JP5948032B2 - ブレーキング装置 - Google Patents
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また、前記ブレーキング装置を用いて被加工物を切断する被加工物の切断方法は、前記分割予定ラインに沿って内部に改質層が形成され裏面に反射膜が被覆された被加工物の表面側を粘着テープに貼着することによりリングフレームによって被加工物が支持され、該リングフレームが前記保持台に保持され、前記IRカメラが該裏面側から該反射膜を透過させて前記分割予定ラインを撮像し、該IRカメラの撮像画から、前記演算部が前記X方向と回転方向のズレ量を演算し、該演算部の数値から前記Xベースと該保持台を動作させ被加工物の該分割予定ラインを前記支持台の前記間隙内側に移動させ、該ブレードを該被加工物の表面側から下降させて該被加工物を切断する。
図3に示すように、ウェーハWの裏面Wb側が支持台20の上面に保護フィルム3を介して支持されると、反射膜4が形成されたウェーハWの裏面Wb側とIRカメラ31のレンズ32とが対向するように位置づけられる。IRカメラ31は、分割予定ラインLとブレード43の先端部43aとの位置合わせ(アライメント)を行うために、IRカメラ31による分割予定ラインLの撮像処理を開始する。
2:リングフレーム
3:保護フィルム
4:反射膜
10:装置ベース
11:ガイドレール
12:Xベース 12a:移動部 120:貫通孔
13:保持台 :130:貫通孔
14:駆動部
15:ギア
16:間隙
20:支持台 21:支持レール
30:撮像手段 31:IRカメラ 32:レンズ 33:演算部
40:応力付与手段 41:移動基台 42:ガイドレール
43:ブレード 43a:先端部 44:駆動モータ
50:振動検知器
60:制御手段
W:ウェーハ Wa:表面 Wb:裏面
D:デバイス L:分割予定ライン T:粘着テープ
Claims (2)
- リングフレームに粘着テープを介して支持された被加工物の分割予定ラインにブレードを当接し曲げ応力を付与して該被加工物を切断するブレーキング装置において、
被加工物の裏面には反射膜が被覆されており、
該ブレーキング装置は、
装置ベース上面の中央付近に所定の間隙を設け平行に立設された一対の支持レールと、該支持レールの一端に配設された被加工物を支持する支持台と、該間隙の上方に配置され上下動作可能なブレードと、該間隙に配設された撮像手段と、を備え、
該装置ベース上面にはX方向動作可能なXベースが配設され、該Xベースには中央に該支持台を収容する貫通孔が形成され、該Xベース上面には該貫通孔の中心を軸として回転可能なリングフレームを保持する保持台が配設され、
該撮像手段は、被加工物の裏面側から反射膜を透過させて分割予定ラインを撮像するIRカメラと、
該IRカメラの撮像画からX方向と回転方向のズレ量を演算する演算部と、
を備え、
該演算部の数値から該Xベースと該保持台を動作させ被加工物の該分割予定ラインを該支持台の該間隙内側に移動させ、該ブレードを該被加工物の表面側から下降させ該被加工物を切断するブレーキング装置。 - 請求項1に記載のブレーキング装置を用いて被加工物を切断する被加工物の切断方法であって、
前記分割予定ラインに沿って内部に改質層が形成され裏面に反射膜が被覆された被加工物の表面側を粘着テープに貼着することによりリングフレームによって被加工物が支持され、
該リングフレームが前記保持台に保持され、
前記IRカメラが該裏面側から該反射膜を透過させて前記分割予定ラインを撮像し、
該IRカメラの撮像画から、前記演算部が前記X方向と回転方向のズレ量を演算し、
該演算部の数値から前記Xベースと該保持台を動作させ被加工物の該分割予定ラインを前記支持台の前記間隙内側に移動させ、
該ブレードを該被加工物の表面側から下降させて該被加工物を切断する
被加工物の切断方法。
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