JP5863411B2 - マグネトロンスパッタリング用ターゲットおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
本実施形態に係るターゲットの構成成分は、Co−Cr−Pt−SiO2−TiO2−Cr2O3である。Co、Cr、Ptは、スパッタリングによって形成される磁気記録層のグラニュラ構造において、磁性粒子(微小な磁石)の構成成分となる。酸化物(SiO2、TiO2、Cr2O3)は、グラニュラ構造において、磁性粒子(微小な磁石)を仕切る非磁性マトリックスとなる。
図1(実施例1のターゲットの厚さ方向断面のSEM写真)を例にとって示すように、本実施形態に係るターゲット10のミクロ構造は、磁性相12(Coの含有割合が85at%以上のCo−Cr合金相)、第1の非磁性相14(Coの含有割合が0at%より大きく73at%以下のCo−Cr−Pt合金相)、第2の非磁性相16(Coの含有割合が0at%より大きく12at%以下のCo−Pt合金相)がお互いに分散し、かつ、第1の非磁性相14(Coの含有割合が0at%より大きく73at%以下のCo−Cr−Pt合金相)と酸化物相18(SiO2−TiO2−Cr2O3相)とは、磁性相12および第2の非磁性相16よりも細かく酸化物相18と分散し合っている。なお、本実施形態では、磁性相12(Coの含有割合が85at%以上のCo−Cr合金相)をCoの含有割合が100at%のCo単体相としてもよく、Coの含有割合が85at%以上のCo−Cr合金相には、Coの含有割合が100at%のCo単体相も含まれるものとする。
本実施形態に係るターゲット10は、以下のようにして製造することができる。
所定の組成(Coの含有割合が85at%以上)となるようにCo、Crを秤量し、合金溶湯を作製して、ガスアトマイズを行い、所定の組成(Coの含有割合が85at%以上)のCo−Cr合金アトマイズ磁性粉末を作製する。作製したCo−Cr合金アトマイズ磁性粉末は分級して、粒径が所定の粒径以下(例えば106μm以下)となるようにする。ここで、Crを含有させずにCo単体のアトマイズ磁性粉末としてもよく、本実施形態では、所定の組成(Coの含有割合が85at%以上)のCo−Cr合金アトマイズ磁性粉末には、Co単体のアトマイズ磁性粉末も含まれるものとする。
所定の組成(Coの含有割合が0at%より大きく73at%以下)となるようにCo、Cr、Ptを秤量し、合金溶湯を作製して、ガスアトマイズを行い、所定の組成(Coの含有割合が0at%より大きく73at%以下)の第1の非磁性金属粉末(Co−Cr−Pt合金アトマイズ非磁性粉末)を作製する。作製した第1の非磁性金属粉末(Co−Cr−Pt合金アトマイズ非磁性粉末)は分級して、粒径が所定の粒径以下(例えば106μm以下)となるようにする。
所定の組成(Coの含有割合が0at%より大きく12at%以下)となるようにCo、Ptを秤量し、合金溶湯を作製して、ガスアトマイズを行い、所定の組成(Coの含有割合が0at%より大きく12at%以下)である第2の非磁性金属粉末(Co−Pt合金アトマイズ非磁性粉末)を作製する。作製した第2の非磁性金属粉末は分級して、粒径が所定の粒径以下(例えば106μm以下)となるようにする。
(2)で作製した非磁性混合粉末と、(1)で作製した磁性金属粉末と、(3)で作製した第2の非磁性金属粉末とを概ね均一になるまで混合分散して、加圧焼結用混合粉末を作製する。この加圧焼結用混合粉末の作製の際には、(2)で作製した非磁性混合粉末、(1)で作製した磁性金属粉末、(3)で作製した第2の非磁性金属粉末に、必要に応じ酸化物粉末を加えて混合分散を行ってもよい。なお、この工程での混合分散は、各粒子径が小さくならない程度に止める。各粒子径が小さくなる程度まで混合分散を行うと、得られるターゲットの漏洩磁束量が小さくなってしまうおそれがある。
(4)で作製した加圧焼結用混合粉末を、例えば真空ホットプレス法により加圧焼結して成形し、ターゲットを作製する。
本実施形態に係る製造方法の特徴は、(2)で作製した第1の非磁性金属粉末と酸化物粉末とを、(2)で記載したように、十分に細かく分散し合うまで混合分散を行って、非磁性混合粉末を得ていることである。
実施例1として作製したターゲット全体の組成は、90(71Co−10Cr−14Pt−5Ru)−7SiO2−3Cr2O3であり、以下のようにしてターゲットの作製を行うとともに評価を行った。
実施例2として作製したターゲット全体の組成は、90(71Co−10Cr−14Pt−5Ru)−7SiO2−3Cr2O3であり、実施例1と同じであり、また、作製した3種類のアトマイズ金属粉末(68Co−22Cr−10Pt合金粉末、5Co−95Pt合金粉末、Co粉末)の組成も同じである。ただし、実施例1では、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせた金属粉末は第1の非磁性金属粉末(68Co−22Cr−10Pt合金粉末)のみであったが、本実施例2では、第1の非磁性金属粉末(68Co−22Cr−10Pt合金粉末)だけでなく、第2の非磁性金属粉末(5Co−95Pt合金粉末)および磁性金属粉末(Co粉末)についても、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせている点が異なる。
比較例1として作製したターゲット全体の組成は、90(71Co−10Cr−14Pt−5Ru)−7SiO2−3Cr2O3で、実施例1、2と同じである。作製した3種類のアトマイズ金属粉末は、68Co−22Cr−10Pt合金粉末(非磁性金属粉末)、50Co−50Pt合金粉末(第1の磁性金属粉末)、Co粉末(第2の磁性金属粉末)であり、実施例1、2の5Co−95Pt合金粉末(非磁性金属粉末)に替えて、50Co−50Pt合金粉末(磁性金属粉末)を作製している。また、本比較例1では、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせた金属粉末は、68Co−22Cr−10Pt合金粉末(非磁性金属粉末)と50Co−50Pt合金粉末(第1の磁性金属粉末)であり、Co粉末(第2の磁性金属粉末)については、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせることはしていない。
比較例2として作製したターゲット全体の組成は、90(71Co−10Cr−14Pt−5Ru)−7SiO2−3Cr2O3で、実施例1、2、比較例1と同じである。作製した3種類のアトマイズ金属粉末は、68Co−22Cr−10Pt合金粉末(非磁性金属粉末)、50Co−50Pt合金粉末(第1の磁性金属粉末)、Co粉末(第2の磁性金属粉末)であり、比較例1と同様に、実施例1、2の5Co−95Pt合金粉末(非磁性金属粉末)に替えて、50Co−50Pt合金粉末(磁性金属粉末)を作製している。ただし、本比較例2では、作製した3種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせており、磁性金属粉末(Co粉末)についても、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせている点が比較例1と異なる。
比較例3として作製したターゲット全体の組成は、90(71Co−10Cr−14Pt−5Ru)−7SiO2−3Cr2O3で、実施例1、2、比較例1、2と同じである。作製した3種類のアトマイズ金属粉末は、68Co−22Cr−10Pt合金粉末(非磁性金属粉末)、50Co−50Pt合金粉末(第1の磁性金属粉末)、Co粉末(第2の磁性金属粉末)であり、比較例1、2と同様に、実施例1、2の5Co−95Pt合金粉末(非磁性金属粉末)に替えて、50Co−50Pt合金粉末(磁性金属粉末)を作製している。また、本比較例3では、比較例2と同様に、作製した3種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせており、磁性金属粉末(Co粉末)についても、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせている点が比較例1と異なる。磁性金属粉末(Co粉末)に対するボールミルの累計回転回数は比較例2と同じ(493,560回)である。
比較例4として作製したターゲット全体の組成は、90(71Co−10Cr−14Pt−5Ru)−7SiO2−3Cr2O3で、実施例1、2、比較例1、2、3と同じである。作製した3種類のアトマイズ金属粉末は、68Co−22Cr−10Pt合金粉末(非磁性金属粉末)、50Co−50Pt合金粉末(第1の磁性金属粉末)、Co粉末(第2の磁性金属粉末)であり、比較例1、2、3と同様に、実施例1、2の5Co−95Pt合金粉末(非磁性金属粉末)に替えて、50Co−50Pt合金粉末(磁性金属粉末)を作製している。また、本比較例4では、比較例2、3と同様に、作製した3種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせており、磁性金属粉末(Co粉末)についても、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせている点が比較例1と異なる。ただし、本比較例4では磁性金属粉末(Co粉末)に対するボールミルの累計回転回数が817,560回であり、比較例3における磁性金属粉末(Co粉末)に対するボールミルの累計回転回数493,560回よりも66%ほど多くなっている。なお、本比較例4では、磁性金属粉末(Co粉末)を1回しか分級しておらず、磁性金属粉末(Co粉末)の粒径の範囲は106μm以下であり、この点は比較例3と同じである。
参考例1として作製したターゲット全体の組成は、91(71.5Co−11Cr−17.5Pt)−3SiO2−2TiO2−4Cr2O3である。作製した3種類のアトマイズ金属粉末は、68Co−22Cr−10Pt合金粉末(非磁性金属粉末)、50Co−50Pt合金粉末(第1の磁性金属粉末)、Co粉末(第2の磁性金属粉末)であり、実施例1、2の5Co−95Pt合金粉末(非磁性金属粉末)に替えて、50Co−50Pt合金粉末(磁性金属粉末)を作製している。また、本参考例1では、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせた金属粉末は、68Co−22Cr−10Pt合金粉末(非磁性金属粉末)と50Co−50Pt合金粉末(第1の磁性金属粉末)であり、Co粉末(第2の磁性金属粉末)については、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせることはしていない。
参考例2として作製したターゲット全体の組成は、91(71.5Co−11Cr−17.5Pt)−3SiO2−2TiO2−4Cr2O3であり、参考例1と同様である。また、作製した3種類のアトマイズ金属粉末は、比較例1と同様に、68Co−22Cr−10Pt合金粉末(非磁性金属粉末)、50Co−50Pt合金粉末(第1の磁性金属粉末)、Co粉末(第2の磁性金属粉末)であり、実施例1および実施例2の5Co−95Pt合金粉末(非磁性金属粉末)に替えて、50Co−50Pt合金粉末(磁性金属粉末)を作製している。ただし、参考例1では、ボールミルを用いて酸化物と混合分散をさせた金属粉末は、68Co−22Cr−10Pt合金粉末(非磁性金属粉末)と50Co−50Pt合金粉末(第1の磁性金属粉末)であり、Co粉末(第2の磁性金属粉末)についてはボールミルを用いての酸化物との混合分散はさせていないのに対し、本参考例2では、3種の金属粉末を全てそれぞれ酸化物とボールミルを用いて混合させており、Co粉末(第2の磁性金属粉末)についてもボールミルを用いての酸化物との混合分散をさせている。
実施例3として作製したターゲット全体の組成は、91(73Co−11Cr−16Pt)−4SiO2−2TiO2−3Cr2O3である。作製した3種類のアトマイズ金属粉末は、68Co−22Cr−10Pt合金粉末(第1の非磁性金属粉末)、5Co−95Pt合金粉末(第2の非磁性金属粉末)、Co粉末(磁性金属粉末)であり、実施例1、2と同様である。また、本実施例3では、実施例2と同様に、作製した3種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物粉末と混合分散をさせており、第1の非磁性金属粉末(68Co−22Cr−10Pt合金粉末)に対するボールミルの累計回転回数は1,082,160回であり、第2の非磁性金属粉末(5Co−95Pt合金粉末)に対するボールミルの累計回転回数は385,560回であり、磁性金属粉末(Co粉末)に対するボールミルの累計回転回数は871,560回である。
比較例5として作製したターゲット全体の組成は、91(73Co−11Cr−16Pt)−4SiO2−2TiO2−3Cr2O3であり、実施例3と同様である。作製した3種類のアトマイズ金属粉末は、68Co−22Cr−10Pt合金粉末(第1の非磁性金属粉末)、5Co−95Pt合金粉末(第2の非磁性金属粉末)、Co粉末(磁性金属粉末)であり、実施例1〜3と同様である。また、本比較例5では、実施例2、3と同様に、作製した3種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物粉末と混合分散をさせており、第1の非磁性金属粉末(68Co−22Cr−10Pt合金粉末)に対するボールミルの累計回転回数は1,082,160回であり、第2の非磁性金属粉末(5Co−95Pt合金粉末)に対するボールミルの累計回転回数は385,560回であり、磁性金属粉末(Co粉末)に対するボールミルの累計回転回数は3,300,840回である。
比較例6として作製したターゲット全体の組成は、91(73Co−11Cr−16Pt)−4SiO2−2TiO2−3Cr2O3であり、実施例3、4と同様である。作製した3種類のアトマイズ金属粉末は、68Co−22Cr−10Pt合金粉末(第1の非磁性金属粉末)、5Co−95Pt合金粉末(第2の非磁性金属粉末)、Co粉末(磁性金属粉末)であり、実施例1〜3、比較例5と同様である。また、本比較例6では、実施例2、3、比較例5と同様に、作製した3種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物粉末と混合分散をさせており、第1の非磁性金属粉末(68Co−22Cr−10Pt合金粉末)に対するボールミルの累計回転回数は1,082,160回であり、第2の非磁性金属粉末(5Co−95Pt合金粉末)に対するボールミルの累計回転回数は547,560回であり、磁性金属粉末(Co粉末)に対するボールミルの累計回転回数は3,300,840回である。
比較例7として作製したターゲット全体の組成は、91(73Co−11Cr−16Pt)−4SiO2−2TiO2−3Cr2O3であり、実施例3、比較例1、2と同様である。作製した3種類のアトマイズ金属粉末は、68Co−22Cr−10Pt合金粉末(第1の非磁性金属粉末)、5Co−95Pt合金粉末(第2の非磁性金属粉末)、Co粉末(磁性金属粉末)であり、実施例1〜3、比較例1、2と同様である。また、本比較例7では、実施例2、3、比較例1、2と同様に、作製した3種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物粉末と混合分散をさせており、第1の非磁性金属粉末(68Co−22Cr−10Pt合金粉末)に対するボールミルの累計回転回数は1,082,160回であり、第2の非磁性金属粉末(5Co−95Pt合金粉末)に対するボールミルの累計回転回数は1,573,560回であり、磁性金属粉末(Co粉末)に対するボールミルの累計回転回数は3,300,840回である。
比較例8として作製したターゲット全体の組成は、91(73Co−11Cr−16Pt)−4SiO2−2TiO2−3Cr2O3であり、実施例3、比較例5〜7と同様である。作製した3種類のアトマイズ金属粉末は、68Co−22Cr−10Pt合金粉末(第1の非磁性金属粉末)、5Co−95Pt合金粉末(第2の非磁性金属粉末)、Co粉末(磁性金属粉末)であり、実施例1〜3、比較例5〜7と同様である。また、本比較例8では、実施例2、3、比較例5〜7と同様に、作製した3種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物粉末と混合分散をさせており、第1の非磁性金属粉末(68Co−22Cr−10Pt合金粉末)に対するボールミルの累計回転回数は2,390,040回であり、第2の非磁性金属粉末(5Co−95Pt合金粉末)に対するボールミルの累計回転回数は1,573,560回であり、磁性金属粉末(Co粉末)に対するボールミルの累計回転回数は3,300,840回である。
実施例4として作製したターゲット全体の組成は、91(73Co−11Cr−16Pt)−4SiO2−2TiO2−3Cr2O3であり、実施例3、比較例5〜8と同様である。作製した3種類のアトマイズ金属粉末は、68Co−22Cr−10Pt合金粉末(第1の非磁性金属粉末)、5Co−95Pt合金粉末(第2の非磁性金属粉末)、Co粉末(磁性金属粉末)であり、実施例1〜3、比較例5〜8と同様である。また、本実施例4では、実施例2、3、比較例5〜8と同様に、作製した3種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物粉末と混合分散をさせており、第1の非磁性金属粉末(68Co−22Cr−10Pt合金粉末)に対するボールミルの累計回転回数は1,082,160回であり、第2の非磁性金属粉末(5Co−95Pt合金粉末)に対するボールミルの累計回転回数は1,627,560回であり、磁性金属粉末(Co粉末)に対するボールミルの累計回転回数は871,560回である。本実施例4では、実施例3と比較して、第1の非磁性金属粉末(68Co−22Cr−10Pt合金粉末)および磁性金属粉末(Co粉末)に対するボールミルの累計回転回数は同様であるが、第2の非磁性金属粉末(5Co−95Pt合金粉末)に対するボールミルの累計回転回数が約4.2倍になっている。
実施例5として作製したターゲット全体の組成は、91(73Co−11Cr−16Pt)−4SiO2−2TiO2−3Cr2O3であり、実施例3、4、比較例5〜8と同様である。作製した3種類のアトマイズ金属粉末は、68Co−22Cr−10Pt合金粉末(第1の非磁性金属粉末)、5Co−95Pt合金粉末(第2の非磁性金属粉末)、Co粉末(磁性金属粉末)であり、実施例1〜4、比較例5〜8と同様である。また、本実施例5では、実施例2〜4、比較例5〜8と同様に、作製した3種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物粉末と混合分散をさせており、第1の非磁性金属粉末(68Co−22Cr−10Pt合金粉末)に対するボールミルの累計回転回数は2,473,200回であり、第2の非磁性金属粉末(5Co−95Pt合金粉末)に対するボールミルの累計回転回数は385,560回であり、磁性金属粉末(Co粉末)に対するボールミルの累計回転回数は871,560回である。本実施例5では、実施例3と比較して、第2の非磁性金属粉末(5Co−95Pt合金粉末)および磁性金属粉末(Co粉末)に対するボールミルの累計回転回数は同様であるが、第1の非磁性金属粉末(68Co−22Cr−10Pt合金粉末)に対するボールミルの累計回転回数が約2.3倍になっている。
実施例6として作製したターゲット全体の組成は、91(73Co−11Cr−16Pt)−4SiO2−2TiO2−3Cr2O3であり、実施例3〜5、比較例5〜8と同様である。作製した3種類のアトマイズ金属粉末は、68Co−22Cr−10Pt合金粉末(第1の非磁性金属粉末)、5Co−95Pt合金粉末(第2の非磁性金属粉末)、Co粉末(磁性金属粉末)であり、実施例1〜5、比較例5〜8と同様である。また、本実施例6では、実施例2〜5、比較例5〜8と同様に、作製した3種類のアトマイズ金属粉末全てについてそれぞれ、ボールミルを用いて酸化物粉末と混合分散をさせており、第1の非磁性金属粉末(68Co−22Cr−10Pt合金粉末)に対するボールミルの累計回転回数は2,390,040回であり、第2の非磁性金属粉末(5Co−95Pt合金粉末)に対するボールミルの累計回転回数は1,573,560回であり、磁性金属粉末(Co粉末)に対するボールミルの累計回転回数は871,560回である。本実施例6では、実施例3と比較して、磁性金属粉末(Co粉末)に対するボールミルの累計回転回数は同様であるが、第1の非磁性金属粉末(68Co−22Cr−10Pt合金粉末)および第2の非磁性金属粉末(5Co−95Pt合金粉末)に対するボールミルの累計回転回数がそれぞれ約2.2倍、約4.1倍になっている。
平均漏洩磁束率を測定した実施例1〜6、比較例1〜8、参考例1、2についての測定結果を下記の表29にまとめて示す。ただし、ターゲットの厚さが厚いほど、平均漏洩磁束率が小さく測定されやすくなるところ、実施例1、2、比較例1〜4おいて平均漏洩磁束率を測定したターゲットの厚さが5.0mmであり、参考例1、2において平均漏洩磁束率を測定したターゲットの厚さは6.5mmであり、実施例3〜6、比較例5〜8において平均漏洩磁束率を測定したターゲットの厚さは7.0mmであり、ターゲットの厚さが異なっている点に留意する必要がある。
12…磁性相
14…第1の非磁性相
16…第2の非磁性相
18…酸化物相
Claims (19)
- 強磁性金属元素を有するマグネトロンスパッタリング用ターゲットであって、
前記強磁性金属元素を含む磁性相と、前記強磁性金属元素を含み、かつ、構成元素またはその含有割合の異なる複数の非磁性相と、酸化物相とを有しており、
前記複数の非磁性相のうちの少なくとも1つは、前記磁性相よりも細かく前記酸化物相と分散し合っていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。 - 請求項1において、
前記複数の非磁性相のうちの1つは、他の非磁性相よりも細かく前記酸化物相と分散し合っていることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。 - 請求項1または2において、
前記磁性相は、相の平均の大きさが40〜80μmであることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。 - 請求項1〜3のいずれかにおいて、
前記複数の非磁性相は、2種の非磁性相であることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。 - 請求項1〜4のいずれかにおいて、
前記強磁性金属元素は、Coであることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。 - 請求項5において、
前記磁性相は、Coの含有割合が85at%以上であるCo−Cr合金相からなることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。 - 請求項5において、
前記磁性相は、Co単体であることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。 - 請求項5〜7のいずれかにおいて、
前記非磁性相のうちの少なくとも1つは、Coの含有割合が0at%より大きく75at%以下であるCo−Cr合金相またはCoの含有割合が0at%より大きく73at%以下であるCo−Cr−Pt合金相からなることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。 - 請求項5〜8のいずれかにおいて、
前記非磁性相のうちの少なくとも1つは、Coの含有割合が12at%以下であるCo−Pt合金相からなることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。 - 請求項1〜9のいずれかにおいて、
前記酸化物相は、SiO2、TiO2、Ti2O3、Ta2O5、Cr2O3、CoO、Co3O4、B2O5、Fe2O3、CuO、Y2O3、MgO、Al2O3、ZrO2、Nb2O5、MoO3、CeO2、Sm2O3、Gd2O3、WO2、WO3、HfO2、NiO2のうちの少なくとも1種を含むことを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。 - 請求項1〜10のいずれかにおいて、
前記ターゲットは、磁気記録層の形成に用いられることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲット。 - 強磁性金属元素を含む第1の非磁性金属粉末を酸化物粉末と混合分散して非磁性混合粉末を得る工程と、
前記得られた非磁性混合粉末と、前記強磁性金属元素を含む磁性金属粉末と、前記強磁性金属元素を含み、かつ、構成元素またはその含有割合が前記第1の非磁性金属粉末とは異なる第2の非磁性金属粉末と、を混合分散して加圧焼結用混合粉末を得る工程と、
を有することを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。 - 強磁性金属元素を含む第1の非磁性金属粉末を酸化物粉末と混合分散して非磁性混合粉末を得る工程と、
前記得られた非磁性混合粉末と、前記強磁性金属元素を含む磁性金属粉末と、前記強磁性金属元素を含み、かつ、構成元素またはその含有割合が前記第1の非磁性金属粉末とは異なる第2の非磁性金属粉末と、酸化物粉末と、を混合分散して加圧焼結用混合粉末を得る工程と、
を有することを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。 - 請求項12または13において、
前記複数の非磁性金属粉末は、2種の非磁性金属粉末であることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。 - 請求項12〜14のいずれかにおいて、
前記強磁性金属元素は、Coであることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。 - 請求項15において、
前記磁性金属粉末はCoおよびCrを主成分として含み、該磁性金属粉末におけるCoの含有割合が85at%以上であることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。 - 請求項15において、
前記磁性金属粉末はCo単体からなることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。 - 請求項12〜17のいずれかにおいて、
前記複数の非磁性金属粉末のうち少なくとも1つは、Coの含有割合が0at%より大きく75at%以下であるCo−Cr合金またはCoの含有割合が0at%より大きく73at%以下であるCo−Cr−Pt合金からなることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。 - 請求項12〜18のいずれかにおいて、
前記複数の非磁性金属粉末のうち少なくとも1つは、Coの含有割合が12at%以下であるCo−Pt合金からなることを特徴とするマグネトロンスパッタリング用ターゲットの製造方法。
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