JPH06252262A - 紫外線照射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 粘着シ−ト４上の貼付ウェ−ハ１の外周部の
不良ペレット３ｃの剥離、飛散を防止する。 【構成】 粘着シ−ト４の下面近傍に遮光板１５を配置
して、ペレットの外形不良領域１３へ照射される紫外線
発生光源７よりの紫外光を遮光するようにする。良領域
１３へ照射される紫外線発生光源７よりの紫外光を遮光
するようにする。この遮光板１５を可動可能に対向した
対の板状遮光体１８、２２で構成して、遮光領域を可変
できるように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は半導体ウェ−ハ支持用
粘着シ−トの粘着材を硬化させる紫外線照射装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造に使用する半導体ウェ
−ハ（以下単にウェ−ハと称する）１は、図８に示すよ
うに、半導体基板２上に拡散やエッチング手法を駆使し
て、多数の半導体素子（以下ペレットと称する）３を縦
横に形成したものであり、拡散処理やエッチング処理が
バッチ式にでき量産性に優れ、半導体装置が多量、安価
に製造出来る特徴を有している。

【０００３】かかる多数のペレット３が形成されたウェ
−ハ１は、図示すように、展延性良好なシ−ト基材（例
えばポリ塩化ビニ−ルシ−ト）に紫外線硬化形粘着材を
塗布した粘着シ−ト４上にその裏面側を貼付し、表面側
から各ペレット間の格子状パタ−ンで形成されたスクラ
イブ線５ａ，５ｂに沿ってダイシングソ−などにより切
削し、分割して、個々のペレット３に分離できるように
なっている。

【０００４】このように分割したペレット３が粘着され
た粘着シ−ト４は、図９に示すように、リング状の枠体
６に取付けられ、後述のペレット取出し装置に送られ
る。なお、この場合、粘着シ−ト４はペレット３の取出
し操作が容易に行えるように、リング状の枠体６に取付
けるとき、図示しないシ−ト伸張器で引伸ばされ、各ペ
レット３、３間が充分離間して配置してある。

【０００５】そして、枠体６に取付けられた粘着シ−ト
４は、各ペレット３、３の取出しに先立ち、図１０に示
すように、粘着シ−ト４の下方側に紫外線発生光源７を
配置した紫外線照射装置８にかけられ、粘着シ−ト４上
の粘着材を硬化させて粘着力を低下させ、各ペレット
３、３の粘着シ−ト４からの剥離を容易にしている。こ
の装置８は粘着シ−ト４のウェ−ハ１の下面全域に、紫
外線発生光源７からの紫外線を照射する。したがって、
粘着シ−ト４全域の粘着材が硬化され、全ペレット３の
取出し操作が容易になる。

【０００６】次に、上記の如く紫外線が照射され、粘着
力が低下した粘着シ−ト４は、図１１に示すように、下
方に配置された上下動可能な突上ピン９と、上方に配置
された所定部間往復動可能な吸着ノズル１０とからなる
ペレット取出し装置１１に送られる。そして、突上ピン
９で粘着シ−ト４上の所望のペレット３を突上げ、これ
を吸着ノズル１０で吸引して粘着シ−ト４から剥離し、
図示しないマウント工程に送られる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記マウン
ト工程では、半導体ウェ−ハ１上に形成された多数個の
ペレット３の内、特性検査で選別された良品のペレット
３ａだけがマウントに供されるようになっている。この
ため、通常、ウェ−ハ１上には、図１２に示すように、
前工程の特性検査で、不良のペレット３ｂ上に識別マ−
ク１２を付し、マウント工程ではこれを光センサなどで
認識して良品ペレット３ａだけを取出し、不良のペレッ
ト３ｂは取出さないようにしている。しかしながら、現
実には光センサなどの誤認識により、ウェ−ハ１外周部
の半欠け状の不良ペレット３ｃがマウント工程に取出さ
れることがあった。

【０００８】また、ウェ−ハ１の外周部のペレット３は
外形パタ−ンが欠けた半欠け状の不良ペレット３ｃが集
中したペレットの外形不良領域１３（斜線図示した部
分）であり、マウント工程には供出できないものであ
る。したがって、これらの外形不良領域１３上のペレッ
ト３ｃを特性検査をしたり、識別マ−ク１２を付与する
ことは無駄であり、余分の工数であった。また、外形不
良領域１３上のペレット３ｃは小形のものが多く、面積
が小さいために粘着シ−ト４との付着力が弱く、ペレッ
ト取出し作業中に飛散して半導体装置のショ−ト事故の
原因にもなっていた。

【０００９】

【課題を解決するための手段】したがって、本発明は上
記に鑑みなされたものであり、紫外線硬化型粘着材が塗
布された粘着シ−ト上に多数の定型半導体ペレットが形
成された半導体ウェ−ハを貼付け、前記粘着シ−トの下
方に配置した紫外線発生光源から粘着シ−トに紫外線を
照射して粘着材を硬化させ、粘着シ−トの粘着力を低下
させて半導体ペレットを剥離し易くした紫外線照射装置
において、前記粘着シ−トの下面近傍に、半導体ウェ−
ハ外周部の不定型半導体ペレット領域に紫外光を遮光す
る遮光板を配置したものである。また、遮光板は粘着シ
−ト下面の前記半導体ウェ−ハ貼付位置の両側に可動可
能に対向して配置され、先端にコ字状の凹部が形成され
た一対の板状遮光体で構成し、これらの遮光体を貼付ウ
ェ−ハの中心位置に向けて移動して先端部を重合し、コ
字状の凹部間に囲まれた空間を紫外線の照射窓としたも
のである。また、遮光板は粘着シ−ト下面の前記半導体
ウェ−ハ貼付位置の前後、左右側に可動可能に対向して
配置され、それぞれ所定幅員に形成された二対の板状遮
光体で構成し、これらの遮光体を貼付ウェ−ハの中心位
置に向けて移動して先端部を重合し、先端面間に囲まれ
た空間を紫外線の照射窓としたものである。また、紫外
線照射装置の光源は線状光源であり、前記二対の板状遮
光体の内光源側に配置した板状遮光体の移動方向と直交
する方向に線状光源の配列方向を合わせて配置したもの
である。

【００１０】

【作用】半欠け状不良ペレットが集中するウェ−ハ外周
部へ照射される紫外線は遮光板により遮光される。した
がって、この部分の粘着シ−トの粘着材は硬化されず、
シ−トの粘着力を残しているため、不良ペレットの剥れ
や、飛散がなくなる。また、ウェ−ハ外周部は粘着シ−
トで粘着されており、ペレット取出し装置が誤動作して
もマウント装置に取出されることがないから、ウェ−ハ
外周部の特性検査やマ−ク付与が不要になる。また、遮
光板を可動可能な一対の板状遮光体で構成したから、紫
外線の照射領域を可変することができ、種々のウェ−ハ
サイズやペレットサイズのものに対応できる。さらに、
紫外線照射装置の光源を、光源側に配置した板状遮光体
の移動方向と直交する方向に、光軸を合わせて配置した
から、遮光体背面空隙からの紫外線の回り込みが押さえ
られ、精度良く遮光できる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面と共に詳述す
る。図１は本発明の第１の実施例で、紫外線照射装置１
４の側面図である。この紫外線照射装置１４に適用され
るウェ−ハ１は、従来の紫外線照射装置８と同様に、ペ
レット３、３間がダイシングソ−により切断、分割され
て、粘着材が被着された粘着シ−ト４上に貼付けられて
いる。また、粘着シ−ト４は、図示しないが、周囲を金
属製のリング状の枠体に取付けられるとともに、その下
方側に、粘着材を硬化して粘着力を低下させるための線
状紫外線発生光源７が配置されている。

【００１２】この紫外線照射装置１４において、従来の
紫外線照射装置８と相違する点は、粘着シ−ト４の下面
近傍に、光源７から照射される照射光のうち、ウェ−ハ
１周辺部の半欠け状の不良ペレット３ｃが集中するペレ
ットの外形不良領域１３に照射される照射光をカットす
る、遮光板１５を密着状に配置させた点である。

【００１３】即ち、この遮光板１５は鋼体の薄い金属板
からなり、中央部に、図２に示すように、ウェ−ハ１の
外形不良領域１３を境界とした、光源７からの照射光を
通過するための窓１６を設けている。そして、この遮光
板１５は光源７の照射光が窓１６のエッジ部から背面内
側に回り込まないように、粘着シ−ト４の下面に密接さ
せて配置してある。

【００１４】上記の構成によれば、ウェ−ハ１周辺の外
形不良領域１３の下面には紫外線が照射されず、粘着シ
−ト４はこの部分の粘着性が保持される。したがって、
半欠け状の不良ペレット３ｃは粘着シ−ト４上に保持さ
れ、剥がれたり、飛散したりすることがない。

【００１５】図３は本発明の第２の実施例であり、上記
第１の実施例の紫外線照射装置１４において、粘着シ−
ト４の下面近傍に配置させる遮光板１５を、先端がコ字
状に形成された一対の可動可能な板状遮光体１８（１８
ａ，１８ｂ）で構成したものである。

【００１６】即ち、この板状遮光体１８（１８ａ，１８
ｂ）は、図示するように、先端内側に、ウェ−ハ１の外
形不良領域１３の上下部分の境界と略一致するコ字状凹
部１９をそれぞれ形成したもので、これらの遮光体１８
（１８ａ，１８ｂ）をウェ−ハ１の貼付位置の両側に、
かつ貼付ウェ−ハ１の中心位置に向けて、図示しない支
持ガイド上に載置して、可動可能に対設している。

【００１７】そして、両遮光体１８（１８ａ，１８ｂ）
を、図４に示すように、そのコ字状の先端部を重合させ
て貼付ウェ−ハの中心位置に向けて移動させ、コ字状凹
部１９の後端部をウェ−ハ１の外形不良領域１３の左右
部分の境界に一致させると、コ字状凹部１９間に囲まれ
た空間に紫外線の照射窓２０が形成される。

【００１８】かかる構成によれば、両遮光体１８（１８
ａ，１８ｂ）をそれぞれ左右に移動することにより、ウ
ェ−ハ１の外形不良領域１３の左右部分に対応させて遮
光位置を自由に設定することができる。したがって、ペ
レットサイズの縦方向の長さが同じで、横方向のみ長さ
が異なる種々のウェ−ハのペレット取出しに適用するこ
とができる。

【００１９】図５は本発明の第３の実施例の紫外線照射
装置２１であり、粘着シ−ト４の下面近傍に配置する遮
光板を、所定幅員を有する２対の板状遮光体２２（２２
ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ）で構成したものである。

【００２０】即ち、この板状遮光体２２（２２ａ，２２
ｂ，２２ｃ，２２ｄ）は、図示するように、ウェ−ハ１
周辺のペレットの外形不良領域１３（図５の斜線図部
分）を充分覆う大きさで、ウェ−ハ１の直径と略等しい
幅員で、先端が平坦に形成されたものであり、これらを
粘着シ−ト４下面のウェ−ハ貼付位置の前後、左右側に
それぞれ対向して配置したものである。

【００２１】そして、これら遮光体２２（２２ａ，２２
ｂ，２２ｃ，２２ｄ）は、図７に示すように、粘着シ−
ト４の取付け枠体６の内端上方に延設された支持ガイド
２３上に配置され、それぞれ貼付ウェ−ハ１の中心位置
に向けて可動可能に配設している。したがって、これら
の遮光体２２（２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ）を、
図６に示すように、その先端を、半導体ウェ−ハ１のペ
レットの外形不良領域１３の左右、前後の境界部分まで
重合させて移動すると、各先端面間に囲まれた空間に紫
外線の照射窓２４が形成される。

【００２２】かかる構成によれば、遮光体２２（２２
ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ）をそれぞれ前後、左右に
移動することにより、ウェ−ハ１の外形不良領域１３の
左右、前後の境界部分に対応させてその遮光位置を自由
に設定させることができる。従って、各種のペレットサ
イズのものや、ウェ−ハサイズのものに対処することが
できる。

【００２３】さらに注目すべき点は、この紫外線照射装
置２１は、図７に示すように、粘着シ−ト４の下方に配
置する紫外線発生光源７は、その光軸を、光源側に配置
された遮光体２２ｃ，２２ｄの移動方向と直交する方向
に向けて配置していることである。

【００２４】すなわち、本紫外線照射装置２１は、左
右、前後の遮光体２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄを互
いにその先端側部を交差して照射窓２４を形成する構造
であり、このため、左右の遮光体２２ｃ，２２ｄを下層
の光源側に配置している。従って、光源側に配置される
遮光体２２ｃ，２２ｄは粘着シ−ト４との間に上層に配
置された遮光体２２ａ，２２ｂの厚さに相当した若干の
空隙２５が生じ、この空隙２４から光源７の紫外線Ｌ１
が回り込む。

【００２５】しかしながら、この光源７の紫外線Ｌの回
り込みは、光軸を遮光体２２ｃ，２２ｄの移動方向に向
けて配置したときの光源７（図７で破線図示）の紫外線
Ｌ２の回り込みに比べて、可成り小さく押さえられ、精
度よく遮光がなされる。

【００２６】

【発明の効果】以上のように、本発明は粘着シ−ト上に
貼付されたウェ−ハ外周のペレットの外形不良領域上に
照射される紫外線を遮光板により遮光するように構成し
たから、外形の小さい不良ペレットが剥離したり、飛散
したりすることがなくなり、誤認識によるこれら不良ペ
レットのマウントや、ショ−ト事故が防止される。ま
た、ウェ−ハ外周の外形不良ペレットを粘着シ−ト上に
粘着して残すようにしたから、仮にペレット取出し装置
が誤動作してもマウント装置に取出されることがなく、
ウェ−ハ外周部の特性検査やマ−ク付与作業が不要にな
る。また、遮光板を可動可能な対の板状の遮光体で構成
したから、遮光領域を自由に設定でき、種々のペレット
サイズやウェ−ハサイズのペレット取出しに適用でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例で、紫外線照射装置の側
面図である。

【図２】図１の構成部品で、遮光板の上面図である。

【図３】本発明の第２の実施例で、紫外線照射装置の上
面図である。

【図４】図３の作動状態の上面図である。

【図５】本発明の第３の実施例で、紫外線照射装置の上
面図である。

【図６】図５の作動状態の上面図である。

【図７】図５の紫外線照射装置の側面図である。

【図８】半導体装置の製造過程の説明図で、ウェ−ハ貼
付粘着シ−トの斜視図である。

【図９】半導体装置の製造過程の説明図で、図９シ−ト
の枠体取付けの側面図である。

【図１０】半導体装置の製造過程の説明図で、図９シ−
トの紫外線照射装置の側面図である。

【図１１】半導体装置の製造過程の説明図で、図９シ−
トのペレット取出し装置の側面図である。

【図１２】半導体装置の製造過程の説明図で、特性検査
済みウェ−ハの上面図である。

【符号の説明】

１ 半導体ウェ−ハ ３ 半導体ペレット ４ 粘着シ−ト ７ 紫外線発生光源 １３ 外形不良領域 １４、１７、２１ 紫外線照射装置 １５ 遮光板 １８、２２ 板状遮光体 １９ 凹部 ２０、２４ 紫外線照射窓

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 紫外線硬化型粘着材が塗布された粘着シ
   −ト上に多数の定型の半導体素子が形成された半導体ウ
   ェ−ハを貼付け、前記粘着シ−トの下方に配置した紫外
   線発生光源から粘着シ−トに紫外線を照射して粘着材を
   硬化させ、粘着シ−トの粘着力を低下させて半導体素子
   を剥離し易くした紫外線照射装置において、前記粘着シ
   −トの下面近傍に、半導体ウェ−ハ外周部の不定型半導
   体素子領域に紫外光を遮光する遮光板を配置したことを
   特徴とする紫外線照射装置。
2. 【請求項２】 遮光板は粘着シ−ト下面の前記半導体ウ
   ェ−ハ貼付位置の両側に可動可能に対向して配置され、
   先端にコ字状の凹部が形成された一対の板状遮光体で構
   成し、これらの遮光体を貼付ウェ−ハの中心位置に向け
   て移動して先端部を重合し、コ字状の凹部間に囲まれた
   空間を紫外線の照射窓としたことを特徴とする請求項１
   記載の紫外線照射装置。
3. 【請求項３】 遮光板は粘着シ−ト下面の前記半導体ウ
   ェ−ハ貼付位置の前後、左右側に可動可能に対向して配
   置され、それぞれ所定幅員に形成された二対の板状遮光
   体で構成し、これらの遮光体を貼付ウェ−ハの中心位置
   に向けて移動して先端部を重合し、先端面間に囲まれた
   空間を紫外線の照射窓としたことを特徴とする請求項１
   記載の紫外線照射装置。
4. 【請求項４】 紫外線照射装置の光源は線状光源であ
   り、前記二対の板状遮光体の内、光源側に配置される遮
   光体の移動方向と直交する方向に線状光源の配列方向を
   合わせて配置したことを特徴とする請求項３記載の紫外
   線照装置。