JP6062896B2 - 光走査装置 - Google Patents

Description

本発明は、光走査装置に関する。

従来より、振動ミラー部と振動ミラー部を支持するトーションバー部と振動ミラー部を駆動する駆動部とを備えた共振型の光偏向器は知られている（例えば、特許文献１参照）。振動ミラー部とトーションバー部とはユニット化されて支持部材により支持されている。この光偏向器では、振動ミラー部が振動する際に、その周囲に生じる渦流によって振動ミラー部の挙動（振幅）が不安定化する虞がある。これに対して、例えば特許文献１に示す光偏向器では、振動ミラー部の端部に隣接して固体部を配置し、これにより、上記渦流の発生を抑制するようにしている。

上記振動ミラー部の駆動方式として、例えば特許文献１に示す電磁駆動方式や、特許文献２に示す圧電素子を用いた駆動方式が挙げられる。特許文献２に示す光偏向器では、振動ミラー部とトーションバー部と圧電素子（駆動部）とがユニット化されてミラーユニットを構成している。

特開２００９−４２７３７号公報 特開２０１１−１２３１７６号公報

しかし、従来の光偏向器では、支持部材に対するミラーユニットの組付け精度が悪いと、振動ミラー部の端部と該端部に隣接する固体部とのクリアランス距離が広くなり過ぎて、固体部による渦流抑制効果を十分に得ることができないという問題がある。

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、振動ミラー部の振動に伴い発生する渦流を確実に抑制して、振動ミラー部の挙動を安定化させようとすることにある。

本発明に係る光走査装置は、主走査方向に延びる振動ミラー部と主走査方向に交差する方向に延びて該振動ミラー部を揺動可能に支持するトーションバー部とを含むミラーユニットと、該ミラーユニットを支持する支持部材とを有する共振型の光偏向器と、該光偏向器に向けて光を出射する光源と、該光偏向器にて偏向された光を被走査面に結像させる結像レンズと、該結像レンズを収容する筐体とを備えている。

そして、上記光偏向器の支持部材には、上記振動ミラー部の主走査方向の両端部の周側面に隣接して配置され、該振動ミラー部の振動時に発生する渦流を抑制する一対の固体部が設けられ、上記光偏向器は、上記各固体部と上記振動ミラー部の両端部の周側面とのクリアランス距離が予め設定した設定距離になるように、上記支持部材に対する上記ミラーユニットの位置決めを行う位置決め機構を備え、上記位置決め機構は、上記光偏向器を上記筐体に対して位置決めする機構として兼用されている。

この構成によれば、振動ミラー部の振動時にその主走査方向の両端部から発生する渦流を固体部により掻き消して抑制することができる。

ここで、支持部材に対するミラーユニットの組付け精度が悪いと、振動ミラー部の両端部の周側面と各固体部とのクリアランス距離が予め設定した設定距離よりも広くなり、固体部による渦流の抑制効果が薄れてしまう。これに対して、上記構成では、このクリアランス距離が予め設定した設定距離になるように、位置決め機構によって、支持部材に対するミラーユニットの位置決めがなされる。よって、各固体部と振動ミラー部の両端部の周側面とのクリアランス距離が広がり過ぎることもない。よって、振動ミラー部の両端部付近から発生する渦流を固体部により確実に掻き消す（抑制する）ことができる。

また、支持部材に対するミラーユニットの位置決め機構と、筐体に対する光偏向器の位置決め機構とを兼用することで製品コストを低減することができる。

上記各固体部における上記振動ミラー部の両端部の周側面に対向する面は、該周側面に沿った形状であることが好ましい。

この構成によれば、固体部と振動ミラー部の端部の周側面との間でクリアランス距離の大小が生じることなく、クリアランス距離を一定に維持することができる。よって、クリアランス距離が大きい箇所で渦流が発生し易くなる問題を回避して、各固体部による渦流抑制効果を可及的に高めることができる。

上記ミラーユニットは、上記振動ミラー部を共振駆動する圧電素子を含み、上記支持部材は、上記圧電素子に駆動電圧を供給するための基板であることが好ましい。

この構成によれば、支持部材が基板で構成されており、この基板の一部を利用して上記各固定部を形成することができるので、製品コストを低減することができる。

上記ミラーユニットは、上記振動ミラー部の周囲を囲むように形成され且つ上記トーションバー部を介して該振動ミラー部を保持する固定枠部を有し、上記位置決め機構は、上記支持部材における上記ミラーユニットの支持面から突出する突出部を有する位置決めピンと、上記固定枠部に形成され、上記位置決めピンにおける上記突出部に係合するピン係合部とを含むことが好ましい。

この構成によれば、ミラーユニットの固定枠部に形成されたピン係合部が、位置決めピンの突出部に係合することで、支持部材に対するミラーユニットの位置決めがなされる。こうして、位置決め機構を簡単な構成により実現することができる。

上記位置決めピンは、複数設けられており、上記複数の位置決めピンを連結する連結部をさらに備えていることが好ましい。

この構成によれば、複数の位置決めピンが連結部を介して連結されているので、位置決めピンの支持部材への組付け作業を容易に行うことができる。

本発明によれば、振動ミラー部の振動に伴い発生する渦流を確実に抑制して、振動ミラー部の挙動を安定化させることができる。

図１は、実施形態における光走査装置を備えた画像形成装置を示す縦断面図である。 図２は、光走査装置の光偏向器示す平面図である。 図３は、図２のIII−III線断面図である。 図４は、変形例１を示す図３相当図である。 図５は、変形例２を示す図３相当図である。 図６は、実施形態２を示す図２相当図である。 図７は、実施形態３を示す図２相当図である。 図８は、実施形態３における光偏向器を有する光走査装置を示す概略の断面図である。 図９は、他の実施形態を示す図３相当図である。 図１０は、他の実施形態を示す図３相当図である 図１１は、他の実施形態を示す図２相当図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。尚、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。

《実施形態１》
図１は、本実施形態における画像形成装置としてのレーザープリンター１の概略構成を示す断面図である。

レーザープリンター１は、図１に示すように、箱状のプリンタ本体２と、手差し給紙部６と、カセット給紙部７と、画像形成部８と、定着部９と、排紙部１０とを備えている。そうして、レーザープリンター１は、プリンタ本体２内の搬送路Ｌに沿って用紙を搬送しながら、不図示の端末等から送信される画像データに基づいて用紙に画像を形成するように構成されている。

手差し給紙部６は、プリンタ本体２の１つの側部に開閉可能に設けられた手差しトレイ４と、プリンタ本体２の内部に回転可能に設けられた手差し用の給紙ローラー５とを有している。

カセット給紙部７は、プリンタ本体２の底部に設けられている。カセット給紙部７は、互いに重ねられた複数の用紙を収容する給紙カセット１１と、給紙カセット１１内の用紙を１枚ずつ取り出すピックローラー１２と、取り出された用紙を１枚ずつ分離して搬送路Ｌへと送り出すフィードローラー１３及びリタードローラー１４とを備えている。

画像形成部８は、プリンタ本体２内におけるカセット給紙部７の上方に設けられている。画像形成部８は、プリンタ本体２内に回転可能に設けられた像担持体である感光ドラム１６と、感光ドラム１６の周囲に配置された帯電器１７と、現像部１８と、転写ローラー１９及びクリーニング部２０と、感光ドラム１６の上方に配置された光走査装置３０と、トナーホッパー２１とを備えている。そうして、画像形成部８は、手差し給紙部６又はカセット給紙部７から供給された用紙に画像を形成するようになっている。

尚、搬送路Ｌには、送り出された用紙を、一時的に待機させた後に所定のタイミングで画像形成部８に供給する一対のレジストローラー１５が設けられている。

定着部９は、画像形成部８の側方に配置されている。定着部９は、互いに圧接されて回転する定着ローラー２２及び加圧ローラー２３を備えている。そうして、定着部９は、画像形成部８で用紙に転写されたトナー像を当該用紙に定着させるように構成されている。

排紙部１０は、定着部９の上方に設けられている。排紙部１０は、排紙トレイ３と、排紙トレイ３へ用紙を搬送するための一対の排紙ローラー２４と、排紙ローラー対２４へ用紙を案内する複数の搬送ガイドリブ部２５とを備えている。排紙トレイ３は、プリンタ本体２の上部に凹状に形成されている。

レーザープリンター１が画像データを受信すると、画像形成部８において、感光ドラム１６が回転駆動されると共に、帯電器１７が感光ドラム１６の表面を帯電させる。

そして、画像データに基づいて、光走査装置３０から感光ドラム１６へとレーザー光が出射される。感光ドラム１６の表面には、レーザー光が照射されることによって静電潜像が形成される。感光ドラム１６上に形成された静電潜像は、現像部１８で現像されることにより、トナー像として可視像となる。

その後、用紙は、転写ローラー１９により感光ドラム１６の表面に押し付けられる。そのことにより、用紙に感光ドラム１６のトナー像が転写される。トナー像が転写された用紙は、定着部９において定着ローラー２２と加圧ローラー２３とにより加熱及び加圧される。その結果、トナー像が用紙に定着する。

光走査装置３０は、光偏向器３５と筐体３６とを有している。光偏向器３５は、筐体３６内に収容されていて、光源から出射された光を偏向走査させる。光偏向器３５にて偏向走査された光は、筐体３６の開口部を通過して感光ドラム１６の周面に照射される。

図２に示すように、光偏向器３５は、ミラーユニット４０と基板５５とを備えている。ミラーユニット４０は、いわゆるＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）デバイスであり、シリコン板をエッチング加工することにより形成されている。

ミラーユニット４０は、振動ミラー部４１と一対のトーションバー部４２と一対の横梁部４４と固定枠部４６とを有している。ミラーユニット４０は、固定枠部４６を介して基板５５の上面に固定されている。

振動ミラー部４１は、平面視で略楕円形状をなす薄板状に形成されている。振動ミラー部４１の長軸方向は主走査方向に一致し、短軸方向が副走査方向に一致している。振動ミラー部４１の厚さ方向の一側面は、光源から出射された光を反射するための反射面４１ａとされている。この反射面４１ａには、光の反射率を高めるために例えばアルミやクロムからなる光反射膜が形成されている。

固定枠部４６は、振動ミラー部４１の周囲を囲むように形成されている。具体的には、固定枠部４６は、副走査方向に延びる２つの縦辺部４７と主走査方向に延びる２つの横辺部４８とを有する矩形枠状に形成されている。

一対の横梁部４４は、振動ミラー部４１に対して副走査方向の両側に配置されている。各横梁部４４は、固定枠部４６の２つの縦辺部４７間に跨って配置されている。振動ミラー部４１は、一対のトーションバー部４２及び一対の横梁部４４を介して固定枠部４６に支持されている。一対のトーションバー部４２は、副走査方向に延びていて、振動ミラー部４１の短軸の延長線上に位置している。

上記圧電素子４５は、各横梁部４４に２つずつ取付けられて合計で４つ設けられている。各圧電素子４５は、基板５５に形成された駆動回路に電気的に接続されている。そして、駆動回路より各圧電素子４５に印加する印加電圧（駆動電圧）を所定の周波数で変動させることにより圧電素子４５が伸縮して振動するようになっている。各圧電素子４５の振動周波数は、振動ミラー部４１の共振周波数に一致するように設定されている。

振動ミラー部４１は、各圧電素子４５が振動することにより共振して上記両トーションバー部４２回りに捻れ振動する。そうして、振動ミラー部４１は、光源から反射面４１ａに入射する光の反射方向を変化させて光を主走査方向に往復走査させる。

基板５５は、断面が矩形枠状の柱状に形成されている。詳しくは、基板５５は、副走査方向に延びる一対の縦辺部５６と、主走査方向に延びる一対の横辺部５７とを有している。基板５５の上面には、ミラーユニット４０の固定枠部４６が固定支持されている。

一対の縦辺部５６の副走査方向の中央部には、互いの内側に矩形状に突出する突条部（固体部に相当）５８が形成されている。突条部５８は、基板５５の一部を構成していて、その高さ方向の全体に亘って形成されている。突条部５８は、平面視で振動ミラー部４１の主走査方向の両端部の周側面に隣接するように形成されている。各突条部５８は、振動ミラー部４１の振動時にその両端部から発生する渦流を掻き消すように機能する。これにより、振動ミラー部４１の挙動（振幅）を安定化して光の走査精度を向上させることができる。

ここで、振動ミラー部４１の主走査方向の両端部と突条部５８とのクリアランス距離ｄが広すぎると、突条部５８により渦流を十分に抑制することができないという問題がある。そこで、本実施形態では、基板５５に対するミラーユニット４０の位置決めを行う位置決め機構が設けられている。

具体的には、上記位置決め機構は、第１位置決めピン６０と、第２位置決めピン６１と、第１ピン係合凹部４９と、第２ピン係合凹部５０とを有している。

第１位置決めピン６０は、基板５５の一方の突条部５８を貫通しており、第２位置決めピン６１は、基板５５の他方の突条部５８を貫通している。各位置決めピン６０，６１は、振動ミラー部４１の長軸の延長線上に位置している。各位置決めピン６０，６１の一端部は、基板５５の上面よりも上側に突出して突出部６０ａ，６１ａを構成している。各位置決めピン６０，６１の他端部は、連結板部６２により連結されている。

第１ピン係合凹部４９は、固定枠部４６の一方の縦辺部４７に形成されている。第１ピン係合凹部４９は、該縦辺部４７の内側（振動ミラー部４１側）の端縁における副走査方向の中央部をＶ字状に切り欠いて形成されている。第１ピン係合凹部４９の内側面が、第１位置決めピン６０の突出部６０ａに当接することにより、ミラーユニット４０の主走査方向の位置決めがなされる。

第２ピン係合凹部５０は、固定枠部４６の他方の縦辺部４７に形成されている。第２ピン係合凹部５０は、該縦辺部４７の内側（振動ミラー部４１）の端縁における副走査方向の中央部をＵ字状に切り欠いて形成されている。このＵ字の半径は第２位置決めピン６１の半径と同等かそれよりも僅かに大きい。第２ピン係合凹部５０の副走査方向の両側面が第２位置決めピン６１の突出部６０ａに当接することにより、ミラーユニット４０の副走査方向の位置決めがなされる。

ミラーユニット４０を基板５５に組み付ける際には、ミラーユニット４０の固定枠部４６に形成された第１ピン係合凹部４９を第１位置決めピン６０の突出部６０ａに係合させ、第２ピン係合凹部５０を第２位置決めピン６１の突出部６１ａに係合させる。これにより、各突条部５８と、振動ミラー部４１の主走査方向の両端部の周側面とのクリアランス距離ｄが予め設定した設定距離に規制される。したがって、クリアランス距離が広くなり過ぎて各突条部５８による渦流の抑制効果が薄れるのを防止することができる。よって、振動ミラー部４１の両端部付近から発生する渦流を各突条部５８により確実に掻き消して、振動ミラー部４１の挙動（振幅）を安定化させることができる。

また、上記実施形態では、第１ピン係合凹部４９をＶ字状に形成し、第２ピン係合凹部５０をＵ字状に形成したことで、両ピン係合凹部４９，５０を共にＶ字状に形成した場合に比べて、固定枠部４６の副走査方向の移動を規制して、基板５５に対するミラーユニット４０の位置決め精度をさらに高めることができる。延いては、各突条部５８と、振動ミラー部４１の主走査方向の両端部の周側面とのクリアランス距離ｄを予め設定した設定距離に精度良く合わせることができる。

また、上記実施形態では、上記渦流を抑制するための突条部５８を基板５５の一部として一体形成するようにしたことで、部品点数を削減して装置全体の低コスト化を図ることができる。

また、上記実施形態では、第１位置決めピン６０及び第２位置決めピン６１は連結板部６２により互いに連結されている。したがって、第１位置決めピン６０及び第２位置決めピン６１を基板５５に対して一度で組み付けることができる。よって、各位置決めピン６０，６１の基板５５への組付け作業を容易化することができる。

−変形例１−
図４は、変形例１を示している。この変形例１は、連結板部６２の上面にアーチ形成部６３を有する点で上記実施形態１とは異なる。尚、以下の変形例及び実施形態において、実施形態１と同じ構成部分には同じ符号を付してその詳細な説明を省略する。

上記アーチ形成部６３は、振動ミラー部４１の主走査方向の両端部の軌道に沿ったアーチ面(円筒面)６４を形成している。この構成によれば、振動ミラー部４１が水平状態からトーションバー部４２周りに捻り振動することで振動ミラー部４１の両端部と各突条部５８とのクリアランス距離が広がったとしても、振動ミラー部４１の両端部とアーチ形成部６３のアーチ面６４とのクリアランス距離が一定に保たれる。よって、振動ミラー部４１の両端部から発生する渦流をアーチ形成部６３によって抑制することができる。

−変形例２−
図５は、変形例２を示している。この変形例２は、連結板部６２の上面に一対の傾斜面６６を有する点で上記実施形態１とは異なる。

上記一対の傾斜面６６は、主走査方向の中央側から外側に向かって上側に傾斜している。この構成によれば、振動ミラー部４１が水平状態からトーションバー部４２周りに捻り振動することで振動ミラー部４１の両端部と各突条部５８とのクリアランス距離が広がったとしても、振動ミラー部４１の両端部と各傾斜面６６とのクリアランス距離はそれほど変化しない。よって、振動ミラー部４１の両端部から発生する渦流をアーチ形成部６３によって抑制することができる。

しかも本変形例２では、変形例１のようにアーチ面６４を形成する必要がないので、変形例１に比べて製造が容易である。

《実施形態２》
図６は、実施形態２を示している。本実施形態２は、突条部５８の形状が上記実施形態１及び各変形例とは異なっている。

すなわち、突条部５８における突出側の端面５３ａ（つまり突条部５８における振動ミラー部４１の両端部に対向する面）は、振動ミラー部４１の捻りがない状態（中立状態）で反射面４１ａに垂直な方向から見て、振動ミラー部４１の両端部の周側面を囲むように形成されている。この周側面と突条部５８の端面５３ａとのクリアランス距離は、該周側面のいずれの箇所においても一定である。

この構成によれば、突条部５８と振動ミラー部４１の端部の周側面との間でクリアランス距離の大小が生じることなく、クリアランス距離を一定に維持することができる。よって、クリアランス距離が大きい箇所で渦流が発生し易くなる問題を回避して、突条部５８よる渦流抑制効果を可及的に高めることができる。

《実施形態３》
図７は、実施形態３を示している。本実施形態３は、第１位置決めピン６０及び第２位置決めピン６１の配置が上記各実施形態及び各変形例とは異なる。

すなわち、本実施形態３では、第１位置決めピン６０及び第２位置決めピン６１は共に、基板５５における他方の縦辺部５６を貫通している。これに対応して、第１ピン係合凹部４９及び第２ピン係合凹部５０は共に、ミラーユニット４０の固定枠部４６における他方側の縦辺部４７に形成されている。

図８は、本実施形態３における光偏向器３５を備えた光走査装置３０を示している。光走査装置３０は、断面が台形状の筐体７０を有している。筐体７０の側壁部には、光偏向器３５を取付けるための矩形状の取付用開口７０ａが形成されている。光偏向器３５は、基板５５を貫通するボルト７３により筐体７０の側壁部に固定されている。ミラーユニット４０は筐体７０内に臨んで配置されており、光源７１から出射された光はミラーユニット４０の振動ミラー部４１にて反射されて主走査方向に偏向走査される。この走査光は、筐体７０内に配置された走査レンズ７２に入射した後、光通過開口７０ｂを通過して感光ドラム１６の周面に露光する。走査レンズ７２は、光偏向器３５にて偏向された光を被走査面に結像させる結像レンズとして機能する。

作業者が光偏向器３５を筐体７０に対して組み付ける際には、第１位置決めピン６０及び第２位置決めピン６１を取付用開口７０ａの内壁面７０ｋに当接させる。そうして、筐体７０に対する光偏向器３５の位置決めを行った後に、光偏向器３５をボルト７３により筐体７０に固定する。

したがって、上記実施形態３では、ミラーユニット４０を基板５５に対して位置決めする位置決め機構と、光偏向器３５を筐体７０に対して位置決めする位置決め機構とを兼用することができ、これにより、装置全体の低コスト化を図ることができる。

《他の実施形態》
上記各実施形態及び各変形例では、第１位置決めピン６０及び第２位置決めピン６１を連結板部６２により連結するようにしているが、図９及び図１０に示すように、連結板部６２を第１位置決めピン６０側と第２位置決めピン６１側とに分割するようにしてもよい。これによれば、光偏向器３５の周辺の温度が上昇した際、連結板部６２及び基板５５の線膨張係数の差により基板５５に対する両位置決めピン６０，６１の相対位置が変化するのを抑制することができる。

また、上記実施形態では、各位置決めピン６０，６１は、平面視で振動ミラー部４１の長軸の延長線上に位置しているが、これに限ったものではなく、例えば図１１に示すように、各位置決めピン６０，６１が、振動ミラー部４１の長軸の延長線に対して副走査方向に離間して配置されていてもよい。

また、上記実施形態では、画像形成装置の一例としてレーザープリンター１について説明したが、これに限ったものではなく、画像形成装置は、複写機、複合機、スキャナー又はプロジェクター等であってもよい。

また、上記実施形態では、振動ミラー部４１を圧電素子４５により共振駆動するようにしているが、これに限ったものではなく、振動ミラー部４１を電磁的に駆動するようにしてもよい。

また、本発明は、上記各実施形態及び変形例に限定されるものでなく、本発明には、上記各実施形態及び各変形例を適宜組み合わせた構成が含まれる。

以上説明したように、本発明は、光走査装置について有用である。

１ レーザープリンター（画像形成装置）
３０ 光走査装置
３１ 光源
３５ 光偏向器
４０ ミラーユニット
４１ 振動ミラー部
４１ａ 反射面
４２ トーションバー部
４５ 圧電素子
４６ 固定枠部
４９ 第１ピン係合凹部
５０ 第２ピン係合凹部
５５ 基板（支持部材）
５８ 突条部（固体部）
６０ 第１位置決めピン
６０ａ 突出部
６１ 第２位置決めピン
６１ａ 突出部
６２ 連結板部
６３ アーチ面形成部
６４ アーチ面
７０ 筐体
７１ 光源
７２ 走査レンズ（結像レンズ）

Claims (6)

1. 主走査方向 に延びる振動ミラー部と主走査方向に交差する方向に延びて該振動ミラー部を揺動可能に支持するトーションバー部とを含むミラーユニットと、該ミラーユニットを支持する支持部材とを有する共振型の光偏向器と、該光偏向器に向けて光を出射する光源と、該光偏向器にて偏向された光を被走査面に結像させる結像レンズと、該結像レンズを収容する筐体とを備えた光走査装置であって、
   上記光偏向器の支持部材には、上記振動ミラー部の主走査方向の両端部の周側面に隣接して配置され、該振動ミラー部の振動時に発生する渦流を抑制する一対の固体部が設けられ、
   上記光偏向器は、上記各固体部と上記振動ミラー部の両端部の周側面とのクリアランス距離が予め設定した設定距離になるように、上記支持部材に対する上記ミラーユニットの位置決めを行う位置決め機構を備え、
   上記位置決め機構は、上記光偏向器を上記筐体に対して位置決めする機構として兼用されている、光走査装置。
2. 請求項１記載の光走査装置において、
   上記固体部における上記振動ミラー部の両端部に対向する面は、該振動ミラー部の反射面に垂直な方向から見て該両端部の周側面を囲むように形成されている、光走査装置。
3. 請求項１又は２記載の光走査装置において、
   上記ミラーユニットは、上記振動ミラー部を共振駆動する圧電素子を含み、
   上記支持部材は、上記圧電素子に駆動電圧を供給するための基板である、光走査装置。
4. 請求項１乃至３のいずれか一項に記載の光走査装置において、
   上記ミラーユニットは、上記振動ミラー部の周囲を囲むように形成され且つ上記トーションバー部を介して該振動ミラー部を保持すると共に支持部材に固定支持された固定枠部を有し、
   上記位置決め機構は、上記支持部材における上記固定枠部の支持面から突出する突出部を有する位置決めピンと、上記固定枠部に形成され、上記位置決めピンにおける上記突出部に係合するピン係合部とを含む、光走査装置。
5. 請求項４記載の光走査装置において、
   上記位置決めピンは、複数設けられており、
   上記複数の位置決めピンを連結する連結部をさらに備えている、光走査装置。
6. 請求項５記載の光走査装置において、
   上記連結部は、上記位置決めピンの上記突出部側とは反対側の端部同士を連結する板状部からなり、
   上記板状部には、上記振動ミラー部の主走査方向の両端部の軌跡に沿うように湾曲したアーチ面を形成するアーチ面形成部が一体形成されている、光走査装置。

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