JP2005284255A - 液晶表示素子 - Google Patents

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Abstract

【課題】保護膜として無機絶縁膜を使用する液晶表示素子の構造において、ブラックマトリックス層の線幅を減らして開口率を向上させ、画像品質を向上させる液晶表示素子を提供する。
【解決手段】第1基板511上に形成されたゲート配線512と、ゲート配線512を含む全面に形成されたゲート絶縁膜513と、ゲート絶縁膜513上でゲート配線512に交差して画素を定義するデータ配線515と、ゲート配線512及びデータ配線515の交差地点に形成された薄膜トランジスターと、薄膜トランジスターを含む全面に形成された保護膜516と、保護膜516上に形成されて薄膜トランジスターのドレイン電極に接続される画素電極517と、データ配線515と画素電極517との間の寄生キャパシタンスを防止するためにデータ配線515と画素電極517との間に形成され、電圧が印加される遮光金属532とを含む。
【選択図】図4

Description

本発明は、液晶表示素子に関し、特に開口率を高めて寄生キャパシタンスを減らすための液晶表示素子に関するものである。
平板表示素子として最近脚光を浴びている液晶表示素子は、コントラスト比が大きくて、階調表示や動画像表示に適しており、電力消費が少ないという長所のため活発な研究が行われている。
特に、薄い厚さで製作可能であり、将来壁掛けTVのような超薄形表示装置として使用できるばかりでなく、軽量で電力消費もCRTブラウン管に比べて相当に少ないため、バッテリーで動作するノートパソコンのディスプレー、個人携帯電話端末機、TV、航空用モニターに用いられるなど、次世代表示装置として脚光を浴びている。
このような液晶表示素子は、一般的にゲート配線及びデータ配線によって定義された各画素領域に薄膜トランジスター、画素電極、及びストレージキャパシターが形成された薄膜トランジスターアレイ基板と、カラーフィルター層及び共通電極が形成されたカラーフィルターアレイ基板と、前記両基板の間に介在する液晶層とで構成され、電極に電圧を印加して液晶層の液晶分子を再配列させることで透過される光の量を調節して画像を表示する。
以下、図面を参照にして従来技術に係る液晶表示素子を具体的に説明すると、次の通りである。
図1は、従来技術に係る液晶表示素子の平面図で、図2は、図1のI−I´線上での液晶表示素子の断面図である。
液晶表示素子は、薄膜トランジスターアレイ基板111とカラーフィルターアレイ基板121とが一定の間隔を持って貼り合わせられ、前記貼り合わせられた両基板の間に液晶層131が形成される。そして、このような液晶表示素子は、非発光表示素子であるので、前記貼り合わせられた両基板に均一な光源を提供するためのバックライト150が別途必要となる。よって、前記薄膜トランジスターアレイ基板111の下側に前記バックライト150が具備される。
前記液晶表示素子の薄膜トランジスターアレイ基板111には、図1及び図2に示したように、画素領域を定義するため、互いに垂直した方向に配列されるゲート配線112及びデータ配線115と、前記各画素領域に形成されて印加されるデータ信号によって液晶層に信号電圧をかける画素電極117と、前記ゲート配線112及びデータ配線115が交差する部分に形成され、前記ゲート配線112に印加されるスキャン信号によってターンオン又はターンオフされて前記データ配線に印加された前記データ信号を前記画素電極117へ伝達する薄膜トランジスター(TFT)と、レベル−シフト電圧を小さくして非選択期間の間に画素情報を維持するストレージキャパシターが具備されている。
この時、前記ゲート配線112とデータ配線115との間には、絶縁膜のゲート絶縁膜113が更に具備され、前記薄膜トランジスターと画素電極との間には、保護膜116が更に具備される。
よって、前記薄膜トランジスター(TFT)アレイ基板は、前記ゲート配線112から分岐するゲート電極112aと、前記ゲート電極112aを含む全面に形成されたゲート絶縁膜113と、前記ゲート電極上部のゲート絶縁膜上に形成された半導体層114と、前記データ配線115から分岐して前記半導体層114の両端にそれぞれ形成されるソース電極115a及びドレイン電極115bとで構成され、前記ドレイン電極115bは、前記保護膜116を貫いて前記画素電極117に接続され、画素電極に電圧を印加する。
そして、ストレージキャパシター(Cst)は、キャパシター電極126、画素電極117、ゲート絶縁膜113、及び保護膜116からなる。ここで、キャパシター電極126は、前記ゲート配線112と同一層に前記ゲート配線112に平行して形成される。さらに、ゲート絶縁膜113及び保護膜116は、前記キャパシター電極126と画素電極117との間に介在する。従って、薄膜トランジスターのターンオフ区間の間、液晶に充電された電荷が維持される。
前記ストレージキャパシター(Cst)は、図面には示していないが、ゲート配線の所定領域をキャパシター電極に活用して、ゲート配線の上部に形成されることもある。
通常、ストレージキャパシターは、互いに対向するキャパシターの上・下部電極の間に絶縁層が形成された構造を有するが、前記キャパシター電極126は、キャパシター下部電極の役割を果たし、前記ゲート絶縁膜113及び保護膜116は、絶縁層の役割を果たし、そして前記キャパシター電極126にオーバーラップする画素電極117の所定の領域は、キャパシター上部電極の役割を果たす。
この時、前記ゲート絶縁膜113は、誘電率が7.5程度のシリコン窒化物(SiNx)、シリコン酸化物(SiOx)などの無機材料を使って1500〜5000Åの厚さで形成され、前記保護膜116は、3.4の低誘電率であるBCB(BenzoCycloButene)、アクリル係物質のような有機材料を使用して3〜5μm程度の厚さで形成される。
上記のように、前記保護膜116をBCBのような有機絶縁膜で形成する場合には、データ配線層及び画素電極の間の寄生キャパシタンスを減少させることができる。よって、画素電極117を前記データ配線にオーバーラップさせて高開口率構造を具現することができる。
しかし、前記BCBのような有機絶縁膜を保護膜として使用する場合には、前記保護膜116が厚くなるので、モバイルフォンモデルのように小型モデルの液晶表示装置では、有機絶縁膜を保護膜として使用することができない。
よって、小型モデルの液晶表示装置では、保護膜としてシリコン窒化膜のような無機絶縁膜を保護膜として使用する。このように、誘電率が相対的に高い無機絶縁膜を保護膜として使用するようになると、前記保護膜として有機絶縁膜を使用する場合より前記寄生キャパシタンスが増加するので、前記画素電極をデータ配線にオーバーラップさせることができない。
もし前記データ配線と画素電極との間の寄生キャパシタンスが増加すると、前記寄生キャパシタンスは、液晶に印加される交流電圧に対して直流電圧オフセット、即ち△Vpを誘発させるが、このような直流電圧オフセットは、液晶表示素子において、画面のちらつき、イメージの固着、画面明度の不均一性など不良効果を引き起こすようになる。
一方、前記薄膜トランジスターアレイ基板111に対向するカラーフィルターアレイ基板121は、一定の順序で配列され色相を具現する赤(R)、緑(G)、青(B)のカラーフィルター層123と、R、G、Bセル間の区分と光遮断の役割をするブラックマトリックス層122と、液晶層131に電圧を印加するための共通電極124とで構成されている。
この時、前記カラーフィルター層123は、通常、R、G、Bの色素を有する画素が配列されるが、各サブ画素が一つの色素を有してそれぞれ独立的に駆動し、これらの組合せによって一つの画素の色が表示される。
そして、前記ブラックマトリックス層122は、通常、サブ画素の周縁及びTFTアレイ基板の薄膜トランジスターが形成される領域に相応するように形成され、不安定な電界を有する領域での光漏れを遮光する役割を果たす。
ここで、上述したように、保護膜で無機絶縁膜を使用する場合には、画素電極を前記データ配線にオーバーラップさせることができないので、前記画素電極とデータ配線との間の光漏れ現象を防止するために、前記ブラックマトリックス層122と画素電極117とがオーバーラップするようにする。この時、前記画素電極117は、薄膜トランジスターアレイ基板に形成され、前記ブラックマトリックス層122は、カラーフィルターアレイ基板に形成されるので、前記ブラックマトリックス層122は、光漏れを防止するための貼り合わせマージンが必要である。よって、貼り合わせ装置によって貼り合わせマージンが変わることがあるが、図2に示したように、ブラックマトリックス層122と画素電極117とが最小限5μm〜6.7μm程度オーバーラップするように形成する。
しかしながら、上記のような従来技術に係る液晶表示素子においては、次のような問題点がある。
第一に、保護膜で無機絶縁膜を使用する場合には、前記画素電極が隣接したデータ配線にオーバーラップするように形成することができないので、前記画素電極とデータ配線の光漏れを防止するために、前記ブラックマトリックス層が前記画素電極にオーバーラップするよう、十分な貼り合わせマージンを有するように形成される。よって、前記貼り合わせマージンによってブラックマトリックス層の面積が大きくなり、結局液晶表示素子の開口率が落ちるようになる。
第二に、前記保護膜として無機絶縁膜を使用するようになるので、前記画素電極が隣接したデータ配線にオーバーラップしないように画素電極を形成するが、保護膜の誘電率が有機絶縁膜より高いため、前記画素電極とデータ配線との間で寄生キャパシタンスが発生するようになり、前記寄生キャパシタンスによってデータ電圧レベルが減少するソースディレーが発生して、前記ソースディレーによる輝度変化が発生する垂直クロストーク現象が発生して画像品質を低下させる。
本発明は上記のような問題点を解決するために案出されたもので、保護膜として無機絶縁膜を使用する液晶表示素子の構造において、光を遮断すると同時に前記データ配線と画素電極との間で発生する寄生キャパシタンスを最小化することのできる遮光金属を前記データ配線と画素電極との間に追加で配置して、前記ブラックマトリックス層の線幅を減らして開口率を向上させ、前記データ配線と画素電極との間の寄生キャパシタンスを最小化して画像品質を向上させることのできる液晶表示素子を提供することにその目的がある。
上記目的を達成するための本発明に係る液晶表示素子は、第1基板上に形成されたゲート配線と、前記ゲート配線を含む全面に形成されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上で前記ゲート配線に交差して画素を定義するデータ配線と、前記ゲート配線及びデータ配線の交差地点に形成された薄膜トランジスターと、前記薄膜トランジスターを含む全面に形成された保護膜と、前記保護膜上に形成されて前記薄膜トランジスターのドレイン電極に接続される画素電極と、前記データ配線と前記画素電極との間の寄生キャパシタンスを防止するために前記データ配線と前記画素電極との間に形成され、電圧が印加される遮光金属とを含んで構成されることを特徴とする。
ここで、前記遮光金属は、前記データ配線に沿って前記ゲート配線から突出して前記ゲート配線と一体に形成されることを特徴とする。
前記ゲート配線に平行する共通配線を更に具備し、前記遮光金属は、前記データ配線に沿って前記共通配線から突出して前記共通配線と一体に形成されることを特徴とする。
前記保護膜は、シリコン窒化膜又はシリコン酸化膜などの無機絶縁物質で形成されることを特徴とする。
前記第1基板に対向する第2基板上にブラックマトリックス、カラーフィルター層及び共通電極が更に具備されることを特徴とする。
前記ブラックマトリックス層の角は、前記遮光金属の角と同一線上に位置することを特徴とする。
前記遮光金属は、前記画素電極と前記データ配線にそれぞれオーバーラップすることを特徴とする。
前記遮光金属は、前記画素電極とオーバーラップし、前記データ配線の角と対応するように前記遮光金属の角が位置合わせされることを特徴とする。
本発明に係る液晶表示素子においては、次のような効果がある。
前記データ配線及び画素電極の間に前記画素電極とデータ配線にそれぞれオーバーラップするように遮光金属を形成し、前記遮光金属がゲート配線又は共通配線に接続されるようにして前記遮光金属に電圧が印加されるので、前記データ配線と画素電極との間の寄生キャパシタンスが9.760E−18[F/μm]まで減少した。参照までに、従来の無機絶縁膜を保護膜として使用した4マスク液晶表示素子におけるデータ配線と画素電極との間の寄生キャパシタンスは、2.876E−17[F/μm]であった。
よって、垂直クロストーク問題が改善され、寄生キャパシタンスによる画面のちらつき、イメージ固着などの問題も改善され画質が向上する。
第二に、前記データ配線と画素電極との間に、前記画素電極とデータ配線にそれぞれオーバーラップするように遮光金属を形成するので、前記データ配線と画素電極との間の光漏れが防止されるので、ブラックマトリックス層の貼り合わせマージンを減らすことができると共に、ブラックマトリックス層の面積が減少するので液晶表示素子の開口率を向上させることができる。
第三に、寄生キャパシタンスが減少するので、保護膜として無機絶縁物質を使用することができるようになって、保護膜を形成するための工程が容易となり、段差が低くなる。
第四に、保護膜としてBCBのように高価な有機絶縁膜を使用しないので、単価が低廉となる。
以下、本発明に係る液晶表示素子の好適な実施例について、添付の図面を参照にして詳細に説明する。
実施例1
図3は、本発明の実施例1による液晶表示素子の平面図で、図4は、図3のII−II´線上での液晶表示素子の断面図である。
本発明の実施例1による液晶表示素子は、図3及び図4に示したように、薄膜トランジスターアレイ基板511とカラーフィルターアレイ基板521とが一定の間隔を持って貼り合わせられ、前記貼り合わせられた両基板511、521の間に液晶層531が形成される。そして、上記のように貼り合わせられた基板に均一な光源を供給するバックライト550が前記薄膜トランジスターアレイ基板511の下部に形成される。
ここで、前記薄膜トランジスターアレイ基板511上には、図3及び図4に示したように、画素領域を定義するために、互いに垂直した方向に配列されるゲート配線512及びデータ配線515と、前記ゲート配線512及びデータ配線515の間に形成されたゲート絶縁膜513と、前記ゲート配線512とデータ配線515とが交差する部分で前記ゲート配線512から突出するゲート電極512aと、前記ゲート電極512aの上側の前記ゲート絶縁膜513上に形成される半導体層514と、前記データ配線515から突出して前記半導体層514にオーバーラップするソース電極515aと、前記ソース電極に対向するように前記半導体層514にオーバーラップするドレイン電極515bと、前記ソース/ドレイン電極を含む基板の全面に形成される保護膜516と、前記ドレイン電極515b上の保護膜516に形成されるコンタクトホール518と、前記保護膜のコンタクトホール518を介して前記ドレイン電極515bに接続されるように各画素領域にITO又はIZOの透明導電物質で形成され、画素電極517と、光漏れを防止し、前記画素電極517とデータ配線515との間の寄生キャパシタンスを防止するために前記ゲート配線512から突出して前記データ配線515方向に沿って前記データ配線515と画素電極517との間に形成される遮光金属532とが具備される。
ここで、前記保護膜516は、蒸着が容易でその厚さが薄くて段差の問題がないシリコン窒化物(SiNx)又はシリコン酸化物(SiOx)などの無機絶縁膜で形成され、前記遮光金属532及びゲート配線512は、低い比抵抗を持って光を遮光可能な銅(Cu)、アルミニウム(Al)、アルミニウムネオジム(AlNd)、モリブデン(Mo)、クロム(Cr)、チタニウム(Ti)、タンタリウム(Ta)、モリブデン−タングステン(MoW)などの低抵抗金属層で形成される。
そして、前記薄膜アレイ基板511に対向するカラーフィルターアレイ基板521上には、クロム酸化物(CrOx)、クロム(Cr)、カーボン系統の有機物質で画素端と薄膜トランジスター領域とにオーバーラップするように形成されて光漏れを防止するブラックマトリックス層522と、前記ブラックマトリックス層522の間に形成されてR、G、Bの色相を表現するカラーフィルター層523と、前記カラーフィルター層523の上部に形成されて画素電極517と共に液晶を制御するための電界を形成する共通電極524とが具備される。
この時、前記遮光金属532は、前記データ配線515に沿って形成されるが、前記ゲート配線512と同一の物質で前記ゲート配線と同一層に形成され、前記データ配線515と前記画素電極517との間に形成される。前記遮光金属532は、電界を印加できるように、前記ゲート配線512と一体に形成され、前記データ配線515と画素電極517とにそれぞれオーバーラップするように形成されるか、前記画素電極517にオーバーラップして前記ブラックマトリックス層522の角と前記遮光金属532の角とが同一線上に位置するように形成される。
このように、前記遮光金属532がゲート配線512に接続され、一定の電圧が印加されて一定の電界を形成するので、前記遮光金属532による電界効果によって、データ配線515と画素電極517との間に形成される寄生キャパシタンスが従来に比べて減少するようになる。すなわち、電界が印加される前記遮光金属532が、前記データ配線515と画素電極517との間に、前記データ配線515と画素電極517とにそれぞれオーバーラップするように形成されるので、前記遮光金属532とデータ配線515との間に寄生キャパシタンスが形成され、前記遮光金属532と画素電極517との間にも寄生キャパシタンスが形成される。
従って、前記遮光金属532によって前記データ配線515と画素電極517との間に形成される寄生キャパシタンスが減少し、前記データ配線と画素電極との間の寄生キャパシタンスの減少によって垂直クロストーク問題などが改善され、画質が向上する。
また、同一の基板(薄膜トランジスターアレイ基板)上で、前記データ配線と画素電極との間に遮光金属532が形成されるので、前記遮光金属532によって前記データライン515と画素電極517との間の光漏れ現象が防止される。よって、前記カラーフィルターアレイ基板521に形成されるブラックマトリックス層522と、前記薄膜トランジスターアレイ基板511に形成される画素電極517との貼り合わせマージンを減らすることができ、結局前記ブラックマトリックス層522の面積を減らせるようになるので、画素の透過領域が広くなる。
即ち、従来は、前記ブラックマトリックス層522と前記画素電極517との貼り合わせマージンを5μm以上にしたが、本発明では、5μm以下(1〜3.5μm程度)に減らすことができる。前記ブラックマトリックス層の角部分が前記遮光金属層と位置合わせされるようにすると、液晶表示素子の開口率を最大に増加させることができる。
上記のような本発明の技術的思想を120〜150ppi級モバイルフォンモデルの液晶表示素子に適用した結果、開口率が最大18%上昇し、現在180ppi級モバイルフォンモデルに対しても拡大して適用している。
即ち、本発明に係る遮光金属532は、前記データ配線と画素電極との間の寄生キャパシタンスを減少させると同時に、前記データ配線と画素電極との間の光漏れを防止する役割を果たすので、前記ブラックマトリックス層522の面積を減らして開口率を高めるような役割を果たす。
一方、前記遮光金属は、ゲート配線の前面に接続して電圧を印加してもよく、別途の共通配線を追加形成した後、前記共通配線に接続して電圧を印加してもよい。
このように遮光金属がストレージ配線に接続される構造を有する本発明の実施例2及び実施例3を説明すると次の通りである。
実施例2
図5は、本発明の実施例2による液晶表示素子の平面図で、ある。
本発明の実施例2による液晶表示素子は、本発明の実施例1において、遮光金属532がゲート配線512の前面でデータ配線515に沿って形成されるものではない。図5に示したように、別途の共通配線526を前記ゲート配線512に平行して画素領域に形成し、前記データ配線515に沿って、前記共通配線526から突出するように遮光金属532を形成したものである。
即ち、残りの構成は、本発明の実施例1と同じで、前記データ配線515と画素電極517との間に前記データ配線515に沿って、共通配線526から突出するように遮光金属532を形成する。この時、前記遮光金属532は、電界を印加できるように前記共通配線526と一体に形成され、前記データ配線515と画素電極517とにそれぞれオーバーラップするように形成されるか、前記画素電極517にオーバーラップして前記ブラックマトリックス層522の角と前記遮光金属532の角とが同一線上に位置するように形成される。
実施例3
図6は、本発明の実施例3による液晶表示素子の平面図である。本発明の実施例3の液晶表示素子は、画素領域に共通配線を形成する段階までは実施例2と同様である。しかし、本発明の実施例3は、図6に示したように、前記ゲート配線512に隣接した所に前記ゲート配線512と平行するように共通配線526を追加形成し、前記データ配線515に沿って、前記共通配線526から突出するように遮光金属532を形成して前記遮光金属532に電圧を印加できるようにしたものである。
同様に、本発明の実施例3でも前記遮光金属532が前記データ配線515と画素電極517との間に形成され、前記データ配線515と画素電極517とにそれぞれオーバーラップするように形成されるか、前記画素電極517にはオーバーラップして前記ブラックマトリックス層522の角と前記遮光金属532の角とが同一線上に位置するように形成される。
上記で説明した本発明の実施例1の液晶表示素子は、ストレージオンゲート構造の薄膜アレイ基板を表したもので、本発明の実施例2、実施例3の液晶表示素子は、ストレージオン共通電極構造の薄膜アレイ基板を表したものである。
従来技術に係る液晶表示素子の平面図である。 図1のI−I´線上での液晶表示素子の断面図である。 本発明の実施例1による液晶表示素子の平面図である。 図3のII−II´線上での液晶表示素子の断面図である。 本発明の実施例2による液晶表示素子の平面図である。 本発明の実施例3による液晶表示素子の平面図である。
符号の説明
511 薄膜アレイ基板、512 ゲート配線、512a ゲート電極、513 ゲート絶縁膜、514 半導体層、515 データ配線、515a ソース電極、515b ドレイン電極、516 保護膜、517 画素電極、521 カラーフィルター基板、522 ブラックマトリックス、523 カラーフィルター層、524 共通電極、526 共通配線、531 液晶層、532 遮光金属、550 バックライト。

Claims (10)

  1. 第1基板上に形成されたゲート配線と、
    前記ゲート配線を含む全面に形成されたゲート絶縁膜と、
    前記ゲート絶縁膜上で前記ゲート配線に交差して画素を定義するデータ配線と、
    前記ゲート配線及び前記データ配線の交差地点に形成された薄膜トランジスターと、
    前記薄膜トランジスターを含む全面に形成された保護膜と、
    前記保護膜上に形成されて前記薄膜トランジスターのドレイン電極に接続される画素電極と、
    前記データ配線と前記画素電極との間の寄生キャパシタンスを防止するために前記データ配線と前記画素電極との間に形成され、電圧が印加される遮光金属と
    を含んで構成されることを特徴とする液晶表示素子。
  2. 前記遮光金属は、前記データ配線に沿って前記ゲート配線から突出して前記ゲート配線と一体に形成されることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示素子。
  3. 前記ゲート配線に平行する共通配線を更に具備することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示素子。
  4. 前記遮光金属は、前記データ配線に沿って前記共通配線から突出して前記共通配線と一体に形成されることを特徴とする請求項3に記載の液晶表示素子。
  5. 前記保護膜は、無機絶縁物質であることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示素子。
  6. 前記無機絶縁物質は、シリコン窒化膜又はシリコン酸化膜を含むことを特徴とする請求項5に記載の液晶表示素子。
  7. 前記第1基板に対向する第2基板上にブラックマトリックス、カラーフィルター層及び共通電極が更に具備されることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示素子。
  8. 前記ブラックマトリックス層の角は、前記遮光金属の角と同一線上に位置することを特徴とする請求項7に記載の液晶表示素子。
  9. 前記遮光金属は、前記画素電極と前記データ配線にそれぞれオーバーラップすることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示素子。
  10. 前記遮光金属は、前記画素電極とオーバーラップし、前記データ配線の角と対応するように前記遮光金属の角が位置合わせされることを特徴とする請求項9に記載の液晶表示素子。
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