JP5117954B2 - レーザ加工装置及びレーザ加工方法 - Google Patents
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Description
2 保持手段
3 レーザ光照射手段
4 変位検出手段
5 レーザ光
6 吸引手段
10 ワーク
10a デバイス
10b 余剰領域
11 リングフレーム
12 粘着テープ
21 保持部
21a 保持面
22 クランプ
31 台座
32a、32b、35a、35b 案内レール
33a、36a ボールねじ
33b、36b モータ
33c、36c 軸受けブロック
34、37 滑動ブロック
Claims (3)
- 表面に複数のデバイスが形成されたワークの内部に改質領域を形成するレーザ加工装置であって、
前記ワーク表面の周縁部に設けられた前記デバイスが形成されていない領域を接触保持する環状の保持面を備えた保持手段と、
前記ワークの裏面に向けて、該ワークを透過する波長のレーザ光を照射するレーザ光照射手段と、を有し、
前記保持面が径方向内側に傾斜しているレーザ加工装置。 - 前記保持面には、前記ワークを吸着保持するための1又は複数の孔が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 表面に複数のデバイスが形成され、裏面に貼付された粘着テープを介して環状フレームの開口部に支持されているワークに対して、レーザ光を照射し、該ワーク内に改質領域を形成するレーザ加工方法であって、
前記ワーク表面の前記デバイスが形成されていない周縁部を、径方向内側に傾斜している環状の保持面によって吸着保持する工程と、
前記ワークの裏面側から、前記ワーク及び前記粘着テープを透過する波長のレーザ光を、前記ワーク内部に集光点を合わせて、分割予定ラインに沿って照射する工程と、を有するレーザ加工方法。
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JP2008197226A JP5117954B2 (ja) | 2008-07-31 | 2008-07-31 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
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