JPH0616529B2 - 粘着シ−ト処理装置 - Google Patents
粘着シ−ト処理装置Info
- Publication number
- JPH0616529B2 JPH0616529B2 JP3062286A JP3062286A JPH0616529B2 JP H0616529 B2 JPH0616529 B2 JP H0616529B2 JP 3062286 A JP3062286 A JP 3062286A JP 3062286 A JP3062286 A JP 3062286A JP H0616529 B2 JPH0616529 B2 JP H0616529B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- sheet
- holding plate
- sensitive adhesive
- ultraviolet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Dicing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、紫外線感応型粘着剤が塗布されたシート組立
体に紫外線を照射して処理する粘着シート処理装置に関
するものである。
体に紫外線を照射して処理する粘着シート処理装置に関
するものである。
集積回路（ＩＣ）製造工程の中には、半導体ウエハーを
チップ状に切断するダイシング工程が存在する。このダ
イシング工程において、半導体ウエハーを保持する方法
として、支持フレームの中心に半導体ウエハーを配置
し、粘着剤が塗布されたシートにてこれらの下面を粘着
して一体としたシート組立体とし、この支持フレームを
固定してカッターにてシートを残して半導体ウエハーの
みを切断することが行われる。この方法は、チップの欠
けや飛散などが防止できる利点を有するが、切断時の衝
撃力などに耐えるために粘着剤の粘着力は大きくなけれ
ばならない。しかし、反面において、切断後はチップが
シートから容易に剥離されなければならないが、シート
の大きな粘着力が剥離の妨げとなってしまう問題点があ
る。
チップ状に切断するダイシング工程が存在する。このダ
イシング工程において、半導体ウエハーを保持する方法
として、支持フレームの中心に半導体ウエハーを配置
し、粘着剤が塗布されたシートにてこれらの下面を粘着
して一体としたシート組立体とし、この支持フレームを
固定してカッターにてシートを残して半導体ウエハーの
みを切断することが行われる。この方法は、チップの欠
けや飛散などが防止できる利点を有するが、切断時の衝
撃力などに耐えるために粘着剤の粘着力は大きくなけれ
ばならない。しかし、反面において、切断後はチップが
シートから容易に剥離されなければならないが、シート
の大きな粘着力が剥離の妨げとなってしまう問題点があ
る。
ところで、最近は、紫外線を照射することにより粘着力
が低下する性質を有する紫外線感応型粘着剤が開発され
ており、この粘着剤が塗布されたシートにて半導体ウエ
ハーを粘着して切断後に紫外線を照射すれば前記の問題
点は解消できる。
が低下する性質を有する紫外線感応型粘着剤が開発され
ており、この粘着剤が塗布されたシートにて半導体ウエ
ハーを粘着して切断後に紫外線を照射すれば前記の問題
点は解消できる。
このため、紫外線感応型粘着剤が塗布されたシート組立
体に紫外線を照射して処理する装置が必要となるが、こ
の装置は、紫外線を放射する高圧水銀灯のような一本の
管状のランプを内蔵した光照射器の前方に、中央部に透
孔が穿設された保持板が配設され、この透孔を覆うよう
に保持板上にシート組立体を載置して紫外線を照射す
る。
体に紫外線を照射して処理する装置が必要となるが、こ
の装置は、紫外線を放射する高圧水銀灯のような一本の
管状のランプを内蔵した光照射器の前方に、中央部に透
孔が穿設された保持板が配設され、この透孔を覆うよう
に保持板上にシート組立体を載置して紫外線を照射す
る。
このとき、シート組立体をできるだけ均一な紫外線で処
理する必要があるが、管状のランプの照射分布は、第５
図（Ａ）に示すように、ランプ３の管軸方向は、ランプ
両端部を除いた広い範囲にわたって均一な照度である
が、管軸と直角方向は、第５図（Ｂ）に示すように、均
一な照度の巾が非常に狭い。従って、この照度特性を有
する管状ランプ３にてシート組立体１０を照射すれば、
管軸と直角方向の照度分布が不均一となってしまい、紫
外線感応型粘着剤の粘着力の低下の程度にバラツキが生
じ、シートから剥離しにくい部分が生じる不具合があ
る。
理する必要があるが、管状のランプの照射分布は、第５
図（Ａ）に示すように、ランプ３の管軸方向は、ランプ
両端部を除いた広い範囲にわたって均一な照度である
が、管軸と直角方向は、第５図（Ｂ）に示すように、均
一な照度の巾が非常に狭い。従って、この照度特性を有
する管状ランプ３にてシート組立体１０を照射すれば、
管軸と直角方向の照度分布が不均一となってしまい、紫
外線感応型粘着剤の粘着力の低下の程度にバラツキが生
じ、シートから剥離しにくい部分が生じる不具合があ
る。
そこで本発明は、半導体用などのウエハーが紫外線感応
型粘着剤が塗布されたシートに粘着されたシート組立体
を処理する装置であって、紫外線が均一な照度でシート
組立体に照射され、切断されたウエハーが一様に容易に
剥離できる粘着シート処理装置を提供することを目的と
するものである。
型粘着剤が塗布されたシートに粘着されたシート組立体
を処理する装置であって、紫外線が均一な照度でシート
組立体に照射され、切断されたウエハーが一様に容易に
剥離できる粘着シート処理装置を提供することを目的と
するものである。
本発明の粘着シート処理装置は、短波長の可視光から紫
外光にまたがる範囲の光を放射する一本の管状ランプを
内蔵した光照射器の前方に、中央部に透孔が穿設された
保持板が、該管状ランプの感軸と直角方向に相対的に移
動可能に配設され、光を透過する材質からなり紫外線感
応型粘着剤が塗布されたシートにて、支持フレームとこ
のフレームの中心に配置されたウエハーとが下方から粘
着されて一体となったシート組立体が位置決め機構によ
って該透孔を覆うように保持板上に載置され、該光照射
器からの光が該紫外線感応型粘着剤をスキャンしながら
照射することを特徴とするものである。
外光にまたがる範囲の光を放射する一本の管状ランプを
内蔵した光照射器の前方に、中央部に透孔が穿設された
保持板が、該管状ランプの感軸と直角方向に相対的に移
動可能に配設され、光を透過する材質からなり紫外線感
応型粘着剤が塗布されたシートにて、支持フレームとこ
のフレームの中心に配置されたウエハーとが下方から粘
着されて一体となったシート組立体が位置決め機構によ
って該透孔を覆うように保持板上に載置され、該光照射
器からの光が該紫外線感応型粘着剤をスキャンしながら
照射することを特徴とするものである。
以下に図面に示す実施例に基いて本発明を具体的に説明
する。
する。
第１図と第２図に示すように、装置箱１内の下方には光
照射器２が配設されている。この光照射器２内には、短
波長の可視光から紫外光にまたがる範囲の光を放射する
ランプ３として、発光長が150 mmの管状の高圧水銀灯が
配置されている。この高圧水銀灯は定格が１．２ＫＷで
あって、365 nmを主波長とし、254 nm、303 nm、405 n
m、436 nmなどの波長の光を効率よく放射する。ランプ
３の背後にはミラー３１が配置され、ランプ３の前記の
波長範囲の光が上方に照射される。
照射器２が配設されている。この光照射器２内には、短
波長の可視光から紫外光にまたがる範囲の光を放射する
ランプ３として、発光長が150 mmの管状の高圧水銀灯が
配置されている。この高圧水銀灯は定格が１．２ＫＷで
あって、365 nmを主波長とし、254 nm、303 nm、405 n
m、436 nmなどの波長の光を効率よく放射する。ランプ
３の背後にはミラー３１が配置され、ランプ３の前記の
波長範囲の光が上方に照射される。
装置箱１の上部には、保持板４が配設されているが、こ
の保持板４の中央部には、第３図に示すように、透孔４
１が穿設されている。そして、保持板４の両端には摺動
部材４２が固着されている。一方、２本の平行なガイド
棒５がランプ３の管軸と直角方向に配設され、このガイ
ド棒５が摺動部材４２内に嵌装されて摺動可能となって
いる。一方の摺動部材４２には駆動ワイヤー５１が取付
けられており、図示略の駆動機構によってワイヤー５１
が左右に移動し、従って、保持板４はランプ３の管軸と
直角方向に往復移動する。なお、本実施例では保持板４
が移動する例を説明したが、別の構造によって光照射器
２の方が移動するようにしてもよい。
の保持板４の中央部には、第３図に示すように、透孔４
１が穿設されている。そして、保持板４の両端には摺動
部材４２が固着されている。一方、２本の平行なガイド
棒５がランプ３の管軸と直角方向に配設され、このガイ
ド棒５が摺動部材４２内に嵌装されて摺動可能となって
いる。一方の摺動部材４２には駆動ワイヤー５１が取付
けられており、図示略の駆動機構によってワイヤー５１
が左右に移動し、従って、保持板４はランプ３の管軸と
直角方向に往復移動する。なお、本実施例では保持板４
が移動する例を説明したが、別の構造によって光照射器
２の方が移動するようにしてもよい。
シート組立体１０は、第３図に示すように、円環状の支
持フレーム１１の中央にウエハー１２が配置されたもの
であり、支持フレーム１１とウエハー１２はシート１３
で粘着されて一体となっている。このシート１３は光を
透過する薄いプラスチックシートであり、その表面に粘
着剤が塗布されているが、この粘着剤は紫外線を照射す
ることより粘着力が低下する性質を有する紫外線感応型
のものである。支持フレーム１１の外縁に複数個の切欠
き11a が形成され、一方、保持板４の上面にはこれに対
応する係止片４ａが突設されており、これによってシー
ト組立体１０は位置決めされて保持板４上に載置され
る。このとき、透孔４１の口縁は支持フレーム１１とウ
エハー１２の中間に位置しており、支持フレーム１１は
保持板４によってマスクされ、保持板４以外の部分に紫
外線が照射するようになっている。
持フレーム１１の中央にウエハー１２が配置されたもの
であり、支持フレーム１１とウエハー１２はシート１３
で粘着されて一体となっている。このシート１３は光を
透過する薄いプラスチックシートであり、その表面に粘
着剤が塗布されているが、この粘着剤は紫外線を照射す
ることより粘着力が低下する性質を有する紫外線感応型
のものである。支持フレーム１１の外縁に複数個の切欠
き11a が形成され、一方、保持板４の上面にはこれに対
応する係止片４ａが突設されており、これによってシー
ト組立体１０は位置決めされて保持板４上に載置され
る。このとき、透孔４１の口縁は支持フレーム１１とウ
エハー１２の中間に位置しており、支持フレーム１１は
保持板４によってマスクされ、保持板４以外の部分に紫
外線が照射するようになっている。
保持板４の直下にはシャッター６が配置され、これがモ
ータ６１によって水平面内で駆動されて透孔４１を開閉
する。このシャッター６の駆動面内には冷却風の吹出口
７１と強制的に吸入する吸入口７２が対向して設けられ
てエャーカーテンを構成し、シャッター６が閉じている
ときはシャッター６を、シャッター６が開いているとき
はシート組立体１０を冷却するようになっている。もっ
とも、エャーカーテンとすることなく、吹出口71のみで
シャッター６やシート組立体１０を冷却するようにして
もよい。
ータ６１によって水平面内で駆動されて透孔４１を開閉
する。このシャッター６の駆動面内には冷却風の吹出口
７１と強制的に吸入する吸入口７２が対向して設けられ
てエャーカーテンを構成し、シャッター６が閉じている
ときはシャッター６を、シャッター６が開いているとき
はシート組立体１０を冷却するようになっている。もっ
とも、エャーカーテンとすることなく、吹出口71のみで
シャッター６やシート組立体１０を冷却するようにして
もよい。
しかして、上記構成の装置にて処理するには、まず、シ
ャッター６を閉じてランプ３を点灯する。そして、上蓋
１ａを開けて、ダイシング工程を終えたシート組立体１
０を、位置決め機構によって保持板４の所定位置にセッ
トする。このとき、保持板４は一方の側によっている。
次に、シャッター６を開けるとともに、保持板４を移動
させる。従って、紫外線はスキャンしながらシート組立
体１０を照射するが、第４図および第５付から理解でき
るように、シート組立体１０は均一に照射される。この
ため、シート１３とウエハー１２を粘着している紫外線
感応型粘着剤の粘着力は一様に急激に低下する。従っ
て、この装置から取り出されたシート組立体１０は、次
工程において、チープ状のウエハー１２がシート１３よ
り一様に容易に剥離される。
ャッター６を閉じてランプ３を点灯する。そして、上蓋
１ａを開けて、ダイシング工程を終えたシート組立体１
０を、位置決め機構によって保持板４の所定位置にセッ
トする。このとき、保持板４は一方の側によっている。
次に、シャッター６を開けるとともに、保持板４を移動
させる。従って、紫外線はスキャンしながらシート組立
体１０を照射するが、第４図および第５付から理解でき
るように、シート組立体１０は均一に照射される。この
ため、シート１３とウエハー１２を粘着している紫外線
感応型粘着剤の粘着力は一様に急激に低下する。従っ
て、この装置から取り出されたシート組立体１０は、次
工程において、チープ状のウエハー１２がシート１３よ
り一様に容易に剥離される。
以上説明したように、本発明の粘着シート処理装置は、
保持板が管状ランプの管軸と直角方向に相対的に移動す
るように配設され、シート組立体がスキャンしながら照
射されるようにしたので均一な照度で照射され、チップ
状に切断されたウエハーが一様に剥離できる粘着シート
処理装置とすることができる。
保持板が管状ランプの管軸と直角方向に相対的に移動す
るように配設され、シート組立体がスキャンしながら照
射されるようにしたので均一な照度で照射され、チップ
状に切断されたウエハーが一様に剥離できる粘着シート
処理装置とすることができる。
第１図は本発明実施例の正面断面図、第２図は同じく側
面断面図、第３図は要部の分解斜視図、第４図と第５図
は照度分布の説明図である。 １……装置箱、２……光照射器、３……ランプ 31……ミラー、４……保持板、41……透孔 42……摺動部材、５……ガイド棒 51……駆動ワイヤー、６……シャッター 71……吹出口、72……吸入口、８……ライトガイド 10……シート組立体、11……支持フレーム 12……ウエハー、13……シート
面断面図、第３図は要部の分解斜視図、第４図と第５図
は照度分布の説明図である。 １……装置箱、２……光照射器、３……ランプ 31……ミラー、４……保持板、41……透孔 42……摺動部材、５……ガイド棒 51……駆動ワイヤー、６……シャッター 71……吹出口、72……吸入口、８……ライトガイド 10……シート組立体、11……支持フレーム 12……ウエハー、13……シート
Claims (1)
- 【請求項１】短波長の可視光から紫外光にまたがる範囲
の光を放射する一本の管状ランプを内蔵した光照射器の
前方に、中央部に透孔が穿設された保持板が、該管状ラ
ンプの管軸と直角方向に相対的に移動可能に配設され、
光を透過する材質からなり紫外線感応型粘着剤が塗布さ
れたシートにて、支持フレームとこのフレームの中心に
配置されたウエハーとが下方から粘着されて一体となっ
たシート組立体が位置決め機構によって該透孔を覆うよ
うに保持板上に載置され、該光照射器からの光が該紫外
線感応型粘着剤をスキャンしながら照射することを特徴
とする粘着シート処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3062286A JPH0616529B2 (ja) | 1986-02-17 | 1986-02-17 | 粘着シ−ト処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3062286A JPH0616529B2 (ja) | 1986-02-17 | 1986-02-17 | 粘着シ−ト処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62189112A JPS62189112A (ja) | 1987-08-18 |
| JPH0616529B2 true JPH0616529B2 (ja) | 1994-03-02 |
Family
ID=12308956
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3062286A Expired - Lifetime JPH0616529B2 (ja) | 1986-02-17 | 1986-02-17 | 粘着シ−ト処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0616529B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11102956A (ja) * | 1997-09-26 | 1999-04-13 | Disco Abrasive Syst Ltd | Ｕｖ照射装置及び該ｕｖ照射装置を搭載したダイシング装置 |
| JP4511706B2 (ja) * | 2000-09-26 | 2010-07-28 | 株式会社ディスコ | 被加工物の支持フレーム |
| JP4279738B2 (ja) * | 2004-07-22 | 2009-06-17 | リンテック株式会社 | 紫外線照射装置 |
| JP2007329300A (ja) * | 2006-06-08 | 2007-12-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 紫外線照射装置および紫外線照射装置を備えた切削機 |
| JPWO2008142975A1 (ja) * | 2007-05-18 | 2010-08-05 | 株式会社東京精密 | ダイシング装置およびダイシング方法 |
| JP2014008475A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 紫外線照射装置および紫外線照射装置を備えた加工装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58180090A (ja) * | 1982-04-15 | 1983-10-21 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品の取付け方法 |
| JPS5921038A (ja) * | 1982-07-27 | 1984-02-02 | Nec Home Electronics Ltd | ペレツト剥離方法 |
| JPS59126648A (ja) * | 1983-01-07 | 1984-07-21 | Nec Home Electronics Ltd | ペレツト剥離方法 |
| JPS6034999A (ja) * | 1983-12-20 | 1985-02-22 | Ajinomoto Co Inc | ポリペプチド |
| JPH06105752B2 (ja) * | 1984-03-27 | 1994-12-21 | 日東電工株式会社 | 半導体ウエハの処理方法 |
-
1986
- 1986-02-17 JP JP3062286A patent/JPH0616529B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62189112A (ja) | 1987-08-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |