JP6071775B2 - ウェーハの加工方法 - Google Patents
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Images
Description
11a 表面
11b 裏面
11c 外周面
13 デバイス領域
15 外周余剰領域
17 ストリート(分割予定ライン)
19 デバイス
21 保護部材
21a 表面
21b 裏面
23 改質層
25 クラック
2 レーザー加工装置
4 基台
6 基部
8 壁部
10 チャックテーブル
12 レーザー加工ヘッド
14 赤外線カメラ
16 Y軸移動機構(割り出し送り機構)
18 Y軸ガイドレール
20 Y軸移動テーブル
22 Y軸ボールネジ
24 Y軸パルスモータ
26 X軸移動機構(加工送り機構)
28 X軸ガイドレール
30 X軸移動テーブル
32 X軸ボールネジ
34 X軸パルスモータ
36 支持台
38 支持アーム
40 レーザー光線
42 集光点(焦点)
Claims (3)
- ウェーハの表面に複数設定された分割予定ラインに沿って該ウェーハの内部に改質層を形成するウェーハの加工方法であって、
該ウェーハの該表面側に保護部材を配設する保護部材配設ステップと、
該保護部材配設ステップの後に、該ウェーハの該保護部材側をチャックテーブルで保持する保持ステップと、
該ウェーハを透過する波長のレーザー光線を該ウェーハの内部に焦点を合わせつつ照射して形成される改質層の基準幅を設定する基準幅設定ステップと、
該基準幅設定ステップの後に、該チャックテーブルに保持された該ウェーハの裏面側から該レーザー光線を該ウェーハの内部に焦点を合わせつつ任意の分割予定ラインに沿って照射し、該ウェーハの内部に該任意の分割予定ラインに沿った該改質層を形成する改質層形成ステップと、
該改質層形成ステップの後に、該チャックテーブルに保持された該ウェーハの該改質層を赤外線カメラで該ウェーハの該裏面側から撮像し、撮像された該改質層の幅が該基準幅以上に太い場合、該改質層から該ウェーハの表面に向かって伸長するクラックの発生有りと判定するクラック判定ステップと、を含むことを特徴とするウェーハの加工方法。 - 前記基準値設定ステップで設定される該基準幅は、4μmであることを特徴とする請求項1記載のウェーハの加工方法。
- 前記基準幅設定ステップでは、前記ウェーハの前記改質層が形成されていない前記分割予定ラインに沿って前記レーザー光線を照射して前記クラックが伸長しない該改質層を形成し、該改質層の前記幅を前記赤外線カメラで撮像して測定し、該幅を基に前記基準幅を設定し、
前記改質層形成ステップでは、該基準幅設定ステップで照射した該レーザー光線と該焦点の位置を入射方向に変化させた該レーザー光線を該改質層に沿って照射し、該分割予定ラインに沿った改質層を該ウェーハの厚さ方向に複数形成することを特徴とする請求項1記載のウェーハの加工方法。
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