JP2006011181A5 - - Google Patents

Description

本発明にかかる段差パターンの形成方法は、
ポジ型の感光性樹脂組成物を用いて、基板上に段差を有するパターンを形成する方法であって、
（１）前記本発明のポジ型の感光性樹脂組成物の層を基板上に形成する工程と、
（２）第一のフォトリソグラフィー工程により、前記ポジ型の感光性樹脂組成物の層の第１のパターンとなる部分以外の部分を膜厚方向における所定の深さまで除去して、該所定の深さよりも突出した部分からなる第１のパターンを形成する工程と、
（３）第二のフォトリソグラフィー工程により、前記第１のパターンが形成された前記ポジ型の感光性樹脂組成物の層の第２のパターンとなる部分以外の部分を前記第１のパターンの形状を維持しつつ前記第１のパターンとなる部分以外の部分を前記基板上から除去して、前記第１のパターンが前記第２のパターン上に設けられた段差形状を有するパターンを得る工程と、
を有し、
前記第一のフォトリソグラフィー工程が、露光、露光後の加熱および現像の処理工程を有し、該第一のフォトリソグラフィー工程における前記ポジ型の感光性樹脂組成物の層でのポジ化反応が、少なくとも前記アクリル樹脂中のカルボン酸無水物の加水分解反応に由来するものであり、かつ、
前記第二のフォトリソグラフィー工程が、露光および現像の処理工程を有し、該第二のフォトリソグラフィー工程における前記ポジ型の該感光性樹脂組成物の層でのポジ化反応が、少なくとも前記アクリル樹脂の主鎖分解反応に由来するものである
ことを特徴とする。

本発明にかかるインクジェットヘッドの製造方法の第１の態様は、
インクを吐出するための吐出口と、該吐出口に連通するとともに前記インクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を内包するインク流路と、前記エネルギー発生素子が形成された基板と、前記基板と接合して前記インク流路を形成するインク流路形成部材と、を有するインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記基板上に、ポジ型の感光性樹脂組成物の層を設ける工程と、
前記感光性樹脂組成物の層の所定の部位に光を照射する工程と、
前記光が照射された部位を、現像処理により除去することで所望のインク液路パターンを形成する工程と、
前記インク液路パターン上に、インク流路形成部材を形成するための被覆樹脂層を形成する工程と、
前記被覆樹脂層に、前記吐出口を形成する工程と、
前記インク流路パターンを溶解除去する工程と、
を有し、前記ポジ型の感光性樹脂組成物が、前記本発明のポジ型の感光性樹脂組成物であることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。

本発明にかかるインクジェットヘッドの製造方法の第２の態様は、
インクを吐出するための吐出口と、該吐出口に連通するとともに前記インクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を内包するインク流路と、前記エネルギー発生素子が形成された基板と、前記基板と接合して前記インク流路を形成するインク流路形成部材と、を有するインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記基板上に、第一のポジ型感光性樹脂組成物の層を設ける工程と、
前記第一のポジ型感光性樹脂組成物の層上に、第二のポジ型感光性樹脂組成物の層を形成する工程と、
前記第二のポジ型感光性樹脂組成物の層を反応させ得る波長域の光を、前記第二のポジ型感光性樹脂組成物の層の所定の部位に照射する工程と、
前記第二のポジ型感光性樹脂組成物の層の光照射部位を、現像処理により除去することで第二のインク液路パターンを形成する工程と、
前記第一のポジ型感光性樹脂組成物の層を反応させ得る波長域の光を、前記第一のポジ型感光性樹脂組成物の層の所定の部位に照射する工程と、
前記第一のポジ型感光性樹脂組成物の層の光照射部位を、現像処理により除去することで第一のインク流路パターンを形成する工程と、
前記第一および第二のインク液路パターン上に、インク流路形成部材を形成するための被覆樹脂層を形成する工程と、
前記被覆樹脂層に、前記吐出口を形成する工程と、
前記第一および第二のインク流路パターンを溶解除去する工程と、
を有し、前記第二のポジ型感光性樹脂組成物が、前記本発明のポジ型の感光性樹脂組成物であることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。

本発明にかかるインクジェットヘッドの製造方法の第３の態様は、
インクを吐出するための吐出口と、該吐出口に連通するとともに前記インクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を内包するインク流路と、前記エネルギー発生素子が形成された基板と、前記基板と接合して前記インク流路を形成するインク流路形成部材と、を有するインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記基板上に、前記本発明のポジ型の感光性樹脂組成物の層を形成する工程と、
第一のフォトリソグラフィー工程により、前記ポジ型の感光性樹脂組成物の層の第１のインク流路パターンとなる部分以外の部分を膜厚方向における所定の深さまで除去して、該所定の深さよりも突出した部分からなる第１のインク流路パターンを形成する工程と、
第二のフォトリソグラフィー工程により、前記第１のインク流路パターンが形成された前記ポジ型の感光性樹脂組成物の層の第２のインク流路パターンとなる部分以外の部分を前記第１のインク流路パターンの形状を維持しつつ前記第１のパターンとなる部分以外の部分を前記基板上から除去して、前記第１のインク流路パターンが前記第２のインク流路パターン上に設けられた段差をもつ構造物を得る工程と、
前記段差をもつ構造物上に、インク流路形成部材を形成するための被覆樹脂層を形成する工程と、
前記被覆樹脂層に、前記吐出口を形成する工程と、
前記段差をもつ構造物を溶解除去する工程と、
を有し、
前記第一のフォトリソグラフィー工程が、露光、露光後の加熱および現像の処理工程を有し、該第一のフォトリソグラフィー工程における前記ポジ型の感光性樹脂組成物の層でのポジ化反応が、少なくとも前記アクリル樹脂中のカルボン酸無水物の加水分解反応に由来するものであり、かつ、
前記第二のフォトリソグラフィー工程が、露光および現像の処理工程を有し、該第二のフォトリソグラフィー工程における前記ポジ型の感光性樹脂組成物の層でのポジ化反応が、少なくとも前記アクリル樹脂の主鎖分解反応に由来するものである
ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。

Claims (20)

1. （１）分子中にカルボン酸の無水物構造を有するアクリル樹脂、（２）光照射により酸を発生する化合物、を少なくとも含有することを特徴とするポジ型の感光性樹脂組成物。
2. 前記アクリル樹脂が、前記カルボン酸の無水物構造を介して分子間架橋していることを特徴とする請求項１に記載のポジ型の感光性樹脂組成物。
3. 前記アクリル樹脂が、側鎖に前記カルボン酸の無水物構造を有することを特徴とする請求項１または２に記載のポジ型の感光性樹脂組成物。
4. 前記アクリル樹脂が、下記一般式１または一般式２で示される構造単位の少なくとも１種を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のポジ型の感光性樹脂組成物。
   

   

   （一般式１および一般式２中、Ｒ₁〜Ｒ₄は、それぞれ独立して、水素原子、炭素数１〜３のアルキル基を示す。）
5. 前記アクリル樹脂が、少なくとも無水メタクリル酸をモノマー成分とする重合物であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のポジ型の感光性樹脂組成物。
6. 前記アクリル樹脂が、少なくとも無水メタクリル酸とメタクリル酸メチルをモノマー成分とする重合物であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のポジ型の感光性樹脂組成物。
7. 前記光照射により酸を発生する化合物が、芳香族スルフォニウム塩、芳香族ヨードニウム塩、トリアジン化合物のいずれかであることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のポジ型の感光性樹脂組成物。
8. ポジ型の感光性樹脂組成物を用いて、基板上に段差を有するパターンを形成する方法であって、
   （１）請求項１〜７のいずれかに記載のポジ型の感光性樹脂組成物の層を基板上に形成する工程と、
   （２）第一のフォトリソグラフィー工程により、前記ポジ型の感光性樹脂組成物の層の第１のパターンとなる部分以外の部分を膜厚方向における所定の深さまで除去して、該所定の深さよりも突出した部分からなる第１のパターンを形成する工程と、
   （３）第二のフォトリソグラフィー工程により、前記第１のパターンが形成された前記ポジ型の感光性樹脂組成物の層の第２のパターンとなる部分以外の部分を前記第１のパターンの形状を維持しつつ前記第１のパターンとなる部分以外の部分を前記基板上から除去して、前記第１のパターンが前記第２のパターン上に設けられた段差形状を有するパターンを得る工程と、
   を有し、
   前記第一のフォトリソグラフィー工程が、露光、露光後の加熱および現像の処理工程を有し、該第一のフォトリソグラフィー工程における前記ポジ型の感光性樹脂組成物の層でのポジ化反応が、少なくとも前記アクリル樹脂中のカルボン酸無水物の加水分解反応に由来するものであり、かつ、
   前記第二のフォトリソグラフィー工程が、露光および現像の処理工程を有し、該第二のフォトリソグラフィー工程における前記ポジ型の感光性樹脂組成物の層でのポジ化反応が、少なくとも前記アクリル樹脂の主鎖分解反応に由来するものである
   ことを特徴とする段差パターンの形成方法。
9. 前記第一のフォトリソグラフィー工程における露光波長が、前記第二のフォトリソグラフィー工程における露光波長よりも長いことを特徴とする請求項８に記載の段差パターンの形成方法。
10. 前記ポジ型の感光性樹脂組成物の現像液として、少なくとも
    （１）水と任意の割合で混合可能な炭素数６以上のグリコールエーテル、
    （２）含窒素塩基性有機溶剤、及び
    （３）水
    を含有する現像液を用いることを特徴とする請求項８または９に記載の段差パターンの形成方法。
11. 前記グリコールエーテルが、エチレングリコールモノブチルエーテルおよびジエチレングリコールモノブチルエーテルの少なくとも１種であることを特徴とする請求項１０に記載の段差パターンの形成方法。
12. 前記含窒素塩基性有機溶剤が、エタノールアミンおよびモルフォリンの少なくとも１種であることを特徴とする請求項１０または１１に記載の段差パターンの形成方法。
13. インクを吐出するための吐出口と、該吐出口に連通するとともに前記インクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を内包するインク流路と、前記エネルギー発生素子が形成された基板と、前記基板と接合して前記インク流路を形成するインク流路形成部材と、を有するインクジェットヘッドの製造方法であって、
    前記基板上に、ポジ型の感光性樹脂組成物の層を設ける工程と、
    前記感光性樹脂組成物の層の所定の部位に光を照射する工程と、
    前記光が照射された部位を、現像処理により除去することで所望のインク液路パターンを形成する工程と、
    前記インク液路パターン上に、インク流路形成部材を形成するための被覆樹脂層を形成する工程と、
    前記被覆樹脂層に、前記吐出口を形成する工程と、
    前記インク流路パターンを溶解除去する工程と、
    を有し、前記ポジ型の感光性樹脂組成物が、請求項１〜７のいずれかに記載のポジ型の感光性樹脂組成物であることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
14. インクを吐出するための吐出口と、該吐出口に連通するとともに前記インクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を内包するインク流路と、前記エネルギー発生素子が形成された基板と、前記基板と接合して前記インク流路を形成するインク流路形成部材と、を有するインクジェットヘッドの製造方法であって、
    前記基板上に、第一のポジ型感光性樹脂組成物の層を設ける工程と、
    前記第一のポジ型感光性樹脂組成物の層上に、第二のポジ型感光性樹脂組成物の層を形成する工程と、
    前記第二のポジ型感光性樹脂組成物の層を反応させ得る波長域の光を、前記第二のポジ型感光性樹脂組成物の層の所定の部位に照射する工程と、
    前記第二のポジ型感光性樹脂組成物の層の光照射部位を、現像処理により除去することで第二のインク液路パターンを形成する工程と、
    前記第一のポジ型感光性樹脂組成物の層を反応させ得る波長域の光を、前記第一のポジ型感光性樹脂組成物の層の所定の部位に照射する工程と、
    前記第一のポジ型感光性樹脂組成物の層の光照射部位を、現像処理により除去することで第一のインク流路パターンを形成する工程と、
    前記第一および第二のインク液路パターン上に、インク流路形成部材を形成するための被覆樹脂層を形成する工程と、
    前記被覆樹脂層に、前記吐出口を形成する工程と、
    前記第一および第二のインク流路パターンを溶解除去する工程と、
    を有し、前記第二のポジ型感光性樹脂組成物が、請求項１〜７のいずれかに記載のポジ型の感光性樹脂組成物であることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
15. インクを吐出するための吐出口と、該吐出口に連通するとともに前記インクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を内包するインク流路と、前記エネルギー発生素子が形成された基板と、前記基板と接合して前記インク流路を形成するインク流路形成部材と、を有するインクジェットヘッドの製造方法であって、
    前記基板上に、請求項１〜７のいずれかに記載のポジ型の感光性樹脂組成物の層を形成する工程と、
    第一のフォトリソグラフィー工程により、前記ポジ型の感光性樹脂組成物の層の第１のインク流路パターンとなる部分以外の部分を膜厚方向における所定の深さまで除去して、該所定の深さよりも突出した部分からなる第１のインク流路パターンを形成する工程と、
    第二のフォトリソグラフィー工程により、前記第１のインク流路パターンが形成された前記ポジ型の感光性樹脂組成物の層の第２のインク流路パターンとなる部分以外の部分を前記第１のインク流路パターンの形状を維持しつつ前記第１のパターンとなる部分以外の部分を前記基板上から除去して、前記第１のインク流路パターンが前記第２のインク流路パターン上に設けられた段差をもつ構造物を得る工程と、
    前記段差をもつ構造物上に、インク流路形成部材を形成するための被覆樹脂層を形成する工程と、
    前記被覆樹脂層に、前記吐出口を形成する工程と、
    前記段差をもつ構造物を溶解除去する工程と、
    を有し、
    前記第一のフォトリソグラフィー工程が、露光、露光後の加熱および現像の処理工程を有し、該第一のフォトリソグラフィー工程における前記ポジ型の感光性樹脂組成物の層でのポジ化反応が、少なくとも前記アクリル樹脂中のカルボン酸無水物の加水分解反応に由来するものであり、かつ、
    前記第二のフォトリソグラフィー工程が、露光および現像の処理工程を有し、該第二のフォトリソグラフィー工程における前記ポジ型の感光性樹脂組成物の層でのポジ化反応が、少なくとも前記アクリル樹脂の主鎖分解反応に由来するものである
    ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
16. 前記第一のフォトリソグラフィー工程における露光波長が、前記第二のフォトリソグラフィー工程における露光波長よりも長いことを特徴とする請求項１５に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
17. 前記ポジ型の感光性樹脂組成物の現像液として、少なくとも
    （１）水と任意の割合で混合可能な炭素数６以上のグリコールエーテル、
    （２）含窒素塩基性有機溶剤、及び
    （３）水
    を含有する現像液を用いることを特徴とする請求項１３〜１６のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
18. 前記グリコールエーテルが、エチレングリコールモノブチルエーテルおよびジエチレングリコールモノブチルエーテルの少なくとも１種であることを特徴とする請求項１７に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
19. 前記含窒素塩基性有機溶剤が、エタノールアミンおよびモルフォリンの少なくとも１種であることを特徴とする請求項１７または１８に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
20. 請求項１３〜１９のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法により製造されたインクジェットヘッド。