JP2006178408A - スキャナ素子、光走査装置および画像形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ミラー部1の側面に慣性モーメントの変動を調整する凹凸部20を設ける。
加工時に全体にオーバーエッチングがおこり、梁3の幅が細くなり、バネ定数が設計値KよりΔKだけ小さくなる。また、ミラー1が全体に小さくなり、慣性モーメントが設計値IよりΔIだけ小さくなるが、K/I=(K+ΔK)/(I+ΔI)の関係がほぼ維持され、共振周波数は殆ど変化しない。
【選択図】図1
Description
f0=1/2π√(K/I) ・・・(式1)
但し、Iはミラー慣性モーメント、Kは2本の弾性部材(トーションバー)によって決まるバネ定数を表す。
本発明の目的は、部材の加工精度のばらつきに起因して発生するミラーの共振周波数のばらつきを抑制し、ミラーの振れ角を一定にするスキャナ素子、光走査装置および画像形成装置を提供することにある。
制御性の良い光の走査を行うことで、高画質の画像の出力が可能になる。
図1は、本発明の実施例1の光スキャナ素子を示す。図1(a)はその斜視図、(b)は平面図である。図1の参照番号1〜10で示す各構成要素は、前述した図5のものと同様である。基板2は、2枚の導電性シリコン基板(200、201)が絶縁性の酸化珪素膜(202)を介して張り付けられているSOIの2層基板を用いている。同一直線上に設けた2本の梁3としての弾性部材(トーションバー)を回転軸として支持された可動板であるミラー1と、ミラー1に設けた可動電極8と、可動電極8に対向して固定部材5に設けた固定電極9を有し、可動電極8と固定電極9は分離溝6で分離している。
図4は、本発明の実施例2の光スキャナ素子を示す。図4(a)はその斜視図、(b)は平面図である。図4に示す各構成要素は、ミラーを除き前述した図1のものと同様である。
図16は、本発明の実施例3の光スキャナ素子を示す。図16(a)はその斜視図、(b)は側面図、(c)は平面図である。図16に示す各構成要素は、ミラーを除き前述した図1のものと同様である。
2 基板
3 トーションバー
4、7 ボンディングパッド
5 固定部材
6 分離溝
8 可動電極
9 固定電極
10 光スキャナ
20 凹凸部
Claims (16)
- 基板と、可動板と、該可動板を前記基板に対し揺動可能に支持するトーションバーと、前記基板に一体に形成し、前記トーションバーを支持するフレーム部とを有するスキャナ素子であって、スキャナ素子の設計時の可動板の慣性モーメントがI、トーションバーのバネ定数がKであり、スキャナ素子の作成時の加工工程で可動板の慣性モーメントがI+ΔI、バネ定数がK+ΔKとなるスキャナ素子において、設計時のK/Iと作成時の(K+ΔK)/(I+ΔI)が略等しいことを特徴とするスキャナ素子。
- 請求項1記載のスキャナ素子において、加工工程における加工量の変動により、前記トーションバーのバネ定数が設計時の値Kに対してΔK変動した場合に、設計時の可動板の慣性モーメントの設計値Iに対する変動量ΔIが(ΔK/K)Iとなるように作用する慣性モーメント調整機構を、前記可動板または可動板の周囲に具備することを特徴とするスキャナ素子。
- 請求項2記載のスキャナ素子において、前記可動板の慣性モーメント調整機構は、スキャナ素子の可動板としての機能を提供する部位とは異なる部位に構成され、加工工程の加工量の変動により慣性モーメントが変動する複数の構造物から構成されていることを特徴とするスキャナ素子。
- 請求項3記載のスキャナ素子において、前記複数の構造物の加工工程における加工量の変動による慣性モーメントの変動量がΔI(i) i=1,2,3・・・n(nは構造物の個数:整数)であるとき、ΔI(1)+ΔI(2)+・・・+ΔI(n)=(ΔK/K)Iであるように構造物を可動板または可動板近傍に適宜配置構成したことを特徴とするスキャナ素子。
- 請求項1記載のスキャナ素子において、加工工程の加工量の変動により、前記可動板の慣性モーメントが設計時の値Iに対してΔI変動した場合に、設計時のトーションバーのバネ定数の設計値Kに対する変動量ΔKが(ΔI/I)Kとなるように作用するバネ定数調整機構をトーションバーに具備することを特徴とするスキャナ素子。
- 請求項1記載のスキャナ素子において、前記可動板およびトーションバーの形状を同一の加工工程によって作製することを特徴とするスキャナ素子。
- 請求項6記載のスキャナ素子において、前記同一の加工工程はエッチングによる工程であることを特徴とするスキャナ素子。
- 請求項1記載のスキャナ素子において、前記可動板の慣性モーメントの加工時の変動値ΔIは、可動板の加工時のオーバーエッチングまたはアンダーエッチングによる加工誤差によるものであることを特徴とするスキャナ素子。
- 請求項1記載のスキャナ素子において、前記トーションバーのバネ定数の加工時の変動値ΔKは、トーションバーの加工時のオーバーエッチングまたはアンダーエッチングによる加工誤差によるものであることを特徴とするスキャナ素子。
- 請求項2のスキャナ素子において、前記慣性モーメント調整機構は、前記可動板の周辺に設けた凹凸の形状であることを特徴とするスキャナ素子。
- 請求項2のスキャナ素子において、前記慣性モーメント調整機構は、前記可動板の内部に設けた凹部または貫通した穴部であることを特徴とするスキャナ素子。
- 請求項6のスキャナ素子において、前記可動板の周辺に凹凸の形状を設けていることを特徴とするスキャナ素子。
- 請求項6のスキャナ素子において、前記可動板の内部に凹部または貫通した穴部を設けていることを特徴とするスキャナ素子。
- 請求項1乃至13のいずれか1項に記載のスキャナ素子と、光源とを備えることを特徴とする光走査装置。
- 請求項14記載の光走査装置と、該光走査装置により静電潜像を形成する感光体と、該静電潜像をトナーにより顕像化する現像手段と、トナー像を用紙に転写する転写手段とを備えることを特徴とする画像形成装置。
- 請求項15記載の画像形成装置において、請求項8記載の光走査装置を複数搭載していることを特徴とする画像形成装置。
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