TW588400B - Apparatus for planarizing a semiconductor contactor - Google Patents

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TW588400B TW090106263A TW90106263A TW588400B TW 588400 B TW588400 B TW 588400B TW 090106263 A TW090106263 A TW 090106263A TW 90106263 A TW90106263 A TW 90106263A TW 588400 B TW588400 B TW 588400B
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Description

”、申請專利範圍 第刪細〇1號專利舉發案更正100年3月π日 6_如申請專利範圍第1項之探針卡總成，其中該至少一平面化元件包 含至少四個控制TL件，這些控制元件係相對於該探針卡總成中的一 印刷電路板而配致使每一控制元件可以發送力到該基底的一個 別區以及到該印刷電路板的一個別區上。 7’如申清專利fe圍第1項之探針卡總成，其中該複數健觸元件係被 構成以接觸在-半導體裝置上的複數個端子。 8.如申清專利範圍第！項之探針卡總成，其十該基底包含一空間轉換 器 個該平面化元件 9.如申請專·圍幻狀探針卡誠，其中至少一 包括： 一螺检，具有第-端點及第二端點，該第_端點具有—孔，能 與該基底之第二表面上的_突出物相吻合·及 促動零件，係連接至該螺栓之該第二端點。 10.如申4利細第9項之探針卡總成’其帽促動零件紐轉地連 接至該螺栓醜第二端點。 U.如申⑺___針卡軸，料_,化元件可 由一電腦系統控制。 12·一種探針卡總成，包含： 一空間轉換器，係具有—第—表面，其中該第—表面具有一區 2 六、申請專利範圍第9_細嗜利舉發案更正1〇〇^； L括中央區域及至少—周邊區域，其中各周邊區域位於比該中央 區域距離基底中心更遠之處. 複數個接觸元件，係連接至該空間轉換器的該第一表面； -可調整中央控制構件，能發送力到該空間轉換器的中央區域 上以便相對於在每—周邊區域上的該第—表面之形狀而修改在該 中央&域上的該第一表面之形狀；及 至少-可調整周邊控制構件，其中每一可調整周邊控制構件能 夠發送-侧力到該空間轉換器的―個顧邊區域上，以便相對於 在中央區域上的該第-表面之形狀崎改在個別周邊區域上的該 第一表面之形狀； 其中該第一表面被修改形狀可使得該等複數個接觸元件彼此 相對地被平面化。 13.如申凊專利範圍第12項之探針卡總成，進一步包含一插入器，係 連接到β玄空間轉換器且在該插入器的一中央區域中具有一開口，其 中放置該可調整中央控制構件以便可延伸通過在該插入器中的此 開口。 14.如申請專利範圍第12項之探針卡總成，其中該可調整中央控制構 件包含一可調整推/挽控制構件，能夠發送一推力及一拉力到該空 間轉換器的中央區域’其中該推力是沿著從該推/挽控制構件朝向 3 六、申請專利範圍 第90106263N0I號專利舉發案更正1〇〇年3月17日 該空間轉換器延伸的方向上施加的力，而該拉力是沿著從該空間轉 換器朝向該推/挽控制構件延伸的方向上施加的力。 15. 如申請專利範圍第14項之探針卡總成，其令每-可調整周邊控制 構件包含一可調整推控制構件，能夠發送一推力到該空間轉換器的 -個別周邊區域上，其中該推力是沿著從該推控制構件朝向該空間 轉換延伸的方向上施加的力。 16. 如申請專利範圍第15項之探針卡總成，進一步包含： 一印刷電路板，係電連接到該空間轉換器；及 一驅動板，係連接到該印刷電路板；其中該可調整推/挽控制 構件係連接在5亥空間轉換器與該驅動板之間’且每一可調整推控制 構件係連接在該空間轉換器與該驅動板之間，藉此該驅動板有助於 提供阻力，致使該可調整推/挽控制構件能夠將該空間轉換器推離 或拉進該驅動板’且每-可控制推控制構件能夠將該空間轉換器推 離該驅動板。 I7·如申凊專利範圍第16項之探針卡總成其中該可調整推傲控制構 件包括-延伸螺栓，具有一第一端及一第二端，其中第一端能連接 到該空間轉換器而第二端可以連接到該驅動板。 8·如申π專利範圍第17項之探針卡總成其中該可調整推/挽控制構 件進-步包括-促動元件’係連接在該延伸螺栓的該第二端與該驅 588400 、申請專利範圍 動板之間。 第90106263N01號專利舉發案更正 100年3月π曰 19. 如申。月專利範圍第項之探針卡總成，其中該可調整推々免控制構 件進括彈簧元件，係連接在該促動元件與該驅動板之間， 且其中雜動元件包含—促觸帽，藉此娜該促觸帽能調整該 空間轉換器的偏斜。 20. 如申明專利範圍第16項之探針卡總成，其中該可調整推/挽控制構 件包括-延伸螺栓’具有_第_職端及—第二螺旋端，其中第一 職端可賤接賴㈣轉翻巾帛二懸端可以賴到該驅動 板。 21. 如申請專利第2G項之探針卡總成進—步包含—螺旋螺检， 係連接在該空間轉換器與該延伸螺栓的該第一螺旋端之間。 22·如申請專纖圍第15項之探針卡縣，其中至少—倾可調整推 控制構件包括連接到球軸承上的一螺旋。 23.—種探針卡總成，包含： 複數個基底，每一基底具有一中央區域及至少一周邊區域，其 中每一周邊區域係位於比該中央區域距離個別基底的中心更遠之 處，及 複數個平面化元件，可控制個別該基底的平面化；其中每一平 面化元件包含： 一可調整中央控制構件，能夠發送力到該基底的中央區域，以
588400 六、申請專利範圍 第90106263N01號專利舉發案更正 1〇〇年3月17日 便相對於在每-周邊輯上的侧基底之雜而修改在該中央區 域上個別基底之形狀；及 至少一可調整周邊控制構件，其中每一可調整周邊控制構件能 夠發送個別力該基底的個別周邊區域上，以便相對於在中央區域上 之形狀而修改在個別周邊區域上之形狀。 24.—種探針卡總成，包含： 基底，具有一中央區域及至少一周邊區域，其中每一周邊區 域係位於比該中央區域距離該基底的中心更遠之處； 複數個接觸元件，係連接到該基底上； 一可調整中央控制構件，能夠發送力到該基底的中央區域，以 便相對於在每一周邊區域上之形狀而修改在該中央區域上之形 狀；及 至少一可調整周邊控制構件，其中每—可調整周邊控制構件能 夠發送個別力該基底的個別周邊區域上，以便相對於在中央區域上 之形狀而修改在個別周邊區域上之形狀； 其中該基底被修改形狀可使得該等複數個接觸元件彼此相對 地被平面化。 25.如申請專利範圍第24項之探針卡總成，其中該基底包含一空間轉 換器。 6
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