JP2011095290A - 光偏向素子、光偏向器、及び画像形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光偏向素子は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が可動板の端面に接続されており、可動板を反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、弾性支持梁の一端の反対側の一端が接続されており、弾性支持梁を支持する支持枠と、可動板の側面から反射面に平行な方向に突出し、回動軸に垂直な方向において可動板の先端より回動軸に近い範囲に配設された可動板突起と、を備える。光偏向器は、当該光偏向素子を備え、画像形成装置は、当該光偏向素子又は当該光偏向器を備える。
【選択図】図2
Description
特許文献1には、ミラー基板(可動板)の厚さの分布を適切に設定することで、ミラー基板の回動中心梁から回動軸に直交する方向における、ミラー基板の剛性の分布を、動撓みを発生させる曲げモーメントの分布に対応する剛性分布とすることによって、ミラー基板の動的な撓みを低減し、ミラー基板の慣性を低減して偏向角を大きくすることができる、偏向ミラー、光走査装置および画像形成装置が開示されている。
非特許文献1に開示されているように、可動板の中央においては特許文献1に開示された撓みに近い動たわみが発生するが、可動板に捻り梁が接合された端面においては、異なる形状の複雑な動たわみが発生するという課題があった。したがって、特許文献1に記載された動撓みの抑制方法だけでは、可動板の動たわみを充分抑制することは、難しいという課題があった。
最初に、投射型画像表示装置1について、図1を参照して説明する。図1は、投射型画像表示装置の主要な構成要素を示す説明図である。
図1に示すように、投射型画像表示装置1は、光束LをスクリーンSの横方向(主走査方向)及び縦方向(副走査方向)に2次元的に走査することにより、スクリーンS上に画像を形成(描画)する装置である。
なお、スクリーンSは、投射型画像表示装置1に一体に備えられたものであっても別体であってもよい。また、スクリーンSの表面側(光Lの照射側)で画像を視認するように構成してもよいし、スクリーンSの裏面側(光Lの照射側とは反対側)から画像を視認するように構成してもよい。
主走査偏向器31は、光偏向素子40を備えており、光偏向素子40は、回動軸Xを回動軸として回動する可動板41に固定された反射鏡42を備えている。
光源ユニット2のダイクロイックプリズム22Bから射出された光束Lは、反射鏡42によって反射されて、回動軸Xの軸方向に略直角な主走査方向に走査される。光源ユニット2、又はレーザー光源21が、光源に相当する。主走査偏向器31が、光偏向器に相当する。
主走査偏向器31の反射鏡42によって反射された光束Lは、副走査反射鏡48によって反射されて、主走査方向に略直角な副走査方向に走査される。
副走査反射鏡48によって反射された光束Lは、固定反射鏡34で反射されて、スクリーンSに照射される。主走査偏向器31による主走査方向の走査と、副走査偏向器32による副走査方向の走査とによって、スクリーンS上に、2次元の画像が形成される。
次に、主走査偏向器31が備える光偏向素子40について、図2を参照して説明する。図2は、光偏向素子の形状を示す図である。図2(a)は、光偏向素子の形状を示す平面図であり、図2(b)は、図2(a)にA−Aで示した断面における断面図であり、図2(c)は、図2(a)にB−Bで示した断面における断面図であり、図2(d)は、可動板及び弾性支持梁の斜視図である。
図2に示すように、光偏向素子40は、可動板41と、反射鏡42と、一対の弾性支持梁43,43と、支持枠44と、可動板突起46と、を備えている。可動板41と弾性支持梁43と支持枠44と可動板突起46とは、例えばシリコン基板をエッチングして形成され、一体に形成されている。
一対の弾性支持梁43,43は、それぞれの弾性支持梁43の一端が、可動板41の側面における円形平板形状の中心に関して略対称の位置において接続されており、回動軸Xの軸方向に沿ってそれぞれの中心軸が一直線となる方向及び位置に延在している。
4個の可動板突起46は、1個の可動板突起46に対して、1個の可動板突起46が、反射鏡42の面に垂直であって回動軸Xを含む面に関して対称な位置に在り、対称な形状を有している。4個の可動板突起46の、もう1個の可動板突起46が、回動軸Xに垂直であって可動板41の中心を通る面に関して対称な位置に在り、対称な形状を有しており、さらにもう1個の可動板突起46が、回動軸Xに垂直であって可動板41の中心を通る直線に関して対称な位置に在り、対称な形状を有している。反射鏡42の面に垂直であって回動軸Xを含む面が第一平面に相当し、回動軸Xに垂直であって可動板41の中心を通る面が、第二平面に相当する。
光偏向素子40は、例えばシリコン基板において、支持枠44の外周及び支持枠開口45の部分をエッチングして形成されており、可動板41と、弾性支持梁43と、支持枠44と、可動板突起46との一方の面はシリコン基板の一面であり、もう一方の面はシリコン基板のもう一方の一面であり、それぞれ略同一の平面である。
可動板41は、一対の弾性支持梁43,43が捩れ変形することによって、回動軸Xを軸に回動可能である。
次に、主走査偏向器31が備える素子筐体50について、図3を参照して説明する。図3は、素子筐体の筐体本体及び封止蓋の外形形状を示す図である。図3(a)は、素子筐体の筐体本体の外形形状を示す平面図であり、図3(b)は、図3(a)にC−Cで示した断面における素子筐体の筐体本体及び封止蓋の断面形状を示す断面図であり、図3(c)は、図3(a)にD−Dで示した断面における素子筐体の筐体本体及び封止蓋の断面形状を示す断面図である。
封止蓋51を上面53に載せて、封止蓋51と上面53とを接合することによって、素子室54は封止される。反射鏡42に入射する光束は、封止蓋51を透過して入射し、反射鏡42によって反射された光束は、封止蓋51を透過して主走査偏向器31から射出される。
次に、主走査偏向器31について、図4を参照して説明する。図4は、主走査偏向器の構成を示す図である。図4(a)は、主走査偏向器を封止蓋側から見た平面図であり、図4(b)は、図4(a)にE−Eで示した断面における主走査偏向器の断面図であり、図4(c)は、図4(a)にF−Fで示した断面における主走査偏向器の断面図であり、図4(d)は、図4(a)にF−Fで示した断面における可動板が回動した状態を示す断面図である。
図4に示すように、主走査偏向器31は、光偏向素子40と、素子筐体50と、駆動装置36とを備えている。
可動板41における反射鏡42が配設された可動板表面41Aの反対側の可動板裏面41Bには、駆動装置36の磁石37が固定されている。筐体本体52の外底面凹部57aには、駆動装置36の駆動コイル38が固定されている。駆動コイル38は、筐体本体52の底部を介して可動板41と略対向する位置に配設されている。駆動装置36が、駆動源に相当する。
封止蓋51の筐体本体52への接合は、封止蓋51及び筐体本体52を構成する材料によって適切な方法を選択するが、金属接合、共晶結合、又は陽極接合などの接合方法を用いて接合する。
図4(d)に示したように、光束L10は直進して反射鏡42に入射する。反射鏡42に入射した光束L10が反射鏡42によって反射されて、光束L20が射出される。
可動板41は回動させられて、可動板411から可動板412の範囲で往復回動する。反射された光束は、光束L21から光束L22の範囲で走査される。
次に、可動板41が往復回動する際に発生する動たわみに対する可動板突起46の影響について、図5を参照して説明する。図5は、可動板の動たわみをシミュレーションした結果例を示す説明図である。
図5では、可動板41の動たわみの形状及び大きさのシミュレーション結果を、可動板突起46に相当する突起がない可動板410と比較して示している。可動板410は、可動板突起46が突設されていないことのみが可動板41と異なっている。
動たわみ形状は、可動板の中心を原点にして、回動軸Xの軸方向をx軸方向、回動軸Xに直交し可動板表面41Aに平行な方向をy軸方向、としたときの第一象限の動たわみを示している。可動板41又は可動板410が、第一象限が可動板裏面41B側に回動している場合の動たわみを、可動板が理論上の移動位置(剛体の場合の移動位置)からのずれ量として示している。
画像品質に影響を与えない動たわみが光束の光の波長の4分の1以下であるとすると、可動板41に可動板突起46を配設することで、可動板の動たわみの影響を受けない波長を80nm短くすることができる。すなわち、可動板の動たわみの影響を受けない波長の範囲を80nm広くすることができる。
可動板突起46の長さは、可動板41の回動軸Xの軸方向の長さより長くなると、動たわみを抑制する効果が得られ難いことが、発明者らによるシミュレーションによって確認されている。
次に、光偏向素子40とは一部の構成が異なる光偏向素子60及び光偏向素子80について、図6を参照して説明する。図6は、光偏向素子の形状を示す図である。図6(a)は、光偏向素子の形状を示す平面図であり、図6(b)は、図6(a)にG−Gで示した断面における断面図である。図6(c)は、光偏向素子の形状を示す平面図であり、図6(d)は、図6(c)にH−Hで示した断面における断面図である。
光偏向素子60が備える可動板41と反射鏡42と一対の弾性支持梁43,43と支持枠44とは、光偏向素子40が備える可動板41、反射鏡42、一対の弾性支持梁43,43、又は支持枠44と、実質的に同じものである。光偏向素子60は、可動板41に立設された可動板突起66が光偏向素子40における可動板突起46とは異なることが、光偏向素子40とは異なっている。
可動板突起66は、円形の平板である可動板41の側面に立設されている。円形平板形状の周方向における可動板突起66の立設位置は、弾性支持梁43の接続位置で区切られた略半円形状の周の頂部と、弾性支持梁43の接続位置との中間である。頂部と弾性支持梁43の接続位置との間の部分4個所のそれぞれに、1個の可動板突起66aと1個の可動板突起66bとが、配設されている。可動板突起66は、形状が四角柱であって、可動板41の厚さと略同じ厚さを有し、立設位置から弾性支持梁43と略平行に延在している。可動板突起66aの方が可動板突起66bより回動軸X1から離れた位置に配設されており、可動板41の側面から片持ち梁のように突出した可動板突起66a及び可動板突起66bの先端は、回動軸X1の軸方向において略同じ位置になっている。
4個の可動板突起66bは、1個目の可動板突起66bに対して、2個目の可動板突起66bが、反射鏡42の面に垂直であって回動軸X1を含む面に関して対称な位置に在り、対称な形状を有している。4個の可動板突起66bの、3個目の可動板突起66bが、1個目の可動板突起66bに対して、回動軸X1に垂直であって可動板41の中心を通る面に関して対称な位置に在り、対称な形状を有しており、さらに4個目の可動板突起66bが、1個目の可動板突起66bに対して、回動軸X1に垂直であって可動板41の中心を通る直線に関して対称な位置に在り、対称な形状を有している。
反射鏡42の面に垂直であって回動軸X1を含む面が第一平面に相当し、回動軸X1に垂直であって可動板41の中心を通る面が、第二平面に相当する。
可動板41は、一対の弾性支持梁43,43が捩れ変形することによって、回動軸X1を軸に回動可能である。
一対の弾性支持梁43,43が回動軸X1を中心にして捩れ変形することによって、可動板41(反射鏡42)は、回動軸X1を中心にして回動する。光偏向素子60を備える主走査偏向器が投射型画像表示装置1と同様の投射型画像表示装置に組み込まれた状態で、図6(a)に示した回動軸X1は、図1に示した回動軸Xと同じものである。
光偏向素子80が備える可動板41と反射鏡42と一対の弾性支持梁43,43と支持枠44とは、光偏向素子40が備える可動板41、反射鏡42、一対の弾性支持梁43,43、又は支持枠44と、実質的に同じものである。光偏向素子80は、可動板41に立設された可動板突起86が光偏向素子40における可動板突起46とは異なることが、光偏向素子40とは異なっている。
可動板突起86は、円形の平板である可動板41の側面に立設されている。円形平板形状の周方向における可動板突起86の立設位置は、弾性支持梁43の接続位置で区切られた略半円形状の周の頂部と、弾性支持梁43の接続位置との中間である。頂部と弾性支持梁43の接続位置との間の部分4個所のそれぞれに、1個の可動板突起86a又は可動板突起86bが、配設されている。
可動板突起86は、形状が四角柱であって、可動板41の厚さと略同じ厚さを有し、立設位置から弾性支持梁43と略平行に延在している。
突起表面861a、突起裏面862a、突起側面863a、又は突起側面864aと、回動軸X2を含み可動板表面41Aに垂直な面に関して対称な、可動板突起86bを形成する側面を、突起表面861b、突起裏面862b、突起側面863b、突起側面864bと表記する。
反射鏡42の面に垂直であって回動軸X2を含む面が第一平面に相当し、回動軸X2に垂直であって可動板41の中心を通る面が、第二平面に相当する。
一対の弾性支持梁43,43が回動軸X2を中心にして捩れ変形することによって、可動板41(反射鏡42)は、回動軸X2を中心にして回動する。光偏向素子80を備える主走査偏向器が投射型画像表示装置1と同様の投射型画像表示装置に組み込まれた状態で、図6(c)に示した回動軸X2は、図1に示した回動軸Xと同じものである。
次に、投射型画像表示装置とは異なる、光偏向器を備える画像形成装置としての印刷装置101について、図7及び図8を参照して説明する。本実施形態で説明する印刷装置101は、電子写真方式を採用する印刷装置である。図7は、印刷装置の全体構成を模式的に示す断面図である。図8は、印刷装置が備える露光ユニットの概略構成を示す説明図である。
図7に示すように、印刷装置101は、感光体111と、帯電ユニット112と、露光ユニット110と、現像ユニット114と、転写ユニット115と、クリーニングユニット116と、からなる画像形成ユニットを備えている。印刷を実施する際には、図7に矢印aで示した方向に感光体111が回転する。帯電ユニット112と、露光ユニット110と、現像ユニット114と、転写ユニット115と、クリーニングユニット116とは、感光体111の回転方向に沿ってこの順番で、感光体111の周囲に配設されている。
印刷装置101は、また、紙などの記録媒体Pを収容する給紙トレイ117と、定着装置118とを備えている。給紙トレイ117は画像形成ユニットの一方の側(図7では、画像形成ユニットの図における下側)に配設されており、定着装置118は画像形成ユニットを挟んで給紙トレイ117の略反対側(図7では、画像形成ユニットの図における上側)に配設されている。
より詳細には、まず、図示しないホストコンピューターからの指令により、感光体111、現像ユニット114に設けられた現像ローラー(図示省略)、及び転写ユニット115の中間転写ベルト151が回転を開始する。感光体111は、回転しながら、帯電ユニット112に対向する部分が帯電ユニット112により順次帯電される。
感光体111の帯電された領域は、感光体111の回転に伴って露光位置に至り、露光ユニット110によって、第1色目、例えばイエローYの画像情報に応じた潜像が前記領域に形成される。
現像ユニット114は、軸146を軸に回転する保持体145と、現像装置141、現像装置142、現像装置143、及び現像装置144と、を備えている。現像装置141、現像装置142、現像装置143、及び現像装置144は、保持体145に保持されており、軸146のまわりに回転可能である。保持体145が回転して、例えばイエロートナーで現像する場合の現像装置144のように、現像する色に対応した現像装置141、現像装置142、現像装置143、又は現像装置144が、感光体111と対向する位置に位置される。
記録媒体Pは、給紙トレイ117から、給紙ローラー171及びレジローラー172によって、二次転写ローラー155と駆動ローラー154とが、中間転写ベルト151を間に挟んで対向している二次転写位置へ搬送される。
一方、感光体111は一次転写位置を経過した後に、クリーニングユニット116のクリーニングブレード161によって、その表面に付着しているトナーが掻き落とされ、次の潜像を形成するための帯電に備える。掻き落とされたトナーは、クリーニングユニット116内の残存トナー回収部に回収される。
図8に示すように、露光ユニット110は、光偏向器に相当するアクチュエーター103と、レーザー光源121と、コリメータレンズ122と、fθレンズ123とを備えている。アクチュエーター103は、回動軸X0まわりに回動可能な可動板241と、可動板241上に形成された反射鏡242とを有している。
その際、アクチュエーター103が駆動されて、可動板241が回動軸X0まわりに回動することにより、可動板241上に形成された反射鏡242で反射されたレーザー光L0は、感光体111の軸線方向に走査(主走査)される。同時に、感光体111が回転することにより、反射鏡242で反射されたレーザー光L0は、感光体111の周方向に走査(副走査)される。レーザー光L0が感光体111上を主走査方向及び副走査方向に走査されることによって、感光体111上に面状の画像が形成される。レーザー光源121が、光源に相当する。アクチュエーター103が、光偏向器に相当し、反射鏡242が、反射手段に相当する。
このようにして露光ユニット110は、感光体111上を選択的に露光して画像形成(描画)を行う。
(1)光偏向素子40、光偏向素子60、及び光偏向素子80は、板状の形状を有する可動板41の側面に立設された可動板突起46、可動板突起66、又は可動板突起86を備えている。シミュレーション結果によれば、可動板突起46、可動板突起66、又は可動板突起86を設けることによって、可動板41の動たわみの量を軽減することができる。
Claims (19)
- 光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、
一端が前記可動板の端面に接続されており、前記可動板を前記反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、
前記弾性支持梁の前記一端の反対側の一端が接続されており、前記弾性支持梁を支持する支持枠と、
前記可動板の側面から前記反射面に平行な方向に突出し、前記回動軸に垂直な方向において前記可動板の先端より前記回動軸に近い範囲に配設された可動板突起と、を備えることを特徴とする光偏向素子。 - 前記可動板は、前記回動軸を含み前記反射面に垂直な第一平面に関して対称な形状を有し、
複数の前記可動板突起が、前記第一平面に関して対称な位置に配設されていることを特徴とする、請求項1に記載の光偏向素子。 - 前記第一平面に関して互いに対称な位置に配設されている前記可動板突起のそれぞれは、前記第一平面に関して互いに対称な形状を有することを特徴とする、請求項2に記載の光偏向素子。
- 前記可動板は、前記回動軸に垂直な第二平面に関して対称な形状を有し、
複数の前記可動板突起が、前記第二平面に関して対称な位置に配設されていることを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の光偏向素子。 - 前記第二平面に関して互いに対称な位置に配設されている前記可動板突起のそれぞれは、前記第二平面に関して互いに対称な形状を有することを特徴とする、請求項4に記載の光偏向素子。
- 前記回動軸の軸方向における前記可動板突起の長さは、前記回動軸の軸方向における前記可動板の長さ以下であることを特徴とする、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の光偏向素子。
- 前記可動板と前記可動板突起とは、一体に形成されていることを特徴とする、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の光偏向素子。
- 前記可動板、及び前記弾性支持梁は、単結晶シリコンで一体に形成されていることを特徴とする、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の光偏向素子。
- 前記可動板における前記反射手段が形成された表面と、前記可動板突起における前記表面と同じ側の面と、が略同一平面上に形成されていると共に、前記可動板における前記表面の反対側の裏面と、前記可動板突起における前記裏面と同じ側の面と、が略同一平面上に形成されていることを特徴とする、請求項1乃至8のいずれか一項に記載の光偏向素子。
- 光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が前記可動板の端面に接続されており、前記可動板を前記反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、前記弾性支持梁の前記一端の反対側の一端が接続されており、前記弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、
前記可動板を前記回動させる駆動源と、を備え、
前記光偏向素子は、前記可動板の側面から前記反射面に平行な方向に突出し、前記回動軸に垂直な方向において前記可動板の先端より前記回動軸に近い範囲に配設された可動板突起をさらに備えることを特徴とする光偏向器。 - 前記可動板は、前記回動軸を含み前記反射面に垂直な第一平面に関して対称な形状を有し、
複数の前記可動板突起が、前記第一平面に関して対称な位置に配設されていることを特徴とする、請求項10に記載の光偏向器。 - 前記第一平面に関して互いに対称な位置に配設されている前記可動板突起のそれぞれは、前記第一平面に関して互いに対称な形状を有することを特徴とする、請求項11に記載の光偏向器。
- 前記可動板は、前記回動軸に垂直な第二平面に関して対称な形状を有し、
複数の前記可動板突起が、前記第二平面に関して対称な位置に配設されていることを特徴とする、請求項10乃至12のいずれか一項に記載の光偏向器。 - 前記第二平面に関して互いに対称な位置に配設されている前記可動板突起のそれぞれは、前記第二平面に関して互いに対称な形状を有することを特徴とする、請求項13に記載の光偏向器。
- 前記回動軸の軸方向における前記可動板突起の長さは、前記回動軸の軸方向における前記可動板の長さ以下であることを特徴とする、請求項10乃至14のいずれか一項に記載の光偏向器。
- 前記可動板と前記可動板突起とは、一体に形成されていることを特徴とする、請求項10乃至15のいずれか一項に記載の光偏向器。
- 前記可動板、及び前記弾性支持梁は、単結晶シリコンで一体に形成されていることを特徴とする、請求項10乃至16のいずれか一項に記載の光偏向器。
- 前記可動板における前記反射手段が形成された表面と、前記可動板突起における前記表面と同じ側の面と、が略同一平面上に形成されていると共に、前記可動板における前記表面の反対側の裏面と、前記可動板突起における前記裏面と同じ側の面と、が略同一平面上に形成されていることを特徴とする、請求項10乃至17のいずれか一項に記載の光偏向器。
- 光源と、請求項1乃至9のいずれか一項に記載の光偏向素子を備える光偏向器、又は請求項10乃至18のいずれか一項に記載の光偏向器と、を備え、
前記光源から射出された光束を、前記光偏向素子を備える光偏向器又は前記光偏向器によって偏向させることで画像を形成することを特徴とする画像形成装置。
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