JP2006011182A5 - - Google Patents

Description

本発明にかかるポジ型の感光性樹脂組成物は、少なくとも、下記一般式（１）で示される構造を有するポリアクリレート樹脂と、縮合性の架橋剤と、を含むポジ型の感光性樹脂組成物である。

（式中、Xは水酸基、炭素数２〜４アルキロール基またはメチロールアミノ基を示す。R ¹ 及びR ² はそれぞれ独立して水素原子、または炭素数1〜3のアルキル基を示す。R ³ は炭素数1〜3のアルキル基、炭素数1〜3のアルコキシル基、アリール基またはアルキル基の炭素数が１〜２のアラルキル基を示す。nは正の整数、mは0または正の整数である。）
本発明にかかるインクジェットヘッドの製造方法は、インクを吐出するための吐出口と、該吐出口に連通するインク流路と、インクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、を備えるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記エネルギー発生素子を備える基板を用意する工程と、
前記基板上に前記エネルギー発生素子を被覆するように、溶解除去が可能な感光性樹脂層を形成する工程と、
前記感光性樹脂層をパターニングすることでインク流路パターンを形成する工程と、
前記インク流路パターン上にインク流路壁を形成するための被覆樹脂層を形成する工程と、
前記被覆樹脂層に吐出口を形成する工程と、
前記インク流路パターンを溶解除去して前記吐出口に連通するインク流路を形成する工程と、
を有し、
前記溶解除去が可能な感光性樹脂層として、少なくとも、下記一般式（１）で示される構造を有するポリアクリレート樹脂と、下記一般式（２）で示されるメラミン化合物およびその縮合物の少なくとも１種である縮合性の架橋剤と、を含む、ポジ型の感光性樹脂組成物を用いることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。

（式中、Xは水酸基、炭素数２〜４アルキロール基またはメチロールアミノ基を示す。R ¹ 及びR ² はそれぞれ独立して水素原子、または炭素数1〜3のアルキル基を示す。R ³ は炭素数1〜3のアルキル基、炭素数1〜3のアルコキシル基、アリール基またはアルキル基の炭素数が１〜２のアラルキル基を示す。nは正の整数、mは0または正の整数である。）
なお、上記式（１）におけるＲ ¹ 〜Ｒ ³ は各単位において独立して上記の意味を示す。

（式中、Ｒ ¹ 〜Ｒ ⁶ はそれぞれ独立して水素原子、メチロール基または炭素数１〜４のアルコキシ基が結合したアルコキシメチル基を示す。ただし、Ｒ ¹ 〜Ｒ ⁶ のうち少なくとも２つはメチロール基または炭素数１〜４のアルコキシ基が結合したアルコキシメチル基を示す。）
なお、上記式（２）におけるＲ ¹ 〜Ｒ ⁶ は各単位において独立して上記の意味を示す。

Claims (15)

1. 少なくとも、下記一般式（１）で示される構造を有するポリアクリレート樹脂と、縮合性の架橋剤と、を含むポジ型の感光性樹脂組成物。
   

   

   （式中、Xは水酸基、炭素数２〜４アルキロール基またはメチロールアミノ基を示す。R ¹ 及びR ² はそれぞれ独立して水素原子、または炭素数1〜3のアルキル基を示す。R ³ は炭素数1〜3のアルキル基、炭素数1〜3のアルコキシル基、アリール基またはアルキル基の炭素数が１〜２のアラルキル基を示す。nは正の整数、mは0または正の整数である。）
2. 前記縮合性の架橋剤が、下記一般式（２）で示されるメラミン化合物およびその縮合物の少なくとも１種であることを特徴とする請求項１に記載のポジ型の感光性樹脂組成物。
   

   

   （式中、Ｒ ¹ 〜Ｒ ⁶ はそれぞれ独立して水素原子、メチロール基または炭素数１〜４のアルコキシ基が結合したアルコキシメチル基を示す。ただし、Ｒ ¹ 〜Ｒ ⁶ のうち少なくとも２つはメチロール基または炭素数１〜４のアルコキシ基が結合したアルコキシメチル基を示す。）
3. 前記感光性樹脂組成物は、加熱により前記縮合性の架橋剤を介した分子間架橋反応が進行し、光の照射により主鎖分解型分子崩壊反応が進行するものであることを特徴とする請求項１または２に記載のポジ型の感光性樹脂組成物。
4. 前記感光性樹脂組成物が光酸発生剤を更に含み、光の照射による主鎖分解型分子崩壊反応と、光の照射によって発生した酸による架橋部位の分解反応が同時に進行するものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のポジ型の感光性樹脂組成物。
5. 前記光酸発生剤が、芳香族スルフォニウム塩および芳香族ヨードニウム塩およびトリアジン化合物から選択された少なくとも１種であることを特徴とする請求項４に記載のポジ型の感光性樹脂組成物。
6. インクを吐出するための吐出口と、該吐出口に連通するインク流路と、インクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、を備えるインクジェットヘッドの製造方法であって、
   前記エネルギー発生素子を備える基板を用意する工程と、
   前記基板上に前記エネルギー発生素子を被覆するように、溶解除去が可能な感光性樹脂層を形成する工程と、
   前記感光性樹脂層をパターニングすることでインク流路パターンを形成する工程と、
   前記インク流路パターン上にインク流路壁を形成するための被覆樹脂層を形成する工程と、
   前記被覆樹脂層に吐出口を形成する工程と、
   前記インク流路パターンを溶解除去して前記吐出口に連通するインク流路を形成する工程と、
   を有し、
   前記溶解除去が可能な感光性樹脂層として、少なくとも、下記一般式（１）で示される構造を有するポリアクリレート樹脂と、下記一般式（２）で示されるメラミン化合物およびその縮合物の少なくとも１種である縮合性の架橋剤と、を含む、ポジ型の感光性樹脂組成物を用いることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
   

   

   （式中、Xは水酸基、炭素数２〜４アルキロール基またはメチロールアミノ基を示す。R ¹ 及びR ² はそれぞれ独立して水素原子、または炭素数1〜3のアルキル基を示す。R ³ は炭素数1〜3のアルキル基、炭素数1〜3のアルコキシル基、アリール基またはアルキル基の炭素数が１〜２のアラルキル基を示す。nは正の整数、mは0または正の整数である。）
   

   

   （式中、Ｒ ¹ 〜Ｒ ⁶ はそれぞれ独立して水素原子、メチロール基または炭素数１〜４のアルコキシ基が結合したアルコキシメチル基を示す。ただし、Ｒ ¹ 〜Ｒ ⁶ のうち少なくとも２つはメチロール基または炭素数１〜４のアルコキシ基が結合したアルコキシメチル基を示す。）
7. 前記ポジ型の感光性樹脂組成物が、光酸発生剤を更に含むことを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
8. 前記光酸発生剤が、芳香族スルフォニウム塩および芳香族ヨードニウム塩およびトリアジン化合物から選択された少なくとも１種であることを特徴とする請求項７に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
9. 前記インク流路パターンを形成する工程において用いる、前記ポジ型の感光性樹脂組成物の現像液として、少なくとも
   （１）水と任意の割合で混合可能な炭素数６以上のグリコールエーテルと、
   （２）含窒素塩基性有機溶剤と、
   （３）水と、
   を含有する現像液を用いることを特徴とする請求項６〜８のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
10. 前記グリコールエーテルが、エチレングリコールモノブチルエーテルおよびジエチレングリコールモノブチルエーテルの少なくとも１種であることを特徴とする請求項９に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
11. 前記含窒素塩基性有機溶剤が、エタノールアミンおよびモルホリンの少なくとも１種であることを特徴とする請求項９または１０に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
12. 前記被覆樹脂層が、硬化可能なエポキシ化合物を少なくとも含有することを特徴とする請求項６〜１１のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
13. 前記被覆樹脂層が、光カチオン重合開始剤を含むことを特徴とする請求項６〜１２のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
14. 前記エネルギー発生素子が、電気熱変換素子であることを特徴とする請求項６〜１３のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
15. 請求項６〜１４のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法により製造されたインクジェットヘッド。