JP2005336243A5 - - Google Patents
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- 238000007363 ring formation reaction Methods 0.000 claims 1
Description
Claims (2)
- 式（１）で表される、ポリイミド前駆体（ポリアミド酸）とポリイミドからなる共重合体即ち、ポリ（アミド酸−イミド）共重合体。
（式中、Ａは二価の芳香族基あるいは脂肪族基を表し、Ｂは四価の芳香族基あるいは脂肪族基を表し、Ｘは0.1〜0.95の範囲である。） - 請求項５に記載の感光性樹脂組成物膜を露光・アルカリ現像後、加熱あるいは脱水環化試薬を用いて得られ、式（２）で表されるポリイミドであって、且つ２．７よりも低い誘電率、３５ｐｐｍ／Ｋよりも低い線熱膨張係数、３００℃以上のガラス転移温度を併せ持つポリイミド膜の微細パターンの製造方法。
（式中、Ａは二価の芳香族基あるいは脂肪族基を表し、Ｂは四価の芳香族基あるいは脂肪族基を表し、Ｘは0.1〜0.95の範囲である。）
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