JP2006343350A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. プリント回路ボードと、
   実質的にリジッドな電子コンポーネントであって、その片面に第１のピッチで配置された端子と、その対面に第２のピッチで配置された対応する端子とを含み、前記片面及び前記対面の各々が中央領域と少なくとも１つの周辺領域とを含む領域を有し、各周辺領域が前記中央領域よりも前記基板の中央からさらに離れて位置している、電子コンポーネントと、
   前記基板の前記片面に結合された複数の自立型ばね接触要素と、
   前記プリント回路ボードと前記実質的にリジッドな電子コンポーネントとを電気的に接続する弾性相互接続部と、
   前記電子コンポーネントの前記中央領域に力を伝達可能であり、各周辺領域における前記片面の形状に対して前記中央領域における前記片面の形状を修正し、これによって前記片面が平坦化される、少なくとも１つの平坦化要素と、
   を備える、プローブカードアセンブリ。
2. 前記少なくとも１つの平坦化要素が、前記プローブカードアセンブリのプリント配線ボードに対して配置された少なくとも４つの制御要素を備え、これによって、各制御要素が前記コンポーネントの各領域に力を伝達できる、請求項１記載のプローブカードアセンブリ。
3. 前記複数の接触要素が半導体デバイス上の複数の端子に接触するように構成される、請求項１記載のプローブカードアセンブリ。
4. 前記制御要素の少なくとも１つが、
   第１の端部及び第２の端部を有するスタッドであって、前記第１の端部が前記空間変換器の第２の表面の突出部と噛み合うことができるボアを有する、スタッドと、
   前記スタッドの前記第２の端部に結合された作動部品とを含む、請求項１又は２記載のプローブカードアセンブリ。
5. 前記作動部品が、前記スタッドの前記第２の端部に回転可能に結合される、請求項４記載のプローブカードアセンブリ。
6. 前記制御要素が、コンピュータシステムにより制御可能である、請求項５記載のプローブカードアセンブリ。