JP2003084226A

JP2003084226A - 光走査装置

Info

Publication number: JP2003084226A
Application number: JP2001279420A
Authority: JP
Inventors: Mitsuyoshi Fujii; 光美藤井; Tomohiro Nakajima; 智宏中島; Yukito Sato; 幸人佐藤; Yoshiaki Hayashi; 善紀林; Eiji Mochizuki; 栄二望月
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 2001-09-14
Filing date: 2001-09-14
Publication date: 2003-03-19
Anticipated expiration: 2021-09-14
Also published as: JP4390174B2

Abstract

(57)【要約】【課題】部材の加工精度のばらつきが起因して発生す
るミラーの共振周波数のばらつきを調節し、ミラーの振
れ角を一定にする光スキャナを有する光走査装置を提供
する。【解決手段】光源２８と、光スキャナ４を備える光走
査装置６０であって、光スキャナ４は、フレーム基板９
と、固定部材５と、ミラー基板７に弾性部材３を介して
支持されたミラー１とを有し、弾性部材３を捻り回転軸
としてミラー１を往復振動させて光源２８からの照射光
を偏向する光スキャナ４であり、ミラー１と捻り回転軸
としての弾性部材３とで決まる固有の共振周波数を調節
する調節手段を有する光走査装置である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、微小なミラーを揺
動させて光ビームの偏向を行う光スキャナを備えた光走
査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年におけるレーザー光等の光ビームを
走査する光走査装置は、バーコードリーダ、レーザープ
リンタ、ヘッドマウントディスプレー等の光学機器に用
いられている。この種の光スキャナとして、マイクロマ
シニング技術を利用した微小ミラーを揺動させる構成の
ものが提案されている。

【０００３】図１５は、従来の光走査装置に用いられる
光スキャナの斜視図と断面図である。同一直線上に設け
た２本の梁としての弾性部材３を回転軸として支持され
たミラー１と、ミラー１に設けた可動電極２６と、可動
電極２６に対向して固定部材５に設けた固定電極２５を
有し、可動電極２６と固定電極２５との間の静電吸引力
で、２本の弾性部材3を捻り回転軸としてミラー１を往
復振動させる光スキャナである。上記光スキャナにおい
て、ミラー１の共振周波数ｆ０は概略以下の式で与えら
れる。ｆ０＝１／２π√（Ｋθ／Ｉ）・・・（式１）但し、Ｉはミラー慣性モーメント、Ｋθは２本の弾性部
材によって決まるバネ定数を表す。ところで、例えば、
弾性部材３は加工時によって精度にばらつきを生じる。
これにより、Ｋθがばらつく。よって、式１で示される
共振周波数ｆ０の値にもばらつきを生じることになる。
複数の光スキャナを有する光走査装置において、各光ス
キャナ間でミラー１の共振周波数ｆ０にばらつきがある
と、図１５（ｂ）に示すミラーの振れ角θにばらつきを
生じるため、その結果、隣接する光スキャナ間によって
形成される画像のつなぎ目が視認できるようになり、画
質の劣化を招くという問題点がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記問題点に鑑み、本
発明は、部材の加工精度のばらつきが起因して発生する
ミラーの共振周波数のばらつきを調節し、ミラーの振れ
角を一定にする光スキャナを有する光走査装置を提供す
ることを課題とする。更には、前記光走査装置を備え、
良好な画質の画像形成を行う画像形成装置を提供するこ
とを課題とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１に記載の発明は、光源と、光スキャナを備
える光走査装置であって、前記光スキャナは、フレーム
基板と、固定部材と、ミラー基板に弾性部材を介して支
持されたミラーとを有し、前記弾性部材を捻り回転軸と
して前記ミラーを往復振動させて光源からの照射光を偏
向する光スキャナであり、前記ミラーと捻り回転軸とし
ての前記弾性部材とで決まる固有の共振周波数を調節す
る調節手段を有する光走査装置とする。

【０００６】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の光走査装置において、前記ミラーは、側面に可動電極
を有し、前記可動電極と対向する前記固定部材は、固定
電極を有し、前記調節手段により設定された共振周波数
に応じて、前記可動電極及び前記固定電極に印加する電
圧の周波数を可変する周波数可変手段を有する光走査装
置とする。請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の
光走査装置において、前記可動電極及び前記固定電極に
印加する電圧を調整する調整手段を有する光走査装置と
する。

【０００７】請求項４に記載の発明は、光源と、光スキ
ャナを備える光走査装置であって、前記光スキャナは、
シリコンからなる第一の基板及び第二の基板と、該第一
の基板と該第二の基板との間に設けられる絶縁層と、第
一の基板に弾性部材を介して支持されたミラーとを有
し、前記弾性部材を捻り回転軸として前記ミラーを往復
振動させて光源からの照射光を偏向する光スキャナであ
り、前記ミラーの側面に設けられる可動電極と、前記
可動電極と対向する前記第一の基板に設けられる固定電
極と、前記第一の基板に設けられる、固定電極と可動電
極を電気的に分離する分離溝と、前記ミラーと捻り回転
軸としての前記弾性部材とで決まる固有の共振周波数を
調節する調節手段と、前記調節手段により設定された共
振周波数に応じて、前記可動電極及び前記固定電極に印
加する電圧の周波数を可変する周波数可変手段と、前記
可動電極及び前記固定電極に印加する電圧を調整する調
整手段とを有する光走査装置とする。

【０００８】請求項５に記載の発明は、請求項１ないし
４のいずれかに記載の光走査装置において、前記光スキ
ャナを複数配備し、各光スキャナが有するミラーの共振
周波数は、最大の共振周波数に一致させるよう調節手段
によって調節される光走査装置とする。請求項６に記載
の発明は、請求項１ないし５のいずれかに記載の光走査
装置と、該光走査装置により静電潜像を形成する感光体
と、該静電潜像をトナーにより顕像化する現像手段と、
トナー像を用紙に転写する転写手段とを有する画像形成
装置とする。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。図１は、本発明に係る光スキャ
ナの第一の実施形態を示す斜視図及び断面図である。シ
リコンからなるミラー基板７は、エッチングによる加工
で側面に捻りバネ等の弾性部材３を有するミラー１を支
持している。ミラー１端面には可動電極２６が設けら
れ、可動電極２６に対向する固定部材５には固定電極２
５が設けられている。更に、ミラー１端面と固定部材５
との間には、電極ギャップ１１が形成されている。この
ようにして形成されたミラー基板７は、ガラスやセラミ
ックス等の絶縁材料からなるフレーム基板９上に接合さ
れている。更に、フレーム基板９上に接合されたミラー
基板７には、分離溝１２が設けられる。分離溝１２の加
工にはＣＯ_２レーザー等が用いられる。分離溝１２を設
けることにより、ミラー１と固定部材５とは電気的に分
離される。以上により、光スキャナ４が構成される。
尚、本実施の形態は、ミラー１を往復振動させる駆動源
として、静電気力を用いる場合について記載してある
が、他の駆動源、例えばＰＺＴ等の圧電体による分極
力、磁性体による電気・磁気力を用いるものであっても
よい。

【００１０】次に、光スキャナ４の動作について説明す
る。ミラー１と固定部材５の間に、電圧を印加する。電
極ギャップ１１に形成される静電場により、静電吸引力
が発生する。この力によりミラー１は、弾性部材３を回
転軸として回転運動を始める。このとき、印加電圧の周
波数が、弾性部材３とミラー１の慣性モーメントによっ
て決まる共振周波数と一致する時、振動は共振振動とな
り、ミラー１は大きな振れ角が得られる。

【００１１】ここで、共振周波数ｆ０は、先にも述べた
ように、ミラー慣性モーメントＩと、２本の弾性部材に
よって決まるバネ定数Ｋθにより、以下の式１によって
求められる。ｆ０＝１／２π√（Ｋθ／Ｉ）・・・（式１）式１において、例えば、慣性モーメントＩが６．３×１
０^−５g・cm^２、バネ定数Ｋθが６０７６dyne-cm/radの
時、共振周波数ｆ０は１．５ｋＨｚである。ここで、慣
性モーメントＩを１０％減少させると、共振周波数ｆ０
は１．６４ｋＨｚとなり、約１５０Ｈｚ共振周波数を高
くすることができる。本発明は、上記原理に基づき、光
走査装置にミラー１の共振周波数ｆ０を調節し、振れ角
を一定にする調節手段を備えるものとする。

【００１２】ミラー１の共振周波数を調節する調節手段
は、以下の通りである。図１において、１７はＣＯ_２レ
ーザー、１６は照射位置を変えるミラーである。ミラー
１の慣性モーメントを減少させるために、ミラー１の端
面１４を、ミラー１の裏面側からＣＯ_２レーザー１７に
よるレーザービーム１５で照射し、照射部に発生するレ
ーザービーム１５による熱で、端面１４の微小質量を蒸
発させる。これにより、ミラー１の慣性モーメントを減
少させる。このように、ミラー１の裏面側の微小質量を
蒸発させることで、ミラー面に損傷を与えることもな
く、また、弾性部材３に余分な力を加えることもなく、
ミラー慣性モーメントを減少させることができる。

【００１３】図２は、本発明に係る光スキャナの第二の
実施形態を示す斜視図である。ミラー１の端部には、ミ
ラー慣性モーメント調整用の切片２０が設けられてい
る。切片２０の厚さは、ミラー１の厚さより薄く設定さ
れている。これにより、切片２０とミラー１との境界面
をＣＯ_２レーザー１７によるレーザービーム１５で照射
すると、薄い切片２０は急激に温度が上昇してミラー１
から割断する。ミラー１に与える熱の影響は、少なくす
ることができる。また、このときに減少するミラー慣性
モーメントの割合は、切片２０の割断に相当する分とな
るため、共振周波数の定量的な調節が可能となる。

【００１４】図３は、本発明に係る光スキャナの第三の
実施形態を示す斜視図である。ミラー１の端部には、ミ
ラー慣性モーメント調整用の櫛歯状の切片２１が設けら
れている。切片２１の歯の幅Ｗは、数１００μｍとす
る。これにより、切片２１とミラー１との境界面をＣＯ
_２レーザー１７によるレーザービーム１５で照射する
と、ミラー１に対して十分小さい切片２１は急激に温度
が上昇してミラー１から割断する。ミラー１に与える熱
の影響は、少なくすることができる。また、このときに
減少するミラー慣性モーメントの割合は、切片２１の割
断に相当する分となるため、共振周波数の定量的な調節
が可能となる。

【００１５】また、本発明の光走査装置は、上記の共振
周波数の調節手段に加え、ミラー１と固定部材５の間に
印加される電圧の周波数を可変する周波数可変手段を有
する。図４は、本発明に係る光スキャナの第四の実施形
態を示す断面図である。ミラー１端面には可動電極２６
が設けられ、可動電極２６に対向する固定部材５には固
定電極２５が設けられている。２８はレーザー光源、２
９はミラー１により反射されたレーザービームである。
３０は周波数可変手段を有する駆動装置である。上記の
共振周波数の調節手段によって調節されたミラー１の共
振周波数をｆ０とするとき、共振周波数ｆ０と同じ印加
電圧の周波数を、周波数可変手段を有する駆動装置３０
により調整して、ミラー１と固定部材５の間に印加す
る。すると、電極ギャップ１１に静電場が形成され、静
電吸引力が発生する。この力により、ミラー１は弾性部
材３を回転軸として回転運動を始める。このとき、ミラ
ー１の共振周波数と印加電圧の周波数とが一致し、共振
振動となって、ミラー１の大きな振れ角θを得ることが
できる。

【００１６】更に、本発明の光走査装置は、上記の共振
周波数の調節手段、及び電圧の周波数可変手段に加え
て、ミラー１と固定部材５の間に印加される電圧を調整
する調整手段を有する。図４の構成において、３０は、
周波数可変手段に加え、電圧の調整手段を有する駆動装
置とする。共振周波数の調節手段によって調節されたミ
ラー１の共振周波数をｆ０′と同じ周波数の電圧を、駆
動装置３０により調整してミラー１と固定部材５の間に
印加する。すると、電極ギャップ１１には静電場が形成
され、静電吸引力が発生する。この力により、ミラー１
は弾性部材３を回転軸として回転運動を始める。このと
き、ミラー１は共振振動となる。

【００１７】ここで、図５は、一定の周波数における印
加電圧とミラー１の振れ角との関係を示す図である。共
振周波数及び電圧の周波数が同じｆ０′であっても、ミ
ラー１と固定部材５の間に印加される電圧がＶ０とＶ１
とでは、ミラー１の振れ角θが異なる。これは、以下の
ようにして説明される。共振状態に於けるミラー１の振
れ角θは概略以下の式２によって与えられる。 θ＝（Ｔｑ／Ｉ）・Ｋ・・・（式２）但し、Ｔｑはミラー１に働く静電トルク、Ｉはミラー慣
性モーメント、Ｋは共振周波数で決まる定数である。ま
た、静電トルクＴｑは以下の式３で表される関係式が与
えられる。Ｔｑ∝Ｓ・（Ｖ／ｇ）^２・・・（式３）但し、Ｓは電極間対向面積、Ｖは印加電圧、ｇは電極間
距離である。式２及び式３の関係より、印加電圧Ｖの値
によって、静電トルクＴｑが変化するため、ミラー１の
振れ角θが変化する。

【００１８】従って、上記の原理を利用し、周波数がｆ
０′に調整された後であっても、印加電圧の調整を駆動
装置３０により行い、所望のミラー１の振れ角θを得る
ことができる。例えば、ミラー１の共振周波数を電圧の
周波数と完全に一致させることができなかった場合、一
致させた場合に比べ、ミラー１の振れ角θは小さくなる
が、このとき、電圧調整手段により電圧を調整すること
によって、ミラー１の振れ角θを調整することが可能と
なる。

【００１９】また、本発明の光走査装置は、マイクロマ
シニング技術を利用した微小ミラーを備えることができ
る。図６は、本発明に係る光スキャナの第五の実施形態
を示す斜視図及び断面図である。シリコンからなる第一
の基板３５は、エッチングによる加工で側面に捻りバネ
等の弾性部材３を有するミラー１を支持する構成となっ
ている。また、シリコンの性質上、第一の基板は導電性
を有する。ミラー１の端部には、櫛歯状の共振周波数調
整用の切片２１が設けられている。また、第二の基板３
６もシリコンからなる。第一の基板３５と第二の基板３
６は、二酸化ケイ素等からなる絶縁層３７を挟んで接合
されている。更に、第一の基板３５には、分離溝１２が
エッチング等により設けられている。これにより、ミラ
ー１と固定部材５とは電気的に分離される。また、図６
（ｂ）において、駆動装置３０は、印加電圧の周波数可
変手段、及び電圧の調整手段を有する駆動装置である。

【００２０】共振周波数がｆ０に調整された状態で、周
波数ｆ０の電圧をミラー１と固定部材５に印加すると、
ミラー１と固定部材５は導電性を有するため、ミラー１
は可動電極として、固定部材５は固定電極としてそれぞ
れ作用する。これにより、電極ギャップ１１に静電場が
形成され、発生する静電吸引力により、ミラー１が共振
振動を示す。図７は、印加電圧Ｖとミラー１の振れ角θ
の関係を示す図である。駆動装置３０により印加電圧Ｖ
を変化させると、図７に示すように振れ角θが変化す
る。印加電圧Ｖを調整することにより、ミラー１の所望
の振れ角θを得ることができる。また、シリコンを用い
たマイクロマシニング技術により、ミラー１や弾性部材
３の加工誤差が少なくできるため、周波数、印加電圧等
の調整範囲を小さくすることができる。

【００２１】上記の光スキャナの構成において、ミラー
１の振れ角を大きくするために、ミラーの形状を以下の
ようにすることができる。図８は、本発明に係る光スキ
ャナの第六の実施形態を示す斜視図である。また、図９
は、ミラーの断面図である。ミラー１の形状は、肉抜き
された薄肉部４２と、肉抜きされないリブ部４３から構
成される。このように、ミラー１の形状を肉抜きしたこ
とにより、上述した式２における慣性モーメントＩの値
は小さくなる。これにより、ミラー１の振れ角θを更に
大きくすることが出来る。

【００２２】また、上記の光スキャナの構成において、
ミラー１の振れ角を大きくするために、ミラー１と固定
部材５に形成される電極の形状を以下のようにすること
ができる。図１０は、本発明に係る光スキャナの第七の
実施形態を示す斜視図である。櫛歯形状をした可動電極
４５がミラー１側面に設けられ、同じく櫛歯形状をした
固定電極４６が固定部材５に設けられている。可動電極
４５と固定電極４６とは、互いに噛み合わせて対向する
構成となっている。このような構成により、前述した式
３における電極間対向面積Ｓの値を増加させることがで
きる。電極間対向面積Ｓが増加すると、静電トルクＴｑ
の値が増加する。静電トルクＴｑの増加により、式２に
よって導き出されるミラー１の振れ角θが大きくなる。

【００２３】本発明の光走査装置は、上記のいずれかの
構成をもつ光スキャナを複数配備した構成とすることが
できる。図１１は、本発明に係る光走査装置の構成を示
す断面図である。ベース３１上に、複数の光スキャナ４
を配備している。３０は、駆動電圧を印加する駆動装置
である。また、２８はレーザー光源、２９はミラー１に
より反射されたレーザービームである。図１２は、各光
スキャナ４の共振周波数ｆ０を測定した結果を示す図で
ある。各光スキャナ４は、図１２に示すようにそれぞれ
の共振周波数を有している。ここで、最も大きい共振周
波数をｆ０４とすると、上述した共振周波数調節手段に
より、その他の光スキャナ４の共振周波数ｆ０１、ｆ０
２、ｆ０３をｆ０４と一致させるように調節する。これ
により、駆動装置３０の駆動周波数が単一にできるた
め、駆動回路を簡易にすることができる。

【００２４】更に、本発明の画像形成装置は、上記のい
ずれかの構成をもつ光走査装置を搭載したものとする。
図１３は、本発明の画像形成装置の一実施形態であるレ
ーザープリンタの概略構成図である。画像形成装置とし
てのレーザープリンタ６６は、上記のいずれかの構成を
もつ光走査装置６０と、光走査装置６０のミラー１によ
り偏向された反射レーザー光により静電潜像が形成され
る感光体６５と、感光体６５に形成された静電潜像をト
ナーにより現像する現像手段６２と、感光体６５上に形
成されたトナー像を被記録体に転写するための転写手段
６３と、被記録体を画像形成部に供給するための被記録
体供給手段６４と、被記録体上のトナー像を定着させる
ための定着手段６７とを備える。図１４は、光走査装置
６０と感光体６５を上から見た図である。光スキャナ４
が主走査方向に複数配置されている。レーザー光源２８
は、画像信号生成装置（図示せず）による画像信号に基
づき発光する。レーザー光源２８より照射されるレーサ
ービームは、光走査装置６０に入射する。光走査装置６
０のミラー１により偏向された反射レーザー光２９が、
感光体６５上に静電潜像を形成する。

【００２５】

【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によ
り、弾性部材を捻り回転軸としてミラーを往復振動させ
て光源からの照射光を偏向する光スキャナに、ミラーの
共振周波数の調節手段を設けたことで、部材の加工精度
のばらつきによって生じるミラーの共振周波数のばらつ
きを調節し、ミラーの振れ角を一定にする光スキャナを
有する光走査装置を提供することができる。また、上記
に加え、ミラー側面と、ミラー側面に対向する固定部材
とに設けられた電極間に印加される電圧の周波数可変手
段と、電圧の調整手段を設けたことにより、ミラーの共
振周波数と印加電圧の周波数とを一致させて共振振動と
し、ミラーの大きな振れ角を得ると共に、振れ角の微調
整も容易に行うことができる。更には、上記の光走査装
置を備え、隣接する光スキャナ間でミラーの振れ角にば
らつきを生じることなく、良好な画質の画像形成を行う
ことができる画像形成装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る光スキャナの第一の実施形態を示
す斜視図及び断面図である。

【図２】本発明に係る光スキャナの第二の実施形態を示
す斜視図である。

【図３】本発明に係る光スキャナの第三の実施形態を示
す斜視図である。

【図４】本発明に係る光スキャナの第四の実施形態を示
す断面図である。

【図５】一定の周波数における印加電圧とミラーの振れ
角との関係を示す図である。

【図６】本発明に係る光スキャナの第五の実施形態を示
す斜視図及び断面図である。

【図７】印加電圧Ｖとミラー１の振れ角θの関係を示す
図である。

【図８】本発明に係る光スキャナの第六の実施形態を示
す斜視図である。

【図９】光スキャナの第六の実施形態におけるミラーの
断面図である。

【図１０】本発明に係る光スキャナの第七の実施形態を
示す斜視図である。

【図１１】本発明に係る光走査装置の構成を示す断面図
である。

【図１２】各光スキャナ４の共振周波数ｆ０を測定した
結果を示す図である。

【図１３】本発明の画像形成装置の一実施形態であるレ
ーザープリンタの概略構成図である。

【図１４】光走査装置と感光体を上から見た図である。

【図１５】従来の光走査装置に用いられる光スキャナの
斜視図と断面図である。

【符号の説明】

１ミラー３弾性部材４光スキャナ５固定部材７ミラー基板９フレーム基板２５固定電極２６可動電極２８レーザー光源２９レーザービーム３０駆動装置３５第一の基板３６第二の基板６０光走査装置６６画像形成装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者林善紀東京都大田区中馬込１丁目３番６号株式会社リコー内 (72)発明者望月栄二東京都大田区中馬込１丁目３番６号株式会社リコー内Ｆターム(参考） 2C362 BA17 BA18 BA42 2H043 CA08 CD02 CE00 2H045 AB06 AB10 AB16 AB38 AB43 AB62 AB73

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光源と、光スキャナを備える光走査装置
であって、前記光スキャナは、フレーム基板と、固定部材と、ミラ
ー基板に弾性部材を介して支持されたミラーとを有し、前記弾性部材を捻り回転軸として前記ミラーを往復振動
させて光源からの照射光を偏向する光スキャナであり、前記ミラーと捻り回転軸としての前記弾性部材とで決ま
る固有の共振周波数を調節する調節手段を有することを
特徴とする光走査装置。
【請求項２】請求項１に記載の光走査装置において、前記ミラーは、側面に可動電極を有し、前記可動電極と対向する前記固定部材は、固定電極を有
し、前記調節手段により設定された共振周波数に応じて、前
記可動電極及び前記固定電極に印加する電圧の周波数を
可変する周波数可変手段を有することを特徴とする光走
査装置。
【請求項３】請求項２に記載の光走査装置において、前記可動電極及び前記固定電極に印加する電圧を調整す
る調整手段を有することを特徴とする光走査装置。
【請求項４】光源と、光スキャナを備える光走査装置
であって、前記光スキャナは、シリコンからなる第一の基板及び第
二の基板と、該第一の基板と該第二の基板との間に設け
られる絶縁層と、第一の基板に弾性部材を介して支持さ
れたミラーとを有し、前記弾性部材を捻り回転軸として前記ミラーを往復振動
させて光源からの照射光を偏向する光スキャナであり、前記ミラーの側面に設けられる可動電極と、前記可動電極と対向する前記第一の基板に設けられる固
定電極と、前記第一の基板に設けられる、固定電極と可動電極を電
気的に分離する分離溝と、前記ミラーと捻り回転軸としての前記弾性部材とで決ま
る固有の共振周波数を調節する調節手段と、前記調節手段により設定された共振周波数に応じて、前
記可動電極及び前記固定電極に印加する電圧の周波数を
可変する周波数可変手段と、前記可動電極及び前記固定電極に印加する電圧を調整す
る調整手段とを有することを特徴とする光走査装置。
【請求項５】請求項１ないし４のいずれかに記載の光
走査装置において、前記光スキャナを複数配備し、各光スキャナが有するミラーの共振周波数は、最大の共
振周波数に一致させるよう調節手段によって調節される
ことを特徴とする光走査装置。
【請求項６】請求項１ないし５のいずれかに記載の光
走査装置と、該光走査装置により静電潜像を形成する感光体と、該静電潜像をトナーにより顕像化する現像手段と、トナー像を用紙に転写する転写手段とを有することを特
徴とする画像形成装置。