WO2014208704A1 - ポリイミド前駆体、及びポリイミド - Google Patents

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卓也 岡
幸徳 小濱
祥行 渡辺
久野　信治
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    • H05K2201/068—Thermal details wherein the coefficient of thermal expansion is important

Definitions

  • the present invention relates to a polyimide precursor from which a polyimide having a low coefficient of linear thermal expansion and excellent heat resistance, solvent resistance, and mechanical properties can be obtained.
  • Polyimide is excellent in heat resistance, solvent resistance (chemical resistance), mechanical properties, electrical properties, etc., so it can be used in electrical and electronic equipment such as flexible wiring boards and tapes for TAB (Tape Automated Bonding). Widely used.
  • a polyimide obtained from an aromatic tetracarboxylic dianhydride and an aromatic diamine particularly a polyimide obtained from 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride and paraphenylenediamine is preferable. Is used.
  • polyimide is being studied as an alternative to a glass substrate in the field of display devices.
  • a display that is lightweight and excellent in flexibility and that can be bent and rolled can be realized.
  • high transparency is also required, but wholly aromatic polyimides obtained from aromatic tetracarboxylic dianhydrides and aromatic diamines are formed by intramolecular conjugation and charge transfer complex formation.
  • aromatic polyimides obtained from aromatic tetracarboxylic dianhydrides and aromatic diamines are formed by intramolecular conjugation and charge transfer complex formation.
  • intramolecular conjugation and charge transfer complex formation can be achieved by introducing fluorine atoms into the molecule, imparting flexibility to the main chain, and introducing bulky groups as side chains.
  • a method of inhibiting and expressing transparency has been proposed.
  • Patent Documents 1 to 6 and Non-Patent Document 1 describe various highly semi-alicyclic polyimides using alicyclic tetracarboxylic dianhydride as a tetracarboxylic acid component and aromatic diamine as a diamine component. Is disclosed. Such a semi-alicyclic polyimide has transparency, bending resistance, and high heat resistance. Semi-alicyclic polyimide generally tends to have a large linear thermal expansion coefficient, but semi-alicyclic polyimides having a relatively small linear thermal expansion coefficient have also been proposed.
  • a conductor such as metal is formed on a polyimide film as a substrate. Also in this case, if the linear thermal expansion coefficient of polyimide is large and the difference in the linear thermal expansion coefficient from the conductor is large, warping may occur when forming a circuit board, and circuit formation may be difficult. Therefore, a polyimide having a low linear thermal expansion coefficient is required.
  • a method of synthesizing polyimide by reacting a tetracarboxylic acid component and a diamine component there are thermal imidization and chemical imidization.
  • a polyimide when a polyimide is produced by chemical imidization, a polyimide having a relatively low linear thermal expansion coefficient can be obtained.
  • a chemical imidizing agent an acid anhydride such as acetic anhydride or an amine compound such as pyridine or isoquinoline
  • the chemical imidizing agent may cause coloring, which is not preferable in applications requiring transparency.
  • a polyimide precursor solution (or solution composition) is cast-coated on a substrate such as a glass substrate, and this is heat-treated to imidize to form a polyimide layer (polyimide film). After forming on a material, a circuit, a thin-film transistor, etc. are formed on the polyimide layer of the obtained polyimide laminated body. In this case, the linear thermal expansion coefficient of polyimide cannot be reduced by stretching.
  • a copolymer [poly (amide acid-imide) copolymer] in which a part of repeating units of an amic acid (or amic acid) structure has an imide structure is also known, for example, Patent Documents 7 to 13 and Non-Patent Documents 2 to 4.
  • Non-Patent Document 5 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (s-BPDA) and 4,4′-oxydianiline (ODA) are reacted to obtain a polyamic acid.
  • s-BPDA 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride
  • ODA 4,4′-oxydianiline
  • pre-imidization rate Of 100%, 80%, 60%, 40%, 20%, 0% polyamic acid-polyimide solution and heat-treating it, the coefficient of linear thermal expansion (CTE) ) was measured, the higher the pre-imidization rate, the lower the linear thermal expansion coefficient.
  • CTE linear thermal expansion
  • the pre-imidization rate was 100%, that is, a polyimide solution that had been completely imidized was heat-treated. Linear thermal expansion coefficient of the polyimide film is described that has the lowest was (Fig.9). However, it is also described that the higher the pre-imidization rate (pre-ID), the lower the 5% weight loss temperature (T 5% ) and the lower the heat resistance (page 4162, right column, below). To 8-6 lines).
  • JP 2003-168800 A International Publication No. 2008/146737 JP 2002-69179 A JP 2002-146021 A JP 2008-31406 A International Publication No. 2011/099518 International Publication No. 2010/13412 JP 2005-336243 A JP 2006-206756 A Japanese Patent Laid-Open No. 9-185064 JP 2006-70096 A JP 2010-196041 A JP 2010-18802 A
  • a chemical imidizing agent an acid anhydride such as acetic anhydride or an amine compound such as pyridine or isoquinoline
  • thermal imidization it is generally performed to reduce the linear thermal expansion coefficient by a stretching operation.
  • the linear thermal expansion coefficient of polyimide cannot be reduced by stretching depending on the use or the polyimide production (film formation) process.
  • the present invention has been made in view of the situation as described above, and comprises a specific diamine component and a tetracarboxylic acid component produced by thermal imidization, and has heat resistance, solvent resistance, and mechanical properties. It aims at providing the polyimide precursor from which the polyimide which is excellent and has a low linear thermal expansion coefficient is obtained.
  • the present invention also provides a polyimide precursor having a low linear thermal expansion coefficient, a polyimide having excellent heat resistance, solvent resistance, and mechanical properties, more preferably a polyimide having excellent transparency. Objective.
  • the present invention relates to the following matters.
  • the content of the repeating unit represented by the following chemical formula (2) is 30 mol% or more and 90 mol% or less with respect to all the repeating units, 50 mol% or more of the total amount of B in the following chemical formula (1) and the following chemical formula (2) is represented by the divalent group represented by the following chemical formula (3) and / or the following chemical formula (4).
  • a polyimide precursor produced by thermal imidization which is one or more of divalent groups.
  • A is a tetravalent group obtained by removing a carboxyl group from tetracarboxylic acid
  • B is a divalent group obtained by removing an amino group from diamine, provided that A and A contained in each repeating unit are B may be the same or different
  • X 1 and X 2 are each independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or an alkylsilyl group having 3 to 9 carbon atoms.
  • V 1 , U 1 , and T 1 are each independently a hydrogen atom, a methyl group, or a trifluoromethyl group.
  • Z 1 and W 1 are each independently a direct bond, or selected from the group consisting of groups represented by the formula: —NHCO—, —CONH—, —COO—, —OCO— 1 type to be used.
  • a in the chemical formula (1) and the chemical formula (2) is one or more of tetravalent groups obtained by removing a carboxyl group from an alicyclic tetracarboxylic acid. precursor.
  • a in the chemical formula (1) and the chemical formula (2) is one or more of tetravalent groups obtained by removing a carboxyl group from an aromatic tetracarboxylic acid. body.
  • Item 4 The polyimide precursor according to any one of Items 1 to 3, comprising a structure represented by the following chemical formula (5):
  • n is an integer of 1 to 1000.
  • Item 6 The varnish according to Item 5, which does not contain a chemical imidizing agent.
  • a method for producing the polyimide precursor according to any one of Items 1 to 4, A soluble imide containing a repeating unit represented by the chemical formula (2) by heating a tetracarboxylic acid component and a diamine component to 100 ° C. or higher in a solvent that does not contain a chemical imidizing agent and causing them to react thermally. Obtaining a reaction solution containing the compound; Item 5.
  • a method for producing the polyimide precursor according to any one of Items 1 to 4, A soluble imide containing a repeating unit represented by the chemical formula (2) by heating a tetracarboxylic acid component and a diamine component to 100 ° C. or higher in a solvent that does not contain a chemical imidizing agent and causing them to react thermally. Obtaining a reaction solution containing the compound; Isolating an imide compound containing a repeating unit represented by the chemical formula (2) from the obtained reaction solution; An imidization of less than 100 ° C.
  • a step of performing a reaction under the condition of suppressing the above to obtain a polyimide precursor according to any one of Items 1 to 4, A method characterized by comprising:
  • TAB film containing polyimide according to item 10 or 11 substrate for electric / electronic component, wiring substrate, insulating film for electric / electronic component, protective film for electric / electronic component, substrate for display, substrate for touch panel, or Solar cell substrate.
  • the present invention it is possible to provide a polyimide precursor that is produced by thermal imidization and that can obtain a polyimide having excellent heat resistance, solvent resistance, mechanical properties, and low linear thermal expansion coefficient without performing a stretching operation. .
  • the present invention can provide a polyimide precursor that provides a polyimide having a low linear thermal expansion coefficient, excellent heat resistance, solvent resistance, mechanical properties, and excellent transparency.
  • the linear thermal expansion coefficient of polyimide can be lowered while maintaining excellent properties without performing a stretching operation in thermal imidization, and further, heat resistance can be improved.
  • Example 3 is a 1 H-NMR spectrum of a polyimide precursor solution of Comparative Example 3.
  • 2 is a 1 H-NMR spectrum of a polyimide precursor solution of Example 19.
  • the polyimide precursor of the present invention comprises a repeating unit having an amic acid structure represented by the chemical formula (1) and a repeating unit having an imide structure represented by the chemical formula (2), and represented by the chemical formula (2).
  • the content of the repeating unit is 30 mol% or more and 90 mol% with respect to all repeating units [(repeating unit represented by chemical formula (1)) + (repeating unit represented by chemical formula (2))]. It is as follows. That is, the molar ratio of [(repeat unit represented by chemical formula (2)) / ⁇ (repeat unit represented by chemical formula (1)) + (repeat unit represented by chemical formula (2)) ⁇ ] is 30 moles. % To 90 mol%, and the imidization rate is 30% to 90%.
  • the content of the repeating unit represented by the chemical formula (2) with respect to all repeating units is 30 mol% or more (by producing a polyimide by imidizing a polyimide precursor having an imidization rate of 30% or more), it consists only of repeating units of an amic acid structure represented by the chemical formula (1), and the imidization rate is 0%. Compared with the case where a certain polyimide precursor is imidized, a polyimide having a low linear thermal expansion coefficient is obtained. Furthermore, heat resistance can also be improved.
  • the polyimide precursor of the present invention is 50 mol% or more, preferably 70 mol% or more, more preferably 80 mol% or more of the total diamine component, More preferably, 90 mol% or more, particularly preferably 100 mol%, is used as a diamine component that gives a repeating unit in which B is a divalent group represented by the chemical formula (3) or the chemical formula (4).
  • B is a divalent group represented by the chemical formula (3) or the chemical formula (4).
  • the resulting polyimide is excellent in solvent resistance, which means it is not soluble in organic solvents.
  • the content of the repeating unit represented by the chemical formula (2) with respect to all repeating units is 90 mol. % (Imidation rate exceeds 90%), the solubility of the polyimide precursor (or polyimide) is reduced, and the polyimide precursor (or polyimide) is precipitated, thereby obtaining a polyimide having excellent characteristics.
  • the content of the repeating unit represented by the chemical formula (2) with respect to all the repeating units [the total amount of the repeating unit represented by the chemical formula (1) and the repeating unit represented by the chemical formula (2)]. Is 90 mol% or less.
  • the polyimide precursor of the present invention was obtained by, for example, reacting a tetracarboxylic acid component and a diamine component under conditions in which an imidization reaction proceeds (an imide compound is generated), and then obtained. It can synthesize
  • the content of the repeating unit represented by the chemical formula (2) with respect to all the repeating units is a ratio of a tetracarboxylic acid component and a diamine component reacted under conditions where an imidization reaction proceeds (an imide compound is generated) and a tetracarboxylic acid component reacted under conditions that suppress imidization It can obtain
  • the tetracarboxylic acid component and the diamine component reacted under the conditions under which the imidization reaction proceeds give the repeating unit represented by the chemical formula (2), and the reaction is performed under conditions that suppress imidization.
  • the tetracarboxylic acid component and the diamine component give the repeating unit represented by the chemical formula (1).
  • the polymerization degree of the repeating unit of the imide structure represented by the chemical formula (2) (that is, n in the chemical formula (5)) is not particularly limited, and can be an integer of 1 to 1000, for example.
  • the polyimide precursor of the present invention can be synthesized, for example, by a two-step reaction. In this case, first, a tetracarboxylic acid component and a diamine component are reacted to form the chemical formula (2 The soluble imide compound which consists of a repeating unit represented by this is obtained.
  • the degree of polymerization of the repeating unit of the imide structure represented by the chemical formula (2) (that is, n in the chemical formula (5)) is changed. Can be controlled.
  • the tetracarboxylic acid component is larger than the stoichiometric ratio, an imide compound in which both ends are acid anhydride groups or carboxyl groups is obtained, and when the diamine component is larger than the stoichiometric ratio, both ends are amino groups. An imide compound as a group is obtained.
  • the repeating unit represented by the chemical formula (2) is used.
  • a solution containing an imide compound is obtained.
  • an imide compound having an amino group at both ends and a degree of polymerization (n) of 2 is obtained from the charged amounts of tetracarboxylic dianhydride and diamine.
  • the repeating unit represented by the chemical formula (2) is used.
  • a solution containing the imide compound and tetracarboxylic dianhydride is obtained.
  • an imide compound having an acid anhydride group or a carboxyl group at both ends and a polymerization degree (n) of 1 is obtained from the amounts of tetracarboxylic dianhydride and diamine charged.
  • the polyimide precursor of the present invention comprises a repeating unit of an amic acid structure represented by the chemical formula (1) and a repeating unit of an imide structure represented by the chemical formula (2), and the chemical formula (1). And 50 mol% or more of the total amount of B in the chemical formula (2), preferably 70 mol% or more, more preferably 80 mol% or more, still more preferably 90 mol% or more, particularly preferably 100 mol%, It is a divalent group represented by the chemical formula (3) or the chemical formula (4).
  • the polyimide precursor of the present invention comprises a tetracarboxylic acid component and 50 mol% or more, preferably 70 mol% or more, more preferably 80 mol% or more, still more preferably 90 mol% or more, particularly preferably 100.
  • Mol% is a polyimide precursor obtained from a diamine represented by the following chemical formula (3A) and a diamine component that is one or more of the diamines represented by the following chemical formula (4A).
  • 4A chemical formula
  • the resulting polyimide has heat resistance and solvent resistance. Excellent properties such as properties and mechanical properties.
  • V 1 , U 1 , and T 1 are each independently a hydrogen atom, a methyl group, or a trifluoromethyl group.
  • Z 1 and W 1 are each independently a direct bond, or selected from the group consisting of groups represented by the formula: —NHCO—, —CONH—, —COO—, —OCO— 1 type to be used.
  • 50 mol% or more of the total amount of B in the chemical formula (1) and the chemical formula (2) is one kind of a divalent group represented by the chemical formula (3) or the chemical formula (4), or If there are two or more kinds, less than 50 mol% of B in the chemical formula (1) or the chemical formula (2) is one kind of divalent group represented by the chemical formula (3) or the chemical formula (4). Or two or more, and 50 mol% or more may be one or more other groups.
  • the total amount of B in the chemical formula (1) and the chemical formula (2) is preferably not more than 80 mol% or less than 80 mol%, more preferably It may be preferable that 90 mol% or less or less than 90 mol% is a divalent group represented by the chemical formula (3) or the chemical formula (4).
  • Aromatic or aliphatic diamines [a diamine component other than the diamine represented by the chemical formula (3A) and the diamine represented by the chemical formula (4A)] in 100 mol% of the total diamine components, preferably 20 mol% or less , More preferably less than 20 mol%, more preferably 10 mol% or less, more preferably less than 10 mol%.
  • the diamine represented by the chemical formula (3A) and the chemical formula (4A) Examples of the diamine include p-phenylenediamine (PPD), 4,4′-diaminobenzanilide (DABAN), 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine (TFMB), 9,9-bis ( 4-aminophenyl) fluorene (FDA), benzidine, 3,3′-diamino-biphenyl, 3,3′-bis (trifluoromethyl) benzidine, 3,3′-diaminobenzanilide, o-tolidine, m-tolidine N, N′-bis (4-aminophenyl) terephthalamide, N, N′-p-phenylenebis (p-aminobenzamide), 4 Aminophenyl-4-aminobenzoate, bis (4-aminopheny
  • diamine component examples include p-phenylenediamine, 4,4′-diaminobenzanilide, 2,2′-bis (trifluoromethyl) benzidine, benzidine, o-tolidine, m-tolidine, N, N′-bis (4 -Aminophenyl) terephthalamide, N, N'-p-phenylenebis (p-aminobenzamide), 4-aminophenyl-4-aminobenzoate, bis (4-aminophenyl) terephthalate, biphenyl-4,4'-dicarboxylic Acid bis (4-aminophenyl) ester, p-phenylenebis (p-aminobenzoate), bis (4-aminophenyl)-[1,1′-biphenyl] -4,4′-dicarboxylate, [1, Those containing 1′-biphenyl] -4,4′-diyl bis (4-aminobenzoate) are preferred
  • At least a part of B in the chemical formula (1) and / or the chemical formula (2) is represented by the following chemical formula (6-1) or (6-2). Particularly preferred is a divalent group.
  • the content is not particularly limited, but is preferably 30 mol% or more of the total amount of B in chemical formula (1) and chemical formula (2).
  • B is a divalent group represented by the chemical formula (3) or the chemical formula (4)
  • the diamine component other than the diamine represented by the above can be used in the range of less than 50 mol%.
  • Examples of such a diamine component include m-phenylenediamine, 2-methylbenzene-1,4-diamine, 2- (trifluoromethyl) benzene-1,4-diamine, and 9,9-bis (4- Aminophenyl) fluorene (FDA), 4,4′-oxydianiline, 3,4′-oxydianiline, 3,3′-oxydianiline, p-methylenebis (phenylenediamine), 1,3-bis (4 -Aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoro Propane, 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane, bis (4-aminophenyl) sulfone, 3,3-bis ((a Nophenoxy) phenyl) propane,
  • An aromatic diamine having a plurality of aromatic rings, such as -aminophenoxy) biphenyl, in which the aromatic rings are connected by an ether bond (—O—) is preferably 20 mol% or less, more preferably 20 mol. It may be preferred to use less than 10%, more preferably 10 mol% or less, more preferably less than 10 mol%.
  • the tetracarboxylic acid component used in the present invention is not particularly limited, and may be an alicyclic tetracarboxylic acid component or an aromatic tetracarboxylic acid component.
  • the tetracarboxylic acid component includes tetracarboxylic acid and tetracarboxylic acid derivatives such as tetracarboxylic dianhydride, tetracarboxylic acid silyl ester, tetracarboxylic acid ester, and tetracarboxylic acid chloride.
  • tetracarboxylic acid component examples include norbornane-2-spiro- ⁇ -cyclopentanone- ⁇ ′-spiro-2 ′′ -norbornane-5,5 ′′, 6,6 ′′ -tetracarboxylic dianhydride (CpODA), (4arH, 8acH) -decahydro-1t, 4t: 5c, 8c-dimethananaphthalene-2t, 3t, 6c, 7c-tetracarboxylic dianhydride (DNDAxx), (4arH, 8acH) -decahydro- 1t, 4t: 5c, 8c-dimethanonaphthalene-2c, 3c, 6c, 7c-tetracarboxylic dianhydride, cyclohexane-1,2,4,5-tetracarboxylic acid, 1,2,3,4-cyclobutane Tetracarboxylic dianhydride, [1,1′-bi (cyclohexane
  • a in the chemical formulas (1) and (2) is preferably a tetravalent group obtained by removing a carboxyl group from an aromatic tetracarboxylic acid.
  • tetracarboxylic acid component examples include 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (s-BPDA), pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic Acid dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic anhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride It is particularly preferable to use p-terphenyl-3,4,3 ′, 4′-tetracarboxylic dianhydride.
  • s-BPDA 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride
  • pyromellitic dianhydride 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic Acid dianhydride
  • a in the chemical formulas (1) and (2) is preferably a tetravalent group obtained by removing a carboxyl group from an alicyclic tetracarboxylic acid.
  • tetracarboxylic acid component examples include norbornane-2-spiro- ⁇ -cyclopentanone- ⁇ ′-spiro-2 ′′ -norbornane-5,5 ′′, 6,6 ′′ -tetracarboxylic acid anhydride, (4 arH , 8acH) -decahydro-1t, 4t: It is particularly preferred to use 5c, 8c-dimethanonaphthalene-2t, 3t, 6c, 7c-tetracarboxylic dianhydride.
  • X 1 and X 2 in the chemical formula (1) are each independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, preferably 1 to 3 carbon atoms (more preferably a methyl group or an ethyl group), or 3 to 3 carbon atoms. 9 alkylsilyl group (more preferably, trimethylsilyl group or t-butyldimethylsilyl group).
  • X 1 and X 2 can change the type of functional group and the introduction rate of the functional group by a production method described later.
  • the introduction rate of the functional group is not particularly limited, but when an alkyl group or an alkylsilyl group is introduced, each of X 1 and X 2 is 25% or more, preferably 50% or more, more preferably 75% or more. Alternatively, it can be an alkylsilyl group.
  • the polyimide precursor of the present invention has a chemical structure taken by X 1 and X 2 , 1) partially imidized polyamic acid (X 1 and X 2 are hydrogen), 2) partially imidized polyamic acid ester (X 1 , X 2 At least a part of the alkyl group), 3) 4) a partially imidized polyamic acid silyl ester (at least a part of X 1 and X 2 is an alkylsilyl group).
  • the polyimide precursor of this invention can be manufactured with the following manufacturing methods for every classification. However, the manufacturing method of the polyimide precursor of this invention is not limited to the following manufacturing methods.
  • the polyimide precursor (partial imidized polyamic acid) of this invention can be manufactured by thermal imidation as follows, for example.
  • a tetracarboxylic dianhydride as a tetracarboxylic acid component and a diamine component are heated and reacted thermally, and expressed by the chemical formula (2).
  • a reaction solution containing a soluble imide compound composed of repeating units is obtained (first step).
  • the polyimide precursor of the present invention has a repeating unit represented by the chemical formula (2) with respect to all repeating units [total amount of the repeating unit represented by the chemical formula (1) and the repeating unit represented by the chemical formula (2)].
  • the content is 30 mol% or more and 90 mol% or less (that is, the imidization ratio is 30% or more and 90% or less).
  • the tetracarboxylic acid component or diamine component to be reacted here is the first step and the next step. It is preferably 30 to 90 mol% based on the total amount of the tetracarboxylic acid component or diamine component to be reacted in the two steps.
  • one of the tetracarboxylic acid component or diamine component added to the solvent is 30 to 90 with respect to the total amount of the tetracarboxylic acid component or diamine component to be reacted in the first step and the next second step. It is preferable that it is mol%.
  • the imide compound obtained here is a repeating represented by the chemical formula (1). It may contain a unit.
  • the molar ratio of the tetracarboxylic acid component to be reacted and the diamine component is the polymerization degree of the desired imide compound, that is, the polymerization degree of the repeating unit of the imide structure represented by the chemical formula (2) in the polyimide precursor [chemical formula ( 5) can be appropriately selected according to n].
  • a tetracarboxylic dianhydride as a tetracarboxylic acid component is reacted with a diamine component under a condition where the imidization reaction proceeds, specifically at a temperature of 100 ° C. or higher. More specifically, a diamine is dissolved in a solvent, and tetracarboxylic dianhydride is gradually added to the solution while stirring, and is added at a temperature of 100 ° C. or higher, preferably 120 to 250 ° C., and 0.5 to 72. By stirring for a time, a soluble imide compound is obtained. The order of addition of diamine and tetracarboxylic dianhydride may be reversed.
  • a polyimide precursor is produced by thermal imidization, and therefore no chemical imidizing agent is used.
  • the chemical imidizing agent is an acid anhydride (dehydrating agent) such as acetic anhydride, and an amine compound (catalyst) such as pyridine or isoquinoline.
  • the soluble imide compound composed of the repeating unit represented by the chemical formula (2) may be an acid anhydride group, a carboxyl group or an amino group at both ends.
  • the polyimide precursor of the present invention is prepared by adding a tetracarboxylic acid component and / or a diamine component to the reaction solution containing the soluble imide compound obtained in the first step, and performing a reaction under the conditions to suppress imidization. Is obtained (second step).
  • the molar ratio of the total amount of the tetracarboxylic acid component to be reacted in the first step and the second step and the total amount of the diamine component is approximately equimolar, preferably the molar ratio of the diamine component to the tetracarboxylic acid component [diamine component
  • the tetracarboxylic acid component and / or the diamine component are added so that the number of moles of the tetracarboxylic acid component] is 0.90 to 1.10, more preferably 0.95 to 1.05.
  • the reaction is carried out under conditions that suppress imidization, specifically at a temperature of less than 100 ° C. More specifically, diamine is added to the reaction solution containing the soluble imide compound obtained in the first step, and the mixture is stirred at less than 100 ° C., preferably in the range of ⁇ 20 to 80 ° C. for 1 to 72 hours.
  • the polyimide precursor of the present invention is obtained by adding carboxylic dianhydride and stirring for 1 to 72 hours at less than 100 ° C., preferably in the range of ⁇ 20 to 80 ° C.
  • the order of addition of diamine and tetracarboxylic dianhydride may be reversed, or diamine and tetracarboxylic dianhydride may be added simultaneously.
  • imidization may proceed, but all the repeating units of the polyimide precursor finally obtained [the repeating unit represented by the chemical formula (1) and the repeating unit represented by the chemical formula (2) Reaction temperature and reaction time such that the content of the repeating unit represented by the chemical formula (2) with respect to the total amount] is 30 mol% or more and 90 mol% or less (that is, the imidization ratio is 30% or more and 90% or less). Is appropriately selected.
  • the repeating unit of the imide structure represented by the chemical formula (2) is generated.
  • the repeating unit of the amic acid structure represented by the chemical formula (1) is mainly used. Generate.
  • a polyimide having a lower linear thermal expansion coefficient may be obtained by reacting a tetracarboxylic acid component giving a polymer having a large linear thermal expansion coefficient with a diamine component in the first step to form a repeating unit of an imide structure. .
  • Solvents used in preparing the polyimide precursor are, for example, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, 1-methyl-2-pyrrolidone, 1-ethyl-2-pyrrolidone, 1,1,3, Aprotic solvents such as 3-tetramethylurea, 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone and dimethyl sulfoxide are preferable, and N, N-dimethylacetamide and 1-methyl-2-pyrrolidone are particularly preferable. If the component and the polyimide precursor to be generated are dissolved, any type of solvent can be used without any problem, and the structure is not particularly limited.
  • amide solvents such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, 1-methyl-2-pyrrolidone, ⁇ -butyrolactone, ⁇ -valerolactone, ⁇ -valerolactone, ⁇ -caprolactone, ⁇ -caprolactone , Cyclic ester solvents such as ⁇ -methyl- ⁇ -butyrolactone, carbonate solvents such as ethylene carbonate and propylene carbonate, glycol solvents such as triethylene glycol, m-cresol, p-cresol, 3-chlorophenol, 4-chlorophenol Phenol solvents such as acetophenone, 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone, sulfolane, dimethyl sulfoxide and the like are preferably employed.
  • a soluble imide compound composed of the repeating unit represented by the chemical formula (2) is isolated from the obtained reaction solution, and in the second step, the soluble imide compound represented by the chemical formula (2) is isolated.
  • the polyimide precursor of the present invention can also be obtained by adding an imide compound comprising a repeating unit and a tetracarboxylic acid component and / or a diamine component to a solvent and reacting under conditions that suppress imidization.
  • the imide compound obtained in the first step is preferably an amino group at both ends. This is because when the terminal is an acid anhydride group, the acid anhydride may be ring-opened at the time of isolation and may be converted to carboxylic acid or the like.
  • Isolation of the soluble imide compound is, for example, by dropping or mixing the reaction solution containing the soluble imide compound obtained in the first step into a poor solvent such as water to precipitate (reprecipitate) the imide compound. It can be carried out.
  • reaction conditions in the first step and the second step are the same as described above.
  • the polyimide precursor (partially imidized polyamic acid) of the present invention can also be produced as follows.
  • a temperature of less than 100 ° C. a reaction solution containing a (poly) amic acid compound composed of a repeating unit represented by the chemical formula (1) (first step). More specifically, diamine is dissolved in a solvent not containing a chemical imidizing agent, and tetracarboxylic dianhydride is gradually added to this solution while stirring, and the temperature is less than 100 ° C., preferably ⁇ 20 to 80 ° C.
  • tetracarboxylic dianhydride is added, and the mixture is stirred at less than 100 ° C., preferably in the range of ⁇ 20 to 80 ° C. for 1 to 72 hours.
  • the order of addition of diamine and tetracarboxylic dianhydride may be reversed, or diamine and tetracarboxylic dianhydride may be added simultaneously.
  • the tetracarboxylic dianhydride as the tetracarboxylic acid component and the diamine component are approximately equimolar, preferably the molar ratio of the diamine component to the tetracarboxylic acid component [number of moles of diamine component / tetracarboxylic acid The number of moles of the component] is preferably 0.90 to 1.10, more preferably 0.95 to 1.05.
  • the imidization may partially proceed, and the (poly) amic acid compound obtained in the first step may include a repeating unit represented by the chemical formula (2).
  • the content of the repeating unit represented by the chemical formula (2) with respect to all repeating units is 90 mol%. (Imidation rate is less than 90%).
  • the reaction solution containing the (poly) amic acid compound obtained in the first step is heated under a condition where the imidization reaction proceeds, specifically at a temperature of 100 ° C. or higher, and thermally reacted.
  • a part of the repeating unit represented by the chemical formula (1) is converted into the repeating unit represented by the chemical formula (2), and the content of the repeating unit represented by the chemical formula (2) is all repeating units
  • the polyimide precursor of the present invention is obtained in an amount of 30 mol% or more and 90 mol% or less with respect to (repeat unit represented by chemical formula (1)) + (repeat unit represented by chemical formula (2)) (second) Process). More specifically, the polyimide precursor of the present invention can be obtained by stirring the reaction solution at 100 ° C. or higher, preferably 120 ° C. or higher, more preferably 150 to 250 ° C. for 5 minutes to 72 hours.
  • the chemical formula (2) with respect to all repeating units of the polyimide precursor finally obtained [total amount of repeating units represented by chemical formula (1) and chemical unit (2)].
  • the reaction temperature and the reaction time are appropriately selected so that the content of the repeating unit represented by) is 30 mol% or more and 90 mol% or less (that is, the imidization rate is 30% or more and 90% or less). Even when the reaction temperature and the reaction time are within the above ranges, when the reaction temperature is relatively high and the reaction time is relatively long, the content of the repeating unit represented by the chemical formula (2) is all repeating units [ It may be 90 mol% or more based on (repeating unit represented by chemical formula (1)) + (repeating unit represented by chemical formula (2))].
  • the same solvent as described above can be used as a solvent used for preparing the polyimide precursor.
  • a polyimide precursor can be easily obtained by dehydrating and condensing diester dicarboxylic acid and diamine using a phosphorus condensing agent or a carbodiimide condensing agent.
  • the polyimide precursor obtained by this method is stable, it can be purified by reprecipitation by adding a solvent such as water or alcohol.
  • a partially imidized polyamic acid ester is obtained by heating the obtained polyimide precursor to a temperature of 80 ° C. or higher and allowing it to thermally react to partially imidize.
  • Partially imidized polyamic acid silyl ester (indirect method) A diamine and a silylating agent are reacted in advance to obtain a silylated diamine. If necessary, the silylated diamine is purified by distillation or the like. Then, the silylated diamine is dissolved in the dehydrated solvent, and the tetracarboxylic dianhydride is gradually added while stirring, and the temperature is 0 to 120 ° C., preferably 5 to 80 ° C. A polyimide precursor is obtained by stirring for ⁇ 72 hours. When the reaction is carried out at 80 ° C. or higher, the molecular weight varies depending on the temperature history at the time of polymerization, and imidization proceeds due to heat, so there is a possibility that the polyimide precursor cannot be produced stably.
  • silylating agent that does not contain chlorine as the silylating agent used here, because it is not necessary to purify the silylated diamine.
  • the silylating agent not containing a chlorine atom include N, O-bis (trimethylsilyl) trifluoroacetamide, N, O-bis (trimethylsilyl) acetamide, and hexamethyldisilazane.
  • N, O-bis (trimethylsilyl) acetamide and hexamethyldisilazane are particularly preferred because they do not contain fluorine atoms and are low in cost.
  • an amine catalyst such as pyridine, piperidine or triethylamine can be used to accelerate the reaction.
  • This catalyst can be used as it is as a polymerization catalyst for the polyimide precursor.
  • the partially imidized polyamic acid silyl ester is obtained by heating the obtained polyimide precursor to a temperature of 80 ° C. or higher and causing it to thermally react to imidize a part thereof.
  • Partially imidized polyamic acid silyl ester (direct method)
  • the polyamic acid solution obtained by the method 1) and the silylating agent are mixed and stirred at 0 to 120 ° C., preferably 5 to 80 ° C. for 1 to 72 hours, whereby a partially imidized polyamic acid silyl ester is obtained. can get.
  • silylating agent used here it is preferable to use a silylating agent not containing chlorine because it is not necessary to purify the silylated polyamic acid or the obtained polyimide.
  • examples of the silylating agent not containing a chlorine atom include N, O-bis (trimethylsilyl) trifluoroacetamide, N, O-bis (trimethylsilyl) acetamide, and hexamethyldisilazane.
  • N, O-bis (trimethylsilyl) acetamide and hexamethyldisilazane are particularly preferred because they do not contain fluorine atoms and are low in cost.
  • a tetracarboxylic dianhydride as a tetracarboxylic acid component and a diamine component are reacted under a condition that suppresses imidization, specifically at a temperature of less than 100 ° C., and a silylating agent is mixed, and 0 to A polyimide precursor is obtained by stirring at 120 ° C., preferably 5 to 80 ° C. for 1 to 72 hours.
  • a partially imidized polyamic acid silyl ester is obtained by heating the obtained polyimide precursor to a temperature of 80 ° C. or higher and causing it to thermally react to partially imidize.
  • the polyimide precursor varnish (polyimide precursor solution or solution composition) of the present invention can be easily obtained.
  • the polyimide precursor solution or solution composition obtained by the said manufacturing method may remove or add a solvent as needed, and may add a desired component.
  • the logarithmic viscosity of the polyimide precursor is not particularly limited, but the logarithmic viscosity in the solvent solution used at the time of polymerization at a concentration of 0.5 g / dL at 30 ° C. is 0.2 dL / g or more, preferably 0.8. It is preferably 5 dL / g or more.
  • the logarithmic viscosity is 0.2 dL / g or more, the molecular weight of the polyimide precursor is high, and the mechanical strength and heat resistance of the resulting polyimide are excellent.
  • the varnish of the polyimide precursor contains at least the polyimide precursor of the present invention and a solvent.
  • the total amount of the tetracarboxylic acid component and the diamine component is 5% by mass or more, preferably 10% by mass or more, more preferably 15% by mass or more with respect to the total amount of the solvent, the tetracarboxylic acid component and the diamine component. It is preferable that In general, the content is preferably 60% by mass or less, and preferably 50% by mass or less. This concentration is a concentration approximately approximate to the solid content concentration resulting from the polyimide precursor, but if this concentration is too low, it becomes difficult to control the film thickness of the polyimide film obtained, for example, when producing a polyimide film. Sometimes.
  • the solvent used for the polyimide precursor varnish of the present invention is not particularly limited as long as the polyimide precursor dissolves, and any type of solvent can be used without any problem.
  • Examples of the solvent used for the varnish of the polyimide precursor include the same solvents as those used when preparing the polyimide precursor.
  • a solvent can also be used in combination of multiple types.
  • the viscosity (rotational viscosity) of the varnish of the polyimide precursor is not particularly limited, but the rotational viscosity measured using an E-type rotational viscometer at a temperature of 25 ° C. and a shear rate of 20 sec ⁇ 1 is 0.01 to 1000 Pa ⁇ sec is preferable, and 0.1 to 100 Pa ⁇ sec is more preferable. Moreover, thixotropy can also be provided as needed. When the viscosity is in the above range, it is easy to handle when coating or forming a film, and the repelling is suppressed and the leveling property is excellent, so that a good film can be obtained.
  • the polyimide precursor varnish of the present invention is optionally provided with a coupling agent such as an antioxidant, a filler, a dye, a pigment, a silane coupling agent, a primer, a flame retardant, an antifoaming agent, a leveling agent, and a rheology control.
  • a coupling agent such as an antioxidant, a filler, a dye, a pigment, a silane coupling agent, a primer, a flame retardant, an antifoaming agent, a leveling agent, and a rheology control.
  • An agent (flow aid), a release agent, and the like can be added.
  • the polyimide precursor varnish of the present invention preferably contains no chemical imidizing agent.
  • the polyimide of the present invention is obtained from the polyimide precursor of the present invention as described above, and can be suitably produced by subjecting the polyimide precursor of the present invention to a dehydration cyclization reaction (imidation reaction).
  • a dehydration cyclization reaction imidation reaction
  • All the well-known methods of thermal imidation can be applied suitably.
  • the form of the polyimide obtained can mention suitably a film, the laminated body of a polyimide film and another base material, a coating film, powder, a bead, a molded object, a foam.
  • the polyimide obtained from the polyimide precursor of the present invention can be mixed with inorganic particles such as silica, if necessary.
  • the method of mixing the inorganic particles is not particularly limited, but the method of dispersing the inorganic particles in a polymerization solvent and polymerizing the polyimide precursor in the solvent, the method of mixing the polyimide precursor solution and the inorganic particles And a method of mixing a polyimide precursor solution and an inorganic particle dispersion solution.
  • the polyimide of the present invention (polyimide obtained from the polyimide precursor of the present invention) is not particularly limited, but the linear thermal expansion coefficient from 50 ° C. to 200 ° C. when formed into a film is preferably 40 ppm / K or less, more preferably. Is 35 ppm / K or less, more preferably 30 ppm / K or less, particularly preferably 25 ppm / K or less, and has a very low coefficient of linear thermal expansion.
  • the linear thermal expansion coefficient is large, the difference in the linear thermal expansion coefficient with a conductor such as metal is large, which may cause problems such as an increase in warpage when a circuit board is formed.
  • the polyimide of the present invention (polyimide obtained from the polyimide precursor of the present invention) is not particularly limited, but the total light transmittance in a 10 ⁇ m thick film ( (Average light transmittance at a wavelength of 380 nm to 780 nm) is preferably 80% or more, more preferably 83% or more, still more preferably 85% or more, and particularly preferably 88% or more.
  • the total light transmittance is low, it is necessary to strengthen the light source, which may cause a problem that energy is applied.
  • the polyimide of the present invention (polyimide obtained from the polyimide precursor of the present invention) is not particularly limited, but the light transmittance at a wavelength of 400 nm in a film having a thickness of 10 ⁇ m is preferably 65% or more, more preferably 70. % Or more, more preferably 75% or more, and particularly preferably 80% or more.
  • the total light transmittance in a 10 ⁇ m-thick film and the light transmittance at a wavelength of 400 nm in a 10 ⁇ m-thick film may not be within the above ranges. In some cases.
  • the film made of the polyimide of the present invention depends on the application, but the thickness of the film is preferably 1 ⁇ m to 250 ⁇ m, more preferably 1 ⁇ m to 150 ⁇ m, still more preferably 1 ⁇ m to 50 ⁇ m, and particularly preferably 1 ⁇ m to 30 ⁇ m. is there.
  • the polyimide film is used for light transmission, if the polyimide film is too thick, the light transmittance may be lowered.
  • the polyimide of the present invention (polyimide obtained from the polyimide precursor of the present invention) is not particularly limited, but the 5% weight loss temperature is preferably more than 470 ° C., more preferably 480 ° C. or more, and further preferably 490 It is °C or higher, particularly preferably 495 °C or higher.
  • a gas barrier film or the like is formed on a polyimide by forming a transistor on the polyimide or the like, if the heat resistance is low, swelling may occur between the polyimide and the barrier film due to outgassing due to decomposition of the polyimide or the like. .
  • higher heat resistance is preferred, but depending on the application, characteristics other than heat resistance are required, and the 5% weight loss temperature may be 470 ° C. or lower.
  • the polyimide obtained from the polyimide precursor of the present invention is suitable as a TAB film, a substrate for electric / electronic parts, and a wiring substrate.
  • a substrate for electric / electronic parts for example, it can be suitably used as a printed circuit board, a power circuit board, a flexible heater, or a resistor board.
  • it is also useful for applications such as insulating films and protective films for electric and electronic parts, particularly insulating films and protective films formed on a material having a low linear expansion coefficient such as a base substrate such as LSI.
  • an alicyclic tetracarboxylic acid component when used as the tetracarboxylic acid component, it has excellent properties such as high transparency, bending resistance, and high heat resistance, and also has a very low linear thermal expansion coefficient.
  • a transparent substrate for a display, a transparent substrate for a touch panel, or a substrate for a solar cell it can be suitably used.
  • the polyimide precursor varnish of the present invention is cast on a substrate such as ceramic (glass, silicon, alumina), metal (copper, aluminum, stainless steel), heat resistant plastic film (polyimide), etc. Drying is performed in an inert gas or in air using hot air or infrared rays at a temperature of 20 to 180 ° C., preferably 20 to 150 ° C.
  • a polyimide film / substrate laminate or a polyimide film can be produced by heating imidization in air at a temperature of about 200 to 500 ° C., more preferably about 250 to 450 ° C. using hot air or infrared rays. .
  • the thickness of the polyimide film here is preferably 1 to 250 ⁇ m, more preferably 1 to 150 ⁇ m, because of the transportability in the subsequent steps.
  • a flexible conductive substrate can be obtained by forming a conductive layer on one side or both sides of the polyimide film / base laminate or the polyimide film obtained in this way.
  • a flexible conductive substrate can be obtained, for example, by the following method. That is, as a first method, the polyimide film / substrate laminate is not peeled off from the substrate, and the surface of the polyimide film is sputtered, vapor-deposited, printed, etc. by a conductive substance (metal or metal oxide). A conductive layer of conductive layer / polyimide film / base material is produced. Then, if necessary, a flexible conductive substrate composed of a conductive layer / polyimide film laminate can be obtained by peeling the electrically conductive layer / polyimide film laminate from the base material.
  • the polyimide film is peeled off from the substrate of the polyimide film / substrate laminate to obtain a polyimide film, and a conductive substance (metal or metal oxide, conductive organic substance, A conductive layer made of a conductive layer / polyimide film laminate, or a conductive layer / polyimide film / conductive layer laminate. Can be obtained.
  • a conductive substance metal or metal oxide, conductive organic substance,
  • a gas barrier layer such as water vapor or oxygen, light adjustment by sputtering, vapor deposition or gel-sol method, etc.
  • An inorganic layer such as a layer may be formed.
  • the conductive layer is preferably formed with a circuit by a method such as a photolithography method, various printing methods, or an ink jet method.
  • the substrate thus obtained has a circuit of a conductive layer on the surface of a polyimide film composed of the polyimide of the present invention, with a gas barrier layer or an inorganic layer as necessary.
  • This substrate is flexible, has excellent bendability, heat resistance, and mechanical properties, and further has a very low linear thermal expansion coefficient up to high temperatures and excellent solvent resistance, so that it is easy to form a fine circuit.
  • the polyimide film of the present invention or the laminate having at least one polyimide layer of the present invention can be suitably used as a TAB film, a substrate for electric / electronic parts, and a wiring substrate.
  • a printed circuit board, a power circuit It can be suitably used as a substrate, a flexible heater, or a resistor substrate.
  • the polyimide of the present invention using an alicyclic tetracarboxylic acid component (such as an alicyclic tetracarboxylic dianhydride) as the tetracarboxylic acid component has high transparency in addition to the above properties. Therefore, this polyimide film or a laminate having at least one polyimide layer can be suitably used as a display substrate, a touch panel substrate, a solar cell substrate, or the like.
  • a transistor inorganic transistor, organic transistor
  • a transistor is further formed on this substrate by vapor deposition, various printing methods, an ink jet method or the like to manufacture a flexible thin film transistor, and a liquid crystal element, an EL element, a photoelectric transistor for a display device are manufactured. It is suitably used as an element.
  • Imidation ratio (%) ⁇ 1- (Y / Z) ⁇ (1 / X) ⁇ ⁇ 100 (I)
  • X Integral value of carboxylic acid proton peak / integral value of aromatic proton peak when imidation rate is 0%, obtained from monomer charge amount
  • Y Integral value of carboxylic acid proton peak obtained from 1 H-NMR measurement
  • Z integrated value of aromatic proton peak obtained from 1 H-NMR measurement
  • FIG. 1 shows 1 H-NMR measurement results of the polyimide precursor solution of Comparative Example 3.
  • the peak near the chemical shift of 7 to 8.3 ppm on the horizontal axis is the peak of aromatic proton
  • the peak near 9.6 to 10.6 ppm is the peak of amide proton
  • the peak near 12 ppm is the peak of carboxylic acid proton. Since the polyimide precursor of Comparative Example 3 is reacted under reaction conditions in which imidization does not proceed, the imidation rate is considered to be 0%.
  • the ratio of the integrated value of the aromatic proton peak and the integrated value of the carboxylic acid proton peak when the imidation rate is 0%, calculated from the amount of monomer charged, is 7: 2. From the result of 1 H-NMR measurement, it was confirmed that the ratio of the integrated value of the aromatic proton peak to the integrated value of the carboxylic acid proton peak was 7: 2, and the imidization ratio was 0%.
  • FIG. 2 shows the 1 H-NMR measurement results of the polyimide precursor solution of Example 19.
  • the integrated value of the aromatic proton peak near 7 to 8.3 ppm of chemical shift was 7, whereas the integrated value of the carboxylic acid proton peak near 12 ppm was 1.23.
  • the ratio of the integrated value of the aromatic proton peak to the integrated value of the carboxylic acid proton peak is 7: 2.
  • the ratio of the integrated value of the aromatic proton peak and the integrated value of the carboxylic acid proton peak was 7: 1.23, so that imidization proceeded. This is because the amount of carboxylic acid decreased.
  • Example 19 The imidation ratio of Example 19 was calculated by the above formula (I) to be 38.5%.
  • Linear thermal expansion coefficient (CTE) A polyimide film having a thickness of about 10 ⁇ m is cut into a strip having a width of 4 mm to form a test piece, and a TMA / SS6100 (manufactured by SII Nano Technology Co., Ltd.) is used. The temperature was raised to 500 ° C. in minutes. The linear thermal expansion coefficient from 50 ° C. to 200 ° C. was determined from the obtained TMA curve.
  • [5% weight loss temperature] A polyimide film having a thickness of about 10 ⁇ m was used as a test piece, and the temperature was increased from 25 ° C. to 600 ° C. at a temperature increase rate of 10 ° C./min in a nitrogen stream using a calorimeter measuring device (Q5000IR) manufactured by TA Instruments. From the obtained weight curve, a 5% weight loss temperature was determined.
  • Table 1 shows the structural formulas of the tetracarboxylic acid component and the diamine component used in Examples and Comparative Examples.
  • TFMB 2.000 g (6.246 mmol) was placed in a reaction vessel substituted with nitrogen gas, and DMAc was charged in an amount of 32.8 g in such an amount that the total monomer weight (total of diamine component and carboxylic acid component) was 20% by mass. And stirred at room temperature for 1 hour.
  • 1.600 g (4.164 mmol) of CpODA was gradually added and stirred at 50 ° C. for 5 hours. Thereafter, the temperature was raised to 160 ° C., 25 mL of toluene was added and toluene was refluxed for 3 hours, and then toluene was extracted and cooled to room temperature to obtain a solution containing an imide compound.
  • the degree of polymerization (n) of this imide compound calculated from the amount of charged monomers is 2, and the terminal is an amino group.
  • the solution was charged with 1.419 g (6.246 mmol) of DABAN and stirred at room temperature for 1 hour.
  • CpODA (3.201 g, 8.327 mmol) was added to this solution and stirred at room temperature for 24 hours to obtain a uniform and viscous polyimide precursor solution.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 420 ° C. on the glass substrate to thermally imidize it.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • TFMB 1.500 g (4.684 mmol) was placed in a reaction vessel substituted with nitrogen gas, and DMAc was charged in an amount of 24.7 g in such an amount that the total monomer weight (total of diamine component and carboxylic acid component) was 20% by mass. And stirred at room temperature for 1 hour.
  • 1.350 g (3.513 mmol) of CpODA was gradually added and stirred at 50 ° C. for 5 hours. Thereafter, the temperature was raised to 160 ° C., 25 mL of toluene was added and toluene was refluxed for 3 hours, and then toluene was extracted and cooled to room temperature to obtain a solution containing an imide compound.
  • the degree of polymerization (n) of this imide compound calculated from the amount of charged monomers is 3, and the terminal is an amino group.
  • 1.065 g (4.684 mmol) of DABAN was added and stirred at room temperature for 1 hour.
  • 2.251 g (5.855 mmol) of CpODA was added and stirred at room temperature for 24 hours to obtain a uniform and viscous polyimide precursor solution.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 420 ° C. on the glass substrate to thermally imidize it.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 3 TFMB 1.500 g (4.684 mmol) was placed in a reaction vessel substituted with nitrogen gas, and DMAc was charged in an amount of 24.7 g in such an amount that the total monomer weight (total of diamine component and carboxylic acid component) was 20% by mass. And stirred at room temperature for 1 hour. To this solution, 1.575 g (4.099 mmol) of CpODA was gradually added and stirred at 50 ° C. for 5 hours. Thereafter, the temperature was raised to 160 ° C., 25 mL of toluene was added and toluene was refluxed for 3 hours, and then toluene was extracted and cooled to room temperature to obtain a solution containing an imide compound.
  • the degree of polymerization (n) of this imide compound calculated from the amount of charged monomers is 7, and the terminal is an amino group.
  • 1.065 g (4.684 mmol) of DABAN was added and stirred at room temperature for 1 hour.
  • CpODA 2.026g (5.270 mmol) was put into this solution, and it stirred at room temperature for 24 hours, and obtained the uniform and viscous polyimide precursor solution.
  • the logarithmic viscosity of the obtained polyimide precursor was 0.7 dL / g.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 420 ° C. on the glass substrate to thermally imidize it.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 4 TFMB 1.500 g (4.684 mmol) was placed in a reaction vessel substituted with nitrogen gas, and DMAc was charged in an amount of 24.7 g in such an amount that the total monomer weight (total of diamine component and carboxylic acid component) was 20% by mass. And stirred at room temperature for 1 hour. To this solution, 1.688 g (4.391 mmol) of CpODA was gradually added and stirred at 50 ° C. for 5 hours. Thereafter, the temperature was raised to 160 ° C., 25 mL of toluene was added and toluene was refluxed for 3 hours, and then toluene was extracted and cooled to room temperature to obtain a solution containing an imide compound.
  • the degree of polymerization (n) of this imide compound calculated from the amount of charged monomers is 15, and the terminal is an amino group.
  • 1.065 g (4.684 mmol) of DABAN was added and stirred at room temperature for 1 hour.
  • CpODA 1.913g (4.977 mmol) was put into this solution, and it stirred at room temperature for 24 hours, and obtained the uniform and viscous polyimide precursor solution.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 420 ° C. on the glass substrate to thermally imidize it.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 5 TFMB 1.500 g (4.684 mmol) was placed in a reaction vessel substituted with nitrogen gas, and DMAc was charged in an amount of 24.7 g in such an amount that the total monomer weight (total of diamine component and carboxylic acid component) was 20% by mass. And stirred at room temperature for 1 hour. To this solution, 1.764 g (4.590 mmol) of CpODA was gradually added and stirred at 50 ° C. for 5 hours. Thereafter, the temperature was raised to 160 ° C., 25 mL of toluene was added and toluene was refluxed for 3 hours, and then toluene was extracted and cooled to room temperature to obtain a solution containing an imide compound.
  • the degree of polymerization (n) of this imide compound calculated from the amount of charged monomers is 49, and the terminal is an amino group.
  • 1.065 g (4.684 mmol) of DABAN was added and stirred at room temperature for 1 hour.
  • CpODA 1.836g (4.778 mmol) was put into this solution, and it stirred at room temperature for 24 hours, and obtained the uniform and viscous polyimide precursor solution.
  • the logarithmic viscosity of the obtained polyimide precursor was 0.6 dL / g.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 420 ° C. on the glass substrate to thermally imidize it.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 6 TFMB 1.500 g (4.684 mmol) was placed in a reaction vessel substituted with nitrogen gas, and DMAc was charged in an amount of 24.7 g in such an amount that the total monomer weight (total of diamine component and carboxylic acid component) was 20% by mass. And stirred at room temperature for 1 hour. To this solution, 1.799 g (4.679 mmol) of CpODA was gradually added and stirred at 50 ° C. for 5 hours. Thereafter, the temperature was raised to 160 ° C., 25 mL of toluene was added and toluene was refluxed for 3 hours, and then toluene was extracted and cooled to room temperature to obtain a solution containing an imide compound.
  • the degree of polymerization (n) of this imide compound calculated from the charged monomer amount is 999, and the terminal is an amino group.
  • 1.065 g (4.684 mmol) of DABAN was added and stirred at room temperature for 1 hour.
  • 1.802 g (4.689 mmol) of CpODA was added and stirred at room temperature for 24 hours to obtain a uniform and viscous polyimide precursor solution.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 420 ° C. on the glass substrate to thermally imidize it.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 7 In a reaction vessel substituted with nitrogen gas, 3.601 g (9.368 mmol) of CpODA was charged, and DMAc was charged in an amount of 24.7 g in an amount that the total monomer mass (total of diamine component and carboxylic acid component) was 20% by mass. And stirred at 50 ° C. for 1 hour to obtain a uniform solution. To this solution, 1.500 g (4.684 mmol) of TFMB was gradually added and stirred at 50 ° C. for 5 hours.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 420 ° C. on the glass substrate to thermally imidize it.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 8 In a reaction vessel substituted with nitrogen gas, 3.000 g (7.805 mmol) of CpODA was placed, and DMAc was charged in an amount of 27.4 g in an amount that the total monomer weight (total of diamine component and carboxylic acid component) was 20% by mass. And stirred at 50 ° C. for 1 hour to obtain a uniform solution. To this solution, 1.666 g (5.203 mmol) of TFMB was gradually added and stirred at 50 ° C. for 5 hours.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 420 ° C. on the glass substrate to thermally imidize it.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 9 2.500 g (6.504 mmol) of CpODA was placed in a reaction vessel substituted with nitrogen gas, and DMAc was charged in an amount of 30.0 g in such an amount that the charged monomer total mass (total of diamine component and carboxylic acid component) was 20% by mass. And stirred at 50 ° C. for 1 hour to obtain a uniform solution. To this solution, 1.822 g (5.691 mmol) of TFMB was gradually added and stirred at 50 ° C. for 5 hours.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 420 ° C. on the glass substrate to thermally imidize it.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 10 2.500 g (6.504 mmol) of CpODA was placed in a reaction vessel substituted with nitrogen gas, and DMAc was charged in an amount of 32.1 g in such an amount that the total monomer weight (total of diamine component and carboxylic acid component) was 20% by mass. And stirred at 50 ° C. for 1 hour to obtain a uniform solution. TFMB 1.953 g (6.097 mmol) was gradually added to this solution and stirred at 50 ° C. for 5 hours.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 420 ° C. on the glass substrate to thermally imidize it.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 11 2.500 g (6.504 mmol) of CpODA was placed in a reaction vessel substituted with nitrogen gas, and DMAc was charged in an amount of 33.6 g in such an amount that the charged monomer total mass (total of diamine component and carboxylic acid component) was 20% by mass. And stirred at 50 ° C. for 1 hour to obtain a uniform solution. To this solution, 2.041 g (6.374 mmol) of TFMB was gradually added and stirred at 50 ° C. for 5 hours.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 420 ° C. on the glass substrate to thermally imidize it.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 12 2.500 g (6.504 mmol) of CpODA was placed in a reaction vessel substituted with nitrogen gas, and DMAc was charged in an amount of 34.2 g in such an amount that the charged monomer total mass (total of diamine component and carboxylic acid component) was 20% by mass. And stirred at 50 ° C. for 1 hour to obtain a uniform solution. To this solution, 2.081 g (6.497 mmol) of TFMB was gradually added and stirred at 50 ° C. for 5 hours.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 420 ° C. on the glass substrate to thermally imidize it.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 13 In a reaction vessel substituted with nitrogen gas, 3.555 g (11.101 mmol) of TFMB was added, 36.1 g of NMP was added, and the mixture was stirred at room temperature for 1 hour to obtain a uniform solution. To this solution, 2.844 g (7.399 mmol) of CpODA was gradually added and stirred at 50 ° C. for 5 hours. Thereafter, the temperature was raised to 170 ° C., 25 mL of toluene was added and toluene was refluxed for 5 hours, and then toluene was extracted and cooled to room temperature.
  • TFMB5 the degree of polymerization (n) of this imide compound calculated from the amount of charged monomers is 2, and the terminal is an amino group
  • Amount of 1.617 g (1.173 mmol) of TFMB5 obtained and 0.800 g (3.520 mmol) of DABAN are charged, and DMAc is added so that the total monomer mass (total of diamine component and carboxylic acid component) is 20% by mass.
  • 16.9 g was added and stirred at room temperature for 1 hour.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 420 ° C. on the glass substrate to thermally imidize it.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 14 In a reaction vessel substituted with nitrogen gas, 0.713 g (3.136 mmol) of DABAN and 1.004 g (3.136 mmol) of TFMB were put, DMAc was charged, and the total amount of monomers charged (total of diamine component and carboxylic acid component) was added in an amount of 20% by mass and stirred at room temperature for 1 hour. To this solution, 2.411 g (6.272 mmol) of CpODA was gradually added and stirred at room temperature for 24 hours. Thereafter, the temperature was raised to 160 ° C., 25 mL of toluene was added, and toluene was refluxed for 15 minutes. Then, toluene was extracted, cooled to room temperature, and a uniform and viscous polyimide precursor solution (imidation ratio: 52%). Got.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 420 ° C. on the glass substrate to thermally imidize it.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 15 In a reaction vessel substituted with nitrogen gas, 0.713 g (3.136 mmol) of DABAN and 1.004 g (3.136 mmol) of TFMB were put, DMAc was charged, and the total amount of monomers charged (total of diamine component and carboxylic acid component) was added in an amount of 20% by mass and stirred at room temperature for 1 hour. To this solution, 2.411 g (6.272 mmol) of CpODA was gradually added and stirred at room temperature for 24 hours. Thereafter, the temperature was raised to 160 ° C., 25 mL of toluene was added, and the toluene was refluxed for 10 minutes. Then, the toluene was extracted, cooled to room temperature, and a uniform and viscous polyimide precursor solution (imidation ratio: 44%). Got.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 420 ° C. on the glass substrate to thermally imidize it.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 420 ° C. on the glass substrate to thermally imidize it.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 16 In a reaction vessel substituted with nitrogen gas, 4.502 g (11.711 mmol) of CpODA was charged, and DMAc was added in an amount of 29.3 g so that the total monomer weight (total of diamine component and carboxylic acid component) was 20% by mass. And stirred at 50 ° C. for 1 hour to obtain a uniform solution. To this solution, 1.500 g (4.684 mmol) of TFMB was gradually added and stirred at 50 ° C. for 5 hours.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 420 ° C. on the glass substrate to thermally imidize it.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 17 In a reaction vessel substituted with nitrogen gas, 4.502 g (11.711 mmol) of CpODA was charged, and DMAc was added in an amount of 29.3 g so that the total monomer weight (total of diamine component and carboxylic acid component) was 20% by mass. And stirred at 50 ° C. for 1 hour to obtain a uniform solution. To this solution, 1.500 g (4.684 mmol) of TFMB and 0.253 g (2.342 mmol) of PPD were gradually added and stirred at 50 ° C. for 5 hours.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 420 ° C. on the glass substrate to thermally imidize it.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 420 ° C. on the glass substrate to thermally imidize it.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 18 TFMB 1.500 g (4.684 mmol) was placed in a reaction vessel substituted with nitrogen gas, and DMAc was charged in an amount of 21.6 g in an amount such that the total monomer weight (total of diamine component and carboxylic acid component) was 20% by mass. And stirred at room temperature for 1 hour. To this solution, 1.239 g (4.099 mmol) of DNDAxx was gradually added and stirred at 50 ° C. for 5 hours. Thereafter, the temperature was raised to 160 ° C., 25 mL of toluene was added and toluene was refluxed for 3 hours, and then toluene was extracted and cooled to room temperature to obtain a solution containing an imide compound.
  • the degree of polymerization (n) of this imide compound calculated from the amount of charged monomers is 7, and the terminal is an amino group.
  • 1.065 g (4.684 mmol) of DABAN was added and stirred at room temperature for 1 hour.
  • 1.593 g (5.270 mmol) of DNDAxx was added and stirred at room temperature for 24 hours to obtain a uniform and viscous polyimide precursor solution.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 430 ° C. as it is to thermally imidize.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 19 TFMB 1.50 g (4.684 mmol) was placed in a reaction vessel substituted with nitrogen gas, and DMAc was charged in an amount of 21.6 g in such an amount that the total monomer charge (total of diamine component and carboxylic acid component) was 20% by mass. And stirred at room temperature for 1 hour. To this solution, 1.388 g (4.591 mmol) of DNDAxx was gradually added and stirred at 50 ° C. for 5 hours. Thereafter, the temperature was raised to 160 ° C., 25 mL of toluene was added and toluene was refluxed for 3 hours, and then toluene was extracted and cooled to room temperature to obtain a solution containing an imide compound.
  • the degree of polymerization (n) of this imide compound calculated from the amount of charged monomers is 49, and the terminal is an amino group.
  • 1.065 g (4.684 mmol) of DABAN was added and stirred at room temperature for 1 hour.
  • 1.444 g (4.778 mmol) of DNDAxx was added and stirred at room temperature for 24 hours to obtain a uniform and viscous polyimide precursor solution.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 430 ° C. as it is to thermally imidize.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 20 In a reaction vessel substituted with nitrogen gas, 3.776 g (12.491 mmol) of DNDAxx was added, and DMAc was charged in an amount of 28.8 g so that the total monomer weight (total of diamine component and carboxylic acid component) was 20% by mass. And stirred at 50 ° C. for 1 hour to obtain a uniform solution. To this solution, 2,000 g (6.246 mmol) of TFMB and 0.568 g (2.498 mmol) of DABAN were gradually added and stirred at 50 ° C. for 5 hours.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 430 ° C. as it is to thermally imidize.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 430 ° C. as it is to thermally imidize.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 21 In a reaction vessel substituted with nitrogen gas, 1.773 g (5.867 mmol) of DNDAxx was added, DMAc was charged, and 15.6 g of an amount such that the total monomer mass (total of diamine component and carboxylic acid component) was 15% by mass. And stirred at 50 ° C. for 1 hour to obtain a uniform solution. To this solution, 0.400 g (1.760 mmol) of DABAN was gradually added and stirred at 50 ° C. for 5 hours.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 430 ° C. as it is to thermally imidize.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 22 In a reaction vessel substituted with nitrogen gas, 2.130 g (7.048 mmol) of DNDAxx was added, and DMAc was charged in an amount of 29.8 g so that the total monomer weight (total of diamine component and carboxylic acid component) was 10% by mass. And stirred at 50 ° C. for 1 hour to obtain a uniform solution. To this solution, 0.801 g (3.524 mmol) of DABAN was gradually added and stirred at 50 ° C. for 5 hours.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 430 ° C. as it is to thermally imidize.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 23 In a reaction vessel substituted with nitrogen gas, 1.400 g (6.160 mmol) of DABAN and 0.666 g (6.160 mmol) of PPD were charged, DMAc was charged, and the total amount of monomers charged (total of diamine component and carboxylic acid component) was added in an amount of 20% by mass, and the mixture was stirred at room temperature for 1 hour. To this solution, 3.724 g (12.320 mmol) of DNDAxx was gradually added and stirred at room temperature for 24 hours.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 430 ° C. as it is to thermally imidize.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 24 In a reaction vessel substituted with nitrogen gas, 1.400 g (6.160 mmol) of DABAN and 0.666 g (6.160 mmol) of PPD were charged, DMAc was charged, and the total amount of monomers charged (total of diamine component and carboxylic acid component) was added in an amount of 20% by mass, and the mixture was stirred at room temperature for 1 hour. To this solution, 3.724 g (12.320 mmol) of DNDAxx was gradually added and stirred at room temperature for 24 hours.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 430 ° C. as it is to thermally imidize.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 430 ° C. as it is to thermally imidize.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 430 ° C. as it is to thermally imidize.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 430 ° C. as it is to thermally imidize.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 25 In a reaction vessel substituted with nitrogen gas, 1.400 g (6.160 mmol) of DABAN and 0.666 g (6.160 mmol) of PPD were charged, and NMP was charged, and the total mass of monomers (total of diamine component and carboxylic acid component) was added. Was added in an amount of 20% by mass, and the mixture was stirred at room temperature for 1 hour. To this solution, 3.724 g (12.320 mmol) of DNDAxx was gradually added and stirred at room temperature for 24 hours. Thereafter, the temperature was raised to 160 ° C., 25 mL of toluene was added, and the toluene was refluxed for 20 minutes. Then, the toluene was extracted, cooled to room temperature, and a uniform and viscous polyimide precursor solution (imidization ratio: 73%). Got.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 430 ° C. as it is to thermally imidize.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 430 ° C. as it is to thermally imidize.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 26 In a reaction vessel substituted with nitrogen gas, 3.540 g (11.711 mmol) of DNDAxx was added, and DMAc was charged in an amount of 25.4 g so that the total monomer mass (total of diamine component and carboxylic acid component) was 20% by mass. And stirred at 50 ° C. for 1 hour to obtain a uniform solution. To this solution, 1.500 g (4.684 mmol) of TFMB was gradually added and stirred at 50 ° C. for 5 hours.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 430 ° C. as it is to thermally imidize.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 27 In a reaction vessel substituted with nitrogen gas, 5.542 g (18.334 mmol) of DNDAxx was put, and DMAc was charged in an amount of 36.7 g so that the total monomer weight (total of diamine component and carboxylic acid component) was 20% by mass. And stirred at 50 ° C. for 1 hour to obtain a uniform solution. To this solution, 1.174 g (3.667 mmol) of TFMB and 0.500 g (2.200 mmol) of DABAN were gradually added and stirred at 50 ° C. for 5 hours.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 430 ° C. as it is to thermally imidize.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 28 In a reaction vessel substituted with nitrogen gas, 1.409 g (4.400 mmol) of TFMB and 1.000 g (4.400 mmol) of DABAN were charged, DMAc was charged, and the total mass of monomers (total of diamine component and carboxylic acid component) was added. Was added in an amount of 20% by mass, and stirred at room temperature for 1 hour. To this solution, 2.657 g (8.791 mmol) of DNDAxx was gradually added and stirred at 50 ° C. for 5 hours.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 430 ° C. as it is to thermally imidize.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 29 2.325 g (11.000 mmol) of DNDAxx is placed in a reaction vessel substituted with nitrogen gas, and DMAc is charged in an amount of 21.3 g so that the total monomer weight (total of diamine component and carboxylic acid component) is 20% by mass. And stirred at room temperature for 1 hour. To this solution, 0.383 g (1.100 mmol) of FDA was gradually added and stirred at 50 ° C. for 5 hours. Thereafter, the temperature was raised to 160 ° C., 25 mL of toluene was added, and toluene was refluxed for 3 hours. Then, toluene was extracted and cooled to 50 ° C.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 450 ° C. on the glass substrate to thermally imidize it.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 30 In a reaction vessel substituted with nitrogen gas, 3.032 g (9.468 mmol) of TFMB was placed, and NMP was added in an amount of 32.27 g in such an amount that the total monomer weight (total of diamine component and carboxylic acid component) was 15% by mass. And stirred at room temperature for 1 hour. To this solution, 2.786 g (9.468 mmol) of s-BPDA was gradually added and stirred at room temperature for 24 hours.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration 200 ppm or less) from room temperature to 410 ° C. as it is, and thermally imidized to be colorless.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration 200 ppm or less) from room temperature to 410 ° C. as it is, and thermally imidized to be colorless.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 31 TFMB (2,000 g, 6.246 mmol) and DABAN (1.419 g, 6.246 mmol) were placed in a reaction vessel substituted with nitrogen gas, NMP was charged, and the total monomer mass (sum of diamine component and carboxylic acid component) was added. Was added in an amount of 20% by mass and stirred at room temperature for 1 hour. To this solution, 3.875 g (12.491 mmol) of ODPA was gradually added and stirred at room temperature for 24 hours.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration 200 ppm or less) from room temperature to 410 ° C. as it is, and thermally imidized to be colorless.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration 200 ppm or less) from room temperature to 410 ° C. as it is, and thermally imidized to be colorless.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 32 In a reaction vessel substituted with nitrogen gas, 1.818 g (8.0000 mmol) of DABAN, 1.108 g (1.000 mmol) of PPD and 0.368 g (1.000 mmol) of BAPB were charged, NMP was charged, and the total amount of monomers was charged. 21.27 g in an amount such that the mass (total of diamine component and carboxylic acid component) was 20% by mass was added, and the mixture was stirred at room temperature for 1 hour. To this solution, 3.023 g (10.000 mmol) of DNDAxx was gradually added and stirred at room temperature for 24 hours.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 430 ° C. as it is to thermally imidize.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 430 ° C. as it is to thermally imidize.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • Example 33 In a reaction vessel purged with nitrogen gas, 1.591 g (7.0000 mmol) of DABAN, 1.108 g (1.000 mmol) of PPD and 0.737 g (2.000 mmol) of BAPB were added, and NMP was charged. 21.83 g in an amount such that the mass (total of diamine component and carboxylic acid component) was 20% by mass was added, and the mixture was stirred at room temperature for 1 hour. To this solution, 3.023 g (10.000 mmol) of DNDAxx was gradually added and stirred at room temperature for 24 hours.
  • a polyimide precursor solution filtered through a PTFE membrane filter is applied to a glass substrate, and heated in a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 200 ppm or less) from room temperature to 430 ° C. as it is to thermally imidize.
  • a transparent polyimide film / glass laminate was obtained.
  • the obtained polyimide film / glass laminate was immersed in water and then peeled off and dried to obtain a polyimide film having a film thickness of about 10 ⁇ m.
  • the present invention it is possible to provide a polyimide precursor which is produced by thermal imidization and from which a polyimide having a low linear thermal expansion coefficient can be obtained without performing a stretching operation.
  • the present invention can provide a polyimide precursor having a low linear thermal expansion coefficient, a polyimide having excellent heat resistance, solvent resistance, and mechanical properties, and a polyimide having excellent transparency. .
  • the polyimide obtained from the polyimide precursor of the present invention has a low linear thermal expansion coefficient up to a high temperature and can easily form a fine circuit, and should be suitably used as a TAB film, a substrate for electric / electronic parts, and a wiring substrate. It can also be suitably used as an insulating film or protective film for electric / electronic parts.
  • the polyimide obtained from the polyimide precursor of the present invention using an alicyclic tetracarboxylic acid component as a tetracarboxylic acid component has high transparency and a low linear thermal expansion coefficient up to a high temperature, so that a fine circuit can be formed. It is easy, and can be suitably used for forming a substrate for display applications. That is, the polyimide film of the present embodiment of the present invention can be suitably used as a transparent substrate that is colorless and transparent and capable of forming a fine circuit, such as for display applications.

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Abstract

　本発明は、下記化学式（１）で表される繰り返し単位と下記化学式（２）で表される繰り返し単位とからなり、下記化学式（２）で表される繰り返し単位の含有量が全繰り返し単位に対して３０モル％以上９０モル％以下であり、下記化学式（１）および下記化学式（２）中のＢの合計量の５０モル％以上がｐ－フェニレン基および／または特定の２個以上のベンゼン環を含む２価の基である、熱イミド化によって製造されたポリイミド前駆体に関する。（式中、Ａは、テトラカルボン酸からカルボキシル基を除いた４価の基であり、Ｂは、ジアミンからアミノ基を除いた２価の基であり、ただし、各繰り返し単位に含まれるＡおよびＢは、同一であっても異なっていてもよい。Ｘ１、Ｘ２はそれぞれ独立に水素、炭素数１～６のアルキル基、または炭素数３～９のアルキルシリル基である。）

Description

ポリイミド前駆体、及びポリイミド
　本発明は、線熱膨張係数が低く、耐熱性、耐溶剤性、機械的特性にも優れたポリイミドが得られるポリイミド前駆体に関する。
　ポリイミドは、耐熱性、耐溶剤性（耐薬品性）、機械的特性、電気的性質などに優れているため、フレキシブル配線基板、ＴＡＢ（Ｔａｐｅ　Ａｕｔｏｍａｔｅｄ　Ｂｏｎｄｉｎｇ）用テープ等の電気・電子機器類の用途に広く使用されている。例えば、芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンとから得られるポリイミド、特に、３，３’，４，４’－ビフェニルテトラカルボン酸二無水物とパラフェニレンジアミンとから得られるポリイミドが好適に使用されている。
　また、ポリイミドは、表示装置分野で、ガラス基板の代替として検討が進められている。ガラス基板をポリイミド等のプラスチック基板に置き換えることで、軽量でフレキシブル性に優れ、さらには曲げたり丸めたりすることが可能なディスプレイが可能となる。このような用途においては透明性が高いことも必要になるが、芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンとから得られる全芳香族ポリイミドは、分子内共役や電荷移動錯体の形成により、本質的に黄褐色に着色する傾向がある。このため、着色を抑制する手段として、例えば分子内へのフッ素原子の導入、主鎖への屈曲性の付与、側鎖として嵩高い基の導入などによって、分子内共役や電荷移動錯体の形成を阻害して、透明性を発現させる方法が提案されている。
　また、原理的に電荷移動錯体を形成しない半脂環式または全脂環式ポリイミドを用いることも提案されている。例えば、特許文献１～６、非特許文献１に、テトラカルボン酸成分として脂環式テトラカルボン酸二無水物、ジアミン成分として芳香族ジアミンを用いた種々の、透明性が高い半脂環式ポリイミドが開示されている。このような半脂環式ポリイミドは、透明性、折り曲げ耐性、高耐熱性を兼ね備えている。半脂環式ポリイミドは、一般に、線熱膨張係数が大きい傾向があるが、線熱膨張係数が比較的小さい半脂環式ポリイミドも提案されている。
　フレキシブル配線基板やＴＡＢ用テープ等の用途においては、通常、ポリイミドフィルム上に銅が積層される。ポリイミドの線熱膨張係数が大きく、銅との線熱膨張係数の差が大きいと、積層体（積層フィルム）に反りが生じ、加工精度が低下して電子部品の精密実装が困難になることがある。そのため、ポリイミドには、低線熱膨張係数であることが求められている。
　一方、表示装置分野においては、基板であるポリイミドフィルム上に金属などの導体が形成される。この場合も、ポリイミドの線熱膨張係数が大きく、導体との線熱膨張係数の差が大きいと、回路基板を形成する際に反りが生じ、回路形成が困難になることがある。そのため、低線熱膨張係数のポリイミドが必要とされている。
　テトラカルボン酸成分とジアミン成分とを反応させてポリイミドを合成する手法としては、熱イミド化と、化学イミド化とがある。一般に、化学イミド化によってポリイミドを製造すると、線熱膨張係数が比較的低いポリイミドを得ることができる。しかしながら、化学イミド化剤（無水酢酸などの酸無水物や、ピリジン、イソキノリンなどのアミン化合物）が可塑剤として働き、ポリイミドの物性が変化することがある。また、化学イミド化剤が着色の要因となることがあり、透明性が必要な用途においては好ましくない。
　一方、熱イミド化によってポリイミドを製造する場合、ポリイミド前駆体溶液の自己支持性フィルム（ゲルフィルムとも言う。）を延伸した後、あるいは延伸しながら加熱して熱的にイミド化することにより、線熱膨張係数を低下させることができる。しかしながら、延伸は大規模な装置を必要とする。また、ポリイミド前駆体の溶液（または溶液組成物）を基材上に流延塗布し、これを加熱処理して自己支持性フィルムとした後、自己支持性フィルムを基材から剥離して延伸しなければならず、用途によっては適用できない場合がある。例えば、ディスプレイ用途などでは、ポリイミド前駆体の溶液（または溶液組成物）をガラス基板などの基材上に流延塗布し、これを加熱処理してイミド化させ、ポリイミド層（ポリイミドフィルム）を基材上に形成した後、得られたポリイミド積層体のポリイミド層上に回路、薄膜トランジスタなどが形成される。この場合は、延伸によりポリイミドの線熱膨張係数を低下させることができない。
　一方、ポリイミド前駆体として、アミック酸（またはアミド酸）構造の繰り返し単位の一部がイミド構造になっている共重合体［ポリ（アミド酸－イミド）共重合体］も知られており、例えば、特許文献７～１３、非特許文献２～４に開示されている。
　非特許文献５には、３，３’，４，４’－ビフェニルテトラカルボン酸二無水物（ｓ－ＢＰＤＡ）と４，４’－オキシジアニリン（ＯＤＡ）とを反応させてポリアミック酸を得た後、得られたポリアミック酸の溶液に化学イミド化剤（脱水剤）を１００ｍｏｌ％，８０ｍｏｌ％，６０ｍｏｌ％，４０ｍｏｌ％，２０ｍｏｌ％，０ｍｏｌ％添加し、プレ－イミド化率（ｐｒｅ－ＩＤ）が１００％，８０％，６０％，４０％，２０％，０％のポリアミック酸－ポリイミドの溶液を調製し、これを加熱処理して得られた６種類のポリイミドフィルムの線熱膨張係数（ＣＴＥ）を測定した結果、プレ－イミド化率が高いほど線熱膨張係数が低くなり、プレ－イミド化率１００％、すなわち完全にイミド化を完了させたポリイミドの溶液を加熱処理して得られたポリイミドフィルムの線熱膨張係数が最も低くなったことが記載されている（Ｆｉｇ．９）。ただし、プレ－イミド化率（ｐｒｅ－ＩＤ）が高くなるほど、５％重量減少温度（Ｔ５％）が低くなり、耐熱性が低くなったことも記載されている（４１６２頁、右欄、下から８～６行）。
特開２００３－１６８８００号公報 国際公開第２００８／１４６６３７号 特開２００２－６９１７９号公報 特開２００２－１４６０２１号公報 特開２００８－３１４０６号公報 国際公開第２０１１／０９９５１８号 国際公開第２０１０／１１３４１２号 特開２００５－３３６２４３号公報 特開２００６－２０６７５６号公報 特開平９－１８５０６４号公報 特開２００６－７００９６号公報 特開２０１０－１９６０４１号公報 特開２０１０－１８８０２号公報
高分子論文集，Ｖｏｌ．６８，Ｎｏ．３，ｐ．１２７－１３１ Ｅｕｒｏｐｅａｎ　Ｐｏｌｙｍｅｒ　Ｊｏｕｒｎａｌ，Ｖｏｌ．４６，ｐ．２８３－２９７（２０１０） Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒ　Ｓｃｉｅｎｃｅ　ａｎｄ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｖｏｌ．１８，ｐ．３０７－３１２（２００５） Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒ　Ｓｃｉｅｎｃｅ　ａｎｄ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｖｏｌ．２４，ｐ．２５５－２５８（２０１１） Ｐｏｌｙｍｅｒ，Ｖｏｌ．５３，ｐ．４１５７－４１６３（２０１２）
　上記のように、線熱膨張係数が比較的低いポリイミドを得ることができる化学イミド化の場合、化学イミド化剤（無水酢酸などの酸無水物や、ピリジン、イソキノリンなどのアミン化合物）を使用することによって、ポリイミドの物性が変化することがある。一方、熱イミド化の場合、延伸操作によって線熱膨張係数を低下させることが一般的に行われている。しかし、用途によっては、あるいはポリイミドの製造（成膜）プロセスによっては、延伸によりポリイミドの線熱膨張係数を低下させることができない。
　特に、熱イミド化によって製造される、耐熱性、耐溶剤性、機械的特性に優れた特定のジアミン成分とテトラカルボン酸成分とからなるポリイミド、より好ましくは透明性にも優れたポリイミドにおいて、延伸操作を行うことなく、その優れた特性を保持しながら、線熱膨張係数を低下させることが、用途によっては、望まれている。
　本発明は、以上のような状況に鑑みてなされたものであり、熱イミド化によって製造される、特定のジアミン成分とテトラカルボン酸成分とからなり、耐熱性、耐溶剤性、機械的特性に優れ、線熱膨張係数が低いポリイミドが得られるポリイミド前駆体を提供することを目的とする。本発明は、また、線熱膨張係数が低く、耐熱性、耐溶剤性、機械的特性にも優れたポリイミド、より好ましくは透明性にも優れたポリイミドが得られるポリイミド前駆体を提供することを目的とする。
　本発明は、以下の事項に関する。
　１．　下記化学式（１）で表される繰り返し単位と、下記化学式（２）で表される繰り返し単位とからなり、
　下記化学式（２）で表される繰り返し単位の含有量が、全繰り返し単位に対して、３０モル％以上９０モル％以下であり、
　下記化学式（１）および下記化学式（２）中のＢの合計量の５０モル％以上が、下記化学式（３）で表される２価の基、および／または、下記化学式（４）で表される２価の基の１種以上である、熱イミド化によって製造されたことを特徴とするポリイミド前駆体。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000005
 （式中、Ａは、テトラカルボン酸からカルボキシル基を除いた４価の基であり、Ｂは、ジアミンからアミノ基を除いた２価の基であり、ただし、各繰り返し単位に含まれるＡおよびＢは、同一であっても異なっていてもよい。Ｘ１、Ｘ２はそれぞれ独立に水素、炭素数１～６のアルキル基、または炭素数３～９のアルキルシリル基である。）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000006
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000007
 （式中、ｍ１は１～３の整数を示し、ｎ１は０～３の整数を示す。Ｖ１、Ｕ１、Ｔ１はそれぞれ独立に水素原子、メチル基、トリフルオロメチル基よりなる群から選択される１種を示し、Ｚ１、Ｗ１はそれぞれ独立に直接結合、または　式：－ＮＨＣＯ－、－ＣＯＮＨ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－で表される基よりなる群から選択される１種を示す。）
　２．　前記化学式（１）および前記化学式（２）中のＡが、脂環式テトラカルボン酸からカルボキシル基を除いた４価の基の１種以上であることを特徴とする前記項１に記載のポリイミド前駆体。
　３．　前記化学式（１）および前記化学式（２）中のＡが、芳香族テトラカルボン酸からカルボキシル基を除いた４価の基の１種以上であることを特徴とする前記項１に記載のポリイミド前駆体。
　４．　下記化学式（５）で表される構造を含むことを特徴とする前記項１～３のいずれかに記載のポリイミド前駆体。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000008
 （式中、ＡおよびＢは前記と同義であり、ｎは１～１０００の整数である。）
　５．　前記項１～４のいずれかに記載のポリイミド前駆体を含むワニス。
　６．　化学イミド化剤を含まないことを特徴とする前記項５に記載のワニス。
　７．　前記項１～４のいずれかに記載のポリイミド前駆体を製造する方法であって、
　化学イミド化剤を含まない溶媒中で、テトラカルボン酸成分とジアミン成分とを１００℃以上に加熱して熱的に反応させて、前記化学式（２）で表される繰り返し単位を含む可溶性のイミド化合物を含む反応溶液を得る工程と、
　得られた反応溶液に、テトラカルボン酸成分および／またはジアミン成分を加えて、１００℃未満のイミド化を抑制する条件下で反応を行い、前記項１～４のいずれかに記載のポリイミド前駆体を得る工程と、
を有することを特徴とする方法。
　８．　前記項１～４のいずれかに記載のポリイミド前駆体を製造する方法であって、
　化学イミド化剤を含まない溶媒中で、テトラカルボン酸成分とジアミン成分とを１００℃以上に加熱して熱的に反応させて、前記化学式（２）で表される繰り返し単位を含む可溶性のイミド化合物を含む反応溶液を得る工程と、
　得られた反応溶液から、前記化学式（２）で表される繰り返し単位を含むイミド化合物を単離する工程と、
　化学イミド化剤を含まない溶媒に、単離した前記化学式（２）で表される繰り返し単位を含むイミド化合物と、テトラカルボン酸成分および／またはジアミン成分とを加えて、１００℃未満のイミド化を抑制する条件下で反応を行い、前記項１～４のいずれかに記載のポリイミド前駆体を得る工程と、
を有することを特徴とする方法。
　９．　前記項１～４のいずれかに記載のポリイミド前駆体を製造する方法であって、
　化学イミド化剤を含まない溶媒中で、テトラカルボン酸成分とジアミン成分とを１００℃未満のイミド化を抑制する条件下で反応させて、前記化学式（１）で表される繰り返し単位を含む（ポリ）アミック酸化合物を含む反応溶液を得る工程と、
　前記化学式（１）で表される繰り返し単位を含む（ポリ）アミック酸化合物を含む反応溶液を１００℃以上に加熱して熱的に反応させて、前記化学式（１）で表される繰り返し単位の一部を前記化学式（２）で表される繰り返し単位に変換して、前記項１～４のいずれかに記載のポリイミド前駆体を得る工程と、
を有することを特徴とする方法。
　１０．　前記項１～４のいずれかに記載のポリイミド前駆体から得られるポリイミド。
　１１．　前記項５または６に記載のワニスを加熱処理して得られるポリイミド。
　１２．　前記項５または６に記載のワニスを加熱処理して得られるポリイミドフィルム。
　１３．　前記項１０または１１に記載のポリイミドを含むＴＡＢ用フィルム、電気・電子部品用基板、配線基板、電気・電子部品用絶縁膜、電気・電子部品用保護膜、ディスプレイ用基板、タッチパネル用基板、または太陽電池用基板。
　本発明によって、熱イミド化によって製造され、延伸操作を行うことなく、耐熱性、耐溶剤性、機械的特性に優れ、線熱膨張係数が低いポリイミドが得られるポリイミド前駆体を提供することができる。また、本発明によって、線熱膨張係数が低く、耐熱性、耐溶剤性、機械的特性に優れ、さらには透明性にも優れたポリイミドが得られるポリイミド前駆体を提供することができる。本発明によれば、熱イミド化において延伸操作を行うことなく、優れた特性を保持しながら、ポリイミドの線熱膨張係数を低下させることができ、さらには耐熱性を向上させることもできる。
比較例３のポリイミド前駆体溶液の１Ｈ－ＮＭＲスペクトルである。 実施例１９のポリイミド前駆体溶液の１Ｈ－ＮＭＲスペクトルである。
　本発明のポリイミド前駆体は、前記化学式（１）で表されるアミック酸構造の繰り返し単位と、前記化学式（２）で表されるイミド構造の繰り返し単位とからなり、前記化学式（２）で表される繰り返し単位の含有量が、全繰り返し単位［（化学式（１）で表される繰り返し単位）＋（化学式（２）で表される繰り返し単位）］に対して、３０モル％以上９０モル％以下である。すなわち、［（化学式（２）で表される繰り返し単位）／｛（化学式（１）で表される繰り返し単位）＋（化学式（２）で表される繰り返し単位）｝］のモル比が３０モル％以上９０モル％以下であり、イミド化率が３０％以上９０％以下ということになる。
　全繰り返し単位［化学式（１）で表される繰り返し単位と化学式（２）で表される繰り返し単位の合計量］に対する前記化学式（２）で表される繰り返し単位の含有量が３０モル％以上（イミド化率が３０％以上）であるポリイミド前駆体をイミド化してポリイミドを製造することにより、前記化学式（１）で表されるアミック酸構造の繰り返し単位のみからなり、イミド化率が０％であるポリイミド前駆体をイミド化した場合と比較して、線熱膨張係数が低いポリイミドが得られる。さらには耐熱性も向上させることができる。
　一方、後述するように、本発明のポリイミド前駆体は、優れた特性を有するポリイミドを得るために、全ジアミン成分の５０モル％以上、好ましくは７０モル％以上、より好ましくは８０モル％以上、さらに好ましくは９０モル％以上、特に好ましくは１００モル％を、Ｂが前記化学式（３）または前記化学式（４）で表される２価の基である繰り返し単位を与えるジアミン成分にする。得られるポリイミドは耐溶剤性に優れるが、それは有機溶剤に可溶でないことを意味する。その結果、全繰り返し単位［化学式（１）で表される繰り返し単位と化学式（２）で表される繰り返し単位の合計量］に対する前記化学式（２）で表される繰り返し単位の含有量が９０モル％を超える（イミド化率が９０％を超える）と、ポリイミド前駆体（またはポリイミド）の溶解性が低下してポリイミド前駆体（またはポリイミド）が析出し、優れた特性を有するポリイミドを得ることができないことがあるため、全繰り返し単位［化学式（１）で表される繰り返し単位と化学式（２）で表される繰り返し単位の合計量］に対する前記化学式（２）で表される繰り返し単位の含有量を９０モル％以下にする。
　全繰り返し単位［化学式（１）で表される繰り返し単位と化学式（２）で表される繰り返し単位の合計量］に対する前記化学式（２）で表される繰り返し単位の含有量（すなわち、イミド化率）は、当該ポリイミド前駆体（ポリイミド前駆体溶液）の１Ｈ－ＮＭＲスペクトルを測定し、芳香族プロトンのピーク（７～８．３ｐｐｍ）の積分値とカルボン酸プロトンのピーク（１２ｐｐｍ付近）の積分値の比より算出することができる。
　また、後述するように、本発明のポリイミド前駆体は、例えば、イミド化反応が進行する（イミド化合物が生成する）条件下でテトラカルボン酸成分とジアミン成分とを反応させ、その後、得られた反応溶液にテトラカルボン酸成分および／またはジアミン成分を加えて、イミド化を抑制する条件下で反応させることで合成することができる。その場合、全繰り返し単位［化学式（１）で表される繰り返し単位と化学式（２）で表される繰り返し単位の合計量］に対する前記化学式（２）で表される繰り返し単位の含有量（すなわち、イミド化率）は、イミド化反応が進行する（イミド化合物が生成する）条件下で反応させたテトラカルボン酸成分およびジアミン成分と、イミド化を抑制する条件下で反応させたテトラカルボン酸成分およびジアミン成分の割合から求めることができる。なお、ここで、イミド化反応が進行する条件下で反応させたテトラカルボン酸成分およびジアミン成分が、前記化学式（２）で表される繰り返し単位を与え、イミド化を抑制する条件下で反応させたテトラカルボン酸成分およびジアミン成分が、前記化学式（１）で表される繰り返し単位を与える。
　前記化学式（２）で表されるイミド構造の繰り返し単位の重合度（すなわち、化学式（５）中のｎ）は特に限定されず、例えば、１～１０００の整数とすることができる。後述するように、本発明のポリイミド前駆体は、例えば、二段階の反応で合成することができ、その場合、まず最初に、テトラカルボン酸成分とジアミン成分とを反応させて、前記化学式（２）で表される繰り返し単位からなる可溶性のイミド化合物を得る。このときに反応させるテトラカルボン酸成分とジアミン成分のモル比を調整することによって、前記化学式（２）で表されるイミド構造の繰り返し単位の重合度（すなわち、化学式（５）中のｎ）を制御することができる。なお、テトラカルボン酸成分が化学量論比よりも多い場合、両末端が酸無水物基またはカルボキシル基であるイミド化合物が得られ、ジアミン成分が化学量論比よりも多い場合、両末端がアミノ基であるイミド化合物が得られる。
　例えば、２モルのテトラカルボン酸二無水物と３モルのジアミンとをイミド化反応が進行する（イミド化合物が生成する）条件下で反応させると、前記化学式（２）で表される繰り返し単位からなるイミド化合物を含む溶液が得られる。この場合、テトラカルボン酸二無水物とジアミンの仕込み量より、両末端がアミノ基で、重合度（ｎ）が２のイミド化合物が得られる。また、１０モルのテトラカルボン酸二無水物と１モルのジアミンとをイミド化反応が進行する（イミド化合物が生成する）条件下で反応させると、前記化学式（２）で表される繰り返し単位からなるイミド化合物と、テトラカルボン酸二無水物を含む溶液が得られる。この場合、テトラカルボン酸二無水物とジアミンの仕込み量より、両末端が酸無水物基またはカルボキシル基で、重合度（ｎ）が１のイミド化合物が得られる。
　本発明のポリイミド前駆体は、前記化学式（１）で表されるアミック酸構造の繰り返し単位と、前記化学式（２）で表されるイミド構造の繰り返し単位とからなり、且つ、前記化学式（１）および前記化学式（２）中のＢの合計量の５０モル％以上、好ましくは７０モル％以上、より好ましくは８０モル％以上、さらに好ましくは９０モル％以上、特に好ましくは１００モル％が、前記化学式（３）または前記化学式（４）で表される２価の基である。換言すれば、本発明のポリイミド前駆体は、テトラカルボン酸成分と、５０モル％以上、好ましくは７０モル％以上、より好ましくは８０モル％以上、さらに好ましくは９０モル％以上、特に好ましくは１００モル％が、下記化学式（３Ａ）で表されるジアミンおよび下記化学式（４Ａ）で表されるジアミンの１種以上であるジアミン成分とから得られるポリイミド前駆体である。全ジアミン成分の５０モル％以上、より好ましくは７０モル％以上が前記化学式（３）または前記化学式（４）で表される２価の基である場合、得られるポリイミドは、耐熱性、耐溶剤性、機械的特性などの特性に優れる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000009
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000010
 （式中、ｍ１は１～３の整数を示し、ｎ１は０～３の整数を示す。Ｖ１、Ｕ１、Ｔ１はそれぞれ独立に水素原子、メチル基、トリフルオロメチル基よりなる群から選択される１種を示し、Ｚ１、Ｗ１はそれぞれ独立に直接結合、または　式：－ＮＨＣＯ－、－ＣＯＮＨ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－で表される基よりなる群から選択される１種を示す。）
　なお、前記化学式（１）および前記化学式（２）中のＢの合計量の５０モル％以上が、前記化学式（３）または前記化学式（４）で表される２価の基の１種、または２種以上であれば、前記化学式（１）または前記化学式（２）中のＢの５０モル％未満が、前記化学式（３）または前記化学式（４）で表される２価の基の１種、または２種以上であり、５０モル％以上が、それ以外の基１種以上であってもよい。
　ある実施態様においては、得られるポリイミドの所望の物性の点から、前記化学式（１）および前記化学式（２）中のＢの合計量の好ましくは８０モル％以下または８０モル％未満、より好ましくは９０モル％以下または９０モル％未満が、前記化学式（３）または前記化学式（４）で表される２価の基であることが好ましいことがある。例えば、４，４’－ビス（４－アミノフェノキシ）ビフェニル等の、複数の芳香環を有し、芳香環同士がエーテル結合（－Ｏ－）で連結されている芳香族ジアミン類などの他の芳香族または脂肪族ジアミン類〔前記化学式（３Ａ）で表されるジアミンおよび前記化学式（４Ａ）で表されるジアミン以外のジアミン成分〕を、全ジアミン成分１００モル％中、好ましくは２０モル％以下、より好ましくは２０モル％未満、より好ましくは１０モル％以下、より好ましくは１０モル％未満で使用することができる。
　Ｂが前記化学式（３）または前記化学式（４）で表される２価の基である繰り返し単位を与えるジアミン成分〔前記化学式（３Ａ）で表されるジアミンおよび前記化学式（４Ａ）で表されるジアミン〕としては、例えば、ｐ－フェニレンジアミン（ＰＰＤ）や、４，４’－ジアミノベンズアニリド（ＤＡＢＡＮ）、２，２’－ビス（トリフルオロメチル）ベンジジン（ＴＦＭＢ）、９，９－ビス（４－アミノフェニル）フルオレン（ＦＤＡ）、ベンジジン、３，３’－ジアミノ－ビフェニル、３，３’－ビス（トリフルオロメチル）ベンジジン、３，３’－ジアミノベンズアニリド、ｏ－トリジン、ｍ－トリジン、Ｎ，Ｎ’－ビス（４－アミノフェニル）テレフタルアミド、Ｎ，Ｎ’－ｐ－フェニレンビス（ｐ－アミノベンズアミド）、４－アミノフェニル－４－アミノベンゾエート、ビス（４－アミノフェニル）テレフタレート、ビフェニル－４，４’－ジカルボン酸ビス（４－アミノフェニル）エステル、ｐ－フェニレンビス（ｐ－アミノベンゾエート）、ビス（４－アミノフェニル）－［１，１’－ビフェニル］－４，４’－ジカルボキシレート、［１，１’－ビフェニル］－４，４’－ジイル, ビス（４－アミノベンゾエート）等が挙げられる。これらは、単独で使用してもよく、また複数種を組み合わせて使用することもできる。
　ジアミン成分としては、ｐ－フェニレンジアミン、４，４’－ジアミノベンズアニリド、２，２’－ビス（トリフルオロメチル）ベンジジン、ベンジジン、ｏ－トリジン、ｍ－トリジン、Ｎ，Ｎ’－ビス（４－アミノフェニル）テレフタルアミド、Ｎ，Ｎ’－ｐ－フェニレンビス（ｐ－アミノベンズアミド）、４－アミノフェニル－４－アミノベンゾエート、ビス（４－アミノフェニル）テレフタレート、ビフェニル－４，４’－ジカルボン酸ビス（４－アミノフェニル）エステル、ｐ－フェニレンビス（ｐ－アミノベンゾエート）、ビス（４－アミノフェニル）－［１，１’－ビフェニル］－４，４’－ジカルボキシレート、［１，１’－ビフェニル］－４，４’－ジイル　ビス（４－アミノベンゾエート）を含むものが好ましく、４，４’－ジアミノベンズアニリドを含むものが特に好ましい。換言すれば、本発明のポリイミド前駆体は、前記化学式（１）および／または前記化学式（２）中のＢの少なくとも一部が、下記化学式（６－１）または（６－２）で表される２価の基であることが特に好ましい。その含有量は、特に限定されないが、化学式（１）および化学式（２）中のＢの合計量の３０モル％以上であることが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000011
　本発明においては、Ｂが前記化学式（３）または前記化学式（４）で表される２価の基である繰り返し単位を与えるジアミン成分〔前記化学式（３Ａ）で表されるジアミンおよび前記化学式（４Ａ）で表されるジアミン〕以外のジアミン成分を５０モル％未満の範囲で使用することもできる。
　このようなジアミン成分としては、例えば、ｍ－フェニレンジアミン、２－メチルベンゼン－１，４－ジアミン、２－（トリフルオロメチル）ベンゼン－１，４－ジアミンや、９，９－ビス（４－アミノフェニル）フルオレン（ＦＤＡ）、４，４’－オキシジアニリン、３，４’－オキシジアニリン、３，３’－オキシジアニリン、ｐ－メチレンビス（フェニレンジアミン）、１，３－ビス（４－アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３－ビス（３－アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４－ビス（４－アミノフェノキシ）ベンゼン、２，２－ビス［４－（４－アミノフェノキシ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン、２，２－ビス（４－アミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン、ビス（４－アミノフェニル）スルホン、３，３－ビス（（アミノフェノキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（３－アミノ－４－ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン、ビス（（アミノフェノキシ）ジフェニル）スルホン、ビス（４－（４－アミノフェノキシ）ジフェニル）スルホン、ビス（４－（３－アミノフェノキシ）ジフェニル）スルホン、オクタフルオロベンジジン、３，３’－ジメトキシ－４，４’－ジアミノビフェニル、３，３’－ジクロロ－４，４’－ジアミノビフェニル、３，３’－ジフルオロ－４，４’－ジアミノビフェニル、４，４’－ビス（４－アミノフェノキシ）ビフェニル、４，４’－ビス（３－アミノフェノキシ）ビフェニル等の芳香族ジアミンや、１，４－ジアミノシクロへキサン、１，４－ジアミノ－２－メチルシクロヘキサン、１，４－ジアミノ－２－エチルシクロヘキサン、１，４－ジアミノ－２－ｎ－プロピルシクロヘキサン、１，４－ジアミノ－２－イソプロピルシクロヘキサン、１，４－ジアミノ－２－ｎ－ブチルシクロヘキサン、１，４－ジアミノ－２－イソブチルシクロヘキサン、１，４－ジアミノ－２－ｓｅｃ－ブチルシクロヘキサン、１，４－ジアミノ－２－ｔｅｒｔ－ブチルシクロヘキサン、１，２－ジアミノシクロへキサン等の脂環式ジアミンが挙げられる。これらは、単独で使用してもよく、また複数種を組み合わせて使用することもできる。
　前記のように、ある実施態様においては、このような前記化学式（３Ａ）で表されるジアミンおよび前記化学式（４Ａ）で表されるジアミン以外のジアミン成分、例えば、４，４’－ビス（４－アミノフェノキシ）ビフェニル等の、複数の芳香環を有し、芳香環同士がエーテル結合（－Ｏ－）で連結されている芳香族ジアミン類などを好ましくは２０モル％以下、より好ましくは２０モル％未満、より好ましくは１０モル％以下、より好ましくは１０モル％未満で使用することが好ましいことがある。
　本発明で用いるテトラカルボン酸成分は、特に限定されず、脂環式テトラカルボン酸成分であっても、芳香族テトラカルボン酸成分であってもよい。なお、テトラカルボン酸成分には、テトラカルボン酸と、テトラカルボン酸二無水物、テトラカルボン酸シリルエステル、テトラカルボン酸エステル、テトラカルボン酸クロライド等のテトラカルボン酸誘導体が含まれる。
　テトラカルボン酸成分としては、例えば、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロペンタノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸二無水物（ＣｐＯＤＡ）、（４ａｒＨ，８ａｃＨ）－デカヒドロ－１ｔ，４ｔ：５ｃ，８ｃ－ジメタノナフタレン－２ｔ，３ｔ，６ｃ，７ｃ－テトラカルボン酸二無水物（ＤＮＤＡｘｘ）、（４ａｒＨ，８ａｃＨ）－デカヒドロ－１ｔ，４ｔ：５ｃ，８ｃ－ジメタノナフタレン－２ｃ，３ｃ，６ｃ，７ｃ－テトラカルボン酸二無水物、シクロヘキサン－１，２，４，５－テトラカルボン酸、１，２，３，４－シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、［１，１’－ビ（シクロヘキサン）］－３，３’，４，４’－テトラカルボン酸、［１，１’－ビ（シクロヘキサン）］－２，３，３’，４’－テトラカルボン酸、［１，１’－ビ（シクロヘキサン）］－２，２’，３，３’－テトラカルボン酸、４，４’－メチレンビス（シクロヘキサン－１，２－ジカルボン酸）、４，４’－（プロパン－２，２－ジイル）ビス（シクロヘキサン－１，２－ジカルボン酸）、４，４’－オキシビス（シクロヘキサン－１，２－ジカルボン酸）、４，４’－チオビス（シクロヘキサン－１，２－ジカルボン酸）、４，４’－スルホニルビス（シクロヘキサン－１，２－ジカルボン酸）、４，４’－（ジメチルシランジイル）ビス（シクロヘキサン－１，２－ジカルボン酸）、４，４’－（テトラフルオロプロパン－２，２－ジイル）ビス（シクロヘキサン－１，２－ジカルボン酸）、オクタヒドロペンタレン－１，３，４，６－テトラカルボン酸、ビシクロ［２．２．１］ヘプタン－２，３，５，６－テトラカルボン酸、６－（カルボキシメチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプタン－２，３，５－トリカルボン酸、ビシクロ［２．２．２］オクタン－２，３，５，６－テトラカルボン酸、ビシクロ［２．２．２］オクタ－５－エン－２，３，７，８－テトラカルボン酸、トリシクロ［４．２．２．０２，５］デカン－３，４，７，８－テトラカルボン酸、トリシクロ［４．２．２．０２，５］デカ－７－エン－３，４，９，１０－テトラカルボン酸、９－オキサトリシクロ［４．２．１．０２，５］ノナン－３，４，７，８－テトラカルボン酸や、これらの誘導体等の脂環式テトラカルボン酸成分（脂環式テトラカルボン酸二無水物）や、３，３’，４，４’－ビフェニルテトラカルボン酸二無水物（ｓ－ＢＰＤＡ）、ピロメリット酸二無水物、２，３，３’，４’－ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’－ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，２－ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン二無水物、ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）メタン二無水物、４，４’－オキシジフタル酸無水物、ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）スルホン二無水物、ｍ－ターフェニルー３，４，３’，４’－テトラカルボン酸二無水物、ｐ－ターフェニルー３，４，３’，４’－テトラカルボン酸二無水物、ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）スルフィド二無水物、ｐ－フェニレンビス（トリメリット酸モノエステル酸無水物）、エチレンビス（トリメリット酸モノエステル酸無水物）、ビスフェノールＡビス（トリメリット酸モノエステル酸無水物）、２，２－ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）－１，１，１，３，３，３－ヘキサフルオロプロパン二無水物、２，２－ビス（２，３－ジカルボキシフェニル）－１，１，１，３，３，３－ヘキサフルオロプロパン二無水物、１，２，５，６－ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、２，３，６，７－ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，４，５，８－ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、２，２－ビス｛４－〔４－（１，２－ジカルボキシ）フェノキシ〕フェニル｝プロパン二無水物、２，２－ビス｛４－〔３－（１，２－ジカルボキシ）フェノキシ〕フェニル｝プロパン二無水物、ビス｛４－〔４－（１，２－ジカルボキシ）フェノキシ〕フェニル｝ケトン二無水物、ビス｛４－〔３－（１，２－ジカルボキシ）フェノキシ〕フェニル｝ケトン二無水物、４，４’－ビス〔４－（１，２－ジカルボキシ）フェノキシ〕ビフェニル二無水物、４，４’－ビス〔３－（１，２－ジカルボキシ）フェノキシ〕ビフェニル二無水物、ビス｛４－〔４－（１，２－ジカルボキシ）フェノキシ〕フェニル｝ケトン二無水物、ビス｛４－〔３－（１，２－ジカルボキシ）フェノキシ〕フェニル｝ケトン二無水物、ビス｛４－〔４－（１，２－ジカルボキシ）フェノキシ〕フェニル｝スルホン二無水物、ビス｛４－〔３－（１，２－ジカルボキシ）フェノキシ〕フェニル｝スルホン二無水物、ビス｛４－〔４－（１，２－ジカルボキシ）フェノキシ〕フェニル｝スルフィド二無水物、ビス｛４－〔３－（１，２－ジカルボキシ）フェノキシ〕フェニル｝スルフィド二無水物等の芳香族テトラカルボン酸成分（芳香族テトラカルボン酸二無水物）が挙げられる。これらは、単独で使用してもよく、また複数種を組み合わせて使用することもできる。なお、芳香族テトラカルボン酸成分１種以上と脂環式テトラカルボン酸成分１種以上を併用することもできる。
　耐熱性に優れたポリイミドを得るためには、テトラカルボン酸成分として芳香族テトラカルボン酸成分を使用することが好ましい。換言すれば、前記化学式（１）および化学式（２）中のＡが、芳香族テトラカルボン酸からカルボキシル基を除いた４価の基であることが好ましい。テトラカルボン酸成分としては、３，３’，４，４’－ビフェニルテトラカルボン酸二無水物（ｓ－ＢＰＤＡ）、ピロメリット酸二無水物、３，３’，４，４’－ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，２－ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン二無水物、４，４’－オキシジフタル酸無水物、ビス（３，４－ジカルボキシフェニル）スルホン二無水物、ｐ－ターフェニルー３，４，３’，４’－テトラカルボン酸二無水物を使用することが特に好ましい。
　透明性に優れたポリイミドを得るためには、テトラカルボン酸成分として脂環式テトラカルボン酸成分を使用することが好ましい。換言すれば、前記化学式（１）および化学式（２）中のＡが、脂環式テトラカルボン酸からカルボキシル基を除いた４価の基であることが好ましい。テトラカルボン酸成分としては、ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロペンタノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸無水物、（４ａｒＨ，８ａｃＨ）－デカヒドロ－１ｔ，４ｔ：５ｃ，８ｃ－ジメタノナフタレン－２ｔ，３ｔ，６ｃ，７ｃ－テトラカルボン酸二無水物を使用することが特に好ましい。
　前記化学式（１）中のＸ１、Ｘ２はそれぞれ独立に水素、炭素数１～６、好ましくは炭素数１～３のアルキル基（より好ましくはメチル基もしくはエチル基）、または炭素数３～９のアルキルシリル基（より好ましくはトリメチルシリル基もしくはｔ－ブチルジメチルシリル基）のいずれかである。
　Ｘ１、Ｘ２は、後述する製造方法によって、その官能基の種類、及び官能基の導入率を変化させることができる。官能基の導入率は、特に限定されないが、アルキル基もしくはアルキルシリル基を導入する場合、Ｘ１、Ｘ２はそれぞれ、２５％以上、好ましくは５０％以上、より好ましくは７５％以上をアルキル基もしくはアルキルシリル基にすることができる。
　本発明のポリイミド前駆体は、Ｘ１とＸ２が取る化学構造によって、１）部分イミド化ポリアミド酸（Ｘ１とＸ２が水素）、２）部分イミド化ポリアミド酸エステル（Ｘ１、Ｘ２の少なくとも一部がアルキル基）、３）４）部分イミド化ポリアミド酸シリルエステル（Ｘ１、Ｘ２の少なくとも一部がアルキルシリル基）に分類することができる。そして、本発明のポリイミド前駆体は、この分類ごとに、以下の製造方法により製造することができる。ただし、本発明のポリイミド前駆体の製造方法は、以下の製造方法に限定されるものではない。
１）部分イミド化ポリアミド酸
　本発明のポリイミド前駆体（部分イミド化ポリアミド酸）は、例えば次のようにして、熱イミド化によって製造することができる。
　まず最初に、化学イミド化剤を含まない溶媒中で、テトラカルボン酸成分としてのテトラカルボン酸二無水物とジアミン成分とを加熱して熱的に反応させて、前記化学式（２）で表される繰り返し単位からなる可溶性のイミド化合物を含む反応溶液を得る（第１工程）。本発明のポリイミド前駆体は、全繰り返し単位［化学式（１）で表される繰り返し単位と化学式（２）で表される繰り返し単位の合計量］に対する前記化学式（２）で表される繰り返し単位の含有量が３０モル％以上９０モル％以下（すなわち、イミド化率が３０％以上９０％以下）であり、したがって、ここで反応させるテトラカルボン酸成分またはジアミン成分は、第１工程および次の第２工程において反応させるテトラカルボン酸成分またはジアミン成分の全量に対して３０～９０モル％であることが好ましい。換言すれば、第１工程において、溶媒に加えるテトラカルボン酸成分またはジアミン成分の一方が、第１工程および次の第２工程において反応させるテトラカルボン酸成分またはジアミン成分の全量に対して３０～９０モル％であることが好ましい。ただし、最終的に得られるポリイミド前駆体の全繰り返し単位［化学式（１）で表される繰り返し単位と化学式（２）で表される繰り返し単位の合計量］に対する前記化学式（２）で表される繰り返し単位の含有量が３０モル％以上９０モル％以下（すなわち、イミド化率が３０％以上９０％以下）になれば、ここで得られるイミド化合物は、前記化学式（１）で表される繰り返し単位を含むものであってもよい。
　また、反応させるテトラカルボン酸成分とジアミン成分のモル比は、所望のイミド化合物の重合度、すなわちポリイミド前駆体中の前記化学式（２）で表されるイミド構造の繰り返し単位の重合度［化学式（５）中のｎ］に応じて適宜選択することができる。
　第１工程においては、イミド化反応が進行する条件下で、具体的には１００℃以上の温度で、テトラカルボン酸成分としてのテトラカルボン酸二無水物とジアミン成分とを反応させる。より具体的には、溶剤にジアミンを溶解し、この溶液に攪拌しながら、テトラカルボン酸二無水物を徐々に添加し、１００℃以上、好ましくは１２０～２５０℃の範囲で０．５～７２時間攪拌することで、可溶性のイミド化合物が得られる。ジアミンとテトラカルボン酸二無水物の添加順序を逆にしてもよい。
　本発明においては、熱イミド化によってポリイミド前駆体を製造し、したがって、化学イミド化剤を使用しない。ここで、化学イミド化剤とは、無水酢酸などの酸無水物（脱水剤）、およびピリジン、イソキノリンなどのアミン化合物（触媒）である。
　なお、この前記化学式（２）で表される繰り返し単位からなる可溶性のイミド化合物は、両末端が酸無水物基またはカルボキシル基であっても、アミノ基であってもよい。
　次いで、第１工程で得られた可溶性のイミド化合物を含む反応溶液に、テトラカルボン酸成分および／またはジアミン成分を加えて、イミド化を抑制する条件下で反応を行い、本発明のポリイミド前駆体を得る（第２工程）。この第２工程では、第１工程および第２工程において反応させるテトラカルボン酸成分の全量とジアミン成分の全量のモル比が略等モル、好ましくはテトラカルボン酸成分に対するジアミン成分のモル比［ジアミン成分のモル数／テトラカルボン酸成分のモル数］が０．９０～１．１０、より好ましくは０．９５～１．０５になるように、テトラカルボン酸成分および／またはジアミン成分を加える。
　第２工程においては、イミド化を抑制する条件下で、具体的には１００℃未満の温度で反応を行う。より具体的には、第１工程で得られた可溶性のイミド化合物を含む反応溶液にジアミンを添加し、１００℃未満、好ましくは－２０～８０℃の範囲で１～７２時間攪拌した後、テトラカルボン酸二無水物を添加し、１００℃未満、好ましくは－２０～８０℃の範囲で１～７２時間攪拌することで、本発明のポリイミド前駆体が得られる。ジアミンとテトラカルボン酸二無水物の添加順序を逆にしてもよく、また、ジアミンとテトラカルボン酸二無水物を同時に添加してもよい。また、反応させるテトラカルボン酸成分の全量を、第１工程において溶媒に加えた場合は、ジアミンのみを添加し、反応させるジアミン成分の全量を、第１工程において溶媒に加えた場合は、テトラカルボン酸二無水物のみを添加する。
　第２工程においてもイミド化が進行してもよいが、最終的に得られるポリイミド前駆体の全繰り返し単位［化学式（１）で表される繰り返し単位と化学式（２）で表される繰り返し単位の合計量］に対する前記化学式（２）で表される繰り返し単位の含有量が３０モル％以上９０モル％以下（すなわち、イミド化率が３０％以上９０％以下）になるように反応温度および反応時間を適宜選択する。
　第１工程では、主に、前記化学式（２）で表されるイミド構造の繰り返し単位を生成し、第２工程では、主に、前記化学式（１）で表されるアミック酸構造の繰り返し単位を生成する。線熱膨張係数が大きい重合体を与えるテトラカルボン酸成分とジアミン成分とを第１工程で反応させ、イミド構造の繰り返し単位とすることで、より線熱膨張係数が低いポリイミドが得られることがある。
　ポリイミド前駆体を調製する際に使用する溶媒は、例えばＮ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド、１－メチル－２－ピロリドン、１－エチル－２－ピロリドン、１，１，３，３－テトラメチル尿素、１，３－ジメチル－２－イミダゾリジノン、ジメチルスルホキシド等の非プロトン性溶媒が好ましく、特にＮ，Ｎ－ジメチルアセトアミド、１－メチル－２－ピロリドンが好ましいが、原料モノマー成分と生成するポリイミド前駆体が溶解すれば、どんな種類の溶媒であっても問題はなく使用できるので、特にその構造には限定されない。溶媒として、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド、１－メチル－２－ピロリドン等のアミド溶媒、γ－ブチロラクトン、γ－バレロラクトン、δ－バレロラクトン、γ－カプロラクトン、ε－カプロラクトン、α－メチル－γ－ブチロラクトン等の環状エステル溶媒、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等のカーボネート溶媒、トリエチレングリコール等のグリコール系溶媒、ｍ－クレゾール、ｐ－クレゾール、３－クロロフェノール、４－クロロフェノール等のフェノール系溶媒、アセトフェノン、１，３－ジメチル－２－イミダゾリジノン、スルホラン、ジメチルスルホキシドなどが好ましく採用される。さらに、その他の一般的な有機溶剤、即ちフェノール、ｏ－クレゾール、酢酸ブチル、酢酸エチル、酢酸イソブチル、プロピレングリコールメチルアセテート、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、２－メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、テトラヒドロフラン、ジメトキシエタン、ジエトキシエタン、ジブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、メチルイソブチルケトン、ジイソブチルケトン、シクロペンタノン、シクロへキサノン、メチルエチルケトン、アセトン、ブタノール、エタノール、キシレン、トルエン、クロルベンゼン、ターペン、ミネラルスピリット、石油ナフサ系溶媒なども使用できる。また、これらを複数種組み合わせて使用することもできる。
　第１工程の後、得られた反応溶液から、前記化学式（２）で表される繰り返し単位からなる可溶性のイミド化合物を単離し、第２工程で、単離した前記化学式（２）で表される繰り返し単位からなるイミド化合物とテトラカルボン酸成分および／またはジアミン成分とを溶媒に加えて、イミド化を抑制する条件下で反応を行い、本発明のポリイミド前駆体を得ることもできる。この場合は、第１工程で得るイミド化合物は、両末端がアミノ基であることが好ましい。末端が酸無水物基の場合、単離時に酸無水物が開環し、カルボン酸等に変わる可能性があるためである。
　可溶性のイミド化合物の単離は、例えば、第１工程で得られた可溶性のイミド化合物を含む反応溶液を水などの貧溶媒に滴下または混合して、イミド化合物を析出（再沈殿）させることで行うことができる。
　なお、この場合も、第１工程および第２工程の反応条件は上記と同様である。
　また、本発明のポリイミド前駆体（部分イミド化ポリアミド酸）は、次のようにして、製造することもできる。
　まず最初に、化学イミド化剤を含まない溶媒中で、テトラカルボン酸成分としてのテトラカルボン酸二無水物とジアミン成分とをイミド化を抑制する条件下で、具体的には１００℃未満の温度で反応させて、前記化学式（１）で表される繰り返し単位からなる（ポリ）アミック酸化合物を含む反応溶液を得る（第１工程）。より具体的には、化学イミド化剤を含まない溶媒にジアミンを溶解し、攪拌しながら、この溶液にテトラカルボン酸二無水物を徐々に添加し、１００℃未満、好ましくは－２０～８０℃の範囲で１～７２時間攪拌した後、テトラカルボン酸二無水物を添加し、１００℃未満、好ましくは－２０～８０℃の範囲で１～７２時間攪拌する。ジアミンとテトラカルボン酸二無水物の添加順序を逆にしてもよく、また、ジアミンとテトラカルボン酸二無水物を同時に添加してもよい。
　この第１工程においては、テトラカルボン酸成分としてのテトラカルボン酸二無水物とジアミン成分とを略等モル、好ましくはテトラカルボン酸成分に対するジアミン成分のモル比［ジアミン成分のモル数／テトラカルボン酸成分のモル数］が０．９０～１．１０、より好ましくは０．９５～１．０５の割合で反応させることが好ましい。
　また、イミド化が一部進行して、第１工程において得られる（ポリ）アミック酸化合物が、前記化学式（２）で表される繰り返し単位を含むものであってもよい。ただし、全繰り返し単位［化学式（１）で表される繰り返し単位と化学式（２）で表される繰り返し単位の合計量］に対する前記化学式（２）で表される繰り返し単位の含有量は９０モル％未満（イミド化率は９０％未満）である。
　次いで、第１工程で得られた（ポリ）アミック酸化合物を含む反応溶液を、イミド化反応が進行する条件下、具体的には１００℃以上の温度に加熱して熱的に反応させて、前記化学式（１）で表される繰り返し単位の一部を前記化学式（２）で表される繰り返し単位に変換して、前記化学式（２）で表される繰り返し単位の含有量が全繰り返し単位［（化学式（１）で表される繰り返し単位）＋（化学式（２）で表される繰り返し単位）］に対して３０モル％以上９０モル％以下である本発明のポリイミド前駆体を得る（第２工程）。より具体的には、反応溶液を１００℃以上、好ましくは１２０℃以上、より好ましくは１５０～２５０℃の範囲で５分～７２時間攪拌することで、本発明のポリイミド前駆体が得られる。
　この第２工程においては、最終的に得られるポリイミド前駆体の全繰り返し単位［化学式（１）で表される繰り返し単位と化学式（２）で表される繰り返し単位の合計量］に対する前記化学式（２）で表される繰り返し単位の含有量が３０モル％以上９０モル％以下（すなわち、イミド化率が３０％以上９０％以下）になるように反応温度および反応時間を適宜選択する。反応温度および反応時間が上記の範囲内であっても、反応温度が比較的高く、且つ反応時間が比較的長い場合、前記化学式（２）で表される繰り返し単位の含有量が全繰り返し単位［（化学式（１）で表される繰り返し単位）＋（化学式（２）で表される繰り返し単位）］に対して９０モル％以上になることがある。
　なお、この場合も、ポリイミド前駆体を調製する際に使用する溶媒としては、上記と同様のものを使用することができる。
２）部分イミド化ポリアミド酸エステル
　テトラカルボン酸二無水物を任意のアルコールと反応させ、ジエステルジカルボン酸を得た後、塩素化試薬（チオニルクロライド、オキサリルクロライドなど）と反応させ、ジエステルジカルボン酸ジクロライドを得る。このジエステルジカルボン酸クロライドとジアミンを－２０～１２０℃、好ましくは－５～８０℃の範囲で１～７２時間攪拌することで、ポリイミド前駆体が得られる。８０℃以上で反応させる場合、分子量が重合時の温度履歴に依存して変動し、また熱によりイミド化が進行することから、ポリイミド前駆体を安定して製造できなくなる可能性がある。また、ジエステルジカルボン酸とジアミンを、リン系縮合剤や、カルボジイミド縮合剤などを用いて脱水縮合することでも、簡便にポリイミド前駆体が得られる。
　この方法で得られるポリイミド前駆体は、安定なため、水やアルコールなどの溶剤を加えて再沈殿などの精製を行うこともできる。
　得られたポリイミド前駆体を８０℃以上の温度に加熱して熱的に反応させて一部をイミド化することで、部分イミド化ポリアミド酸エステルが得られる。
３）部分イミド化ポリアミド酸シリルエステル（間接法）
　あらかじめ、ジアミンとシリル化剤を反応させ、シリル化されたジアミンを得る。必要に応じて、蒸留等により、シリル化されたジアミンの精製を行う。そして、脱水された溶剤中にシリル化されたジアミンを溶解させておき、攪拌しながら、テトラカルボン酸二無水物を徐々に添加し、０～１２０℃、好ましくは５～８０℃の範囲で１～７２時間攪拌することで、ポリイミド前駆体が得られる。８０℃以上で反応させる場合、分子量が重合時の温度履歴に依存して変動し、また熱によりイミド化が進行することから、ポリイミド前駆体を安定して製造できなくなる可能性がある。
　ここで用いるシリル化剤として、塩素を含有しないシリル化剤を用いることは、シリル化されたジアミンを精製する必要がないため、好適である。塩素原子を含まないシリル化剤としては、Ｎ，Ｏ－ビス（トリメチルシリル）トリフルオロアセトアミド、Ｎ，Ｏ－ビス（トリメチルシリル）アセトアミド、ヘキサメチルジシラザンが挙げられる。フッ素原子を含まず低コストであることから、Ｎ，Ｏ－ビス（トリメチルシリル）アセトアミド、ヘキサメチルジシラザンが特に好ましい。
　また、ジアミンのシリル化反応には、反応を促進するために、ピリジン、ピペリジン、トリエチルアミンなどのアミン系触媒を用いることができる。この触媒はポリイミド前駆体の重合触媒として、そのまま使用することができる。
　得られたポリイミド前駆体を８０℃以上の温度に加熱して熱的に反応させて一部をイミド化することで、部分イミド化ポリアミド酸シリルエステルが得られる。
４）部分イミド化ポリアミド酸シリルエステル（直接法）
　１）の方法で得られたポリアミド酸溶液とシリル化剤を混合し、０～１２０℃、好ましくは５～８０℃の範囲で１～７２時間攪拌することで、部分イミド化ポリアミド酸シリルエステルが得られる。
　ここで用いるシリル化剤として、塩素を含有しないシリル化剤を用いることは、シリル化されたポリアミド酸、もしくは、得られたポリイミドを精製する必要がないため、好適である。塩素原子を含まないシリル化剤としては、Ｎ，Ｏ－ビス（トリメチルシリル）トリフルオロアセトアミド、Ｎ，Ｏ－ビス（トリメチルシリル）アセトアミド、ヘキサメチルジシラザンが挙げられる。フッ素原子を含まず低コストであることから、Ｎ，Ｏ－ビス（トリメチルシリル）アセトアミド、ヘキサメチルジシラザンが特に好ましい。
　また、テトラカルボン酸成分としてのテトラカルボン酸二無水物とジアミン成分とをイミド化を抑制する条件下で、具体的には１００℃未満の温度で反応させ、シリル化剤を混合し、０～１２０℃、好ましくは５～８０℃の範囲で１～７２時間攪拌することで、ポリイミド前駆体が得られる。得られたポリイミド前駆体を８０℃以上の温度に加熱して熱的に反応させて一部をイミド化することで、部分イミド化ポリアミド酸シリルエステルが得られる。
　前記製造方法は、いずれも溶媒中で好適に行うことができるので、その結果として、本発明のポリイミド前駆体のワニス（ポリイミド前駆体溶液または溶液組成物）を容易に得ることができる。なお、前記製造方法により得られるポリイミド前駆体溶液または溶液組成物は、必要に応じて、溶媒を除去または加えて、また所望の成分を添加してもよい。
　本発明において、ポリイミド前駆体の対数粘度は、特に限定されないが、３０℃での濃度０．５ｇ／ｄＬの重合時に用いた溶媒の溶液における対数粘度が０．２ｄＬ／ｇ以上、好ましくは０．５ｄＬ／ｇ以上であることが好ましい。対数粘度が０．２ｄＬ／ｇ以上では、ポリイミド前駆体の分子量が高く、得られるポリイミドの機械強度や耐熱性に優れる。
　本発明において、ポリイミド前駆体のワニスは、少なくとも本発明のポリイミド前駆体と溶媒とを含む。溶媒とテトラカルボン酸成分とジアミン成分との合計量に対して、テトラカルボン酸成分とジアミン成分との合計量が５質量％以上、好ましくは１０質量％以上、より好ましくは１５質量％以上の割合であることが好適である。なお、通常は６０質量％以下、好ましくは５０質量％以下であることが好適である。この濃度は、ポリイミド前駆体に起因する固形分濃度にほぼ近似される濃度であるが、この濃度が低すぎると、例えばポリイミドフィルムを製造する際に得られるポリイミドフィルムの膜厚の制御が難しくなることがある。
　本発明のポリイミド前駆体のワニスに用いる溶媒としては、ポリイミド前駆体が溶解すれば特に限定されず、どんな種類の溶媒であっても問題なく使用できる。ポリイミド前駆体のワニスに用いる溶媒としては、例えば、前記のポリイミド前駆体を調製する際に使用する溶媒と同じものが挙げられる。なお、溶媒は、複数種を組み合わせて使用することもできる。
　本発明において、ポリイミド前駆体のワニスの粘度（回転粘度）は、特に限定されないが、Ｅ型回転粘度計を用い、温度２５℃、せん断速度２０ｓｅｃ－１で測定した回転粘度が、０．０１～１０００Ｐａ・ｓｅｃが好ましく、０．１～１００Ｐａ・ｓｅｃがより好ましい。また、必要に応じて、チキソ性を付与することもできる。上記範囲の粘度では、コーティングや製膜を行う際、ハンドリングしやすく、また、はじきが抑制され、レベリング性に優れるため、良好な被膜が得られる。
　本発明のポリイミド前駆体のワニスは、必要に応じて、酸化防止剤、フィラー、染料、顔料、シランカップリング剤などのカップリング剤、プライマー、難燃材、消泡剤、レベリング剤、レオロジーコントロール剤（流動補助剤）、剥離剤などを添加することができる。本発明のポリイミド前駆体のワニスは、化学イミド化剤を含まないことが好ましい。
　本発明のポリイミドは、前記のような本発明のポリイミド前駆体から得られるものであり、本発明のポリイミド前駆体を脱水閉環反応（イミド化反応）することで好適に製造することができる。本発明においては、特に限定されず、公知の熱イミド化の方法いずれも好適に適用することができる。得られるポリイミドの形態は、フィルム、ポリイミドフィルムと他の基材との積層体、コーティング膜、粉末、ビーズ、成型体、発泡体などを好適に挙げることができる。
　本発明のポリイミド前駆体から得られるポリイミド、すなわち本発明のポリイミドは、必要に応じて、シリカ等の無機粒子を混合することもできる。無機粒子を混合する方法としては、特に限定されるものではないが、重合溶媒に無機粒子を分散させ、その溶媒中でポリイミド前駆体を重合する方法、ポリイミド前駆体溶液と無機粒子を混合する方法、ポリイミド前駆体溶液と無機粒子分散溶液を混合する方法等がある。
　本発明のポリイミド（本発明のポリイミド前駆体から得られるポリイミド）は、特に限定されないが、フィルムにしたときの５０℃から２００℃までの線熱膨張係数が、好ましくは４０ｐｐｍ／Ｋ以下、より好ましくは３５ｐｐｍ／Ｋ以下、さらに好ましくは３０ｐｐｍ／Ｋ以下、特に好ましくは２５ｐｐｍ／Ｋ以下であり、極めて低い線熱膨張係数を有する。線熱膨張係数が大きいと、金属などの導体との線熱膨張係数の差が大きく、回路基板を形成する際に反りが増大するなどの不具合が生じることがある。
　用途によっては、優れた光透過性を有することが望ましく、本発明のポリイミド（本発明のポリイミド前駆体から得られるポリイミド）は、特に限定されないが、厚さ１０μｍのフィルムでの全光透過率（波長３８０ｎｍ～７８０ｎｍの平均光透過率）が、好ましくは８０％以上、より好ましくは８３％以上、さらに好ましくは８５％以上、特に好ましくは８８％以上であることができる。ディスプレイ用途等で使用する場合、全光透過率が低いと光源を強くする必要があり、エネルギーがかかるといった問題等を生じることがある。
　また、本発明のポリイミド（本発明のポリイミド前駆体から得られるポリイミド）は、特に限定されないが、厚さ１０μｍのフィルムでの波長４００ｎｍにおける光透過率が、好ましくは６５％以上、より好ましくは７０％以上、さらに好ましくは７５％以上、特に好ましくは８０％以上であることができる。
　用途によっては光透過性以外の特性が求められ、厚さ１０μｍのフィルムでの全光透過率、及び、厚さ１０μｍのフィルムでの波長４００ｎｍにおける光透過率が上記の範囲内でなくてもよい場合もある。
　なお、本発明のポリイミドからなるフィルムは、用途にもよるが、フィルムの厚みとしては、好ましくは１μｍ～２５０μｍ、より好ましくは１μｍ～１５０μｍ、さらに好ましくは１μｍ～５０μｍ、特に好ましくは１μｍ～３０μｍである。ポリイミドフィルムを光が透過する用途に使用する場合、ポリイミドフィルムが厚すぎると光透過率が低くなる恐れがある。
　本発明のポリイミド（本発明のポリイミド前駆体から得られるポリイミド）は、特に限定されないが、５％重量減少温度が、好ましくは４７０℃を超え、より好ましくは４８０℃以上であり、さらに好ましくは４９０℃以上であり、特に好ましくは４９５℃以上である。ポリイミド上にトランジスタを形成する等で、ポリイミド上にガスバリア膜等を形成する場合、耐熱性が低いと、ポリイミドとバリア膜との間で、ポリイミドの分解等に伴うアウトガスにより膨れが生じることがある。一般に耐熱性は高い方が好ましいが、用途によっては、耐熱性以外の特性が求められ、５％重量減少温度が４７０℃以下であってもよい場合もある。
　本発明のポリイミド前駆体から得られるポリイミド、すなわち本発明のポリイミドのフィルム、または本発明のポリイミド層を少なくとも１層有する積層体は、ＴＡＢ用フィルム、電気・電子部品用基板、配線基板として好適に使用でき、例えば、プリント回路基板、電力用回路基板、フレキシブルヒーター、抵抗器用基板として好適に使用することができる。また、電気・電子部品用の絶縁膜や保護膜、特に、ＬＳＩ等のベース基材等の線膨張係数が小さい材料上に形成する絶縁膜、保護膜等の用途にも有用である。
　また、特にテトラカルボン酸成分として脂環式テトラカルボン酸成分を用いた場合、高い透明性、折り曲げ耐性、高耐熱性などの優れた特性を有し、さらに極めて低い線熱膨張係数を有することから、ディスプレイ用透明基板、タッチパネル用透明基板、或いは太陽電池用基板の用途において、好適に用いることができる。
　以下では、本発明のポリイミド前駆体を用いた、ポリイミドフィルム／基材積層体、もしくはポリイミドフィルムの製造方法の一例について述べる。ただし、以下の方法に限定されるものではない。
　例えばセラミック（ガラス、シリコン、アルミナ）、金属（銅、アルミニウム、ステンレス）、耐熱プラスチックフィルム（ポリイミド）などの基材に、本発明のポリイミド前駆体のワニスを流延し、真空中、窒素等の不活性ガス中、或いは空気中で、熱風もしくは赤外線を用いて、２０～１８０℃、好ましくは２０～１５０℃の温度範囲で乾燥する。次いで、得られたポリイミド前駆体フィルムを基材上で、もしくはポリイミド前駆体フィルムを基材上から剥離し、そのフィルムの端部を固定した状態で、真空中、窒素等の不活性ガス中、或いは空気中で、熱風もしくは赤外線を用い、２００～５００℃、より好ましくは２５０～４５０℃程度の温度で加熱イミド化することでポリイミドフィルム／基材積層体、もしくはポリイミドフィルムを製造することができる。なお、得られるポリイミドフィルムが酸化劣化するのを防ぐため、加熱イミド化は、真空中、或いは不活性ガス中で行うことが望ましい。加熱イミド化の温度が高すぎなければ空気中で行なっても差し支えない。ここでのポリイミドフィルム（ポリイミドフィルム／基材積層体の場合は、ポリイミドフィルム層）の厚さは、以後の工程の搬送性のため、好ましくは１～２５０μｍ、より好ましくは１～１５０μｍである。
　この様にして得られたポリイミドフィルム／基材積層体、もしくはポリイミドフィルムは、その片面もしくは両面に導電性層を形成することによって、フレキシブルな導電性基板を得ることができる。
　フレキシブルな導電性基板は、例えば次の方法によって得ることができる。すなわち、第一の方法としては、ポリイミドフィルム／基材積層体を基材からポリイミドフィルムを剥離せずに、そのポリイミドフィルム表面に、スパッタ、蒸着、印刷などによって、導電性物質（金属もしくは金属酸化物、導電性有機物、導電性炭素など）の導電層を形成させ、導電性層／ポリイミドフィルム／基材の導電性積層体を製造する。その後必要に応じて、基材より電気導電層／ポリイミドフィルム積層体を剥離することによって、導電性層／ポリイミドフィルム積層体からなるフレキシブルな導電性基板を得ることができる。
　第二の方法としては、ポリイミドフィルム／基材積層体の基材からポリイミドフィルムを剥離して、ポリイミドフィルムを得、そのポリイミドフィルム表面に、導電性物質（金属もしくは金属酸化物、導電性有機物、導電性炭素など）の導電層を、第一の方法と同様にして形成させ、導電性層／ポリイミドフィルム積層体、または導電性層／ポリイミドフィルム／導電性層積層体からなるフレキシブルな導電性基板を得ることができる。
　なお、第一、第二の方法において、必要に応じて、ポリイミドフィルムの表面に導電層を形成する前に、スパッタ、蒸着やゲル－ゾル法などによって、水蒸気、酸素などのガスバリヤ層、光調整層などの無機層を形成しても構わない。
　また、導電層は、フォトリソグラフィ法や各種印刷法、インクジェット法などの方法によって、回路が好適に形成される。
　このようにして得られる基板は、本発明のポリイミドによって構成されたポリイミドフィルムの表面に、必要に応じてガスバリヤ層や無機層を介し、導電層の回路を有するものである。この基板は、フレキシブルであり、折り曲げ性、耐熱性、機械的特性が優れ、さらに高温まで極めて低い線熱膨張係数、優れた耐溶剤性を併せ有するので微細な回路の形成が容易である。
　本発明のポリイミドのフィルム、または本発明のポリイミド層を少なくとも１層有する積層体は、ＴＡＢ用フィルム、電気・電子部品用基板、配線基板として好適に使用でき、例えば、プリント回路基板、電力用回路基板、フレキシブルヒーター、抵抗器用基板として好適に使用することができる。また、電気・電子部品用の絶縁膜や保護膜、特に、ＬＳＩ等のベース基材等の線膨張係数が小さい材料上に形成する絶縁膜、保護膜等の用途にも有用である。
　また、特にテトラカルボン酸成分として脂環式テトラカルボン酸成分（脂環式テトラカルボン酸二無水物など）を用いた本発明のポリイミドは、上記の特性に加え、透明性も高い。したがって、このポリイミドのフィルム、またはポリイミド層を少なくとも１層有する積層体は、ディスプレイ用の基板、タッチパネル用の基板、太陽電池用の基板等として好適に使用することができる。
　すなわち、この基板に、蒸着、各種印刷法、或いはインクジェット法などによって、さらにトランジスタ（無機トランジスタ、有機トランジスタ）が形成されてフレキシブル薄膜トランジスタが製造され、そして、表示デバイス用の液晶素子、ＥＬ素子、光電素子として好適に用いられる。
　以下、実施例及び比較例によって本発明を更に説明する。尚、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
　以下の各例において評価は次の方法で行った。
＜ポリイミド前駆体のワニスの評価＞
　［対数粘度］
　濃度０．５ｇ／ｄＬのポリイミド前駆体の各種溶液を調製し、ウベローデ粘度計を用いて、３０℃で測定し、対数粘度を求めた。
　［イミド化率］
　溶媒にジメチルスルホキシド－ｄ６を用い、日本電子製Ｍ－ＡＬ４００でポリイミド前駆体溶液の１Ｈ－ＮＭＲ測定を行い、芳香族プロトンのピークの積分値とカルボン酸プロトンのピークの積分値の比から、下記式（Ｉ）によってイミド化率［全繰り返し単位に対する化学式（２）で表される繰り返し単位の含有量］を算出した。
　　イミド化率（％）＝｛１－（Ｙ／Ｚ）×（１／Ｘ）｝×１００　　　（Ｉ）
　Ｘ：モノマーの仕込み量から求められる、イミド化率０％の場合のカルボン酸プロトンピークの積分値／芳香族プロトンピークの積分値
　Ｙ：１Ｈ－ＮＭＲ測定から得られるカルボン酸プロトンピークの積分値
　Ｚ：１Ｈ－ＮＭＲ測定から得られる芳香族プロトンピークの積分値
　具体例を下記に示す。
　図１は、比較例３のポリイミド前駆体溶液の１Ｈ－ＮＭＲ測定結果である。横軸の化学シフト７～８．３ｐｐｍ付近のピークは芳香族プロトンのピーク、９．６～１０．６ｐｐｍ付近のピークはアミドプロトンのピーク、１２ｐｐｍ付近のピークはカルボン酸プロトンのピークである。比較例３のポリイミド前駆体は、イミド化が進行しない反応条件下で反応させているため、イミド化率は０％になると考えられる。モノマーの仕込み量から算出した、イミド化率０％の場合の芳香族プロトンピークの積分値とカルボン酸プロトンピークの積分値の比は７：２である。１Ｈ－ＮＭＲ測定結果では、芳香族プロトンピークの積分値とカルボン酸プロトンピークの積分値の比は７：２であり、イミド化率が０％であることが確認された。
　図２は、実施例１９のポリイミド前駆体溶液の１Ｈ－ＮＭＲ測定結果である。化学シフト７～８．３ｐｐｍ付近の芳香族プロトンピークの積分値は７であるのに対して、１２ｐｐｍ付近のカルボン酸プロトンピークの積分値は１．２３であった。上記に示したように、イミド化率０％の場合、芳香族プロトンピークの積分値とカルボン酸プロトンピークの積分値の比は７：２である。実施例１９のポリイミド前駆体溶液の１Ｈ－ＮＭＲ測定結果では、芳香族プロトンピークの積分値とカルボン酸プロトンピークの積分値の比が７：１．２３であった理由はイミド化が進行し、カルボン酸量が減少したためである。
　実施例１９のイミド化率を上記式（Ｉ）によって算出すると、３８．５％となった。
イミド化率（％）＝［１－（１．２３／７）×｛１／（２／７）｝］×１００
　　　　　　　　＝３８．５
＜ポリイミドフィルムの評価＞
　［４００ｎｍ光透過率、全光透過率］
　大塚電子製ＭＣＰＤ－３００を用いて、膜厚約１０μｍのポリイミド膜の４００ｎｍにおける光透過率と、全光透過率（３８０ｎｍ～７８０ｎｍにおける平均透過率）を測定した。測定した４００ｎｍにおける光透過率と、全光透過率を反射率を１０％としてランベルト・ベール式を用いて、１０μｍ厚の４００ｎｍにおける光透過率と、全光透過率を算出した。算出式を下記に示す。
　Ｌｏｇ１０（（Ｔ１＋１０）／１００）＝１０／Ｌ×（Ｌｏｇ１０（（Ｔ１’＋１０）／１００））
　Ｌｏｇ１０（（Ｔ２＋１０）／１００）＝１０／Ｌ×（Ｌｏｇ１０（（Ｔ２’＋１０）／１００））
Ｔ１：反射率を１０％としたときの１０μｍ厚のポリイミドフィルムの４００ｎｍにおける光透過率（％）
Ｔ１’：測定した４００ｎｍにおける光透過率（％）
Ｔ２：反射率を１０％としたときの１０μｍ厚のポリイミドフィルムの全光透過率（％）
Ｔ２’：測定した全光透過率（％）
Ｌ：測定したポリイミドフィルムの膜厚（μｍ）
　［弾性率、破断伸度、破断強度］
　膜厚約１０μｍのポリイミドフィルムをＩＥＣ４５０規格のダンベル形状に打ち抜いて試験片とし、ＯＲＩＥＮＴＥＣ社製ＴＥＮＳＩＬＯＮを用いて、チャック間長３０ｍｍ、引張速度２ｍｍ／分で、初期の弾性率、破断伸度、破断強度を測定した。
　［線熱膨張係数（ＣＴＥ）］
　膜厚約１０μｍのポリイミドフィルムを幅４ｍｍの短冊状に切り取って試験片とし、ＴＭＡ／ＳＳ６１００　（エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社製）を用い、チャック間長１５ｍｍ、荷重２ｇ、昇温速度２０℃／分で５００℃まで昇温した。得られたＴＭＡ曲線から、５０℃から２００℃までの線熱膨張係数を求めた。
　［５％重量減少温度］
　膜厚約１０μｍのポリイミドフィルムを試験片とし、ＴＡインスツルメント社製　熱量計測定装置（Ｑ５０００ＩＲ）を用い、窒素気流中、昇温速度１０℃／分で２５℃から６００℃まで昇温した。得られた重量曲線から、５％重量減少温度を求めた。
　［溶解性試験］
　膜厚約１０μｍのポリイミドフィルムを試験片とし、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミドに５分間浸漬させ、目視で変化のなかったものを○、白濁や溶解があったものを×とした。
　以下の各例で使用した原材料の略称、純度等は、次のとおりである。
　［ジアミン成分］
ＤＡＢＡＮ：　４，４’－ジアミノベンズアニリド〔純度：９９．９０％（ＧＣ分析）〕
ＴＦＭＢ：　２，２’－ビス（トリフルオロメチル）ベンジジン〔純度：９９．８３％（ＧＣ分析）〕
ＰＰＤ：　ｐ－フェニレンジアミン〔純度：９９．９％（ＧＣ分析）〕
ＦＤＡ：　９，９－ビス（４－アミノフェニル）フルオレン
ＢＡＰＢ：　４，４’－ビス（４－アミノフェノキシ）ビフェニル
　［テトラカルボン酸成分］
ＣｐＯＤＡ：ノルボルナン－２－スピロ－α－シクロペンタノン－α’－スピロ－２’’－ノルボルナン－５，５’’，６，６’’－テトラカルボン酸無水物
ＤＮＤＡｘｘ：（４ａｒＨ，８ａｃＨ）－デカヒドロ－１ｔ，４ｔ：５ｃ，８ｃ－ジメタノナフタレン－２ｔ，３ｔ，６ｃ，７ｃ－テトラカルボン酸二無水物〔ＤＮＤＡｘｘとしての純度：９９．２％（ＧＣ分析）〕
ｓ－ＢＰＤＡ：３，３’，４，４’－ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
ＯＤＰＡ：４，４’－オキシジフタル酸無水物
［溶媒］
ＤＭＡｃ：　Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド
ＮＭＰ：　１－メチル－２－ピロリドン
　表１に実施例、比較例で使用したテトラカルボン酸成分、ジアミン成分の構造式を記す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000012
　〔実施例１〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＴＦＭＢ　２．０００ｇ（６．２４６ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の３２．８ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＣｐＯＤＡ　１．６００ｇ（４．１６４ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、イミド化合物を含む溶液を得た。仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は２であり、末端はアミノ基である。その溶液にＤＡＢＡＮ　１．４１９ｇ（６．２４６ミリモル）を入れ、室温で１時間攪拌した。この溶液にＣｐＯＤＡ　３．２０１ｇ（８．３２７ミリモル）を入れ、室温で２４時間攪拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４２０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－１に示す。
　〔実施例２〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＴＦＭＢ　１．５００ｇ（４．６８４ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の２４．７ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＣｐＯＤＡ　１．３５０ｇ（３．５１３ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、イミド化合物を含む溶液を得た。仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は３であり、末端はアミノ基である。その溶液にＤＡＢＡＮ　１．０６５ｇ（４．６８４ミリモル）を入れ、室温で１時間攪拌した。この溶液にＣｐＯＤＡ　２．２５１ｇ（５．８５５ミリモル）を入れ、室温で２４時間攪拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４２０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－１に示す。
　〔実施例３〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＴＦＭＢ　１．５００ｇ（４．６８４ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の２４．７ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＣｐＯＤＡ　１．５７５ｇ（４．０９９ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、イミド化合物を含む溶液を得た。仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は７であり、末端はアミノ基である。その溶液にＤＡＢＡＮ　１．０６５ｇ（４．６８４ミリモル）を入れ、室温で１時間攪拌した。この溶液にＣｐＯＤＡ　２．０２６ｇ（５．２７０ミリモル）を入れ、室温で２４時間攪拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。得られたポリイミド前駆体の対数粘度は０．７ｄＬ／ｇであった。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４２０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－１に示す。
　〔実施例４〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＴＦＭＢ　１．５００ｇ（４．６８４ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の２４．７ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＣｐＯＤＡ　１．６８８ｇ（４．３９１ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、イミド化合物を含む溶液を得た。仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は１５であり、末端はアミノ基である。その溶液にＤＡＢＡＮ　１．０６５ｇ（４．６８４ミリモル）を入れ、室温で１時間攪拌した。この溶液にＣｐＯＤＡ　１．９１３ｇ（４．９７７ミリモル）を入れ、室温で２４時間攪拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４２０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－１に示す。
　〔実施例５〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＴＦＭＢ　１．５００ｇ（４．６８４ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の２４．７ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＣｐＯＤＡ　１．７６４ｇ（４．５９０ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、イミド化合物を含む溶液を得た。仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は４９であり、末端はアミノ基である。その溶液にＤＡＢＡＮ　１．０６５ｇ（４．６８４ミリモル）を入れ、室温で１時間攪拌した。この溶液にＣｐＯＤＡ　１．８３６ｇ（４．７７８ミリモル）を入れ、室温で２４時間攪拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。得られたポリイミド前駆体の対数粘度は０．６ｄＬ／ｇであった。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４２０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－１に示す。
　〔実施例６〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＴＦＭＢ　１．５００ｇ（４．６８４ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の２４．７ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＣｐＯＤＡ　１．７９９ｇ（４．６７９ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、イミド化合物を含む溶液を得た。仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は９９９であり、末端はアミノ基である。その溶液にＤＡＢＡＮ　１．０６５ｇ（４．６８４ミリモル）を入れ、室温で１時間攪拌した。この溶液にＣｐＯＤＡ　１．８０２ｇ（４．６８９ミリモル）を入れ、室温で２４時間攪拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４２０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－１に示す。
　〔実施例７〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＣｐＯＤＡ　３．６０１ｇ（９．３６８ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の２４．７ｇを加え、５０℃で１時間攪拌し、均一な溶液を得た。この溶液にＴＦＭＢ　１．５００ｇ（４．６８４ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、イミド化合物を含む溶液を得た。仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は１であり、末端は酸無水物基である。その溶液にＤＡＢＡＮ　１．０６５ｇ（４．６８４ミリモル）を入れ、室温で２４時間攪拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４２０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－１に示す。
　〔実施例８〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＣｐＯＤＡ　３．０００ｇ（７．８０５ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の２７．４ｇを加え、５０℃で１時間攪拌し、均一な溶液を得た。この溶液にＴＦＭＢ　１．６６６ｇ（５．２０３ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、イミド化合物を含む溶液を得た。仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は２であり、末端は酸無水物基である。その溶液にＤＡＢＡＮ　１．１８３ｇ（５．２０３ミリモル）を入れ、５０℃で５時間撹拌した。その溶液にＣｐＯＤＡ　１．００ｇ（２．６０２ミリモル）を入れ、室温で２４時間攪拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４２０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－１に示す。
　〔実施例９〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＣｐＯＤＡ　２．５００ｇ（６．５０４ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の３０．０ｇを加え、５０℃で１時間攪拌し、均一な溶液を得た。この溶液にＴＦＭＢ　１．８２２ｇ（５．６９１ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、イミド化合物を含む溶液を得た。仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は７であり、末端は酸無水物基である。その溶液にＤＡＢＡＮ　１．２９３ｇ（５．６９１ミリモル）を入れ、５０℃で５時間撹拌した。その溶液にＣｐＯＤＡ　１．８７５ｇ（４．８７８ミリモル）を入れ、室温で２４時間攪拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４２０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－２に示す。
　〔実施例１０〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＣｐＯＤＡ　２．５００ｇ（６．５０４ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の３２．１ｇを加え、５０℃で１時間攪拌し、均一な溶液を得た。この溶液にＴＦＭＢ　１．９５３ｇ（６．０９７ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、イミド化合物を含む溶液を得た。仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は１５であり、末端は酸無水物基である。その溶液にＤＡＢＡＮ　１．３８６ｇ（６．０９７ミリモル）を入れ、５０℃で５時間撹拌した。その溶液にＣｐＯＤＡ　２．１８８ｇ（５．６９１ミリモル）を入れ、室温で２４時間攪拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４２０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－２に示す。
　〔実施例１１〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＣｐＯＤＡ　２．５００ｇ（６．５０４ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の３３．６ｇを加え、５０℃で１時間攪拌し、均一な溶液を得た。この溶液にＴＦＭＢ　２．０４１ｇ（６．３７４ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、イミド化合物を含む溶液を得た。仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は４９であり、末端は酸無水物基である。その溶液にＤＡＢＡＮ　１．４４９ｇ（６．３７４ミリモル）を入れ、５０℃で５時間撹拌した。その溶液にＣｐＯＤＡ　２．４０ｇ（６．２４４ミリモル）を入れ、室温で２４時間攪拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４２０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－２に示す。
　〔実施例１２〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＣｐＯＤＡ　２．５００ｇ（６．５０４ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の３４．２ｇを加え、５０℃で１時間攪拌し、均一な溶液を得た。この溶液にＴＦＭＢ　２．０８１ｇ（６．４９７ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、イミド化合物を含む溶液を得た。仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は９９９であり、末端は酸無水物基である。その溶液にＤＡＢＡＮ　１．４７７ｇ（６．４９７ミリモル）を入れ、５０℃で５時間撹拌した。その溶液にＣｐＯＤＡ　２．４９５ｇ（６．４９１ミリモル）を入れ、室温で２４時間攪拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４２０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－２に示す。
　〔実施例１３〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＴＦＭＢ　３．５５５ｇ（１１．１０１ミリモル）を入れ、ＮＭＰ　３６．１ｇを加え、室温で１時間攪拌し、均一な溶液を得た。この溶液にＣｐＯＤＡ　２．８４４ｇ（７．３９９ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１７０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、５時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却した。その溶液を５００ｍｌの水に滴下し、固体のイミド化合物ＴＦＭＢ５（仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は２であり、末端はアミノ基である。）を析出させ、回収、減圧乾燥した。得られたＴＦＭＢ５　１．６１７ｇ（１．１７３ミリモル）とＤＡＢＡＮ　０．８００ｇ（３．５２０ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の１６．９ｇを加え、室温で１時間攪拌した。その溶液にＣｐＯＤＡ　１．８０４ｇ（４．６９３ミリモル）を入れ、室温で２４時間攪拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。得られたポリイミド前駆体の対数粘度は０．８ｄＬ／ｇであった。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４２０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－２に示す。
　〔実施例１４〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＤＡＢＡＮ　０．７１３ｇ（３．１３６ミリモル）とＴＦＭＢ　１．００４ｇ（３．１３６ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の１６．５ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＣｐＯＤＡ　２．４１１ｇ（６．２７２ミリモル）を徐々に加え、室温で２４時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、１５分間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液（イミド化率：５２％）を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４２０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－２に示す。
　〔実施例１５〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＤＡＢＡＮ　０．７１３ｇ（３．１３６ミリモル）とＴＦＭＢ　１．００４ｇ（３．１３６ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の１６．５ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＣｐＯＤＡ　２．４１１ｇ（６．２７２ミリモル）を徐々に加え、室温で２４時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、１０分間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液（イミド化率：４４％）を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４２０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－２に示す。
　〔比較例１〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＤＡＢＡＮ　０．７１３ｇ（３．１３６ミリモル）とＴＦＭＢ　１．００４ｇ（３．１３６ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の１６．５ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＣｐＯＤＡ　２．４１１ｇ（６．２７２ミリモル）を徐々に加え、室温で２４時間撹拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液（イミド化率：０％）を得た。得られたポリイミド前駆体の対数粘度は０．２ｄＬ／ｇであった。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４２０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－２に示す。
　〔参考例１〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＤＡＢＡＮ　０．７１３ｇ（３．１３６ミリモル）とＴＦＭＢ　１．００４ｇ（３．１３６ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の１６．５ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＣｐＯＤＡ　２．４１１ｇ（６．２７２ミリモル）を徐々に加え、室温で２４時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍｌ添加し、３０分間トルエンを還流させると、析出物が確認された。その後、室温まで冷却したが、析出物はさらに増え、均一なワニスは得られなかった。
　〔実施例１６〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＣｐＯＤＡ　４．５０２ｇ（１１．７１１ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の２９．３ｇを加え、５０℃で１時間攪拌し、均一な溶液を得た。この溶液にＴＦＭＢ　１．５００ｇ（４．６８４ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、イミド化合物を含む溶液を得た。仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は１であり、末端は酸無水物基である。その溶液にＤＡＢＡＮ　１．０６５ｇ（４．６８４ミリモル）とＰＰＤ　０．２５３ｇ（２．３４２ミリモル）を入れ、室温で２４時間攪拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４２０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－３に示す。
　〔実施例１７〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＣｐＯＤＡ　４．５０２ｇ（１１．７１１ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の２９．３ｇを加え、５０℃で１時間攪拌し、均一な溶液を得た。この溶液にＴＦＭＢ　１．５００ｇ（４．６８４ミリモル）とＰＰＤ　０．２５３ｇ（２．３４２ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、イミド化合物を含む溶液を得た。仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は１であり、末端は酸無水物基である。その溶液にＤＡＢＡＮ　１．０６５ｇ（４．６８４ミリモル）とを入れ、室温で２４時間攪拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４２０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－３に示す。
　〔比較例２〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＤＡＢＡＮ　０．３５５ｇ（１．５６１ミリモル）とＴＦＭＢ　０．５０ｇ（１．５６１ミリモル）とＰＰＤ　０．０８４ｇ（０．７８１ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の９．８ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＣｐＯＤＡ　１．５００ｇ（３．９０３ミリモル）を徐々に加え、室温で２４時間撹拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液（イミド化率：０％）を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４２０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－３に示す。
　〔実施例１８〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＴＦＭＢ　１．５００ｇ（４．６８４ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の２１．６ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＤＮＤＡｘｘ　１．２３９ｇ（４．０９９ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、イミド化合物を含む溶液を得た。仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は７であり、末端はアミノ基である。その溶液にＤＡＢＡＮ　１．０６５ｇ（４．６８４ミリモル）を入れ、室温で１時間攪拌した。この溶液にＤＮＤＡｘｘ　１．５９３ｇ（５．２７０ミリモル）を入れ、室温で２４時間攪拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４３０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－３に示す。
　〔実施例１９〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＴＦＭＢ　１．５０ｇ（４．６８４ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の２１．６ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＤＮＤＡｘｘ　１．３８８ｇ（４．５９１ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、イミド化合物を含む溶液を得た。仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は４９であり、末端はアミノ基である。その溶液にＤＡＢＡＮ　１．０６５ｇ（４．６８４ミリモル）を入れ、室温で１時間攪拌した。この溶液にＤＮＤＡｘｘ　１．４４４ｇ（４．７７８ミリモル）を入れ、室温で２４時間攪拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４３０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－３に示す。
　〔実施例２０〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＤＮＤＡｘｘ　３．７７６ｇ（１２．４９１ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の２８．８ｇを加え、５０℃で１時間攪拌し、均一な溶液を得た。この溶液にＴＦＭＢ　２．０００ｇ（６．２４６ミリモル）とＤＡＢＡＮ　０．５６８ｇ（２．４９８ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、イミド化合物を含む溶液を得た。仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は１であり、末端は酸無水物基である。その溶液にＤＡＢＡＮ　０．８５２ｇ（３．７４７ミリモル）を入れ、室温で２４時間攪拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。得られたポリイミド前駆体の対数粘度は０．８ｄＬ／ｇであった。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４３０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－３に示す。
　〔比較例３〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＤＡＢＡＮ　０．８００ｇ（３．５２０ミリモル）とＴＦＭＢ　１．１２７ｇ（３．５２０ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の１６．６ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＤＮＤＡｘｘ　２．１２８ｇ（７．０４０ミリモル）を徐々に加え、室温で２４時間撹拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液（イミド化率：０％）を得た。得られたポリイミド前駆体の対数粘度は０．６ｄＬ／ｇであった。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４３０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－３に示す。
　〔実施例２１〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＤＮＤＡｘｘ　１．７７３ｇ（５．８６７ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　１５質量％となる量の１５．６ｇを加え、５０℃で１時間攪拌し、均一な溶液を得た。この溶液にＤＡＢＡＮ　０．４００ｇ（１．７６０ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、イミド化合物を含む溶液を得た。仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は１であり、末端は酸無水物基である。その溶液にＤＡＢＡＮ　０．２６７ｇ（１．１７３ミリモル）とＰＰＤ　０．３１７ｇ（２．９３３ミリモル）を入れ、室温で２４時間攪拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４３０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－４に示す。
　〔実施例２２〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＤＮＤＡｘｘ　２．１３０ｇ（７．０４８ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　１０質量％となる量の２９．８ｇを加え、５０℃で１時間攪拌し、均一な溶液を得た。この溶液にＤＡＢＡＮ　０．８０１ｇ（３．５２４ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、イミド化合物を含む溶液を得た。仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は１であり、末端は酸無水物基である。その溶液にＰＰＤ　０．３８１ｇ（３．５２４ミリモル）を入れ、室温で２４時間攪拌した。この溶液を減圧濃縮し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４３０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－４に示す。
　〔実施例２３〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＤＡＢＡＮ　１．４００ｇ（６．１６０ミリモル）とＰＰＤ　０．６６６ｇ（６．１６０ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の２３．５ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＤＮＤＡｘｘ　３．７２４ｇ（１２．３２０ミリモル）を徐々に加え、室温で２４時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、１５分間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液（イミド化率：５０％）を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４３０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－４に示す。
　〔実施例２４〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＤＡＢＡＮ　１．４００ｇ（６．１６０ミリモル）とＰＰＤ　０．６６６ｇ（６．１６０ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の２３．５ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＤＮＤＡｘｘ　３．７２４ｇ（１２．３２０ミリモル）を徐々に加え、室温で２４時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、２０分間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液（イミド化率：６９％）を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４３０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－４に示す。
　〔比較例４〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＤＡＢＡＮ　０．８００ｇ（３．５２０ミリモル）とＰＰＤ　０．３８１ｇ（３．５２０ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の１３．４ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＤＮＤＡｘｘ　２．１２８ｇ（７．０４０ミリモル）を徐々に加え、室温で２４時間撹拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液（イミド化率：０％）を得た。得られたポリイミド前駆体の対数粘度は０．７ｄＬ／ｇであった。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４３０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－４に示す。
　〔比較例５〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＤＮＤＡｘｘ　０．７９８ｇ（２．６４０ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　５質量％となる量の２３．６ｇを加え、５０℃で１時間攪拌し、均一な溶液を得た。この溶液にＰＰＤ　０．０２９ｇ（０．２６４ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、イミド化合物を含む溶液を得た。仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は１であり、末端は酸無水物基である。その溶液にＤＡＢＡＮ　０．３００ｇ（１．３２０ミリモル）とＰＰＤ　０．１１４ｇ（１．０５６ミリモル）を入れ、室温で２４時間攪拌した。この溶液を減圧濃縮し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４３０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－４に示す。
　〔比較例６〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＤＮＤＡｘｘ　２．６６０ｇ（８．８００ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　１５質量％となる量の２３．４ｇを加え、５０℃で１時間攪拌し、均一な溶液を得た。この溶液にＤＡＢＡＮ　０．２００ｇ（０．８８０ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、イミド化合物を含む溶液を得た。仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は１であり、末端は酸無水物基である。その溶液にＤＡＢＡＮ　０．８００ｇ（３．５２０ミリモル）とＰＰＤ　０．４７６ｇ（４．４００ミリモル）を入れ、室温で２４時間攪拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。得られたポリイミド前駆体の対数粘度は０．５ｄＬ／ｇであった。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４３０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－４に示す。
　〔実施例２５〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＤＡＢＡＮ　１．４００ｇ（６．１６０ミリモル）とＰＰＤ　０．６６６ｇ（６．１６０ミリモル）を入れ、ＮＭＰを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の２３．５ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＤＮＤＡｘｘ　３．７２４ｇ（１２．３２０ミリモル）を徐々に加え、室温で２４時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、２０分間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液（イミド化率：７３％）を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４３０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－４に示す。
　〔比較例７〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＤＡＢＡＮ　１．４００ｇ（６．１６０ミリモル）とＰＰＤ　０．６６６ｇ（６．１６０ミリモル）を入れ、ＮＭＰを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の２３．５ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＤＮＤＡｘｘ　３．７２４ｇ（１２．３２０ミリモル）を徐々に加え、室温で２４時間撹拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液（イミド化率：０％）を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４３０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－４に示す。
　〔実施例２６〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＤＮＤＡｘｘ　３．５４０ｇ（１１．７１１ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の２５．４ｇを加え、５０℃で１時間攪拌し、均一な溶液を得た。この溶液にＴＦＭＢ　１．５００ｇ（４．６８４ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、イミド化合物を含む溶液を得た。仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は１であり、末端は酸無水物基である。その溶液にＤＡＢＡＮ　１．０６５ｇ（４．６８４ミリモル）とＰＰＤ　０．２５３ｇ（２．３４２ミリモル）を入れ、室温で２４時間攪拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４３０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－５に示す。
　〔実施例２７〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＤＮＤＡｘｘ　５．５４２ｇ（１８．３３４ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の３６．７ｇを加え、５０℃で１時間攪拌し、均一な溶液を得た。この溶液にＴＦＭＢ　１．１７４ｇ（３．６６７ミリモル）とＤＡＢＡＮ　０．５００ｇ（２．２００ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、イミド化合物を含む溶液を得た。仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は１であり、末端は酸無水物基である。その溶液にＤＡＢＡＮ　１．１６７ｇ（５．１３３ミリモル）とＰＰＤ　０．７９３ｇ（７．３３３ミリモル）を入れ、室温で２４時間攪拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。得られたポリイミド前駆体の対数粘度は０．６ｄＬ／ｇであった。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４３０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－５に示す。
　〔実施例２８〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＴＦＭＢ　１．４０９ｇ（４．４００ミリモル）とＤＡＢＡＮ　１．０００ｇ（４．４００ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の４０．０ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＤＮＤＡｘｘ　２．６５７ｇ（８．７９１ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、イミド化合物を含む溶液を得た。仕込みモノマー量から計算されるこのイミド化合物の重合度（ｎ）は９９９であり、末端はアミノ基である。その溶液にＤＡＢＡＮ　１．０００ｇ（４．４００ミリモル）とＰＰＤ　０．９５２ｇ（８．８００ミリモル）を入れ、室温で５時間攪拌し、ＤＮＤＡｘｘ　３．９９３ｇ（１３．２０９ミリモル）室温で２４時間攪拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。得られたポリイミド前駆体の対数粘度は０．７ｄＬ／ｇであった。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４３０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－５に示す。
　〔実施例２９〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＤＮＤＡｘｘ　３．３２５ｇ（１１．０００ミリモル）を入れ、ＤＭＡｃを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の２１．３ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＦＤＡ　０．３８３ｇ（１．１００ミリモル）を徐々に加え、５０℃で５時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、３時間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、５０℃まで冷却した。その溶液にＤＡＢＡＮ　１．０００ｇ（４．４００ミリモル）とＰＰＤ　０．５９５ｇ（５．５００ミリモル）を入れ、５０℃で１０時間攪拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍｌ添加し、１５分間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液を得た。得られたポリイミド前駆体の対数粘度は０．７ｄＬ／ｇであった。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４５０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－５に示す。
　〔実施例３０〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＴＦＭＢ　３．０３２ｇ（９．４６８ミリモル）を入れ、ＮＭＰを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　１５質量％となる量の３２．２７ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にｓ－ＢＰＤＡ　２．７８６ｇ（９．４６８ミリモル）を徐々に加え、室温で２４時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、１５分間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液（イミド化率：５０％）を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４１０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－５に示す。
　〔比較例８〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＴＦＭＢ　３．０３２ｇ（９．４６８ミリモル）を入れ、ＮＭＰを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　１５質量％となる量の３２．２７ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にｓ－ＢＰＤＡ　２．７８６ｇ（９．４６８ミリモル）を徐々に加え、室温で２４時間撹拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液（イミド化率：０％）を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４１０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－５に示す。
　〔実施例３１〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＴＦＭＢ　２．０００ｇ（６．２４６ミリモル）とＤＡＢＡＮ　１．４１９ｇ（６．２４６ミリモル）を入れ、ＮＭＰを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の２９．１８ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＯＤＰＡ　３．８７５ｇ（１２．４９１ミリモル）を徐々に加え、室温で２４時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、１５分間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、均一で粘稠なポリイミド前駆体（イミド化率：４７％）溶液を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４１０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－５に示す。
　〔比較例９〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＴＦＭＢ　２．０００ｇ（６．２４６ミリモル）とＤＡＢＡＮ　１．４１９ｇ（６．２４６ミリモル）を入れ、ＮＭＰを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の２９．１８ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＯＤＰＡ　３．８７５ｇ（１２．４９１ミリモル）を徐々に加え、室温で２４時間撹拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液（イミド化率：０％）を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４１０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－５に示す。
　〔実施例３２〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＤＡＢＡＮ　１．８１８ｇ（８．０００ミリモル）とＰＰＤ　１．１０８ｇ（１．０００ミリモル）とＢＡＰＢ　０．３６８ｇ（１．０００ミリモル）を入れ、ＮＭＰを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の２１．２７ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＤＮＤＡｘｘ　３．０２３ｇ（１０．０００ミリモル）を徐々に加え、室温で２４時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、１５分間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、均一で粘稠なポリイミド前駆体（イミド化率：４３％）溶液を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４３０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－６に示す。
　〔比較例１０〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＤＡＢＡＮ　１．８１８ｇ（８．０００ミリモル）とＰＰＤ　１．１０８ｇ（１．０００ミリモル）とＢＡＰＢ　０．３６８ｇ（１．０００ミリモル）を入れ、ＮＭＰを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の２１．２７ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＤＮＤＡｘｘ　３．０２３ｇ（１０．０００ミリモル）を徐々に加え、室温で２４時間撹拌し、均一で粘稠なポリイミド前駆体溶液（イミド化率：０％）を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４３０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－６に示す。
　〔実施例３３〕
　窒素ガスで置換した反応容器中にＤＡＢＡＮ　１．５９１ｇ（７．０００ミリモル）とＰＰＤ　１．１０８ｇ（１．０００ミリモル）とＢＡＰＢ　０．７３７ｇ（２．０００ミリモル）を入れ、ＮＭＰを、仕込みモノマー総質量（ジアミン成分とカルボン酸成分の総和）が　２０質量％となる量の２１．８３ｇを加え、室温で１時間攪拌した。この溶液にＤＮＤＡｘｘ　３．０２３ｇ（１０．０００ミリモル）を徐々に加え、室温で２４時間撹拌した。その後、１６０℃へ昇温し、トルエンを２５ｍＬ添加し、１５分間トルエンを還流させた後、トルエンを抜き出し、室温まで冷却し、均一で粘稠なポリイミド前駆体（イミド化率：３５％）溶液を得た。
　ＰＴＦＥ製メンブレンフィルターでろ過したポリイミド前駆体溶液をガラス基板に塗布し、窒素雰囲気下（酸素濃度２００ｐｐｍ以下）、そのままガラス基板上で室温から４３０℃まで加熱して熱的にイミド化を行い、無色透明なポリイミドフィルム／ガラス積層体を得た。次いで、得られたポリイミドフィルム／ガラス積層体を水に浸漬した後剥離し、乾燥して、膜厚が約１０μｍのポリイミドフィルムを得た。
　このポリイミドフィルムの特性を測定した結果を表２－６に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000013
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000014
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000015
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000016
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000017
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000018
　本発明によって、熱イミド化によって製造され、延伸操作を行うことなく線熱膨張係数が低いポリイミドが得られるポリイミド前駆体を提供することができる。また、本発明によって、線熱膨張係数が低く、耐熱性、耐溶剤性、機械的特性にも優れたポリイミド、さらには透明性にも優れたポリイミドが得られるポリイミド前駆体を提供することができる。
　本発明のポリイミド前駆体から得られるポリイミドは、高温まで低線熱膨張係数であって微細な回路の形成が容易であり、ＴＡＢ用フィルム、電気・電子部品用基板、配線基板として好適に用いることができ、また、電気・電子部品用の絶縁膜や保護膜としても好適に用いることができる。特にテトラカルボン酸成分として脂環式テトラカルボン酸成分を用いた本発明のポリイミド前駆体から得られるポリイミドは、透明性が高く、且つ高温まで低線熱膨張係数であって微細な回路の形成が容易であり、特にディスプレイ用途などの基板を形成するために好適に用いることができる。すなわち、本発明の本実施形態のポリイミドフィルムは、ディスプレイ用途などの無色透明で微細な回路形成可能な透明基板として好適に用いることができる。

Claims (13)

  1. 　下記化学式（１）で表される繰り返し単位と、下記化学式（２）で表される繰り返し単位とからなり、
    　下記化学式（２）で表される繰り返し単位の含有量が、全繰り返し単位に対して、３０モル％以上９０モル％以下であり、
    　下記化学式（１）および下記化学式（２）中のＢの合計量の５０モル％以上が、下記化学式（３）で表される２価の基、および／または、下記化学式（４）で表される２価の基の１種以上である、熱イミド化によって製造されたことを特徴とするポリイミド前駆体。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
     （式中、Ａは、テトラカルボン酸からカルボキシル基を除いた４価の基であり、Ｂは、ジアミンからアミノ基を除いた２価の基であり、ただし、各繰り返し単位に含まれるＡおよびＢは、同一であっても異なっていてもよい。Ｘ１、Ｘ２はそれぞれ独立に水素、炭素数１～６のアルキル基、または炭素数３～９のアルキルシリル基である。）
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
     （式中、ｍ１は１～３の整数を示し、ｎ１は０～３の整数を示す。Ｖ１、Ｕ１、Ｔ１はそれぞれ独立に水素原子、メチル基、トリフルオロメチル基よりなる群から選択される１種を示し、Ｚ１、Ｗ１はそれぞれ独立に直接結合、または　式：－ＮＨＣＯ－、－ＣＯＮＨ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－で表される基よりなる群から選択される１種を示す。）
  2. 　前記化学式（１）および前記化学式（２）中のＡが、脂環式テトラカルボン酸からカルボキシル基を除いた４価の基の１種以上であることを特徴とする請求項１に記載のポリイミド前駆体。
  3. 　前記化学式（１）および前記化学式（２）中のＡが、芳香族テトラカルボン酸からカルボキシル基を除いた４価の基の１種以上であることを特徴とする請求項１に記載のポリイミド前駆体。
  4. 　下記化学式（５）で表される構造を含むことを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載のポリイミド前駆体。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004
     （式中、ＡおよびＢは前記と同義であり、ｎは１～１０００の整数である。）
  5. 　請求項１～４のいずれかに記載のポリイミド前駆体を含むワニス。
  6. 　化学イミド化剤を含まないことを特徴とする請求項５に記載のワニス。
  7. 　請求項１～４のいずれかに記載のポリイミド前駆体を製造する方法であって、
    　化学イミド化剤を含まない溶媒中で、テトラカルボン酸成分とジアミン成分とを１００℃以上に加熱して熱的に反応させて、前記化学式（２）で表される繰り返し単位を含む可溶性のイミド化合物を含む反応溶液を得る工程と、
    　得られた反応溶液に、テトラカルボン酸成分および／またはジアミン成分を加えて、１００℃未満のイミド化を抑制する条件下で反応を行い、請求項１～４のいずれかに記載のポリイミド前駆体を得る工程と、
    を有することを特徴とする方法。
  8. 　請求項１～４のいずれかに記載のポリイミド前駆体を製造する方法であって、
    　化学イミド化剤を含まない溶媒中で、テトラカルボン酸成分とジアミン成分とを１００℃以上に加熱して熱的に反応させて、前記化学式（２）で表される繰り返し単位を含む可溶性のイミド化合物を含む反応溶液を得る工程と、
    　得られた反応溶液から、前記化学式（２）で表される繰り返し単位を含むイミド化合物を単離する工程と、
    　化学イミド化剤を含まない溶媒に、単離した前記化学式（２）で表される繰り返し単位を含むイミド化合物と、テトラカルボン酸成分および／またはジアミン成分とを加えて、１００℃未満のイミド化を抑制する条件下で反応を行い、請求項１～４のいずれかに記載のポリイミド前駆体を得る工程と、
    を有することを特徴とする方法。
  9. 　請求項１～４のいずれかに記載のポリイミド前駆体を製造する方法であって、
    　化学イミド化剤を含まない溶媒中で、テトラカルボン酸成分とジアミン成分とを１００℃未満のイミド化を抑制する条件下で反応させて、前記化学式（１）で表される繰り返し単位を含む（ポリ）アミック酸化合物を含む反応溶液を得る工程と、
    　前記化学式（１）で表される繰り返し単位を含む（ポリ）アミック酸化合物を含む反応溶液を１００℃以上に加熱して熱的に反応させて、前記化学式（１）で表される繰り返し単位の一部を前記化学式（２）で表される繰り返し単位に変換して、請求項１～４のいずれかに記載のポリイミド前駆体を得る工程と、
    を有することを特徴とする方法。
  10. 　請求項１～４のいずれかに記載のポリイミド前駆体から得られるポリイミド。
  11. 　請求項５または６に記載のワニスを加熱処理して得られるポリイミド。
  12. 　請求項５または６に記載のワニスを加熱処理して得られるポリイミドフィルム。
  13. 　請求項１０または１１に記載のポリイミドを含むＴＡＢ用フィルム、電気・電子部品用基板、配線基板、電気・電子部品用絶縁膜、電気・電子部品用保護膜、ディスプレイ用基板、タッチパネル用基板、または太陽電池用基板。
     
     
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