性脂肪族ウレタンを第二成分として含む請求項14に記載の固定研磨材研磨パッドの形成方法。
- 第一成分及び第二成分が水性分散液中に4:1〜1:4の重量比で存在する請求項15に記載の固定研磨材研磨パッドの形成方法。
- 研磨粒子がアルミナ、セリア、シリカ、チタニア及びジルコニアからなる群から選択された、1種又はそれ以上の粒状材料から構成される請求項14に記載の固定研磨材研磨パッドの形成方法。
- 研磨粒子がポリマーマトリックスの20重量%〜70重量%を構成する請求項17に記載の固定研磨材研磨パッドの形成方法。
- 界面活性剤が、少なくとも起泡性界面活性剤及びフォーム安定化界面活性剤を含む請求項14に記載の固定研磨材研磨パッドの形成方法。
- 水性分散液が粘度調節剤を更に含む請求項19に記載の固定研磨材研磨パッドの形成方法。
- 水性分散液が60重量%よりも小さい有機含有量、60重量%よりも小さい無機含有量及び1〜20重量%の界面活性剤含有量を有する請求項14に記載の固定研磨材研磨パッドの形成方法。
- 水性分散液が1〜10重量%の粘度調節剤含有量を更に有する請求項21に記載の固定研磨材研磨パッドの形成方法。
- 界面活性剤がスルホスクシンアミド酸ナトリウム、ステアリン酸アンモニウム及びスルホコハク酸ナトリウム塩の混合物を含む請求項22に記載の固定研磨材研磨パッドの形成方法。
- スルホスクシンアミド酸ナトリウムが1〜6部の量で存在し、ステアリン酸アンモニウムが3〜15部の量で存在し、そしてスルホコハク酸ナトリウム塩が1〜6部の量で存在する請求項23に記載の固定研磨材研磨パッドの形成方法。
- スルホスクシンアミド酸ナトリウム、ステアリン酸アンモニウム及びスルホコハク酸ナトリウム塩が1:3:1の比で存在する請求項24に記載の固定研磨材研磨パッドの形成方法。
- 研磨粒子がポリマーマトリックスの20重量%〜70重量%を構成し、泡が5,000〜15,000cpsの粘度及び500〜1500グラム/リットルの密度を有し、そして連続気泡発泡体が5〜40%の多孔度及び200μmよりも小さい中央値細孔直径を有する請求項25に記載の固定研磨材研磨パッドの形成方法。
- 請求項1に記載の方法によって形成されている固定研磨材料の層及びその層に固着されているバッキング層を含んでなる固定研磨パッド。
- 研磨粒子が固定研磨材料の20重量%〜70重量%を構成し、その固定研磨材料が0.5〜1.5グラム/cm 3 のフォーム密度及び5〜40%の多孔度を有する請求項27に記載の固定研磨パッド。
- 固定研磨材料の連続起泡フォーム構造が200μmよりも小さい中央値孔径を有する請求項27に記載の固定研磨パッド。
- 固定研磨材料層がpH7〜10にコンディショニングされたときに、ポリマーマトリックスから遊離研磨粒子を解放し、そして更に、固定研磨材料層がpH4以下にコンディショニングされたときに、ポリマーマトリックスから遊離研磨粒子を実質的に解放しない請求項27に記載の固定研磨パッド。
- 固定研磨材料層が15mmよりもうすい厚さを有する請求項27に記載の固定研磨パッド。
- バッキング層がポリマー材料であり、そして固定研磨材料層がバッキング層の上に付着させた5,000〜15,000cpsの粘度及び500〜1500グラム/リットルの密度を有する泡の層を硬化させることによって形成される請求項27に記載の固定研磨パッド。
- バッキング層がポリカーボネートであり、そして泡層が70℃よりも高い温度で硬化される請求項32に記載の固定研磨パッド。
- 軟質エラストマーポリウレタン材料の追加のバッキング層がバッキング層の泡層の反対側上に接着されている請求項33に記載の固定研磨パッド。
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