JP2007241169A - スキャナ配列基板、被覆素子配列基板、光走査装置および画像形成装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】光スキャナウェハーの切断加工時の応力発生に起因して発生するミラーの共振周波数のばらつきを抑制し、ミラーの振れ角を一定にする。
【解決手段】ミラー部1、トーションバー3、可動電極、固定電極の形成と同時に基板除去部6を形成する。スキャナ配列基板をダイシングブレードで切断する際に、基板除去部6を通って切断し、スキャナ配列基板を個別の素子に分離する。
【選択図】図1
【解決手段】ミラー部1、トーションバー3、可動電極、固定電極の形成と同時に基板除去部6を形成する。スキャナ配列基板をダイシングブレードで切断する際に、基板除去部6を通って切断し、スキャナ配列基板を個別の素子に分離する。
【選択図】図1
Description
本発明は、微小なミラーを揺動させて光ビームの偏向を行うスキャナ素子、該スキャナ素子を備えた光走査装置および画像形成装置に関し、特に電子写真による露光光の走査に用いる光書込装置に好適な技術に関する。
近年、レーザー光等の光ビームを走査する光走査装置がバーコードリーダ、レーザープリンタ、ヘッドマウントディスプレー等の光学機器に用いられている。この種の光スキャナとして、マイクロマシニング技術を利用した微小ミラーを揺動させる構成のものが提案されている。
図8は、マイクロマシニング技術を利用した微小ミラーの例を示す。基板としては、2枚の導電性シリコン基板100、101が絶縁性の酸化珪素膜102を介して張り付けられているSOIの2層基板を用いている。同一直線上に設けた2本の梁としての弾性部材(トーションバー)3を回転軸として支持された可動板であるミラー1と、ミラー1に設けた可動電極8と、可動電極8に対向して固定部材5に設けた固定電極9を有し、可動電極と固定電極は分離溝6で分離している。固定電極のボンディングパッド11、可動電極のボンディングパッド12は導電性のシリコン100を介して各々可動電極8と固定電極9に繋がっている。光スキャナ10は、可動電極8と固定電極9との間の静電吸引力で、2本の弾性部材3を捻り回転軸としてミラー1を往復振動させる。
このようなミラーの形成法としては、SOIの2層基板の片面にレジスト膜をスピンコートで形成し、その後フォトリソグラフィ法でフレーム部5、ミラー部1、梁部3、可動電極部8、固定電極部9、分離溝6を形成するフォトマスクを用いてレジストを現像定着し、そのパターンを形成したレジスト膜を用いて、ドライエッチング法で酸化珪素膜面まで形状を形成する。
その後、SOI基板の反対面に同様にレジスト膜を形成し、フレーム部5、固定電極部9のみを残すパターンのフォトマスクでレジストのパターニングを行った後、ドライエッチングでフレーム部、固定電極部を除いた部分を酸化珪素膜面までエッチングする。その後、露出している酸化珪素膜をエッチングで除去し、その後所定の位置に電極11、12を形成する方法などがある。
図9は、このような光スキャナを実装するステム20の例である。ステムの中央には、光スキャナの揺動を妨げないように、座グリ部分21が形成されている。この光スキャナ10とステム20を実装した状態を図10に示す。このように、光スキャナを分離した後にステムに実装する方法のほかに、図11に示すように光スキャナ素子を分離する前のウェハーの状態で実装する方法も用いられる。
図11(A)に示すように、光スキャナ素子が複数個整列配置している光スキャナウェハー40と、カバーガラス素子が複数個整列配置しているカバーガラスウェハー42と、ステムに対応するベース素子が複数個整列配置しているベースウェハー41を各素子が図11(B)の拡大図に示すように、個々の素子の位置を合わせて接合する。接合した状態のウェハーを図11(C)に示す。この接合したウェハーを分離線に沿って分離することで図11(D)に示すような、素子の組み立てが出来上がる。図11(E)は、出来上がった素子の組み立ての構成を示す図で、光スキャナ素子43、カバーガラス素子45、ベース素子44が所定の位置で組み合わさるようになっている。このようにウェハーレベルで一括して組み立てたのち、分離することで、あらかじめ素子を分離してから組み立てるのに対して効率的な組み立てが可能になる。
また、このような微小ミラーを用いた光走査装置の例として、複数の光スキャナを配備した構成が提案されている。図12は、光走査装置の構成の断面を示す。ベース31上に、複数の光スキャナ4を配備している。30は駆動電圧を印加する駆動装置、28はレーザー光源、29はミラー1により反射されたレーザービームである。このような光走査装置を用いた画像形成装置として以下のようなものが提案されている。
図13は、画像形成装置の一例であるレーザープリンタの概略構成図を示す。画像形成装置としてのレーザープリンタ66は、上記した構成の光走査装置60と、光走査装置60のミラー1により偏向された反射レーザー光により静電潜像が形成される感光体65と、感光体65に形成された静電潜像をトナーにより現像する現像手段62と、感光体65上に形成されたトナー像を被記録体に転写するための転写手段63と、被記録体を画像形成部に供給するための被記録体供給手段64と、被記録体上のトナー像を定着させるための定着手段67とを備える。
図14は、光走査装置60と感光体65を上から見た図である。光スキャナ4が主走査方向に複数配置されている。レーザー光源28は、図示しない画像信号生成装置による画像信号に基づき発光する。レーザー光源28より照射されるレーサービームは、光走査装置60に入射する。光走査装置60のミラー1により偏向された反射レーザー光29が感光体65上に静電潜像を形成する。
このような画像形成装置では、光走査装置を形成する光スキャナの共振周波数のバラツキが問題となる。図15は、各光スキャナ4の共振周波数f0を測定した結果を示す。各光スキャナ4は、図15に示すようにそれぞれの共振周波数を有している。このような共振周波数のバラツキは以下のような原因で発生する。
図8を用いて、光スキャナの共振周波数について説明する。同一直線上に設けた2本の梁としての弾性部材(トーションバー)3を回転軸として支持されたミラー1と、ミラー1に設けた可動電極8と、可動電極8に対向して固定部材5に設けた固定電極9を有し、可動電極26と固定電極25との間の静電吸引力で、2本の弾性部材3を捻り回転軸としてミラー1を往復振動させる光スキャナにおいて、ミラー1の共振周波数f0は概略以下の式で与えられる。
f0=1/2π√(K/I) ・・・(式1)
但し、Iはミラー慣性モーメント、Kは2本の弾性部材によって決まるバネ定数を表す。
このように、弾性部材(トーションバー)3のバネ定数が変わると光スキャナの共振周波数は変動する。
f0=1/2π√(K/I) ・・・(式1)
但し、Iはミラー慣性モーメント、Kは2本の弾性部材によって決まるバネ定数を表す。
このように、弾性部材(トーションバー)3のバネ定数が変わると光スキャナの共振周波数は変動する。
そこで、光スキャナの共振周波数を調整する方法が従来から提案されている(例えば、特許文献1〜3を参照)。しかし、特許文献1、2の方法では、周波数の調整に高出力のレーザー装置が必要になり、コストの上昇を招くほか、レーザー照射で飛散した物質がミラー面等に付着し、ミラーの汚染を招くという問題がある。また、ミラー面の近傍に高出力のレーザーを照射するため、ミラー構成部材の温度上昇を防ぐことが難しく、部分的なミラー部の温度上昇がミラー部の歪みを発生する。
また、特許文献3のような金属蒸着やエッチングでは、半導体技術などを用いて半導体ウェハー上に複数のガルバノミラー(スキャナ)をまとめて作成する場合には、ウェハー内での蒸着量やエッチング量の分布を制御することが困難であり、ウェハー内の個々のガルバノミラーを最適化することが難しい。
図16は、従来技術における光スキャナ素子の分離方法の説明図である。図11に示すように、光スキャナは複数個整列配置したウェハーを切り出して作る。図16(a)は2つにつながっている光スキャナを切り出している部分の斜視図である。2つの光スキャナ素子の中間を回転式の刃で切断する。図16(a)は切断の途中を示しているが、このようにトーションバーの根元付近も切削していることになる。
図16(b)はトーションバー付近を切削しているところを示している。刃がフレーム部を切削するとき、刃から力を受けるフレーム部では応力が発生する。そのフレーム部に発生した応力は、フレーム部と連続してつながっているトーションバーにも伝播し、トーションバーの圧縮応力の発生、さらに大きな応力が発生した場合には、トーションバーの根元のクラックの発生や、トーションバー自体の破損を引き起こす。トーションバーへの圧縮応力の残留やトーションバーの根元のクラックの発生はトーションバーのばね定数の変化を引き起こし、そのため光スキャナの共振周波数が変動する。トーションバーが破損した場合には光スキャナ自体が動作しなくなる。このように、ウェハー切削加工時に発生する残留応力発生のためトーションバネのバネ定数Kがばらつき、式1で示される共振周波数f0の値にもばらつきを生じることになる。また、複数の光スキャナを有する光走査装置において、各光スキャナ間でミラー1の共振周波数f0にばらつきがあると、ミラーの振れ角θにばらつきを生じる。そして、このような光スキャナを用いた画像形成装置では、隣接する光スキャナ間によって形成される画像のつなぎ目が視認できるようになり、画質の劣化を招くという問題点がある。
このような切削部での応力の発生は切削速度が速いほど大きくなるので、通常は切削速度を遅くして応力の発生を抑えている。しかし、切削速度の低下は加工時間を伸ばしコストの増大を招くという問題がある。
本発明は上記した問題点に鑑みてなされたもので、
本発明の目的は、光スキャナウェハーの切断加工時の応力発生に起因して発生するミラーの共振周波数のばらつきを抑制し、ミラーの振れ角を一定にするスキャナ素子、光走査装置を提供することにあり、更には、前記光走査装置を備え、良好な画質の画像を形成する画像形成装置を提供することにある。
本発明の目的は、光スキャナウェハーの切断加工時の応力発生に起因して発生するミラーの共振周波数のばらつきを抑制し、ミラーの振れ角を一定にするスキャナ素子、光走査装置を提供することにあり、更には、前記光走査装置を備え、良好な画質の画像を形成する画像形成装置を提供することにある。
本発明は、基板に、可動板と可動板を基板に対し揺動可能に軸支するトーションバーとトーションバーを支持するフレーム部を一体に形成し、前記可動板を揺動するスキャナ素子において、前記スキャナ素子を複数個整列配置したスキャナ配列基板の隣接するスキャナ素子のトーションバーの長手方向の延長線上で、前記トーションバーに接しない位置に前記基板の一部を除去した基板除去部分を形成する。これにより、基板除去部で応力の伝播を抑え、トーションバーに応力が伝播することを抑制できる。
本発明の基板除去部分は前記スキャナ配列基板を個別の素子に分離する場合の分離線上にある。これにより、基板の分離時にトーションバー付近での応力の伝播を抑制することができる。
本発明では、前記基板除去部分の前記分離線と直交する方向の幅が前記分離線の幅より広い。これにより、基板の分離時にトーションバー付近での応力の伝播を有効に抑制することができる。
本発明では、前記基板除去部分の前記分離線と並行する方向の幅が前記トーションバーの幅より広い。これにより、基板の分離時にトーションバー付近での応力の伝播を有効に抑制することができる。
本発明では、スキャナ配列基板上の基板除去部分に対応した部分に、被覆素子配列基板の一部を除去した基板除去部分を形成する。これにより、被覆素子が不透明材料の場合でも、被覆素子配列基板の基板除去部から、スキャナ配列基板の基板除去部を観察することができ、両基板の正確な位置合わせ接合が容易にできるようになる。
本発明では、スキャナ配列基板と被覆素子配列基板を接合し、その後各スキャナ素子ごとに分離するデバイスの製造方法において、デバイスの分離を行うための分離線上に、前記被覆素子配列基板上の基板除去部がある。これにより、両基板を張り合わせたあとで、正確な両素子の切断分離が容易に行えるようになる。
本発明の光走査装置において、本発明のスキャナ配列基板と光源を備えている。これにより、制御性の良いミラーの揺動を行うことで、制御性の高い光の走査を行うことが可能になる。
本発明の光走査装置において、本発明のスキャナ配列基板と被覆素子配列基板と光源を備えている。これにより、制御性の良いミラーの揺動を行うことで、制御性の高い光の走査を行うことが可能になる。
本発明の画像形成装置において、本発明の光走査装置と、該光走査装置により静電潜像を形成する感光体と、該静電潜像をトナーにより顕像化する現像手段と、トナー像を用紙に転写する転写手段とを有する。これにより、制御性の良い光の走査を行うことで、高画質の画像の出力が可能になる。
本発明の画像形成装置は、本発明の光走査装置を複数搭載している。これにより、制御性の良い光の走査を行うことで、高画質の画像の出力が可能になる。
本発明(請求項1)は、基板除去部で応力の伝播を抑え、トーションバーに応力が伝播することを抑制できるので、トーションバーへの外部からの応力の伝播によるばね定数の変化に起因する共振周波数の変動を抑制できる。
本発明(請求項2)は、基板の分離時にトーションバー付近での応力の伝播を抑制することができるので、ウェハー切断時に共振周波数が変動することを抑制できる。
本発明(請求項3、4)は、基板の分離時にトーションバー付近での応力の伝播を有効に抑制することができるので、ウェハー切断時に共振周波数が変動することを抑制できる。
本発明(請求項5)は、被覆素子配列基板が不透明材料の場合でも、被覆素子配列基板の基板除去部から、スキャナ配列基板の基板除去部を観察することができ、両基板の正確な位置合わせ接合が容易にできるので、不透明な材料の被覆素子配列基板を用いたウェハー一括組み立てにおいて、ウェハー切断時に共振周波数が変動することを抑制できる。
本発明(請求項6)は、両基板を張り合わせたあとで、正確な両素子の切断分離が容易に行えるので、不透明な材料の被覆素子配列基板を用いたウェハー一括組み立てにおいて、ウェハー切断時に共振周波数が変動することを抑制できる。
本発明(請求項7)は、制御性の良いミラーの揺動を行うことができ、また制御性の高い光走査が可能になるので、高精度に共振周波数が調整された光スキャナ素子を提供することができる。
本発明(請求項8)は、制御性の良いミラーの揺動を行うことができ、また制御性の高い光走査が可能になる。
本発明(請求項9、10)は、制御性の良い光走査を行うことができ、高画質の画像の出力が可能になる。
以下、発明の実施の形態について図面により詳細に説明する。
実施例1:
図1は、本発明の実施例1の構成を示す。基本的な作製方法は従来例で説明した図8の微小ミラーと同様である。なお、可動電極8、固定電極9は、本実施例の説明には必要がないので図示を省略している。
図1は、本発明の実施例1の構成を示す。基本的な作製方法は従来例で説明した図8の微小ミラーと同様である。なお、可動電極8、固定電極9は、本実施例の説明には必要がないので図示を省略している。
複数個のスキャナ素子が整列配置されたスキャナ配列基板200には、本発明の基板除去部6が形成されている。本発明による基板除去部6は、従来技術で説明した、ミラー部1、トーションバー3、及び可動電極8、固定電極9の形成と同時に形成する。今回作製した実施例の基板除去部6は、幅(トーションバーの幅と同じ方向)が300μm、長さ(トーションバーの長さと同じ方向)が100μm、深さが基板の貫通とした。すなわち、トーションバー3の幅が80μmであり、基板除去部6の幅がトーションバー3の幅より広くなっている。
図2は、本実施例のスキャナ配列基板をダイシングブレードで切断する場合の説明図である。ダイシングは、基板除去部6を通ってスキャナ配列基板200を個別の素子に分離する分離線40上を切断することになる。ダイシングブレードは厚さ80μmであり、切りしろを含めても基板除去部6の長さより狭くなっている。図3は切断後の光スキャナ素子を示す。
本発明による光スキャナ素子は、切断時にトーションバーの付け根付近ではダイシングブレードが基板にあたっていない。図4は、ダイシングブレードがトーションバーの付け根付近を通る時の状況を示す図である。トーションバーの付け根付近では刃(ダイシングブレード)はフレーム部に接触しておらず、そのためフレーム部に応力を発生させない。したがってトーションバーに伝播する応力も激減し、トーションバーのばね定数の変化や、トーションバーの破損などもおきない。これにより安定した共振周波数が得られる。これは切断速度が高速になっても同様であり、切削時間削減のため高速で切断してもトーションバーのばね定数の変化や、トーションバーの破損などもおきない。
実施例2:
図5は、本発明の実施例2の構成を示す。基本的な作製方法は従来例で説明した図8の微小ミラーと同様である。なお、可動電極8、固定電極9は、本実施例の説明には必要がないので図示を省略している。また、本発明による基板除去部6は、従来技術で説明した、ミラー部1、トーションバー3、及び可動電極8、固定電極9の形成と同時に形成する。
図5は、本発明の実施例2の構成を示す。基本的な作製方法は従来例で説明した図8の微小ミラーと同様である。なお、可動電極8、固定電極9は、本実施例の説明には必要がないので図示を省略している。また、本発明による基板除去部6は、従来技術で説明した、ミラー部1、トーションバー3、及び可動電極8、固定電極9の形成と同時に形成する。
本実施例では、基板除去部の幅を更に広くし、更にトーションバーと並行の方向にも基板除去部7を設けている。これにより、切断時の応力がフレーム部を介して伝播するのを更に抑制し、また切断時の振動の伝播も抑えられるのでトーションバーの破損や、さらに固定電極部の振動による破損も抑制できるようになる。
実施例3:
図6は、本発明の実施例3の構成を示す。スキャナ配列基板200にレイアウトが対応する被覆素子配列基板201には、基板除去部6aが形成されている。被覆素子配列基板201の材質はシリコンであり、可視光の領域では不透明である。被覆素子配列基板201の材質が透明なガラスや石英製の場合には特に基板除去部が無くても被覆素子配列基板とスキャナ配列基板の位置合わせ接合は容易に行えるが、被覆素子配列基板が不透明の場合には可視光を用いた簡便な方法での位置合わせ接合は困難である。
図6は、本発明の実施例3の構成を示す。スキャナ配列基板200にレイアウトが対応する被覆素子配列基板201には、基板除去部6aが形成されている。被覆素子配列基板201の材質はシリコンであり、可視光の領域では不透明である。被覆素子配列基板201の材質が透明なガラスや石英製の場合には特に基板除去部が無くても被覆素子配列基板とスキャナ配列基板の位置合わせ接合は容易に行えるが、被覆素子配列基板が不透明の場合には可視光を用いた簡便な方法での位置合わせ接合は困難である。
本実施例のように、不透明の被覆素子配列基板201に、スキャナ配列基板200の基板除去部6と同じレイアウトの基板除去部6aを設ければ、各々の基板の基板除去部分を重ね合わせることで容易に位置合わせ接合を行うことができる。図7は、スキャナ素子配列基板200の上に被覆素子配列基板201を重ねた状態を示す(なお、被覆素子配列基板はスキャナ素子を保護するためのカバーであり、実際には図11と同様に、スキャナ配列基板は、上の被覆素子配列基板と下の被覆素子配列基板とに挟まれて接合される。このようにスキャナ素子がカバーで保護されても、可動板が揺動する空間が確保され、可動板が被覆素子配列基板に接触することはない)。また、不透明な被覆素子配列基板を用いても、切断時の応力発生により共振周波数の変動の起きることが少ないウェハー一括組み立てを容易に行うことが可能になる。
上記した実施例1〜3の光スキャナ素子を用いて図12に示す光走査装置を構成することができる。また、本発明の光スキャナ素子を用いた光走査装置によって、図13、14に示す画像形成装置を構成することができる。
以上、説明したように、本発明により、弾性部材を捻り回転軸としてミラーを往復振動させて光源からの照射光を偏向する光スキャナの加工時に発生するばね定数のばらつきによって生じるミラーの共振周波数のばらつきを抑制し、コストのかかる調整工程が無くてもミラーの振れ角を一定にする光スキャナを有する光走査装置を提供することができる。更には、上記の光走査装置を備え、隣接する光スキャナ間でミラーの振れ角にばらつきを生じることなく、良好な画質の画像形成を行うことができる画像形成装置を提供できる。
1 ミラー部
3 トーションバー
5 フレーム部
6 基板除去部
3 トーションバー
5 フレーム部
6 基板除去部
Claims (10)
- 基板と、可動板と、該可動板を前記基板に対し揺動可能に支持するトーションバーと、前記基板に一体に形成し、前記トーションバーを支持するフレーム部を有するスキャナ素子を、複数個整列配置したスキャナ配列基板において、隣接するスキャナ素子のトーションバーの長手方向の延長線上で、前記トーションバーに接しない位置に、前記スキャナ配列基板の一部を除去した基板除去部分を形成することを特徴とするスキャナ配列基板。
- 前記基板除去部分は、前記スキャナ配列基板を個別のスキャナ素子に分離する場合の分離線上にあることを特徴とする請求項1記載のスキャナ配列基板。
- 前記基板除去部分の前記分離線と直交する方向の幅は、前記分離線の幅より広いことを特徴とする請求項2記載のスキャナ配列基板。
- 前記基板除去部分の前記分離線と並行する方向の幅は、前記トーションバーの幅より広いことを特徴とする請求項2記載のスキャナ配列基板。
- 請求項1記載のスキャナ素子を被覆する被覆素子配列基板であって、請求項1記載のスキャナ配列基板上の基板除去部分に対応した部分に、前記被覆素子配列基板の一部を除去した基板除去部分を形成することを特徴とする被覆素子配列基板。
- 前記スキャナ配列基板と前記被覆素子配列基板を接合し、その後、各スキャナ素子ごとに分離するための分離線上に、前記被覆素子配列基板上の基板除去部があることを特徴とする請求項5記載の被覆素子配列基板。
- 請求項1乃至4のいずれか1項に記載のスキャナ配列基板と、光源を備えることを特徴とする光走査装置。
- 請求項1乃至4のいずれか1項に記載のスキャナ配列基板と、請求項5または6記載の被覆素子配列基板と、光源を備えることを特徴とする光走査装置。
- 請求項7または8記載の光走査装置と、該光走査装置により静電潜像を形成する感光体と、該静電潜像をトナーにより顕像化する現像手段と、トナー像を用紙に転写する転写手段とを有することを特徴とする画像形成装置。
- 請求項7または8記載の光走査装置を複数搭載していることを特徴とする請求項9記載の画像形成装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US10048490B2 (en) | 2015-08-18 | 2018-08-14 | Ricoh Company, Ltd. | Drive system, video device, image projection device, and drive control method |
US10491866B2 (en) | 2015-08-26 | 2019-11-26 | Ricoh Company, Ltd. | Actuator controlling device, drive system, video device, image projection device, and actuator controlling method |
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