JP2006040944A - 紫外線照射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 紫外線硬化型粘着剤層を介して保護シートSが貼付された半導体ウエハを被照射体とし、これに相対する位置に複数の紫外線発光ダイオード21を基板20上に配置した紫外線照射部12が設けられている。発光ダイオード21は、ウエハとの相対移動方向に対して略直交する複数列の直線L1上に等間隔を隔てて配置されているとともに、各列において隣り合っている発光ダイオード21間に、隣接する列の発光ダイオードの一部が位置するように配置されている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、前述した不都合に着目するとともに、紫外線発光ダイオードを用いた場合の問題を解決すべく種々の実験を通じて得られた知見により案出されたものであり、その目的は、装置の小型化を飛躍的に図ることができるとともに、保守点検の容易性、紫外線照射の作業性及び省電力化を達成することのできる紫外線照射装置を提供することにある。
前記発光ダイオードは、前記相対移動方向と略直交する複数列の直線上に等間隔を隔てて配置されているとともに、各列において隣り合っている発光ダイオード間に、隣接する列の発光ダイオードの一部が位置するように配置される、という構成を採っている。
なお、発光ダイオード21は、照度センサ17によって、ウエハに紫外線を照射する都度照度評価がなされるようになっており、これにより、照度が低下したと検知したときに、一個又は複数を一単位とするユニット毎に電圧を上げて必要照度を確保することができる(この場合、電圧には上限値を設けておくことが必要となる)。また、電圧が上限値に達していて照度が不足していると検知した場合は、一個又は複数を一単位とするユニット毎に交換を行うことができ、常に安定した性能で紫外線照射を行うことが可能となる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
11 ウエハ支持部
12 紫外線照射部
17 照度センサ
21 発光ダイオード
W 半導体ウエハ(被照射体)
Claims (6)
- 被照射体に相対する位置に複数の紫外線発光ダイオードを配置するとともに、これら被照射体と発光ダイオードが相対移動可能に設けられた紫外線照射装置において、
前記発光ダイオードは、前記相対移動方向と略直交する複数列の直線上に等間隔を隔てて配置されているとともに、各列において隣り合っている発光ダイオード間に、隣接する列の発光ダイオードの一部が位置するように配置されていることを特徴とする紫外線照射装置。 - 前記発光ダイオードは、基板に着脱自在に設けられていることを特徴とする請求項1記載の紫外線照射装置。
- 前記発光ダイオード数個をユニット化して当該ユニット単位で発光ダイオードが基板に着脱自在に設けられていることを特徴とする請求項1記載の紫外線照射装置。
- 前記発光ダイオードは、被照射体の平面積に応じて発光領域が制御可能に設けられていることを特徴とする請求項1,2又は3記載の紫外線照射装置。
- 前記被照射体を支持するテーブルに、前記相対移動方向と略直交する方向に沿う所定間隔毎に照度センサを配置したことを特徴とする請求項1,2,3又は4記載の紫外線照射装置。
- 前記発光ダイオードの複数個を一単位としたユニット毎、又は一個毎の照射能力が電流値及び/又は電圧値によって検出されることを特徴とする請求項1ないし4の何れかに記載の紫外線照射装置。
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