JP4634867B2 - 画像測定システム及び方法 - Google Patents
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Description
[数1]
v=f1(d/w)
d=f2(v・w)
a=g(d)
i=h(w)
(但し、f1(x)、f2(x)、g(x)、h(x)は、xの関数を示す。)
で表すことが出来る。
Claims (4)
- 被測定対象を支持する測定ステージに対して撮像手段を相対移動させながら指定された測定箇所で前記撮像手段を停止させることなく前記被測定対象の瞬間的な画像情報を取り込むことにより画像測定を行う画像測定方法において、
測定精度優先モード及び測定速度優先モードのいずれかを選択するための指示を入力し、
前記測定精度優先モードが選択された場合には、許容可能な取得された画像情報のブレ量を表す測定精度又は画像取込時の移動量を入力するための処理を実行し、入力された測定精度又は移動量から前記測定ステージに対する前記撮像手段の相対移動速度を算出すると共に、算出された相対移動速度を超えない速度で前記画像情報を取り込み、
前記測定速度優先モードが指定された場合には、前記測定ステージに対する前記撮像手段の相対移動速度を入力するための処理を実行し、入力された相対移動速度で前記画像情報を取り込む
ようにしたことを特徴とする画像測定方法。 - 被測定対象を支持する測定ステージに対して撮像手段を相対移動させながら指定された測定箇所で前記撮像手段を停止させることなく前記被測定対象の瞬間的な画像情報を取り込むことにより画像測定を行う画像測定方法において、
許容可能な取得された画像情報のブレ量を表す測定精度又は画像取込時の移動量を入力するための処理を実行し、入力された測定精度又は移動量から前記測定ステージに対する前記撮像手段の相対移動速度を算出すると共に、算出された相対移動速度を超えない速度で前記画像情報を取り込む
ようにしたことを特徴とする画像測定方法。 - 前記画像情報の取込時間幅をw、前記画像情報の取込時の移動量をdとしたとき、
前記相対移動速度vを、v=f1(d/w)(但し、f1(x)は、xの関数)によって算出することを特徴とする請求項1又は2記載の画像測定方法。 - 被測定対象を支持する測定ステージに対して撮像手段を相対移動させながら指定された測定箇所で前記撮像手段を停止させることなく前記被測定対象の瞬間的な画像情報を取り込むことにより画像測定を行う画像測定システムにおいて、
測定精度優先モード及び測定速度優先モードのいずれかを選択するための指示を入力する手段と、
前記測定精度優先モードが選択された場合には、許容可能な取得された画像情報のブレ量を表す測定精度又は画像取込時の移動量を入力するための処理を実行し、入力された測定精度又は移動量から前記測定ステージに対する前記撮像手段の相対移動速度を算出すると共に、算出された相対移動速度を超えない速度で前記画像情報を取り込む手段と、
前記測定速度優先モードが指定された場合には、前記測定ステージに対する前記撮像手段の相対移動速度を入力するための処理を実行し、入力された相対移動速度で前記画像情報を取り込む手段と
を備えたことを特徴とする画像測定システム。
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