JP5466964B2 - ワーク保持機構 - Google Patents
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Images
Description
2 レーザー加工ユニット
21 加工ヘッド
22 アライメント手段
23 発振器
24 撮像部
3 保持テーブル
31 支持台
32 ワーク保持ユニット
321 枠体
322 連通路
323 吸引部
324 圧力センサ
325 空間
326 発光部材
33 ワーク保持部
331 リーク検出溝
332、333 吸引口
34 保持面
341 吸着溝
35 クランプ部
4 基台
41 土台部
42 壁部
5 アーム部
6 保護テーブル移動機構
61 X軸移動機構
611 ガイドレール
612 移動基台
613 ボールねじ
614 駆動モータ
62 Y軸移動機構
621 ガイドレール
622 移動基台
623 ボールねじ
624 駆動モータ
7 制御部
10 ワークユニット
101 環状フレーム
102 開口部
103 テープ
104 チップ
105 接着フィルム
W ワーク
Claims (2)
- 環状フレームの開口部にテープを介してワークを支持した形態のワークユニットのワークを前記テープを介して保持する保持面と当該保持面に形成された吸着溝とを有する保持部と、前記吸着溝に負圧を発生させる第一の吸引部とを有するワーク保持機構であって、
前記環状フレームの内周とワークの外周との間に位置する前記テープに対応する位置に前記吸着溝を囲むように形成された環状のリーク検出溝と、前記リーク検出溝に負圧を発生させる第二の吸引部と、前記リーク検出溝と前記第二の吸引部との間に配設された圧力検知部とを有し、前記リーク検出溝の断面積は、前記吸着溝の断面積よりも大きいことを特徴とするワーク保持機構。 - 前記リーク検出溝の幅は、前記吸着溝の幅よりも大きいことを特徴とする請求項1記載のワーク保持機構。
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