JP2006293301A - パッド電極形成方法及びこれを用いた液晶表示素子の製造方法並びに該方法により製造された液晶表示素子 - Google Patents
パッド電極形成方法及びこれを用いた液晶表示素子の製造方法並びに該方法により製造された液晶表示素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006293301A JP2006293301A JP2005376988A JP2005376988A JP2006293301A JP 2006293301 A JP2006293301 A JP 2006293301A JP 2005376988 A JP2005376988 A JP 2005376988A JP 2005376988 A JP2005376988 A JP 2005376988A JP 2006293301 A JP2006293301 A JP 2006293301A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- forming
- electrode
- gate
- substrate
- liquid crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L37/00—Couplings of the quick-acting type
- F16L37/28—Couplings of the quick-acting type with fluid cut-off means
- F16L37/38—Couplings of the quick-acting type with fluid cut-off means with fluid cut-off means in only one of the two pipe-end fittings
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1345—Conductors connecting electrodes to cell terminals
- G02F1/13458—Terminal pads
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L37/00—Couplings of the quick-acting type
- F16L37/22—Couplings of the quick-acting type in which the connection is maintained by means of balls, rollers or helical springs under radial pressure between the parts
- F16L37/23—Couplings of the quick-acting type in which the connection is maintained by means of balls, rollers or helical springs under radial pressure between the parts by means of balls
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/124—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a particular composition, shape or layout of the wiring layers specially adapted to the circuit arrangement, e.g. scanning lines in LCD pixel circuits
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明によると、パッド電極として導電性フォトレジストを用い、このような導電性フォトレジストをアッシング処理という比較的簡単な方法で処理しコンタクトホールにパッド電極を形成することによって、従来フォトリソグラフィ工程に比べて抜群の費用節減及び工程の簡素化が実現可能になる。
【選択図】図4B
Description
図3A乃至図3Dは、本発明による液晶表示素子のパッド電極形成方法を概略的に示す断面図であり、図1AのI−I線断面図に該当する。以下では、このパッド電極に限定して説明をし、液晶表示素子の他の構成要素については説明を省くものとする。したがって、液晶表示素子の他の構成要素は、当業界での公知の方法により様々に変更可能である。
図5A及び図5Bは、断線補強ラインに導電性フォトレジストを適用した例であり、図5Aは、本発明による液晶表示素子の1画素を示す平面図で、図5Bは、図5AのI−I線断面図である。
図6A乃至図6Cは、IPSモード液晶表示素子のブリッジ電極に導電性フォトレジストを適用した例であり、図6Aは、本発明によるIPSモード液晶表示素子の1画素を示す平面図で、図6B及び図6Cは、図6AのI−I線断面図である。
100 ゲートライン
120 ゲートパッド
150 ゲート絶縁膜
200 データライン
220 データパッド
250 保護膜
270 断線補強ライン
300 画素電極
400a ゲートパッド電極
400b データパッド電極
500 ブリッジ電極
Claims (15)
- 基板上にゲートパッドを形成する工程と、
前記ゲートパッドを含めた基板の全面に、ゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記ゲート絶縁膜上にデータパッドを形成する工程と、
前記データパッドを含めた基板の全面に、保護膜を形成する工程と、
前記ゲートパッド上部のゲート絶縁膜及び保護膜に第1コンタクトホールを形成する工
程と、
前記データパッド上部の保護膜に第2コンタクトホールを形成する工程と、
前記第1コンタクトホール及び第2コンタクトホールを含めた基板の全面に、導電性フォトレジストを塗布する工程と、
前記導電性フォトレジストをアッシング処理することによって、前記第1コンタクトホールにゲートパッド電極を形成し、前記第2コンタクトホールにデータパッド電極を形成する工程と、
を備えてなる液晶表示素子のパッド電極形成方法。 - 前記第1コンタクトホール形成工程及び第2コンタクトホール形成工程は、同時に行われることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示素子のパッド電極形成方法。
- 前記ゲート絶縁膜と保護膜は、同一物質からなることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示素子のパッド電極形成方法。
- 前記ゲート絶縁膜と保護膜は、互いに異なる物質からなることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示素子のパッド電極形成方法。
- 前記アッシング処理は、酸素プラズマを用いて行うことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示素子のパッド電極形成方法。
- 基板上に金属ラインを形成する工程と、
前記金属ラインを含めた基板の全面に、絶縁層を形成する工程と、
前記金属ライン上部の絶縁層にホールを形成する工程と、
前記ホールを含めた基板の全面に、導電性フォトレジストを塗布する工程と、
前記導電性フォトレジストをアッシング処理することによって、前記ホールに導電性フォトレジストからなる断線補強ラインを形成する工程と、
を備えてなる液晶表示素子の製造方法。 - 前記ラインは、ゲートラインまたはデータラインであることを特徴とする請求項6に記載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記アッシング処理は、酸素プラズマを用いて行うことを特徴とする請求項6に記載の液晶表示素子の製造方法。
- 基板上にゲート電極及び共通電極を形成する工程と、
前記基板の全面にゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記ゲート絶縁膜上の所定領域に半導体層を形成する工程と、
前記半導体層上にソース及びドレーン電極を形成し、前記共通電極と平行に画素電極を形成する工程と、
前記基板全面に保護膜を形成する工程と、
前記ドレーン電極及び画素電極間の保護膜にコンタクトホールを形成する工程と、
前記コンタクトホールを含めた基板全面に、導電性フォトレジストを塗布する工程と、
前記導電性フォトレジストをアッシング処理することによって、前記コンタクトホールに導電性フォトレジストからなるブリッジ電極を形成する工程と、
を備えてなる液晶表示素子の製造方法。 - 基板上にゲート電極、及び互い平行して配列される共通電極と画素電極を形成する工程と、
前記基板の全面にゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記ゲート絶縁膜上の所定領域に半導体層を形成する工程と、
前記半導体層上にソース及びドレーン電極を形成する工程と、
前記基板の全面に保護膜を形成する工程と、
前記ドレーン電極及び画素電極間のゲート絶縁膜及び保護膜にコンタクトホールを形成する工程と、
前記コンタクトホールを含めた基板の全面に、導電性フォトレジストを塗布する工程と、
前記導電性フォトレジストをアッシング処理することによって、前記コンタクトホールに導電性フォトレジストからなるブリッジ電極を形成する工程と、
を備えてなる液晶表示素子の製造方法。 - 前記アッシング処理は、酸素プラズマを用いて行うことを特徴とする請求項9または10に記載のIPSモード液晶表示素子の製造方法。
- 基板と、
前記基板上に形成されたゲートパッド及びデータパッドと、
前記ゲートパッド及びデータパッド上部にコンタクトホールを持ち基板の全面に形成された絶縁層と、
前記コンタクトホールを介してゲートパッド及びデータパッドとそれぞれ連結されるゲートパッド電極及びデータパッド電極と、を備えてなり、
前記ゲートパッド電極及びデータパッド電極は、導電性フォトレジストからなることを特徴とする液晶表示素子。 - 基板と、
前記基板上に横方向に形成されるゲートラインと、
前記ゲートラインと交差して縦方向に形成されるデータラインと、
前記ゲートライン及びデータラインのうち少なくとも一つのライン上部にホールを持ち基板上に形成される絶縁層と、
前記ホールを介してゲートライン及びデータラインのうち少なくとも一つのラインと連結される断線補強ラインと、を備えてなり、
前記断線補強ラインは、導電性フォトレジストからなることを特徴とする液晶表示素子。 - 基板と、
前記基板上に互いに交差して形成されて画素領域を定義するゲートライン及びデータラインと、
前記画素領域で互いに平行して形成される共通電極及び画素電極と、
前記ゲートライン及びデータラインの交差領域に形成され、ゲート電極、半導体層、ソース電極及びドレーン電極とからなる薄膜トランジスタと、
前記ドレーン電極と画素電極とを接続するブリッジ電極と、を備えてなり、
前記ブリッジ電極は、導電性フォトレジストからなることを特徴とする液晶表示素子。 - 前記導電性フォトレジストは、ポリアセンチレン、ポリ(p−フェニレンスルフィド)、ポリ(p−フェニレン)、ポリ(p−フェニレンビニレン)、ポリチオフェン、ポリ(チエニレンビニレン)、ポリ(3,4-エチレンジオキシチオフェン)、ポリアニリン、及びポリピロールからなる群より選ばれた導電性高分子物質を含めてなることを特徴とする請求項12乃至14の中いずれか1項に記載の液晶表示素子。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050029937A KR101137873B1 (ko) | 2005-04-11 | 2005-04-11 | 패드전극 형성방법, 그를 이용한 액정표시소자의 제조방법,및 그 방법에 의해 제조된 액정표시소자 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006293301A true JP2006293301A (ja) | 2006-10-26 |
JP4657915B2 JP4657915B2 (ja) | 2011-03-23 |
Family
ID=37026450
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005376988A Expired - Fee Related JP4657915B2 (ja) | 2005-04-11 | 2005-12-28 | パッド電極形成方法及びこれを用いた液晶表示素子の製造方法並びに該方法により製造された液晶表示素子 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7692751B2 (ja) |
JP (1) | JP4657915B2 (ja) |
KR (1) | KR101137873B1 (ja) |
CN (1) | CN100465715C (ja) |
DE (1) | DE102005061304B4 (ja) |
TW (1) | TWI318714B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20110006354A (ko) * | 2009-07-14 | 2011-01-20 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101566428B1 (ko) | 2009-03-13 | 2015-11-06 | 삼성디스플레이 주식회사 | 배선의 접촉부 및 그 제조 방법 |
KR101720524B1 (ko) * | 2010-06-07 | 2017-03-28 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치 및 그 제조방법 |
KR20120063746A (ko) * | 2010-12-08 | 2012-06-18 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기 발광 디스플레이 장치 및 이의 제조 방법 |
US20130078804A1 (en) * | 2011-09-22 | 2013-03-28 | Nanya Technology Corporation | Method for fabricating integrated devices with reducted plasma damage |
CN102566099A (zh) * | 2012-01-11 | 2012-07-11 | 深超光电(深圳)有限公司 | 一种接触电路 |
CN103048840B (zh) * | 2012-11-12 | 2015-04-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | 阵列基板及其制作方法、液晶显示面板和显示装置 |
CN104570423A (zh) * | 2015-01-23 | 2015-04-29 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 一种显示基板及其制作方法、显示面板和显示装置 |
JP6686687B2 (ja) * | 2015-05-29 | 2020-04-22 | 株式会社デンソーウェーブ | レーザレーダ装置 |
CN106773344B (zh) * | 2016-12-16 | 2020-02-28 | 惠科股份有限公司 | 显示面板和显示面板的制程 |
US11171005B2 (en) * | 2017-06-07 | 2021-11-09 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device manufacturing method |
KR102069548B1 (ko) * | 2017-12-12 | 2020-02-11 | 성균관대학교산학협력단 | 임프린트 리소그래피 공정을 이용한 산화물 트랜지스터의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 임프린트 리소그래피 공정을 이용한 산화물 트랜지스터 |
AU2020252397A1 (en) * | 2019-04-05 | 2021-07-01 | Memstim, Llc | Method for manufacturing an electrode array for a neuroprosthetic device |
CN112002636A (zh) * | 2020-08-06 | 2020-11-27 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 阵列基板、其制备方法以及显示面板 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07263700A (ja) * | 1994-03-17 | 1995-10-13 | Fujitsu Ltd | 薄膜トランジスタの製造方法 |
JPH1090719A (ja) * | 1996-09-13 | 1998-04-10 | Toshiba Corp | 液晶表示装置 |
JPH11163364A (ja) * | 1997-11-27 | 1999-06-18 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置およびその作製方法 |
JPH11295747A (ja) * | 1998-04-06 | 1999-10-29 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JP2001005038A (ja) * | 1999-04-26 | 2001-01-12 | Samsung Electronics Co Ltd | 表示装置用薄膜トランジスタ基板及びその製造方法 |
JP2003131008A (ja) * | 2001-10-23 | 2003-05-08 | Fuji Photo Film Co Ltd | 導電性膜 |
JP2003258256A (ja) * | 2002-02-27 | 2003-09-12 | Konica Corp | 有機tft装置及びその製造方法 |
JP2004349640A (ja) * | 2003-05-26 | 2004-12-09 | Seiko Epson Corp | パターンの形成方法及びデバイスの製造方法、デバイス、電気光学装置及び電子機器 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2867384B2 (ja) * | 1988-06-23 | 1999-03-08 | 日本電気株式会社 | ホトレジスト層パターン測定方法 |
JPH03283544A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-13 | Nec Corp | 半導体装置におけるコンタクトホールの導通性検査方法 |
US5702566A (en) * | 1996-04-08 | 1997-12-30 | Industrial Technology Research Institute | Conductive photoresist to mitigate antenna effect |
KR100590742B1 (ko) * | 1998-05-11 | 2007-04-25 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법 |
US6319643B1 (en) * | 2000-06-19 | 2001-11-20 | Advanced Micro Devices, Inc. | Conductive photoresist pattern for long term calibration of scanning electron microscope |
KR100769162B1 (ko) * | 2001-03-07 | 2007-10-23 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자 및 그 제조방법 |
KR100415616B1 (ko) * | 2001-07-30 | 2004-01-24 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 유기발광소자의 제조방법 |
KR100858297B1 (ko) * | 2001-11-02 | 2008-09-11 | 삼성전자주식회사 | 반사-투과형 액정표시장치 및 그 제조 방법 |
KR100493383B1 (ko) * | 2002-10-01 | 2005-06-07 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치의 금속패턴 형성방법 |
KR100497096B1 (ko) | 2002-12-26 | 2005-06-28 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 듀얼패널타입 유기전계발광 소자용 어레이 기판 및 그 제조방법 |
KR100904270B1 (ko) | 2002-12-31 | 2009-06-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조 방법 |
US6867081B2 (en) * | 2003-07-31 | 2005-03-15 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Solution-processed thin film transistor formation method |
-
2005
- 2005-04-11 KR KR1020050029937A patent/KR101137873B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2005-12-16 US US11/304,792 patent/US7692751B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-12-20 TW TW094145366A patent/TWI318714B/zh not_active IP Right Cessation
- 2005-12-21 DE DE102005061304A patent/DE102005061304B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2005-12-28 JP JP2005376988A patent/JP4657915B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-12-30 CN CNB2005101365761A patent/CN100465715C/zh not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-09-02 US US12/585,083 patent/US7777853B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07263700A (ja) * | 1994-03-17 | 1995-10-13 | Fujitsu Ltd | 薄膜トランジスタの製造方法 |
JPH1090719A (ja) * | 1996-09-13 | 1998-04-10 | Toshiba Corp | 液晶表示装置 |
JPH11163364A (ja) * | 1997-11-27 | 1999-06-18 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置およびその作製方法 |
JPH11295747A (ja) * | 1998-04-06 | 1999-10-29 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JP2001005038A (ja) * | 1999-04-26 | 2001-01-12 | Samsung Electronics Co Ltd | 表示装置用薄膜トランジスタ基板及びその製造方法 |
JP2003131008A (ja) * | 2001-10-23 | 2003-05-08 | Fuji Photo Film Co Ltd | 導電性膜 |
JP2003258256A (ja) * | 2002-02-27 | 2003-09-12 | Konica Corp | 有機tft装置及びその製造方法 |
JP2004349640A (ja) * | 2003-05-26 | 2004-12-09 | Seiko Epson Corp | パターンの形成方法及びデバイスの製造方法、デバイス、電気光学装置及び電子機器 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20110006354A (ko) * | 2009-07-14 | 2011-01-20 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치 |
KR101635203B1 (ko) * | 2009-07-14 | 2016-06-30 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI318714B (en) | 2009-12-21 |
US7777853B2 (en) | 2010-08-17 |
TW200636364A (en) | 2006-10-16 |
KR101137873B1 (ko) | 2012-04-20 |
US7692751B2 (en) | 2010-04-06 |
JP4657915B2 (ja) | 2011-03-23 |
DE102005061304B4 (de) | 2009-09-10 |
CN1847940A (zh) | 2006-10-18 |
US20100007840A1 (en) | 2010-01-14 |
US20060227277A1 (en) | 2006-10-12 |
DE102005061304A1 (de) | 2006-10-12 |
CN100465715C (zh) | 2009-03-04 |
KR20060107873A (ko) | 2006-10-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4657915B2 (ja) | パッド電極形成方法及びこれを用いた液晶表示素子の製造方法並びに該方法により製造された液晶表示素子 | |
US9691881B2 (en) | Manufacturing method of thin film transistor substrate | |
US8493541B2 (en) | Array substrate, manufacturing method thereof and liquid crystal display | |
KR102023937B1 (ko) | 박막트랜지스터 어레이 기판 및 그의 제조방법 | |
WO2017045334A1 (zh) | 阵列基板、显示面板、显示装置以及阵列基板的制作方法 | |
US8426229B2 (en) | Method of fabricating liquid crystal display device | |
WO2014190657A1 (zh) | 像素单元及其制备方法、阵列基板、显示装置 | |
WO2014190698A1 (zh) | 一种阵列基板及其制作方法 | |
US9478565B2 (en) | Array substrate and method for fabricating the same, and display panel | |
CN108027541A (zh) | 薄膜晶体管基板及其制造方法 | |
WO2019061289A1 (en) | NETWORK SUBSTRATE, DISPLAY APPARATUS, AND METHOD FOR MANUFACTURING NETWORK SUBSTRATE | |
US20050158981A1 (en) | Method of fabricating display panel | |
CN103681514A (zh) | 阵列基板及其制作方法、显示装置 | |
JP4954868B2 (ja) | 導電層を備えた基板の製造方法 | |
CN107422543A (zh) | 一种显示面板及其制备方法、显示装置 | |
JP2007183530A (ja) | アクティブアレイカラーフィルタ構造体およびその製造方法 | |
JP2006301505A (ja) | 表示装置 | |
TWI471672B (zh) | 顯示面板的畫素結構及其製造方法 | |
JP2009271105A (ja) | 液晶表示装置の製造方法 | |
CN110673414B (zh) | 一种阵列基板及其制备方法 | |
JP2004170724A (ja) | 液晶表示装置の製造方法 | |
US7006166B2 (en) | Liquid crystal display having a member for preventing electrical shorting | |
JP2010272568A (ja) | 表示装置及びその製造方法 | |
JP2008164881A (ja) | 表示装置およびその製造方法 | |
JP2009295831A (ja) | 表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090713 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090729 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091028 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100407 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100707 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101129 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101222 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140107 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4657915 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |