JP4833588B2 - 画像測定システム並びに非停止画像測定プログラムの作成方法及び実行方法 - Google Patents

Description

本発明は、被測定対象を支持する測定ステージに対して撮像手段が相対移動しながら指定された測定箇所で停止することなく瞬間的な画像情報を取り込むことにより画像測定を行う非停止測定モードを備えた画像測定システム並びに非停止画像測定プログラムの作成方法及び実行方法に関する。

従来、ＣＮＣ画像測定機は、図１２に示すように、ＣＣＤカメラ等の撮像手段に対して測定ステージを移動させ、測定箇所で停止させると共に、照明光量を調整して被測定対象の画像情報を取得し、取得された画像情報に対して測定ツール設定及びエッジ検出等の画像処理を施すことにより１つの測定箇所の測定を実行する。この測定を測定１，測定２，…のように全ての測定箇所について繰り返し実行することにより、必要な箇所の測定を行うようにしている（以下、このような測定モードを「標準モード」と呼ぶ。）。

これに対し、測定のスループットを向上させる目的で、測定箇所でも撮像手段に対して測定ステージを停止させることなく測定動作を行う測定モード（以下、このような測定モードを「非停止測定モード」と呼ぶ。）を備えた画像測定機が提案されている（特許文献１）。この画像測定機は、図１３に示すように、測定ステージを測定箇所で停止させることなく被測定対象にストロボ照明を照射するか又はシャッター付きのＣＣＤカメラを使用して撮像された瞬間的な画像情報を取り込むことにより画像測定を行うようにしたものである。この非停止測定モードによれば、ステージの移動速度とストロボパルス幅との関係を適切に設定することにより、測定精度をあまり低下させることなく、測定の高速化が実現可能になるという利点がある。
特表２００４−５３５５８７号公報、段落０００５〜０００６、図２

ところで、従来の標準モードによる画像測定機では、測定用のパートプログラムを作成するためのティーチングにおいて、測定ステージを測定箇所に手動で移動させ、照明調整を行った後、測定指示を与えることで、測定箇所と照明条件の設定を行うようにしている。

しかしながら、上述した非停止測定モードでは、測定箇所で測定ステージを撮像手段に対して移動させた状態でストロボ撮像された画像情報を取り込むようにしているので、測定箇所毎に停止させて照明調整を行う従来の標準モードにおけるティーチング方法をそのまま適用することができないという問題がある。すなわち、ティーチングにおける照明調整において、標準モードでは連続点灯する照明を調整するので問題はないが、非停止測定モードでは１回しか発光しないストロボ照明の調整のため、標準モードのような照明調整をそのまま採用することができない。

本発明は、このような問題点に鑑みされたもので、従来と同様のティーチング方法で非停止測定モードの測定プログラムを生成又は実行することができる画像測定システム並びに非停止画像測定プログラムの作成方法及び実行方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明に係る非停止画像測定プログラムの作成方法は、被測定対象を支持する測定ステージに対して撮像手段を相対移動させながら指定された測定箇所で前記撮像手段を停止させることなく前記被測定対象にストロボ照明を照射すると共に前記被測定対象の瞬間的な画像情報を取り込むことにより画像測定を行う非停止画像測定プログラムの生成方法において、ステージ移動指示入力に基づいて前記測定ステージに対する前記撮像手段の位置を相対移動させるステップと、前記ストロボ照明を前記撮像手段の垂直同期信号に同期させて繰り返しパルス状に点灯させると共に照明調整指示入力に基づいて前記ストロボ照明のパルス幅を調整することにより前記被測定対象に対する照明光量を調節するステップと、所定の指示入力に基づいて前記撮像手段の前記測定ステージに対する位置情報と前記ストロボ照明のパルス幅の情報とを取り込んで、前記取り込まれた位置情報で示される位置を通過し且つ当該位置で前記取り込まれたパルス幅のストロボ照明を前記被測定対象に照射すると共に前記被測定対象の瞬間的な画像情報を取り込んで画像測定を行うための前記測定プログラムを生成するステップとを備えたことを特徴とする。

また、本発明に係る非停止画像測定プログラムの実行方法は、被測定対象を支持する測定ステージに対して撮像手段を相対移動させながら指定された測定箇所で前記撮像手段を停止させることなく前記被測定対象にストロボ照明を照射すると共に前記被測定対象の瞬間的な画像情報を取り込むことにより画像測定を行う非停止画像測定プログラムの実行方法において、前記測定プログラムを２回繰り返し実行し、１回目の実行では、前記測定プログラムに記述された複数の位置情報で示される位置を通過するパスに沿って前記測定ステージに対する前記撮像手段を移動させつつ前記位置情報で指定された位置で前記被測定対象にストロボ照明を照射すると共に前記被測定対象の瞬間的な画像情報を取得する処理を実行し、２回目の実行では、前記取り込まれた画像情報を読み出す処理と、当該読み出された画像情報に対して所定の画像処理を実行することを特徴とする。

また、本発明に係る第１の画像測定システムは、被測定対象を支持する測定ステージに対して撮像手段を相対移動させながら指定された測定箇所で前記撮像手段を停止させることなく前記被測定対象にストロボ照明を照射すると共に前記被測定対象の瞬間的な画像情報を取り込むことにより画像測定を行う非停止測定モードを備えた画像測定システムにおいて、ステージ移動指示、照明調整指示及びその他所定の指示を入力する手段と、前記入力されたステージ移動指示に基づいて前記測定ステージに対する前記撮像手段の位置を相対移動させる手段と、前記ストロボ照明を前記撮像手段の垂直同期信号に同期させて繰り返しパルス状に点灯させると共に前記入力された照明調整指示に基づいて前記ストロボ照明のパルス幅を調整することにより前記被測定対象に対する照明光量を調節する手段と、前記所定の指示入力に基づいて前記撮像手段の前記測定ステージに対する位置情報と前記ストロボ照明のパルス幅の情報とを取り込んで、前記取り込まれた位置情報で示される位置を通過し且つ当該位置で前記取り込まれたパルス幅のストロボ照明を前記被測定対象に照射すると共に前記被測定対象の画像情報を取り込んで画像測定を行うための前記測定プログラムを生成する手段とを備えたことを特徴とする。

更に、本発明に係る第２の画像測定システムは、被測定対象を支持する測定ステージに対して撮像手段を相対移動させながら指定された測定箇所で前記撮像手段を停止させることなく前記被測定対象にストロボ照明を照射すると共に前記被測定対象の瞬間的な画像情報を取り込むことにより画像測定を行う非停止測定モードを有する画像測定システムにおいて、前記非停止測定モードでは、前記測定プログラムを２回繰り返し実行し、１回目の実行では、前記測定プログラムに記述された複数の位置情報で示される位置を通過するパスに沿って前記測定ステージに対する前記撮像手段を移動させつつ前記位置情報で指定された位置で前記被測定対象にストロボ照明を照射すると共に前記被測定対象の瞬間的な画像情報を取得する処理を実行し、２回目の実行では、前記取り込まれた画像情報を読み出す処理と、当該読み出された画像情報に対して所定の画像処理を実行する測定プログラム実行手段を備えたことを特徴とする。

本発明に係る非停止画像測定プログラムの作成方法及び第１の画像測定システムによれば、ティーチング時には、画像取得位置を撮像手段と測定ステージとが相対的に固定された位置関係にある状態で被測定対象に対してストロボ照明を所定周期で繰り返し点灯させ、その画像の輝度を確認しながら入力された光量指示に基づいてそのパルス幅を調整し、測定プログラム作成時には、調整されたパルス幅の情報に基づいてストロボ照明を点灯させることにより被測定対象の画像情報を取得するようにしているので、標準モードと同様の方法でティーチングを行って非停止画像測定プログラムを作成することができる。

また、本発明に係る非停止画像測定プロクラムの実行方法及び第２の画像測定システムによれば、測定プログラムを２回繰り返して実行し、１回目の実行では、測定ステージに対する撮像手段の相対位置を移動させつつ指定された位置で瞬間的な画像情報を取得する処理を実行し、２回目の実行では、取得された画像情報の読み出し処理と画像処理とをまとめて実行するようにしているので、測定プログラムは、従来の標準モードと同様の構成とすることができ、この結果、従来の標準モードと同様のティーチングで非停止測定用の測定プログラムを生成することができる。

次に、添付の図面に基づいて、本発明の実施の形態について説明する。

［実施形態１］
図１は、本発明の一実施形態に係る画像測定システムの全体構成を示す斜視図である。このシステムは、非接触型の画像測定機１と、この画像測定機１を駆動制御すると共に、必要なデータ処理を実行するコンピュータシステム２と、計測結果をプリントアウトするプリンタ３とにより構成されている。

画像測定機１は、次のように構成されている。即ち、架台１１上には、被測定対象（以下、ワークと呼ぶ）１２を載置する測定ステージ１３が装着されており、この測定ステージ１３は、図示しないＹ軸駆動機構によってＹ軸方向に駆動される。架台１１の両側縁中央部には上方に延びる支持アーム１４，１５が固定されており、この支持アーム１４、１５の両上端部を連結するようにＸ軸ガイド１６が固定されている。このＸ軸ガイド１６には、撮像ユニット１７が支持されている。撮像ユニット１７は、図示しないＸ軸駆動機構によってＸ軸ガイド１６に沿って駆動される。撮像ユニット１７の下端部には、ＣＣＤカメラ１８が測定ステージ１３と対向するように装着されている。また、撮像ユニット１７の内部には、図示しない照明装置及びフォーカシング機構の他、ＣＣＤカメラ１８のＺ軸方向の位置を移動させるＺ軸駆動機構が内蔵されている。

コンピュータシステム２は、コンピュータ本体２１、キーボード２２、ジョイスティックボックス（以下、Ｊ／Ｓと呼ぶ）２３、マウス２４及び表示装置２５を備えて構成されている。コンピュータ本体２１は、内部に記憶された所定のプログラムと共に、例えば図２に示す各機能を実現する。

すなわち、キーボード２２、Ｊ／Ｓ２３及びマウス２４等の入力手段からの指示入力に基づいて画像測定機１を制御するためのステージ移動処理部３１、照明調整処理部３２及びその他測定条件調整処理部３３が設けられている。ステージ移動処理部３１は、入力手段からのステージ移動指示入力に基づいて画像測定機１のＸＹＺ軸駆動機構を制御して、ＣＣＤカメラ１８の測定ステージ１３に対する位置を移動させる。照明調整処理部３２は、ティーチング時には、画像測定機１の照明装置を所定周期で連続的にストロボ点灯すると共に、入力手段からの照明調整指示入力に基づいてストロボ点灯のパルス幅を調整し、非停止測定モード時では、指定された測定箇所において、予め設定されたパルス幅でストロボ点灯させる。その他測定条件調整処理部３３は、その他の測定条件調整指示入力に基づいてレンズ倍率、フォーカシング調整等、その他の測定条件を調整する。

これら各処理部３１〜３３で調整されたステージ位置、ストロボ点灯のパルス幅の情報及びその他の測定条件情報は、入力手段による所定の指示入力に基づいてパラメータ取込部３４で取り込まれる。パラメータ取込部３４で取り込まれたパラメータは、パラメータ記憶部３５に記憶される。パートプログラム生成部３６は、パラメータ記憶部３５に記憶されたパラメータを使用して測定用のパートプログラムを生成する。このとき、入力手段により非停止測定モードが指示されている場合には、パートプログラム生成部３６は、非停止測定モードのパートプログラムを生成する。生成されたパートプログラムは、パートプログラム記憶部３７に記憶される。

パートプログラム実行部３８は、パートプログラム記憶部３７から必要なパートプログラムを読み出してこれを実行し、パートプログラムに記述された各種命令に従って、ステージ移動処理部３１、照明調整処理部３２、その他測定条件調整処理部３３、画像取得部４２及び画像処理部４３を適宜駆動する。ＣＣＤカメラ１８で撮像された画像情報は、画像記憶部４１に逐次記憶される。画像記憶部４１に記憶された画像情報は、表示装置２５で逐次表示される一方、パートプログラムに基づき画像取得部４２によって静止画としてキャプチャされる。画像処理部４３は、画像取得部４２で取得した画像情報に対して、測定ツールの設定、エッジ検出、座標検出等の画像測定のための画像処理を実行する。

次に、このように構成された本実施形態に係る画像測定システムの測定動作とパートプログラム作成方法について説明する。

図３は、従来の標準モードの画像測定の手順を示すフローチャートである。図示のように、標準モードの画像測定では、各測定要素毎に測定ステージ移動、照明設定、画像取得及び画像処理を順次実行し、その箇所の測定が終了したら、次の測定箇所に移動して、同様の処理を実行するという手順で測定が行われている。このように、標準モードの画像測定では、測定が要素毎（例えば点測定１、点測定２、…）に完結している。

これに対して、非停止測定モードでは、図４に示すように、測定処理を非停止画像取得と画像処理とに分離する。非停止画像取得では、各測定箇所を通過する測定パスに沿って測定ステージ１３とＣＣＤカメラ１８の相対位置を移動させながら、測定箇所を通過する瞬間にストロボ照明及び画像取得（及び保存）を、全ての測定箇所に対して連続的に実行する。全ての画像取得が終了すると、画像処理が実行される。画像処理では、取得され一時保存された画像情報を１枚ずつ読み出しながら、エッジ検出等の画像処理を全ての測定箇所に対して連続的に実行する。この非停止測定モードは、標準モードのように、ステージ停止の確認を行う必要がないため、測定作業の高速化を実現できる。

このような非停止画像測定を行うための操作の流れを図５に示す。

まず、非停止測定モードのティーチングによるパートプログラムを生成し（Ｓ１）、生成されたパートプログラムによる非停止測定が実行される（Ｓ２）。ここで、従来の標準モードと同様のティーチングによって、図４に示した非停止測定を実行するためには、２つの方法が考えられる。１つ目は、パートプログラム生成処理（Ｓ１）に新たな機能を追加して、パートプログラム自体を非停止測定に適した構成とし、パートプログラム実行（Ｓ２）自体は従来とほぼ同様とする方法（実施形態１−１）である。２つ目は、パートプログラム作成（Ｓ１）自体には格別新たな機能を追加せず、パートプログラムの構成も標準モードのパートプログラムとど殆ど同一であるが、パートプログラム実行（Ｓ２）で新たな機能を追加して非停止測定モードを実現する方法（実施形態１−２）である。以下、２つの方法についてそれぞれ説明する。

［実施形態１−１］
図６は、生成されるパートプログラムの一例を示す図である。

このパートプログラムは、３つのサブルーチンブロック（Sub QVBlock_1, Sub QVBlock_2, Sub QVBlock_3）から構成されている。最初のサブブロック（Sub QVBlock_1）では、最初の２行にレンズ倍率、照明等の設定指令が記述され、１測定要素毎の移動とストロボ照明及び画像取得を指示する移動パス命令が続いている。２番目及び３番目のサブブロック（Sub QVBlock_2, Sub QVBlock_3）は、測定ブロックである。

このようなパートプログラムを生成するためプログラム生成部３６は、次のような手順を実行する。
（１）連続する移動パス命令のうち、１測定要素の移動パス命令と、それに対応した画像読み出し命令及び画像処理命令（エッジ検出等）とをそれぞれ２つのサブルーチンブロックに並行して生成させる。
（２）上記（１）の命令を全てのパス分生成する。画像読み出し命令及び画像処理命令（エッジ検出命令等）は、新たなサブルーチンブロックを生成することで、移動パス命令と関連付ける。
（３）測定開始命令（StrobePath.Acquire：非停止による画像取得命令）で一連のパス生成を終了する。

この処理を具体的に示したのが図７である。

まず、入力手段によってステージ移動指示の入力が有るかどうかを判定し（Ｓ１１）、ステージ移動指示の入力があったら、ステージ駆動処理を実行する（Ｓ１２）。これにより、オペレータは、測定箇所に撮像範囲を位置決めするための操作を行うことができる。

次に、入力手段によって照明、その他の調整指示の入力が有るかどうかを判定し（Ｓ１３）、調整指示の入力があったら、ストロボパルス幅、その他の調整処理を実行する（Ｓ１４）。ストロボパルスは、図８に示すように、例えばＣＣＤカメラ１８の垂直同期信号(VSync）に同期するように生成される。パルス幅を（１）から（２）のように広くすると、表示装置２５に表示される画像が全体的に明るくなり、パルス幅を（２）〜（１）のように狭くすると、表示装置２５に表示される画像が全体的に暗くなるので、表示装置２５に表示される画像を確認しながら、例えば０〜１００％のダイアログ調整をして、最も適切な光量を目視で決定すれば良い。なお、ストロボ照明としては、ＬＥＤ、キセノンランプ等を使用することができる。

次に、測定条件記録指示入力が有るかどうかを確認し（Ｓ１５）、記録指示入力があれば、最初のサブルーチンブロック（Sub QVBlock_1）に測定条件を記録する（Ｓ１６）。図６の例では、「Sub QVBlock_1」の冒頭に、レンズ及び照明設定値が記録されている。

続いて、測定指示入力が有るかどうかを判定し（Ｓ１７）、測定指示の入力があったら、「Sub QVBlock_1」に現在の測定ステージ１３とＣＣＤカメラ１８との相対位置を示す位置情報を、移動位置の情報として記録し（Ｓ１８）、且つ新たなサブルーチンブロックを生成して、この新たなサブルーチンブロックに、上記移動位置の情報と対応する画像情報読み出し命令及び画像処理命令を記録する（Ｓ１９）。

これを測定開始指示が有るまで繰り返す（Ｓ２０）。測定開始指示があったら、「Sub QVBlock_1」に測定開始（画像取得）命令を記録して処理を終了する。

このオンラインティーチングによれば、オペレータは、ＣＣＤカメラ１８に対する測定ステージ１３の位置を測定したい箇所に移動させて、その位置でＣＣＤカメラ１８及び測定ステージ１３を固定し、表示装置２５の表示画面を確認しながらフォーカス調整及び光量調整等の測定条件設定の後、測定指示を入力することにより、当該箇所での非停止測定に必要なパラメータを取得することができ、従来の標準モードにおけるオンラインティーチングとほぼ同様のティーチング操作で非停止測定モードのティーチングが行えることになる。

このようにして生成されたパートプログラムを実行する際には、生成されたパートプログラムをシーケンシャルに実行する。この場合、パートプログラム実行部３８は、従来構造とほぼ変わるところはない。

［実施形態１−２］
実施形態１−１では、パートプログラム自体を非停止測定に適した構成としたが、実施形態１−２では、パートプログラム自体は、標準モードとほぼ同様で、パートプログラム実行部３８での処理が従来と異なっている。

図９は、この実施形態２に係るパートプログラムを示す図である。

パートプログラムには、冒頭に非停止測定モードへの切り替えコマンドが記述され、末尾に標準モードへの切り替えコマンドが記述されている。パートプログラムは、実施形態１と同様、３つのサブルーチンブロック（Sub QVBlock_1, Sub QVBlock_2, Sub QVBlock_3）から構成されているが、最初のサブブロック（Sub QVBlock_1）には、レンズ倍率、照明等の測定条件設定指令が記述され、２番目及び３番目のサブブロック（Sub QVBlock_2, Sub QVBlock_3）に、それぞれ１測定単位毎に、測定位置への移動とストロボ照明及び画像取得、並びに画像読み出し、測定条件設定、画像処理（エッジ検出）、測定終了の各コマンドが記述されている。

このパートプログラムの作成手順は、おおよそ次の通りである。
（１）パートプログラムの記録開始時は、従来の標準モードと同様となる。
（２）メニューから標準モードから非停止測定モードへの切り替えコマンドを選択し実行する。
（３）非停止測定モードでは、一連のステージ移動命令（連続パス）によりステージ移動とストロボパルス点灯及びストロボ点灯時の画像を取得する。また、ストロボ点灯時の画像には、ストロボ点灯時にラッチされたステージ位置の情報を含有させる。
（４）一連のステージ移動後、各ストロボ点灯時の画像を１枚ずつ読み出してエッジ検出等の画像処理を実行する。
（５）全ての処理を終了後、非停止測定モード→標準モードへの切り替えコマンドを実行する。

この具体的処理を示したのが図１０である。

図７に示した実施形態１のフローと異なる点は、冒頭に非停止測定モードへの切り替え命令を記録する点（Ｓ３１）と、測定指示が有ったときに（Ｓ１７）、新たなサブルーチンブロックを生成し、１測定単位の移動位置、画像読み出し命令及び画像処理命令を記録する（Ｓ３２）点と、測定開始指示が有ったときに（Ｓ２０）、画像取得命令及び標準モードへの切り替え命令を記録する点（Ｓ３３）である。なお、照明調整処理を含め、その他の点については、実施形態１と同様である。

生成されたパートプログラムは、次のように実行される。すなわち、パートプログラム実行部３８は、パートプログラム冒頭の非停止測定モードへの切り替えコマンドを検出すると、以下、標準モードへの切り替えコマンドの直前までの処理を２回繰り返すように実行する。この場合、１回目では図１１Ａに濃い字で示す部分、すなわち測定条件の設定、移動位置の記録及び非停止による画像取得処理の部分のみが実行され、２回目では図１１Ｂに濃い字で示す部分、すなわち、画像の読み出しと画像処理の部分のみが実行される。

このようなパートプログラム作成方法でも、従来と同様のティーチングによりパートプログラムを作成することが可能である。

この発明の一実施形態に係る画像測定システムの構成を示す外観斜視図である。 同測定システムにおけるコンピュータの機能ブロック図である。 標準モードでの測定手順を示すフローチャートである。 非停止測定モードでの測定手順を示すフローチャートである。 同システムによる非停止測定モードでの測定プログラム生成及び測定手順を示すフローチャートである。 実施形態１−１のパートプログラムを示す図である。 実施形態１−１のパートプログラム作成処理を示すフローチャートである。 実施形態１−１の照明調整制御を説明するための波形図である。 実施形態１−２のパートプログラムを示す図である。 実施形態１−２のパートプログラム作成処理を示すフローチャートである。 実施形態１−２のパートプログラムの１回目の実行部分を示す図である。 実施形態１−２のパートプログラムの２回目の実行部分を示す図である。 標準モードでの測定を説明するための図である。 非停止測定モードでの測定を説明するための図である。

符号の説明

１…画像測定機、２…コンピュータ、３…プリンタ、１２…ワーク、１３…測定ステージ、１８…ＣＣＤカメラ、３１…ステージ移動処理部、３２…照明調整処理部、３３…その他測定条件調整処理部、３４…パラメータ取込部、３５…パラメータ記憶部、３６…パートプログラム生成部、３７…パートプログラム記憶部、３８…パートプログラム実行部、４１…画像記憶部、４２…画像取得部、４３…画像処理部。

Claims (6)

1. 被測定対象を支持する測定ステージに対して撮像手段を相対移動させながら指定された測定箇所で前記撮像手段を停止させることなく前記被測定対象にストロボ照明を照射すると共に前記被測定対象の瞬間的な画像情報を取り込むことにより画像測定を行う非停止画像測定プログラムの生成方法において、
   ステージ移動指示入力に基づいて前記測定ステージに対する前記撮像手段の位置を相対移動させるステップと、
   前記ストロボ照明を前記撮像手段の垂直同期信号に同期させて繰り返しパルス状に点灯させ前記被測定対象の連続的な画像情報を表示装置に表示させながら照明調整指示入力に基づいて前記ストロボ照明のパルス幅を調整することにより前記被測定対象に対する照明光量を調節するステップと、
   所定の指示入力に基づいて前記撮像手段の前記測定ステージに対する位置情報と前記ストロボ照明のパルス幅の情報とを取り込んで、前記取り込まれた位置情報で示される位置を通過し且つ当該位置で前記取り込まれたパルス幅のストロボ照明を前記被測定対象に照射すると共に前記被測定対象の瞬間的な画像情報を取り込んで画像測定を行うための前記測定プログラムを生成するステップと
   を備え、
   前記ストロボ照明の発光周期と前記垂直同期信号とが同周期である
   ことを特徴とする非停止画像測定プログラムの作成方法。
2. 前記測定プログラムを生成するステップは、
   前記位置情報が取り込まれるたびに当該位置情報を最初のサブルーチンブロックに記録すると共に、新たなサブルーチンブロックを生成してこのサブルーチンブロックに当該位置情報に対応した画像読み出し命令及び画像処理命令を記録するステップと、
   測定開始指示が入力されたら、前記最初のサブルーチンブロックの一連の前記位置情報の後ろに画像取得開始を指示する命令を記録するステップと
   を含むものであることを特徴とする請求項１記載の非停止画像測定プログラムの作成方法。
3. 前記測定プログラムを生成するステップは、
   プログラムの冒頭に非停止測定モードへの切り替え命令を記録するステップと、
   前記位置情報が取り込まれるたびに新たなサブルーチンブロックを生成して当該位置情報を生成されたサブルーチンブロックに記録すると共に、このサブルーチンブロックに当該位置情報に対応した画像読み出し命令及び画像処理命令を記録するステップと、
   測定開始指示が入力されたら、最後のサブルーチンブロックの後に画像取得開始を指示する命令を記録するステップと
   を含むものであることを特徴とする請求項１記載の非停止画像測定プログラムの作成方法。
4. 請求項３に記載の非停止画像測定プログラムの生成方法により生成され、被測定対象を支持する測定ステージに対して撮像手段を相対移動させながら指定された測定箇所で前記撮像手段を停止させることなく前記被測定対象にストロボ照明を照射すると共に前記被測定対象の瞬間的な画像情報を取り込むことにより画像測定を行う非停止画像測定プログラムの実行方法において、
   前記測定プログラムを２回繰り返し実行し、
   １回目の実行では、前記測定プログラムに記述された複数の位置情報で示される位置を通過するパスに沿って前記測定ステージに対する前記撮像手段を移動させつつ前記位置情報で指定された位置で前記被測定対象にストロボ照明を照射すると共に前記被測定対象の瞬間的な画像情報を取得する処理を実行し、
   ２回目の実行では、前記取り込まれた画像情報を読み出す処理と、当該読み出された画像情報に対して所定の画像処理を実行する
   ことを特徴とする非停止画像測定プログラムの実行方法。
5. 被測定対象を支持する測定ステージに対して撮像手段を相対移動させながら指定された測定箇所で前記撮像手段を停止させることなく前記被測定対象にストロボ照明を照射すると共に前記被測定対象の瞬間的な画像情報を取り込むことにより画像測定を行う非停止測定モードを備えた画像測定システムにおいて、
   ステージ移動指示、照明調整指示及びその他所定の指示を入力する手段と、
   前記入力されたステージ移動指示に基づいて前記測定ステージに対する前記撮像手段の位置を相対移動させる手段と、
   前記ストロボ照明を前記撮像手段の垂直同期信号に同期させて繰り返しパルス状に点灯させ前記被測定対象の連続的な画像情報を表示装置に表示させながら前記入力された照明調整指示に基づいて前記ストロボ照明のパルス幅を調整することにより前記被測定対象に対する照明光量を調節する手段と、
   前記所定の指示入力に基づいて前記撮像手段の前記測定ステージに対する位置情報と前記ストロボ照明のパルス幅の情報とを取り込んで、前記取り込まれた位置情報で示される位置を通過し且つ当該位置で前記取り込まれたパルス幅のストロボ照明を前記被測定対象に照射すると共に前記被測定対象の画像情報を取り込んで画像測定を行うための前記測定プログラムを生成する手段と
   を備え、
   前記ストロボ照明の発光周期と前記垂直同期信号とが同周期である
   ことを特徴とする画像測定システム。
6. 前記非停止測定モードでは、前記測定プログラムを２回繰り返し実行し、
   １回目の実行では、前記測定プログラムに記述された複数の位置情報で示される位置を通過するパスに沿って前記測定ステージに対する前記撮像手段を移動させつつ前記位置情報で指定された位置で前記被測定対象にストロボ照明を照射すると共に前記被測定対象の瞬間的な画像情報を取得する処理を実行し、
   ２回目の実行では、前記取り込まれた画像情報を読み出す処理と、当該読み出された画像情報に対して所定の画像処理を実行する測定プログラム実行手段を備えた
   ことを特徴とする請求項５記載の画像測定システム。