JP2006144124A - 貴金属磁気スパッタリングターゲットの製造方法及びこの方法で製造された貴金属磁気スパッタリングターゲット - Google Patents
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- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 title claims abstract description 67
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 62
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 title abstract 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 121
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 121
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 47
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 46
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 42
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 38
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 claims description 35
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 238000005551 mechanical alloying Methods 0.000 claims description 5
- 238000007712 rapid solidification Methods 0.000 claims description 5
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 5
- 229910000684 Cobalt-chrome Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000005275 alloying Methods 0.000 claims description 4
- 239000010952 cobalt-chrome Substances 0.000 claims description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910019222 CoCrPt Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910018979 CoPt Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000000498 ball milling Methods 0.000 abstract description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 34
- 239000000463 material Substances 0.000 description 23
- 230000008569 process Effects 0.000 description 22
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 19
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 15
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 13
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 13
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 12
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 11
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 10
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 9
- 238000013461 design Methods 0.000 description 7
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 7
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 7
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 6
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 5
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 5
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 5
- 239000000047 product Substances 0.000 description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000002860 competitive effect Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 2
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 2
- 238000009689 gas atomisation Methods 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 229910001149 41xx steel Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010923 batch production Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 238000005056 compaction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000001513 hot isostatic pressing Methods 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 229910001004 magnetic alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005325 percolation Methods 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000930 thermomechanical effect Effects 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/14—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates
- H01F41/18—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates by cathode sputtering
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
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Abstract
【解決手段】本製造方法は、Co−Cr−Bからなる急冷凝固母合金を生成し、この母合金とPt粉末をボールミルにより機械的に合金化し、HIP処理を行って機械的に合金化されたスパッタリングターゲットを緻密にすることにより、スパッタリングターゲットを製造する。母合金には、Cr,B,Ta,Nb,C,Mo,W,Zr,Zn,Cu,Hf,O,Si又はNを含むことができる。
【選択図】図1
Description
ミクロ組織的特徴:急冷凝固したターゲット合金は、主にCoB,CoCrB,CoCr,CoPt,CoCrPt及びPtの多相を有する。また、同一組成の従来の鋳造析出組織に比べて主に10倍細かい高度に精製された析出組織を有する。
図1は、噴霧されたCo−23Cr−2Ta−6B粉末のSEM画像である。この粉末は主に2つの相からなる。明るい相は、Co,Cr,及びTaを含む。析出相は、暗い相であって主にCoとBを含む。噴霧処理は従来からの鋳造技術では得られない急速凝固ミクロ組織を生成する。図2は、HIP処理したCo−21Cr−8Pt−2Ta−5B母合金のSEM画像である。この合金は、純Pt粉末と図1の粉末をボールミルし、この混合材料をHIP処理して製造された。明るい相は、主に純Ptであり、暗い相は、主に残りのコバルト系噴霧粉末である。図4は、図2と図3に示す材料の高倍率SEM画像を示し、この像は少なくとも4つの相を示す。析出相の大きさは5ミクロン未満である。図5は、同じ組成の比較例の鋳造処理合金を示し、図6は、図5に示す比較例の鋳造処理合金の高倍率像である。
[実施例1]
Co−20at%Cr−10at%Pt−5at%B−2at%Taの組成の合金粉末を生成するため、Co−(25〜30)wt%Cr−(15〜20)wt%B、Co−(25〜30)wt%Cr及びCo−(10〜15)wt%Bの母合金粉末を、十分な量のPt及びTa粉末と混ぜ合わせて混合した。その粉末を、6〜10時間ボールミルした。続いて、圧力15000psi、温度1900°Fで4時間、HIP処理を行い、機械的に合金化した粉末を緻密化した。HIP処理したビレットを、最終的に6OD、厚さ0.250”のRM−Gunターゲットを形成するために機械加工した。得られたターゲット合金は、密度が9.94、PTFが70〜90%を有する。
実施例1と同様に、Co−19at%Cr−11at%Pt−8at%Bの組成のターゲットを、Co−(20〜25)wt%Cr−(5〜10)wt%B、Co−(20〜25)wt%Cr及びCo−(5〜10)wt%Bの母合金粉末と純Ptを混ぜ合わせて製造した。機械的な合金化とHIP処理パラメータは実施例1で述べたのと同様である。更に、同じ組成の従来の鋳造及び圧延ターゲットは、前述した実施例1と同様のプロセスを用いて製造した。母合金と従来の技術を用いてそれぞれ製造した各ターゲットの密度とPTFは、この試験の目的のために同じとした。
Claims (24)
- Coと、少なくとも2at%のCr,B,Ta,Nb,C,Mo,W,Zr,Zn,Cu,Hf,O,Si及びNからなるグループから選択された少なくとも1つの元素とを含む母合金及びPtを含む多相合金を含む貴金属磁気スパッタリングターゲットの製造方法であって、
Coと、少なくとも2at%のCr,B,Ta,Nb,C,Mo,W,Zr,Zn,Cu,Hf,O,Si及びNからなるグループから選択された少なくとも1つの元素とを含む急冷凝固母合金を生成する工程と、
機械的に合金化されたスパッタリングターゲットを形成するためにCoを含む前記母合金とPt粉末を機械的に合金化する工程と、
15000psi〜30000psiの圧力範囲及び1500°F〜1900°Fの温度範囲で、1〜6時間、前記機械的に合金化されたスパッタリングターゲットを緻密にする工程と、
を具備したことを特徴とする貴金属磁気スパッタリングターゲットの製造方法。 - 前記機械的合金化工程における機械的な合金化は、ボールミルによるものであることを特徴とする請求項1に記載の貴金属磁気スパッタリングターゲットの製造方法。
- 前記急冷凝固母合金生成工程における急冷凝固母合金を、2at%〜30at%のCr,B,Ta,Nb,C,Mo,W,Zr,Zn,Cu,Hf,O,Si及びNからなるグループから選択された少なくとも1つの元素とCoとを噴霧することにより生成することを特徴とする請求項1に記載の貴金属磁気スパッタリングターゲットの製造方法。
- 前記母合金が、Co、Cr及びBを含むことを特徴とする請求項3に記載の貴金属磁気スパッタリングターゲットの製造方法。
- 前記母合金が、Co、Cr、Ta及びBを含むことを特徴とする請求項3に記載の貴金属磁気スパッタリングターゲットの製造方法。
- 前記母合金が、5〜50wt%のCo、10〜50wt%のCr、残りがTa、Ti、Nb、W、Mo、B或いはこれら元素を組み合わせたものを含むことを特徴とする請求項1に記載の貴金属磁気スパッタリングターゲットの製造方法。
- 前記母合金は、Co−(2〜10)wt%B、Co−(15〜35)wt%Cr−(2〜10)wt%B、Co−(15〜25)wt%Cr、及び、Co−(0〜40)wt%Cr−(0〜12)wt%Bからなるグループから選択されることを特徴とする請求項1に記載の貴金属磁気スパッタリングターゲットの製造方法。
- 前記母合金を、当該合金内に最大50at%までPtを与えるように十分な量のPtと機械的に合金化することを特徴とする請求項1に記載の貴金属磁気スパッタリングターゲットの製造方法。
- Ptと機械的に合金化された前記母合金は、少なくとも2at%のBを含有することを特徴とする請求項8に記載の貴金属磁気スパッタリングターゲットの製造方法。
- Ptと機械的に合金化された前記母合金は、少なくとも6at%のBを含有することを特徴とする請求項8に記載の貴金属磁気スパッタリングターゲットの製造方法。
- Ptと機械的に合金化された前記母合金は、少なくとも10at%のBを含有することを特徴とする請求項8に記載の貴金属磁気スパッタリングターゲットの製造方法。
- ステップc)で緻密化された前記スパッタリングターゲットは、25%〜100%のPTF値を有することを特徴とする請求項1に記載の貴金属磁気スパッタリングターゲットの製造方法。
- 請求項1に記載の製造方法により製造されたことを特徴とする貴金属磁気スパッタリングターゲット。
- 請求項1に記載の製造方法により製造され、ミクロ組織的均質性を有する機械的に合金化され化学的に均質な合金組成からなり、前記合金組成が、Pt、Co、Cr及び少なくとも2at%のBを含むことを特徴とする貴金属磁気スパッタリングターゲット。
- 前記合金が、CoB、CoCrB、CoCr、CoPt、CoCrPt及び合金内に均一に分散されたPtを含む多相を含んでいることを特徴とする請求項14に記載の貴金属磁気スパッタリングターゲット。
- 前記合金が、更にTaを含み、当該合金がCo−20Cr−10Pt−2Ta−5Bからなることを特徴とする請求項14に記載の貴金属磁気スパッタリングターゲット。
- Bの含有量が、2at%〜30at%の範囲であることを特徴とする請求項14に記載の貴金属磁気スパッタリングターゲット。
- Bの含有量が、少なくとも6at%であることを特徴とする請求項14に記載の貴金属磁気スパッタリングターゲット。
- 前記合金が、Co−19Cr−11Pt−8Bからなることを特徴とする請求項14に記載の貴金属磁気スパッタリングターゲット。
- 前記合金が、Co−15Cr−11Pt−10Bからなることを特徴とする請求項14に記載の貴金属磁気スパッタリングターゲット。
- 前記合金が、Co−20Cr−10Pt−6Bからなることを特徴とする請求項14に記載の貴金属磁気スパッタリングターゲット。
- 前記合金が、Co−10Cr−10Pt−20Bからなることを特徴とする請求項14に記載の貴金属磁気スパッタリングターゲット。
- 前記合金が、Co−12Cr−12Pt−18Bからなることを特徴とする請求項14に記載の貴金属磁気スパッタリングターゲット。
- 前記合金が、Co−12Cr−8Pt−22Bからなることを特徴とする請求項14に記載の貴金属磁気スパッタリングターゲット。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/832,181 US6797137B2 (en) | 2001-04-11 | 2001-04-11 | Mechanically alloyed precious metal magnetic sputtering targets fabricated using rapidly solidfied alloy powders and elemental Pt metal |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002581711A Division JP3962690B2 (ja) | 2001-04-11 | 2002-04-08 | Pt−Co系スパッタリングターゲット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006144124A true JP2006144124A (ja) | 2006-06-08 |
Family
ID=25260918
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002581711A Expired - Fee Related JP3962690B2 (ja) | 2001-04-11 | 2002-04-08 | Pt−Co系スパッタリングターゲット |
JP2005316988A Ceased JP2006144124A (ja) | 2001-04-11 | 2005-10-31 | 貴金属磁気スパッタリングターゲットの製造方法及びこの方法で製造された貴金属磁気スパッタリングターゲット |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002581711A Expired - Fee Related JP3962690B2 (ja) | 2001-04-11 | 2002-04-08 | Pt−Co系スパッタリングターゲット |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6797137B2 (ja) |
EP (2) | EP1395689B1 (ja) |
JP (2) | JP3962690B2 (ja) |
KR (2) | KR100668790B1 (ja) |
CN (2) | CN100344789C (ja) |
AT (1) | ATE300628T1 (ja) |
DE (1) | DE60205251T2 (ja) |
HK (1) | HK1064130A1 (ja) |
WO (1) | WO2002083974A1 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008127591A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-05 | Sanyo Special Steel Co Ltd | Co−B系ターゲット材およびその製造方法 |
JP2008169464A (ja) * | 2007-01-08 | 2008-07-24 | Heraeus Inc | スパッタターゲット及びその製造方法 |
JP2012036452A (ja) * | 2010-08-06 | 2012-02-23 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | マグネトロンスパッタリング用ターゲットおよびその製造方法 |
JP2012087412A (ja) * | 2011-11-17 | 2012-05-10 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | マグネトロンスパッタリング用ターゲットおよびその製造方法 |
US8470396B2 (en) | 2008-09-09 | 2013-06-25 | H.C. Starck Inc. | Dynamic dehydriding of refractory metal powders |
JP2013242962A (ja) * | 2008-02-18 | 2013-12-05 | Hitachi Metals Ltd | 軟磁性膜形成用Fe−Co系合金スパッタリングターゲット材 |
US8703233B2 (en) | 2011-09-29 | 2014-04-22 | H.C. Starck Inc. | Methods of manufacturing large-area sputtering targets by cold spray |
US9095932B2 (en) | 2006-12-13 | 2015-08-04 | H.C. Starck Inc. | Methods of joining metallic protective layers |
US9783882B2 (en) | 2007-05-04 | 2017-10-10 | H.C. Starck Inc. | Fine grained, non banded, refractory metal sputtering targets with a uniformly random crystallographic orientation, method for making such film, and thin film based devices and products made therefrom |
Families Citing this family (59)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6506289B2 (en) | 2000-08-07 | 2003-01-14 | Symmorphix, Inc. | Planar optical devices and methods for their manufacture |
US6797137B2 (en) * | 2001-04-11 | 2004-09-28 | Heraeus, Inc. | Mechanically alloyed precious metal magnetic sputtering targets fabricated using rapidly solidfied alloy powders and elemental Pt metal |
US6884327B2 (en) | 2002-03-16 | 2005-04-26 | Tao Pan | Mode size converter for a planar waveguide |
US7378356B2 (en) | 2002-03-16 | 2008-05-27 | Springworks, Llc | Biased pulse DC reactive sputtering of oxide films |
EP1511879A1 (en) * | 2002-06-07 | 2005-03-09 | Heraeus, Inc. | Fabrication of ductile intermetallic sputtering targets |
US6759005B2 (en) * | 2002-07-23 | 2004-07-06 | Heraeus, Inc. | Fabrication of B/C/N/O/Si doped sputtering targets |
US8236443B2 (en) | 2002-08-09 | 2012-08-07 | Infinite Power Solutions, Inc. | Metal film encapsulation |
US7993773B2 (en) | 2002-08-09 | 2011-08-09 | Infinite Power Solutions, Inc. | Electrochemical apparatus with barrier layer protected substrate |
US8431264B2 (en) | 2002-08-09 | 2013-04-30 | Infinite Power Solutions, Inc. | Hybrid thin-film battery |
US8021778B2 (en) | 2002-08-09 | 2011-09-20 | Infinite Power Solutions, Inc. | Electrochemical apparatus with barrier layer protected substrate |
US8445130B2 (en) | 2002-08-09 | 2013-05-21 | Infinite Power Solutions, Inc. | Hybrid thin-film battery |
US8394522B2 (en) | 2002-08-09 | 2013-03-12 | Infinite Power Solutions, Inc. | Robust metal film encapsulation |
US20070264564A1 (en) | 2006-03-16 | 2007-11-15 | Infinite Power Solutions, Inc. | Thin film battery on an integrated circuit or circuit board and method thereof |
US8404376B2 (en) | 2002-08-09 | 2013-03-26 | Infinite Power Solutions, Inc. | Metal film encapsulation |
AU2003261463A1 (en) | 2002-08-27 | 2004-03-19 | Symmorphix, Inc. | Optically coupling into highly uniform waveguides |
US8728285B2 (en) | 2003-05-23 | 2014-05-20 | Demaray, Llc | Transparent conductive oxides |
FR2859618B1 (fr) * | 2003-09-11 | 2006-01-20 | Seb Sa | Surface de cuisson facile a nettoyer et article electromenager comportant une telle surface |
JP4110533B2 (ja) * | 2004-02-27 | 2008-07-02 | 日立金属株式会社 | Mo系ターゲット材の製造方法 |
SG119249A1 (en) * | 2004-08-05 | 2006-02-28 | Agency Science Tech & Res | An alloying system |
US7959769B2 (en) | 2004-12-08 | 2011-06-14 | Infinite Power Solutions, Inc. | Deposition of LiCoO2 |
DE602005017512D1 (de) | 2004-12-08 | 2009-12-17 | Symmorphix Inc | Abscheidung von licoo2 |
US7494617B2 (en) * | 2005-04-18 | 2009-02-24 | Heraeus Inc. | Enhanced formulation of cobalt alloy matrix compositions |
US20060289294A1 (en) * | 2005-06-24 | 2006-12-28 | Heraeus, Inc. | Enhanced oxygen non-stoichiometry compensation for thin films |
US20070017803A1 (en) * | 2005-07-22 | 2007-01-25 | Heraeus, Inc. | Enhanced sputter target manufacturing method |
US7838133B2 (en) | 2005-09-02 | 2010-11-23 | Springworks, Llc | Deposition of perovskite and other compound ceramic films for dielectric applications |
WO2007062089A1 (en) * | 2005-11-22 | 2007-05-31 | Bodycote Imt, Inc. | Fabrication of ruthenium and ruthenium alloy sputtering targets with low oxygen content |
US20070169853A1 (en) * | 2006-01-23 | 2007-07-26 | Heraeus, Inc. | Magnetic sputter targets manufactured using directional solidification |
US8062708B2 (en) | 2006-09-29 | 2011-11-22 | Infinite Power Solutions, Inc. | Masking of and material constraint for depositing battery layers on flexible substrates |
US8197781B2 (en) | 2006-11-07 | 2012-06-12 | Infinite Power Solutions, Inc. | Sputtering target of Li3PO4 and method for producing same |
JP5155565B2 (ja) * | 2007-01-04 | 2013-03-06 | 三井金属鉱業株式会社 | CoCrPt系スパッタリングターゲットおよびその製造方法 |
JP2009001861A (ja) * | 2007-06-21 | 2009-01-08 | Mitsubishi Materials Corp | 比透磁率の低い垂直磁気記録媒体膜形成用スパッタリングターゲット |
US8268488B2 (en) | 2007-12-21 | 2012-09-18 | Infinite Power Solutions, Inc. | Thin film electrolyte for thin film batteries |
TWI441937B (zh) | 2007-12-21 | 2014-06-21 | Infinite Power Solutions Inc | 形成用於電解質薄膜之濺鍍靶材的方法 |
CN100549199C (zh) * | 2007-12-26 | 2009-10-14 | 安泰科技股份有限公司 | 一种磁控溅射Co-Cr-Ta合金靶的制造方法 |
US8518581B2 (en) | 2008-01-11 | 2013-08-27 | Inifinite Power Solutions, Inc. | Thin film encapsulation for thin film batteries and other devices |
CN101983469B (zh) | 2008-04-02 | 2014-06-04 | 无穷动力解决方案股份有限公司 | 与能量采集关联的储能装置的无源过电压/欠电压控制和保护 |
US8968528B2 (en) * | 2008-04-14 | 2015-03-03 | United Technologies Corporation | Platinum-modified cathodic arc coating |
US8394243B1 (en) | 2008-07-24 | 2013-03-12 | Wd Media, Inc. | Sputtered cobalt oxide for perpendicular magnetic recording medium with low media noise |
US8906523B2 (en) | 2008-08-11 | 2014-12-09 | Infinite Power Solutions, Inc. | Energy device with integral collector surface for electromagnetic energy harvesting and method thereof |
WO2010030743A1 (en) | 2008-09-12 | 2010-03-18 | Infinite Power Solutions, Inc. | Energy device with integral conductive surface for data communication via electromagnetic energy and method thereof |
US8488276B1 (en) | 2008-09-30 | 2013-07-16 | WD Media, LLC | Perpendicular magnetic recording medium with grain isolation magnetic anistropy layer |
US8508193B2 (en) | 2008-10-08 | 2013-08-13 | Infinite Power Solutions, Inc. | Environmentally-powered wireless sensor module |
US20110003177A1 (en) * | 2009-07-06 | 2011-01-06 | Solar Applied Materials Technology Corp. | Method for producing sputtering target containing boron, thin film and magnetic recording media |
US8599572B2 (en) | 2009-09-01 | 2013-12-03 | Infinite Power Solutions, Inc. | Printed circuit board with integrated thin film battery |
FI20105340A0 (fi) * | 2010-03-31 | 2010-03-31 | Metso Minerals Inc | Menetelmä ja järjestelmä kappaleen valmistamiseksi kuumaisostaattisella puristuksella, keerna, pinnoitteen esivalmiste, sekä keernan käyttö |
CN102947976B (zh) | 2010-06-07 | 2018-03-16 | 萨普拉斯特研究有限责任公司 | 可充电、高密度的电化学设备 |
JP5426030B2 (ja) * | 2010-12-09 | 2014-02-26 | Jx日鉱日石金属株式会社 | 強磁性材スパッタリングターゲット |
US8993133B1 (en) | 2010-12-23 | 2015-03-31 | WD Media, LLC | Intermediate layer for perpendicular magnetic recording medium with high permeability grain boundaries |
TWI421353B (zh) * | 2011-03-18 | 2014-01-01 | Univ Nat Taiwan | 具奈米級釘紮效應的磁性材料 |
CN102343437B (zh) * | 2011-11-11 | 2014-03-26 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 钨靶材的制作方法 |
JP5863411B2 (ja) * | 2011-11-17 | 2016-02-16 | 田中貴金属工業株式会社 | マグネトロンスパッタリング用ターゲットおよびその製造方法 |
CN105934532B (zh) * | 2013-10-29 | 2019-09-20 | 田中贵金属工业株式会社 | 磁控溅射用靶 |
EP3106540B1 (en) * | 2014-03-27 | 2018-04-25 | JX Nippon Mining & Metals Corp. | Method of producing a ni-p alloy or a ni-pt-p alloy sputtering target |
CN104032274B (zh) * | 2014-06-12 | 2016-07-20 | 贵研铂业股份有限公司 | 一种CoCrPt系合金溅射靶材和薄膜及其制备方法 |
US9685184B1 (en) | 2014-09-25 | 2017-06-20 | WD Media, LLC | NiFeX-based seed layer for magnetic recording media |
JP7086514B2 (ja) * | 2015-12-28 | 2022-06-20 | Jx金属株式会社 | コバルト製又はコバルト基合金製スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
US11060180B2 (en) | 2016-09-12 | 2021-07-13 | Jx Nippon Mining & Metals Corporation | Ferromagnetic material sputtering target |
US11795527B2 (en) * | 2018-11-22 | 2023-10-24 | Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. | Pt—Co based alloy for medical use |
US11881238B1 (en) | 2022-08-03 | 2024-01-23 | Western Digital Technologies, Inc. | Sector mapout of low coercivity media for enhancing aerial density |
Family Cites Families (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4135286A (en) | 1977-12-22 | 1979-01-23 | United Technologies Corporation | Sputtering target fabrication method |
US4331476A (en) | 1980-01-31 | 1982-05-25 | Tektronix, Inc. | Sputtering targets with low mobile ion contamination |
JPS6066425A (ja) | 1983-09-22 | 1985-04-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Lsi電極用の高純度モリブデンタ−ゲツトならびに高純度モリブデンシリサイドタ−ゲツトおよびその製造方法 |
AT383758B (de) | 1985-12-23 | 1987-08-25 | Plansee Metallwerk | Verfahren zur herstellung eines sputter-targets |
JPH0791636B2 (ja) | 1987-03-09 | 1995-10-04 | 日立金属株式会社 | スパツタリングタ−ゲツトおよびその製造方法 |
US4820393A (en) | 1987-05-11 | 1989-04-11 | Tosoh Smd, Inc. | Titanium nitride sputter targets |
DE3716852C1 (de) | 1987-05-20 | 1988-07-14 | Demetron | Sputtertarget zur Erzeugung optisch transparenter Schichten und Verfahren zur Herstellung dieser Targets |
JPH0254760A (ja) | 1988-08-19 | 1990-02-23 | Hitachi Metals Ltd | ターゲットの製造方法 |
US5160534A (en) | 1990-06-15 | 1992-11-03 | Hitachi Metals Ltd. | Titanium-tungsten target material for sputtering and manufacturing method therefor |
US5306569A (en) | 1990-06-15 | 1994-04-26 | Hitachi Metals, Ltd. | Titanium-tungsten target material and manufacturing method thereof |
JPH0539566A (ja) | 1991-02-19 | 1993-02-19 | Mitsubishi Materials Corp | スパツタリング用ターゲツト及びその製造方法 |
JP3494302B2 (ja) | 1991-03-26 | 2004-02-09 | 日立金属株式会社 | Co−Cr−Pt系磁気記録媒体用ターゲット |
US5234487A (en) | 1991-04-15 | 1993-08-10 | Tosoh Smd, Inc. | Method of producing tungsten-titanium sputter targets and targets produced thereby |
JPH0598433A (ja) | 1991-08-30 | 1993-04-20 | Mitsubishi Materials Corp | スパツタリング用ターゲツトの製造方法 |
JPH05148631A (ja) | 1991-10-31 | 1993-06-15 | Mitsubishi Materials Corp | スパツタリング用ターゲツト |
US5342571A (en) | 1992-02-19 | 1994-08-30 | Tosoh Smd, Inc. | Method for producing sputtering target for deposition of titanium, aluminum and nitrogen coatings, sputtering target made thereby, and method of sputtering with said targets |
JPH05295531A (ja) | 1992-04-21 | 1993-11-09 | Toshiba Corp | Ti−W系スパッタリングターゲットおよびその製造方法 |
US5415829A (en) | 1992-12-28 | 1995-05-16 | Nikko Kyodo Co., Ltd. | Sputtering target |
US5561833A (en) | 1993-03-11 | 1996-10-01 | Japan Metals & Chemicals Co., Ltd. | Method of making high oxygen chromium target |
US5464520A (en) | 1993-03-19 | 1995-11-07 | Japan Energy Corporation | Silicide targets for sputtering and method of manufacturing the same |
JP2794382B2 (ja) | 1993-05-07 | 1998-09-03 | 株式会社ジャパンエナジー | スパッタリング用シリサイドターゲット及びその製造方法 |
JP2806228B2 (ja) * | 1993-10-25 | 1998-09-30 | 株式会社神戸製鋼所 | 難加工性Co合金の低透磁率化方法 |
DE4438202A1 (de) * | 1994-10-26 | 1996-05-02 | Leybold Materials Gmbh | Target für eine Magnetron-Kathodenzerstäubungsvorrichtung |
DE19508535A1 (de) * | 1995-03-10 | 1996-09-12 | Leybold Materials Gmbh | Sputtertarget aus einer Kobalt-Basislegierung mit hohem Magnetfelddurchgriff |
JP3458871B2 (ja) | 1995-03-31 | 2003-10-20 | 日立金属株式会社 | クロムタ−ゲットおよびその製造方法 |
US5778302A (en) | 1995-09-14 | 1998-07-07 | Tosoh Smd, Inc. | Methods of making Cr-Me sputter targets and targets produced thereby |
JP3816595B2 (ja) * | 1996-09-18 | 2006-08-30 | 三井金属鉱業株式会社 | スパッタリングターゲットの製造方法 |
JP2989169B2 (ja) | 1997-08-08 | 1999-12-13 | 日立金属株式会社 | Ni−Al系金属間化合物ターゲットおよびその製造方法ならびに磁気記録媒体 |
US20020014406A1 (en) | 1998-05-21 | 2002-02-07 | Hiroshi Takashima | Aluminum target material for sputtering and method for producing same |
JP2000038661A (ja) | 1998-07-21 | 2000-02-08 | Hitachi Metals Ltd | Co合金系ターゲット、その製造方法、スパッタリング装置、磁気記録膜および磁気記録装置 |
JP2000038660A (ja) | 1998-07-21 | 2000-02-08 | Hitachi Metals Ltd | CoPt系スパッタリングターゲットおよびその製造方法ならびにCoPt系磁気記録媒体 |
JP2000282229A (ja) | 1999-03-29 | 2000-10-10 | Hitachi Metals Ltd | CoPt系スパッタリングターゲットおよびその製造方法ならびにこれを用いた磁気記録膜およびCoPt系磁気記録媒体 |
US6042777A (en) | 1999-08-03 | 2000-03-28 | Sony Corporation | Manufacturing of high density intermetallic sputter targets |
JP3527939B2 (ja) | 2000-03-16 | 2004-05-17 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | スパッタリングターゲット組立体 |
US6514358B1 (en) * | 2000-04-05 | 2003-02-04 | Heraeus, Inc. | Stretching of magnetic materials to increase pass-through-flux (PTF) |
US6797137B2 (en) | 2001-04-11 | 2004-09-28 | Heraeus, Inc. | Mechanically alloyed precious metal magnetic sputtering targets fabricated using rapidly solidfied alloy powders and elemental Pt metal |
-
2001
- 2001-04-11 US US09/832,181 patent/US6797137B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-04-08 CN CNB028082052A patent/CN100344789C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2002-04-08 KR KR1020037013298A patent/KR100668790B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2002-04-08 WO PCT/US2002/010909 patent/WO2002083974A1/en active Application Filing
- 2002-04-08 EP EP02762011A patent/EP1395689B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-04-08 DE DE60205251T patent/DE60205251T2/de not_active Expired - Fee Related
- 2002-04-08 KR KR1020057021065A patent/KR100682617B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2002-04-08 EP EP05011333A patent/EP1595971A1/en not_active Withdrawn
- 2002-04-08 JP JP2002581711A patent/JP3962690B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-04-08 AT AT02762011T patent/ATE300628T1/de not_active IP Right Cessation
- 2002-04-08 CN CNA2005101204543A patent/CN1827843A/zh active Pending
-
2004
- 2004-01-13 US US10/755,229 patent/US7229588B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-09-10 HK HK04106859A patent/HK1064130A1/xx not_active IP Right Cessation
-
2005
- 2005-10-31 JP JP2005316988A patent/JP2006144124A/ja not_active Ceased
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008127591A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-05 | Sanyo Special Steel Co Ltd | Co−B系ターゲット材およびその製造方法 |
US9095932B2 (en) | 2006-12-13 | 2015-08-04 | H.C. Starck Inc. | Methods of joining metallic protective layers |
JP2008169464A (ja) * | 2007-01-08 | 2008-07-24 | Heraeus Inc | スパッタターゲット及びその製造方法 |
US9783882B2 (en) | 2007-05-04 | 2017-10-10 | H.C. Starck Inc. | Fine grained, non banded, refractory metal sputtering targets with a uniformly random crystallographic orientation, method for making such film, and thin film based devices and products made therefrom |
JP2013242962A (ja) * | 2008-02-18 | 2013-12-05 | Hitachi Metals Ltd | 軟磁性膜形成用Fe−Co系合金スパッタリングターゲット材 |
US8961867B2 (en) | 2008-09-09 | 2015-02-24 | H.C. Starck Inc. | Dynamic dehydriding of refractory metal powders |
US8470396B2 (en) | 2008-09-09 | 2013-06-25 | H.C. Starck Inc. | Dynamic dehydriding of refractory metal powders |
JP2012036452A (ja) * | 2010-08-06 | 2012-02-23 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | マグネトロンスパッタリング用ターゲットおよびその製造方法 |
US8703233B2 (en) | 2011-09-29 | 2014-04-22 | H.C. Starck Inc. | Methods of manufacturing large-area sputtering targets by cold spray |
US8734896B2 (en) | 2011-09-29 | 2014-05-27 | H.C. Starck Inc. | Methods of manufacturing high-strength large-area sputtering targets |
US9108273B2 (en) | 2011-09-29 | 2015-08-18 | H.C. Starck Inc. | Methods of manufacturing large-area sputtering targets using interlocking joints |
US9120183B2 (en) | 2011-09-29 | 2015-09-01 | H.C. Starck Inc. | Methods of manufacturing large-area sputtering targets |
US9293306B2 (en) | 2011-09-29 | 2016-03-22 | H.C. Starck, Inc. | Methods of manufacturing large-area sputtering targets using interlocking joints |
US9412568B2 (en) | 2011-09-29 | 2016-08-09 | H.C. Starck, Inc. | Large-area sputtering targets |
JP2012087412A (ja) * | 2011-11-17 | 2012-05-10 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | マグネトロンスパッタリング用ターゲットおよびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20040007493A (ko) | 2004-01-24 |
JP2004532931A (ja) | 2004-10-28 |
CN1503854A (zh) | 2004-06-09 |
DE60205251D1 (en) | 2005-09-01 |
US6797137B2 (en) | 2004-09-28 |
US7229588B2 (en) | 2007-06-12 |
US20040188249A1 (en) | 2004-09-30 |
KR100668790B1 (ko) | 2007-01-16 |
KR100682617B1 (ko) | 2007-02-15 |
CN1827843A (zh) | 2006-09-06 |
KR20050110046A (ko) | 2005-11-22 |
EP1595971A1 (en) | 2005-11-16 |
CN100344789C (zh) | 2007-10-24 |
EP1395689B1 (en) | 2005-07-27 |
DE60205251T2 (de) | 2006-05-24 |
EP1395689A1 (en) | 2004-03-10 |
ATE300628T1 (de) | 2005-08-15 |
JP3962690B2 (ja) | 2007-08-22 |
HK1064130A1 (en) | 2005-01-21 |
WO2002083974A1 (en) | 2002-10-24 |
US20020170821A1 (en) | 2002-11-21 |
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