JP2002022534A

JP2002022534A - 紫外線測定方法

Info

Publication number: JP2002022534A
Application number: JP2000210854A
Authority: JP
Inventors: Masayuki Yamamoto; 雅之山本
Original assignee: Nitto Denko Corp
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 2000-07-12
Filing date: 2000-07-12
Publication date: 2002-01-23

Abstract

(57)【要約】【課題】紫外線の照射を受ける物品の所望の箇所にお
ける紫外線の照射強度を正確に測定できる紫外線測定方
法を提供する。【解決手段】本発明の紫外線測定方法は、紫外線の照
射を受ける物品もしくはその物品と同等のダミーの所望
の箇所に、紫外線の照射強度に応じて変色する紫外線強
度測定粘着シート２１を貼り付けて紫外線を照射し、こ
の紫外線強度測定粘着シート２１の変色度合いに基づい
て紫外線の照射強度を測定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、物品に照射する紫
外線の照射強度を測定する紫外線測定方法に関し、特
に、半導体製造工程におけるウエハ処理工程や組立工程
などで実施される紫外線照射の照射強度をその実施前な
どに測定する紫外線測定方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体製造工程における組立工
程には、ウエハ処理工程後のウエハを個々のダイ（チッ
プ）に分割するダイシング工程がある。このダイシング
工程では、ウエハは、リング状支持体の中抜け部分に設
けられている粘着テープに貼り付けられている。このよ
うに、ウエハをリング状支持体に粘着テープを介して貼
り付けたものはマウントフレームと呼ばれている。ウエ
ハのダイシング工程に用いられる粘着テープは、ウエハ
を安定良く強力に保持するために相当に強い粘着力をも
っている必要がある。しかし、次工程であるダイボンデ
ィング工程においては、前記のダイシング工程によって
分割された個々のダイを粘着テープから分離しやすいよ
うに、予め、粘着テープのウエハを貼り付けている部分
（粘着テープのウエハ貼り付け部分）の粘着力を低下さ
せておく必要がある。

【０００３】このため、従来から一般的に、粘着テープ
としては粘着力の強い紫外線硬化型の粘着テープが用い
られ、ダイシング工程の後にマウントフレームに紫外線
を照射することによって、粘着テープのウエハ貼り付け
部分の粘着力を低下させている。

【０００４】マウントフレームに照射する紫外線の照射
強度、すなわち、粘着テープのウエハ貼り付け部分に照
射する紫外線の照射強度が規定値以上でなければ、粘着
テープのウエハ貼り付け部分の粘着力が十分に低下しな
いので、ダイが粘着テープから分離しにくいままになっ
てしまう。このようなことから、マウントフレームに照
射する紫外線の照射強度を測定してその照射強度が規定
値以上であること確認してから、マウントフレームに紫
外線を照射するようにしている。

【０００５】具体的には、半導体製造装置内のマウント
フレームの設置位置のうちの所望の測定箇所に、紫外線
強度測定器を装着し、この測定箇所における紫外線の照
射強度を測定している。この紫外線強度測定器として
は、例えば、本体容器に形成されている細孔内に受光部
を備えたフォトセンサなどがあり、受光部に入射された
紫外線の照射強度に応じて出力信号のレベルが変化し、
この出力信号レベルに基づいて紫外線の照射強度を測定
している。なお、測定箇所が複数ある場合には、これら
の複数の測定箇所に順に紫外線強度測定器を装着して紫
外線の照射強度を測定するようにしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来例の場合には、次のような問題がある。すなわ
ち、従来例の紫外線測定方法では、紫外線の照射を受け
る物品としてのマウントフレームの照射面内における所
望の測定箇所の紫外線の照射強度を前述の紫外線強度測
定器で個別に測定しているので、測定操作が面倒である
という問題がある。また、紫外線の照射強度の測定時
は、半導体製造装置を停止させてこの装置内の所望の測
定箇所に紫外線強度測定器を装着して紫外線の照射強度
を測定するので、装置の稼働率が大幅に低下するという
問題がある。

【０００７】さらに、前述の紫外線強度測定器は、本体
容器の細孔内に受光部が備えられた構造になっており、
紫外線強度測定器の受光部には、この細孔に対してほぼ
垂直に入射される紫外線（垂直光）しか入光されないの
で、測定箇所における紫外線の照射強度を正確に測定で
きないという問題がある。

【０００８】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、紫外線の照射を受ける物品の所望の箇
所における紫外線の照射強度を正確に測定できる紫外線
測定方法を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の発明は、紫外線の照射を受ける物
品もしくはその物品と同等のダミーの所望の箇所に、紫
外線の照射強度に応じて変色する紫外線感光部材を貼り
付けて紫外線を照射し、前記紫外線感光部材の変色度合
いに基づいて紫外線の照射強度を測定することを特徴と
するものである。

【００１０】また、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載の紫外線測定方法において、前記紫外線感光部材
は、前記物品もしくはその物品と同等のダミーの全面に
貼り付けてあることを特徴とするものである。

【００１１】また、請求項３に記載の発明は、請求項１
に記載の紫外線測定方法において、前記紫外線感光部材
は、前記物品もしくはその物品と同等のダミーの複数箇
所に貼り付けてあることを特徴とするものである。

【００１２】

【作用】請求項１に記載の発明の作用は次のとおりであ
る。紫外線の照射を受ける物品もしくはその物品と同等
のダミーの所望の箇所に、紫外線の照射強度に応じて変
色する紫外線感光部材を貼り付けて紫外線を照射し、そ
の紫外線感光部材の変色度合いに基づいて紫外線の照射
強度を測定している。したがって、実際に物品に紫外線
を照射する状態と同じ状態でその物品の所望の箇所に紫
外線が照射されることになり、物品の所望の箇所におけ
る紫外線の照射強度が正確に測定される。

【００１３】また、請求項２に記載の発明によれば、紫
外線感光部材は、紫外線の照射を受ける物品もしくはそ
の物品と同等のダミーの全面に貼り付けている。したが
って、紫外線感光部材が全面に貼り付けられている物品
もしくはダミーに対して紫外線の照射を一度実施するだ
けで、その物品の照射面内の紫外線強度分布が一度に測
定される。

【００１４】また、請求項３に記載の発明によれば、紫
外線感光部材は、紫外線の照射を受ける物品もしくはそ
の物品と同等のダミーの複数箇所に貼り付けられてい
る。したがって、紫外線感光部材が複数箇所に貼り付け
られている物品もしくはダミーに対して紫外線の照射を
一度実施するだけで、その物品の複数箇所の紫外線の照
射強度が一度に測定される。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施例を説明する。〈第１実施例〉本実施例に係る半導体製造装置の概略構
成について、図１を参照して説明する。図１は、本発明
の実施例に係る半導体製造装置の概略構成を示す斜視図
である。本実施例の半導体製造装置は、以下に説明する
ように、物品（ワーク）としてのマウントフレームＭＦ
に紫外線を照射するものである。このマウントフレーム
ＭＦの概略構成を図２に示す。

【００１６】この第１実施例の半導体製造装置は、図２
に示すように、ウエハ処理工程後のウエハＷをリング状
支持体１に粘着テープ２を介して貼り付けたマウントフ
レームＭＦに対してこのウエハＷを個々のダイに分割す
るダイシング処理を施した後に、粘着テープ２のウエハ
Ｗに対する接着力を低下させるためにこのマウントフレ
ームＭＦに規定値以上の照射強度の紫外線を照射するも
のである。

【００１７】本実施例に係る半導体製造装置は、図１に
示すように、大きく分けて、紫外線発光源１１を収納し
ている紫外線照射灯具１２と、紫外線の照射を受けるマ
ウントフレームＭＦがセットされるワークセットステー
ジ部１３と、マウントフレームＭＦに紫外線を照射する
ためにワークセットステージ部１３を移動させるワーク
移動部１４と、マウントフレームＭＦと紫外線照射灯具
１２との間で紫外線を遮光する紫外線遮光シャッター１
５と、紫外線の外部への漏洩を防止する紫外線遮光カバ
ー１６とで構成されている。以下、各部の構成を詳細に
説明する。

【００１８】マウントフレームＭＦは、その粘着テープ
２が下側、すなわち、その粘着テープ２が紫外線照射灯
具１２の方になるように、ワークセットステージ部１３
に載置される。

【００１９】紫外線照射灯具１２に収納されている紫外
線発光源１１は、マウントフレームＭＦ上のウエハＷを
粘着支持している紫外線硬化型の粘着テープ２に対して
十分な紫外線が照射できるように、例えば、マウントフ
レームＭＦの径とほぼ同じ長さを有している棒状の光源
としている。紫外線照射灯具１２の紫外線発光源１１の
周囲には、紫外線の照射効率を上げるために反射板が備
えられている。

【００２０】紫外線遮光シャッター１５は、紫外線をマ
ウントフレームＭＦに照射するときには開かれ、それ以
外のときには閉じられマウントフレームＭＦと紫外線照
射灯具１２との間で紫外線を遮光する。図１に示すよう
に、紫外線遮光シャッター１５が開かれることで形成さ
れる長方形状の開口部から紫外線が出射されることにな
る。

【００２１】ワーク移動部１４は、マウントフレームＭ
Ｆに対する紫外線照射エリアがこのマウントフレームＭ
Ｆの一端側から他端側に向かって移動していくように、
マウントフレームＭＦがセットされたワークセットステ
ージ部１３をＡ方向に移動させ、紫外線照射が終了する
とワークセットステージ部１３を初期位置Ｐ１に戻すよ
うにＡ方向とは反対のＢ方向に移動させるように構成さ
れている。なお、操作盤１７は、使用者から入力された
指示を、本実施例装置の動作全体を制御する制御部（図
示せず）に出力する。この制御部は、紫外線照射灯具１
２、ワーク移動部１４、紫外線遮光シャッター１５など
の動作も制御する。

【００２２】ここでは、半導体製造工程における組立工
程のうちのダイシング工程でダイシング処理を施したマ
ウントフレームＭＦに対して照射する紫外線の照射強度
が規定値以上であることを事前に確認するために、紫外
線の照射強度を測定する場合について説明する。なお、
この紫外線の照射強度の測定には、図３に示すようなマ
ウントフレームＭＦを用いている。図３（ａ）は、紫外
線強度測定粘着シートを貼り付けたマウントフレームの
各要素を分離した状態における斜視図であり、図３
（ｂ）は、紫外線強度測定粘着シートを貼り付けたマウ
ントフレームの縦断面図である。

【００２３】図３に示すように、紫外線の照射強度を測
定するためのマウントフレームＭＦは、実際にダイシン
グ工程で使用されるマウントフレームＭＦのウエハＷに
替えてこのウエハＷと同等形状のダミーウエハＤＷが設
けられ、粘着テープ２のダミーウエハＤＷを有する面と
は反対面に、紫外線強度測定粘着シート２１が貼り付け
られて構成されている。

【００２４】この紫外線強度測定粘着シート２１は、マ
ウントフレームＭＦの粘着テープ２の紫外線照射を受け
る面側に、ウエハ貼り付け部分全域を網羅するように貼
り付けられている。なお、図３には、ダミーウエハＤＷ
を有するマウントフレームＭＦを図示しているが、ダミ
ーウエハＤＷが無いマウントフレームＭＦとしても良
い。

【００２５】この紫外線強度測定粘着シート２１は、例
えば、紫外線の吸収により可逆的色変化を示す変色粘着
剤２２と、紫外線を透過し変色粘着剤２２の色変化が視
覚的に確認できるような透明フィルム２３とで構成され
ている。変色粘着剤２２としては、例えば、スピロピラ
ン、リチリデンアニリン等の有機材料や、フッ化カルシ
ウムにセリウムを添加したもの等の無機材料などがあ
る。この紫外線強度測定粘着シート２１は、薄くかつ柔
軟性があるので、貼り付けようとする物品（ワーク）の
形状にフィットして貼り付けることができる。

【００２６】このように紫外線の照射強度を測定する場
合には、紫外線強度測定粘着シート２１が貼り付けられ
たマウントフレームＭＦを、紫外線強度測定粘着シート
２１が紫外線照射灯具１２の方に対向するように、ワー
クセットステージ部１３に載置する。

【００２７】なお、上述した紫外線強度測定粘着シート
２１が本発明の紫外線感光部材に相当する。

【００２８】次に上記のように紫外線強度測定粘着シー
ト２１が貼り付けられたマウントフレームＭＦを用いて
実施例装置における紫外線の照射強度を測定する動作に
ついて、以下に説明する。

【００２９】まず、使用者は、紫外線強度測定粘着シー
ト２１が貼り付けられたマウントフレームＭＦを、紫外
線強度測定粘着シート２１面が下側、すなわち、その紫
外線強度測定粘着シート２１が紫外線照射灯具１２の方
に対向するように、ワークセットステージ部１３に載置
して、紫外線遮光カバー１６を閉じる。

【００３０】使用者から紫外線照射の指示が操作盤１７
に与えられると、紫外線照射灯具１２の紫外線遮光シャ
ッター１５が開いて、紫外線照射灯具１２内の紫外線発
光源１１からの紫外線が下側から上方向に向かって照射
される。ワーク移動部１４は、マウントフレームＭＦに
対する紫外線照射エリアがこのマウントフレームＭＦの
一端側から他端側に向かって移動していくように、ワー
クセットステージ部１３をＡ方向に所定の移動速度で移
動させていく。

【００３１】ワークセットステージ部１３が、紫外線照
射完了位置Ｐ２に到達すると、紫外線照射灯具１２の紫
外線遮光シャッター１５が閉じて、紫外線照射灯具１２
内の紫外線発光源１１からの紫外線が遮断される。ワー
ク移動部１４は、ワークセットステージ部１３を初期位
置Ｐ１に戻すようにＢ方向に移動させる。

【００３２】ワークセットステージ部１３が初期位置Ｐ
１に戻ると、使用者は、紫外線遮光カバー１６を開け
て、紫外線照射後のマウントフレームＭＦを取り出し、
マウントフレームＭＦの紫外線強度測定粘着シート２１
の変色度合いを目視確認する。紫外線強度測定粘着シー
ト２１の変色度合いに基づいて紫外線の照射強度を測定
する。例えば、紫外線の照射強度の判断基準となる色見
本を用いて、この色見本の色と、紫外線強度測定粘着シ
ート２１の色とを比較することで、紫外線の照射強度を
測定するようにしても良い。

【００３３】このように、マウントフレームＭＦの所望
の箇所に紫外線強度測定粘着シート２１を貼り付けて紫
外線を照射し、この紫外線強度測定粘着シート２１の変
色度合いに基づいて紫外線の照射強度を測定するので、
実際にマウントフレームＭＦに紫外線を照射する状態と
同じ状態でそのマウントフレームＭＦの紫外線強度測定
粘着シート２１に紫外線が照射されることになり、マウ
ントフレームＭＦの所望の箇所における紫外線の照射強
度を正確に測定できる。

【００３４】また、マウントフレームＭＦの所望の箇所
を、そのマウントフレームＭＦの粘着テープ２における
ウエハ貼り付け部分全体としているので、マウントフレ
ームＭＦに対して紫外線照射を一度実施するだけで、マ
ウントフレームＭＦの照射面全面の紫外線強度分布を一
度に測定でき、正確な紫外線の照射強度を測定できる。

【００３５】なおここでは、マウントフレームＭＦの粘
着テープ２におけるウエハ貼り付け部分全体に紫外線強
度測定粘着シート２１を貼り付けているが、図４に示す
ように、マウントフレームＭＦの粘着テープ２における
ウエハ貼り付け部分の所望の複数箇所に紫外線強度測定
粘着シート２１を貼り付けた場合では、マウントフレー
ムＭＦの所望の複数箇所における紫外線の照射強度を正
確に測定でき、マウントフレームＭＦに対して紫外線照
射を一度実施するだけで、マウントフレームＭＦの照射
面の所望の複数箇所に関する紫外線強度分布を一度に測
定できる。なお、この図４では、紫外線強度測定粘着シ
ート２１を円形としているが、三角形や四角形など種々
の形状のものを使用しても良い。

【００３６】〈第２実施例〉前述の第１実施例では、半
導体製造工程の組立工程においてマウントフレームＭＦ
に紫外線を照射する場合を例に挙げて説明してきたが、
この第２実施例では、ウエハＷの表面に貼り付けられた
粘着テープに紫外線を照射する場合を例に挙げて説明す
る。

【００３７】例えば、ウエハ表面に回路素子を形成した
後に、ウエハＷの厚み（１ｍｍ程度）を、例えば０．２
ｍｍ程度にまで薄くするように、このウエハＷの表面側
（回路が形成されている面）とは反対側の裏面を削って
いくバックグラインド処理を施すことがある。このよう
にウエハＷの厚みを薄くすることによって、放熱性を向
上させたりしている。

【００３８】このバックグラインド処理は、次のように
して行われる。すなわち、ウエハＷの表面側にはこの表
面側を保護するために粘着テープ２が貼り付けられ、回
転具の回転平面には粘着テープ２を介してウエハＷを強
力に吸着保持するようになっており、回転具を回転させ
ながらウエハＷの裏面側を研磨液を介して定盤に摩擦さ
せて研磨していく。ウエハＷの厚みが所定の厚み（例え
ば０．２ｍｍ程度）まで薄くなるとバックグラインド処
理を終了し、回転具によるウエハＷの吸着を解除しウエ
ハＷを取り外す。そして、ウエハＷの表面側に貼り付け
られた粘着テープ２に対して紫外線を照射してその粘着
テープ２を硬化させ、粘着テープ２のウエハＷに対する
粘着力を低下させて、この粘着テープ２に剥離テープを
貼り付けて、この剥離テープと粘着テープ２とをウエハ
Ｗから一体に剥離させている。

【００３９】この第２実施例の半導体製造装置は、紫外
線硬化型の粘着テープ２が貼り付けられてバックグライ
ンド処理されたウエハＷに対して、規定値以上の照射強
度の紫外線を照射してその粘着テープ２を硬化させるも
のである。

【００４０】この第２実施例において、前述の第１実施
例と異なっている点は次の通りである。すなわち、紫外
線が照射される物品（ワーク）は、前述の第１実施例で
はマウントフレームＭＦとしているが、この第２実施例
では粘着テープ２が貼り付けられてバックグラインド処
理されたウエハＷとしている点と、図１に示すワークセ
ットステージ部１３にはマウントフレームＭＦが載置さ
れるのではなくウエハＷが載置される点である。

【００４１】なお、その他の構成は、前述の第１実施例
と同様であるので、対応する部分に同一符号を付すにと
どめ、説明を省略する。

【００４２】この第２実施例では、紫外線硬化型の粘着
テープ２が貼り付けられてバックグラインド処理された
ウエハＷに対して照射する紫外線の照射強度が規定値以
上であることを事前に確認するために、紫外線の照射強
度を測定する場合を例に挙げて説明する。なお、この紫
外線の照射強度の測定には、図５に示すようなダミーウ
エハＤＷが用いられる。図５（ａ）は、紫外線強度測定
粘着シート２１を貼り付けたダミーウエハＤＷの各要素
を分離した状態における斜視図であり、図５（ｂ）は、
紫外線強度測定粘着シート２１を貼り付けたダミーウエ
ハＤＷの縦断面図である。

【００４３】図５に示すように、紫外線の照射強度を測
定するためのダミーウエハＤＷは、実際にバックグライ
ンド処理で使用されるウエハＷと同等形状のものに、紫
外線強度測定粘着シート２１を貼り付けて構成されてい
る。この紫外線強度測定粘着シート２１は、ダミーウエ
ハＤＷの粘着テープ２の紫外線照射を受ける面側の全域
を網羅するように貼り付けられている。

【００４４】次に、上記のように紫外線強度測定粘着シ
ート２１が貼り付けられたダミーウエハＤＷを用いて、
実施例装置における紫外線の照射強度を測定する動作に
ついては、前述の第１実施例と同様であるので、説明を
省略する。なお、ダミーウエハＤＷは、その紫外線強度
測定粘着シート２１側が紫外線照射灯具１２の方に対向
するようにワークセットステージ部１３に載置される。

【００４５】このように、ダミーウエハＤＷの所望の箇
所に紫外線強度測定粘着シート２１を貼り付けて紫外線
を照射し、この紫外線強度測定粘着シート２１の変色度
合いに基づいて紫外線の照射強度を測定するので、実際
にウエハＷに紫外線を照射する状態と同じ状態でダミー
ウエハＤＷの紫外線強度測定粘着シート２１に紫外線が
照射されることになり、ウエハＷの所望の箇所における
紫外線の照射強度を正確に測定できる。

【００４６】また、ダミーウエハＤＷの粘着テープ２の
全面に紫外線強度測定粘着シート２１を設けているの
で、ダミーウエハＤＷに対して紫外線照射を一度実施す
るだけで、ウエハＷの照射面全面の紫外線強度分布を一
度に測定でき、正確な紫外線の照射強度を測定できる。

【００４７】なおここでは、ダミーウエハＤＷの粘着テ
ープ２の全面に紫外線強度測定粘着シート２１を貼り付
けているが、図６に示すように、ダミーウエハＤＷの粘
着テープ２の所望の複数箇所に紫外線強度測定粘着シー
ト２１を貼り付けた場合では、ウエハＷの粘着テープ２
側の所望の複数箇所における紫外線の照射強度を正確に
測定できる。

【００４８】また、ダミーウエハＤＷの粘着テープ２に
紫外線強度測定粘着シート２１を貼り付けているが、ダ
ミーウエハＤＷに粘着テープ２を設けずこのダミーウエ
ハＤＷに直接に紫外線強度測定粘着シート２１を貼り付
けて紫外線の照射強度を測定しても良い。

【００４９】なお、本発明は以下のように変形実施する
ことも可能である。

【００５０】（１）上述した第２実施例では、バックグ
ラインド処理を施したウエハＷに照射する紫外線の照射
強度を測定する場合にダミーウエハＤＷを用いている
が、これ以外の処理を施したウエハＷに照射する紫外線
の照射強度を測定する場合についてもこのダミーウエハ
ＤＷを用いることができる。

【００５１】例えば、フォトリソグラフィー工程で不要
となったレジストパターンをウエハＷ上から除去するた
めに、ウエハＷ上に紫外線硬化型の粘着テープ２を貼り
付けることがある。このウエハＷに紫外線を照射して粘
着テープ２の粘着剤を硬化させ、粘着テープ２とレジス
トパターンとを一体に剥離している。このとき、粘着テ
ープ２に規定値以上の照射強度の紫外線が照射されない
と、この粘着テープ２の粘着剤が十分に硬化されず、レ
ジストパターンや粘着テープ２などが良好に剥離されな
いことになる。

【００５２】レジスト剥離工程で照射される紫外線の照
射強度も、前述の第２実施例のダミーウエハＤＷを用い
て測定することができ、前述の第２実施例と同様の効果
を有する。

【００５３】（２）上述した各実施例では、ダミーウエ
ハＤＷを用いているが、このダミーウエハＤＷに替え
て、実際に半導体製造工程で使用されるウエハＷを用い
ても良い。

【００５４】（３）上述した各実施例では、ワークの片
面側のみに紫外線強度測定粘着シート２１を貼り付けて
いるが、必要であればワークの端面やワークの全面など
に紫外線強度測定粘着シート２１を貼り付けても良い。

【００５５】（４）上述した各実施例では、紫外線照射
灯具１２を固定としワークを移動させるようになってい
るが、逆に、ワークを固定とし紫外線照射灯具１２を移
動させるようにした場合であっても、前述と同様の効果
を有する。また、ワークと紫外線照射灯具１２とを固定
とし紫外線照射灯具１２からの紫外線をワーク全体に一
括で照射するようにした場合であっても、前述と同様の
効果を有する。

【００５６】（５）上述した各実施例では、紫外線の照
射を受ける物品と同等のダミーに紫外線強度測定粘着シ
ート２１を貼り付けているが、その物品そのものに紫外
線強度測定粘着シート２１を貼り付けても、前述と同様
の効果を有する。

【００５７】（６）上述した各実施例では、紫外線強度
測定粘着シート２１の色は紫外線発光源１１から離れた
状態で所定時間経過すると元の色に戻るようになってお
り再使用可能になっているが、紫外線強度測定粘着シー
ト２１を一旦変色後はその色を保持する材料で構成し一
回使用のものとしても良い。このような機能を備えた材
料としては、例えば、ジアゾタイプ感光材料などがあ
る。

【００５８】（７）上述した各実施例では、物品（ワー
ク）をマウントフレームＭＦやウエハＷなどとしてこれ
に紫外線強度測定粘着シート２１を貼り付けているが、
マウントフレームＭＦやウエハＷ以外の物品にも紫外線
強度測定粘着シート２１を適用可能である。

【００５９】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に記載の発明によれば、紫外線の照射を受ける物品も
しくはその物品と同等のダミーの所望の箇所に、紫外線
の照射強度に応じて変色する紫外線感光部材を貼り付け
て紫外線を照射し、前記紫外線感光部材の変色度合いに
基づいて紫外線の照射強度を測定するので、紫外線の照
射を受ける物品の所望の箇所における紫外線の照射強度
を正確かつ迅速に測定できる。

【００６０】また、請求項２に記載の発明によれば、紫
外線感光部材は、物品もしくはその物品と同等のダミー
の全面に貼り付けているので、紫外線の照射を受ける物
品の照射面内の紫外線強度分布を一度に測定できる。

【００６１】また、請求項３に記載の発明によれば、紫
外線感光部材は、物品もしくはその物品と同等のダミー
の所望の複数箇所に貼り付けているので、紫外線の照射
を受ける物品の所望の複数箇所の紫外線の照射強度を一
度に測定できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係る半導体製造装置の概略構
成を示す斜視図である。

【図２】（ａ）はマウントフレームの各要素を分離した
状態における斜視図であり、（ｂ）は（ａ）に示したマ
ウントフレームの縦断面図である。

【図３】（ａ）は紫外線強度測定粘着シートを貼り付け
たマウントフレームの各要素を分離した状態における斜
視図であり、（ｂ）は（ａ）に示したマウントフレーム
の縦断面図である。

【図４】（ａ）は紫外線強度測定粘着シートを所望の複
数箇所に貼り付けたマウントフレームの各要素を分離し
た状態における斜視図であり、（ｂ）は（ａ）に示した
マウントフレームの縦断面図である。

【図５】（ａ）は紫外線強度測定粘着シートを貼り付け
たダミーウエハの各要素を分離した状態における斜視図
であり、（ｂ）は（ａ）に示したダミーウエハの縦断面
図である。

【図６】（ａ）は紫外線強度測定粘着シートを所望の複
数箇所に貼り付けたダミーウエハの各要素を分離した状
態における斜視図であり、（ｂ）は（ａ）に示したダミ
ーウエハの縦断面図である。

【符号の説明】

１ … リング状支持体２１ … 紫外線強度測定粘着シート（紫外線感光部
材）２２ … 変色粘着剤２３ … 透明フィルムＷ … ウエハＤＷ … ダミーウエハＭＦ … マウントフレーム

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】紫外線の照射を受ける物品もしくはその
物品と同等のダミーの所望の箇所に、紫外線の照射強度
に応じて変色する紫外線感光部材を貼り付けて紫外線を
照射し、前記紫外線感光部材の変色度合いに基づいて紫
外線の照射強度を測定することを特徴とする紫外線測定
方法。
【請求項２】請求項１に記載の紫外線測定方法におい
て、前記紫外線感光部材は、前記物品もしくはその物品と同
等のダミーの全面に貼り付けてあることを特徴とする紫
外線測定方法。
【請求項３】請求項１に記載の紫外線測定方法におい
て、前記紫外線感光部材は、前記物品もしくはその物品と同
等のダミーの所望の複数箇所に貼り付けてあることを特
徴とする紫外線測定方法。