JPS62189112A - 粘着シ−ト処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、紫外線感応型粘着剤が塗布されたシート組立
体に紫外線を照射して処理する粘着シート処理装置に関
するものである。

〔従来技術とその問題点〕

集積回路（ＩＣ）製造工程の中には、半導体ウェハーを
チップ状に切断するダイシング工程が存在する。このダ
イシング工程において、半導体ウェハーを保持する方法
として、支持フレームの中心に半導体ウェハーを配置し
、粘着剤が塗布されたシートにてこれらの下面を粘着し
て一体としたシート組立体とし、この支持フレームを固
定してカッターにてシートを残して半導体ウェハーのみ
を切断することが行われる。この方法は、チップの欠け
や飛散などが防止できる利点を有するが、切断時の衝撃
力などに耐えるために粘着剤の粘着力は大きくなければ
ならない。しかし、反面において、切断後はチップがシ
ートから容易に剥離されなければならないが、シートの
大きな粘着力が剥離の妨げとなってしまう問題点がある
。

ところで、最近は、紫外線を照射することにより粘着力
が低下する性質を有する紫外線感応型粘着剤が開発され
ており、この粘着剤が塗布されたシー１−にて半導体ウ
ェハーを粘着して切断後に紫外線を照射すれば前記の問
題点は解消できる。

このため、紫外線感応型粘着剤が塗布されたシート組立
体に紫外線を照射して処理する装置が必要となるが、こ
の装置は、紫外線を放射する高圧水銀灯のような一本の
管状のランプを内蔵した光照射器の前方に、中央部に透
孔が穿設された保持板が配設され、この透孔を覆うよう
に保持板上にシート組立体を載置して紫外線を照射する
。

このとき、シート組立体をできるだけ均一な紫外線で処
理する必要があるが、管状のランプの照度分布は、第５
図（Ａ）に示すように、ランプ３の管軸方向は、ランプ
両端部を除いた広い範囲にわたって均一な照度であるが
、管軸と直角方向は、第５図（Ｂ）に示すように、均一
な照度の１１１が非常に狭い。従って、この照度特性殻
有する管状ランプ３にてシート組立体１０を照射すれば
、管軸と直角方向の照度分布が不均一となってしまい、
紫外線感応型粘着剤の粘着力の低下の程度にバラツキが
生じ、シートから剥離しにくい部分が生じる不具合があ
る。

〔発明の目的〕

そこで本発明は、半導体用などのウェハーが紫外線感応
型粘着剤が塗布されたシートに粘着されたシート組立体
を処理する装置であって、紫外線が均一な照度でシー１
へ組立体に照射され、切断されたウェハーが一様に容易
に剥離できる粘着シート処理装置を提供することを目的
とするものである。

〔発明の構成〕

本発明の粘着シーｌ−処理装置は、短波長の可視光から
紫外光にまたがる範囲の光を放射する一本の管状ランプ
を内蔵した光照射器の前方に、中央部に透孔が穿設され
た保持板が、該管状ランプの管軸と直角方向に相対的に
移動可能に配設され、光を透過する材質からなり紫外線
感応型粘着剤が塗布されたシートにて、支持フレームと
このフレームの中心に配置されたウェハーとが下方から
粘着されて一体となったシート組立体が位置決め機構に
よって該透孔を覆うように保持板上に載置され、該光照
射器からの光が該紫外線感応型粘着剤をスキャンしなが
ら照射することを特徴とするものである。

〔実施例〕

以下に図面に示す実施例に基いて本発明を具体的に説明
する。

第１図と第２図に示すように、装置箱１内の下方には光
照射器２が配設されている。この光照射器２内には、短
波長の可視光から紫外光にまたがる範囲の光を放射する
ランプ３として、発光長が１５０ｍの管状の高圧水銀灯
が配置されている。この高圧水銀灯は定格が１．２ＫＷ
であって、３６５ｎｍを主波長とし、２５４　ｎｍ、３
０３　ｎｍ、４０５　ｎｍ、４３６ｎｍなどの波長の光
を効率よく放射する。ランプ３の背後にはミラー３１が
配置され、ランプ３の前記の波長範囲の光が上方に照射
される。

装置箱１の上部には、保持板４が配設されているが、こ
の保持板４の中央部には、第３図に示すように、透孔４
１が穿設されている。そして、保持板４の両端には摺動
部材４２が固着されている。

一方、２本の平行なガイド棒５がランプ３の管軸と直角
方向に配設され、このガイド棒５が摺動部材４２内に嵌
装されて摺動可能となっている。一方の摺動部材４２に
は駆動ワイヤー５１が取付けられており、図示略の駆動
機構によってワイヤー５１が左右に移動し、従って、保
持板４はランプ３の管軸と直角方向に往復移動する。な
お、本実施例では保持板４が移動する例を説明したが、
別の構造によって光照射器２の方が移動するようにして
もよい。

シート組立体１０は、第３図に示すように１円環状の支
持フレーム１１の中央にウェハー１２が配置されｈもの
であり、支持フレーム１１　とウェハー１２はシートＪ
３で粘着されて一体となっている。このシート１３は光
を透過する薄いプラスチックシートであり、その表面に
粘着剤が塗布されているが、この粘着剤は紫外線を照射
することにより粘着力が低下する性質を有する紫外線感
応型のものである。支持フレーム１１の外縁に複数個の
切欠き１１．ａが形成され、一方、保持板４の−［−而
にはこれに対応する係止片４ａが突設されており、これ
らによってシーｌ−組立体１０は位置決めされて保持板
４上に載置される。このとき、透孔４１の口縁は支持フ
レームｌ］　とウェハー１２の中間に位置しており、支
持フレーム１１は保持板４によってマスクされ、保持板
４以外の部分に紫外線が照射するようになっている。

保持板４の直下にはシャッター６が配置され。

これがモータ６１によって水平面内で駆動されて透孔４
１　を開閉する。このシャッター６の駆動面内には冷却
風の吹出ロア１　と強制的に吸入する吸入ロア２が対向
して設けられてエヤーカーテンを構成し、シャッター６
が閉じているときはシャッター６を、シャッター６が開
いているときはシート組立体１０を冷却するようになっ
ている。もっとも、エヤーカーテンとすることなく、吹
出ロア１のみでシャッター６やシート組立体ｌＯを冷却
するようにしてもよい。

しかして、」１記構成の装置にて処理するには、まず、
シャッター６を閉じてランプ３を点灯する。

そして、上蓋１ａを開けて、ダイシング工程を終えたシ
ート組立体１０を、位置決め機構によって保持板４の所
定位置にセットする。このとき、保持板４は一方の側に
よっている。次に、シャッター６を開けるとともに、保
持板４を移動させる。

従って、紫外線はスキャンしながらシート組立体１０を
照射するが、第４図および第５図から理解できるように
、シート組立体１０は均一に照射される。このため、シ
ート１３とウェハーＩ２を粘着している紫外線感応型粘
着剤の粘着力は一様に急激に低下する。従って、この装
置から取り出されたシート組立体１０は、次工程におい
て、チップ状のウェハー１２がシート１３より一様に容
易に剥離される。

〔発明の効果〕

以」二説明したように、本発明の粘着シート処理装置は
、保持板が管状ランプの管軸と直角方向に相対的に移動
するように配設され、シート組立体がスキャンしながら
照射されるようにしたので均一７− −な照度で照射され、チップ状に切断されたウェハーが
一様に剥離できる粘着シート処理装置とすることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例の正面断面図、第２図は同じく側
面断面図、第３図は要部の分解斜視図。 第４図と第５図は照度分布の説明図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 短波長の可視光から紫外光にまたがる範囲の光を放射す
   る一本の管状ランプを内蔵した光照射器の前方に、中央
   部に透孔が穿設された保持板が、該管状ランプの管軸と
   直角方向に相対的に移動可能に配設され、光を透過する
   材質からなり紫外線感応型粘着剤が塗布されたシートに
   て、支持フレームとこのフレームの中心に配置されたウ
   ェハーとが下方から粘着されて一体となったシート組立
   体が位置決め機構によって該透孔を覆うように保持板上
   に載置され、該光照射器からの光が該紫外線感応型粘着
   剤をスキャンしながら照射することを特徴とする粘着シ
   ート処理装置。