JPH04203994A - 超音波探触子 - Google Patents
超音波探触子Info
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- JPH04203994A JPH04203994A JP2333847A JP33384790A JPH04203994A JP H04203994 A JPH04203994 A JP H04203994A JP 2333847 A JP2333847 A JP 2333847A JP 33384790 A JP33384790 A JP 33384790A JP H04203994 A JPH04203994 A JP H04203994A
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- Japan
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- piezoelectric element
- electrode
- conductor
- lead wire
- ultrasonic probe
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Links
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Landscapes
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、ソナーや超音波診断装置などのセンサとして
用いる超音波探触子に関する。
用いる超音波探触子に関する。
従来の技術
最近、水や生体を対象としたソナーや超音波診断装置な
とのセンサである超音波探触子に用いる圧電素子として
、高効率化を図るたぬ、音響インピーダンスを水や生体
に近づけた圧電体と有機物を複合化した複合圧電素子の
検討が行なわれ、更に、この複合圧電素子を用いて超音
波探触子を構成する検討も行なわれている。このような
複合圧電素子を用いた従来の超音波探触子として、例え
ば、特開昭60−85700号公報に記載の構成が知ら
れている。以下、上記従来の超音波探触子について第4
図に示す概略断面図を参照しながら説明する。
とのセンサである超音波探触子に用いる圧電素子として
、高効率化を図るたぬ、音響インピーダンスを水や生体
に近づけた圧電体と有機物を複合化した複合圧電素子の
検討が行なわれ、更に、この複合圧電素子を用いて超音
波探触子を構成する検討も行なわれている。このような
複合圧電素子を用いた従来の超音波探触子として、例え
ば、特開昭60−85700号公報に記載の構成が知ら
れている。以下、上記従来の超音波探触子について第4
図に示す概略断面図を参照しながら説明する。
第4図に示すように、−次元のつながりを有する圧電セ
ラミックと、三次元のつながりを有する有機物で構成し
たいわゆる1−3型の複合圧電素子41の背面と前面に
それぞれ信号電極42とアース電極43が設けられ、各
電極42.43の外側の一部にリード線44.45が接
続されている。信号電極42の背面にはバッキング材4
6が設けられ、アース電極43の前面にはこのアース電
極43の剥離を防止する保護膜47が設けられている。
ラミックと、三次元のつながりを有する有機物で構成し
たいわゆる1−3型の複合圧電素子41の背面と前面に
それぞれ信号電極42とアース電極43が設けられ、各
電極42.43の外側の一部にリード線44.45が接
続されている。信号電極42の背面にはバッキング材4
6が設けられ、アース電極43の前面にはこのアース電
極43の剥離を防止する保護膜47が設けられている。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、このような従来の複合圧電素子を用いた
超音波探触子では、複合圧電素子24の両面に設けた電
極42.43の外側(外周部)の一部からそれぞれリー
ド線44.45を取り出しているため、この超音波探触
子から放射される超音波の音場は、リード線44.45
の取り出し部と他の部分とでは複合圧電素子41にかか
る音響的な負荷が異なるために乱れる。また、アース電
極43側からリード線45を取り出す部分は、アース電
極43面より高さが高くなり、保護膜47を均一な厚み
に形成することができな(なり、上記と同様に超音波の
音場が乱れ、音場の対称性がなくなる。したがって、所
望の超音波音場を得ることができなくなり、しかも、サ
イドローブも増加し、分解能を劣化させるなどの問題が
あった。このような問題は複合圧電素子を用いた場合に
限らず、圧電セラミック単体等を用いた場合でも同様で
ある。
超音波探触子では、複合圧電素子24の両面に設けた電
極42.43の外側(外周部)の一部からそれぞれリー
ド線44.45を取り出しているため、この超音波探触
子から放射される超音波の音場は、リード線44.45
の取り出し部と他の部分とでは複合圧電素子41にかか
る音響的な負荷が異なるために乱れる。また、アース電
極43側からリード線45を取り出す部分は、アース電
極43面より高さが高くなり、保護膜47を均一な厚み
に形成することができな(なり、上記と同様に超音波の
音場が乱れ、音場の対称性がなくなる。したがって、所
望の超音波音場を得ることができなくなり、しかも、サ
イドローブも増加し、分解能を劣化させるなどの問題が
あった。このような問題は複合圧電素子を用いた場合に
限らず、圧電セラミック単体等を用いた場合でも同様で
ある。
本発明は、このような従来の問題を解決するものであり
、超音波の音場に対称性を持たせて所望の音場を形成す
ることができ、しかも、サイドローブを小さくすること
ができ、したがって、高分解能化を図ることができるよ
うにした超音波探触子を提供することを目的とするもの
である。
、超音波の音場に対称性を持たせて所望の音場を形成す
ることができ、しかも、サイドローブを小さくすること
ができ、したがって、高分解能化を図ることができるよ
うにした超音波探触子を提供することを目的とするもの
である。
課題を解決するための手段
上記目的を達成するための本発明の技術的解決手段は、
圧電素子と、この圧電素子の一部に設けられた導体と、
上記圧電素子の一方の面に上記導体と電気的に接続され
て設けられた第1の電極と、上記圧電素子の他方の面に
上記導体を避けるように設けられた第2の電極と、上記
導体に上記第2の電極側で接続されたリード線と、上記
第2の電極に接続されたリード線と、上記第1の電極面
上に設けられた音響整合層とを備えたものである。
圧電素子と、この圧電素子の一部に設けられた導体と、
上記圧電素子の一方の面に上記導体と電気的に接続され
て設けられた第1の電極と、上記圧電素子の他方の面に
上記導体を避けるように設けられた第2の電極と、上記
導体に上記第2の電極側で接続されたリード線と、上記
第2の電極に接続されたリード線と、上記第1の電極面
上に設けられた音響整合層とを備えたものである。
そして、上記導体を圧電素子の厚み方向につながりを有
するように設け、また、圧電素子の中心付近に設けるこ
とができる。
するように設け、また、圧電素子の中心付近に設けるこ
とができる。
また、上記圧電素子として、圧電体と有機高分子から成
る複合圧電素子を用いることができ、また、この複合圧
電素子として、圧電体と有機高分子がO−3型、1−3
型のいずれかの構造を有するものを用いることができる
。
る複合圧電素子を用いることができ、また、この複合圧
電素子として、圧電体と有機高分子がO−3型、1−3
型のいずれかの構造を有するものを用いることができる
。
作用
したがって、本発明によれば、第1の電極側のリード線
を圧電素子の一部に設けた導体に第2の電極側で接続し
ているので、第1の電極側のリード線取り出し部を極め
て小さくすることができ、しかも、第1の電極面上を平
坦にすることができる。これにより音響整合層を介して
リード線取り出し部分と他の部分から放射する超音波を
ほぼ同じ振幅にすることができ、超音波を放射する音場
は乱れることがなくなり、所望の音場を形成することが
でき、しかも、サイドローブを小さくすることができる
。
を圧電素子の一部に設けた導体に第2の電極側で接続し
ているので、第1の電極側のリード線取り出し部を極め
て小さくすることができ、しかも、第1の電極面上を平
坦にすることができる。これにより音響整合層を介して
リード線取り出し部分と他の部分から放射する超音波を
ほぼ同じ振幅にすることができ、超音波を放射する音場
は乱れることがなくなり、所望の音場を形成することが
でき、しかも、サイドローブを小さくすることができる
。
実施例
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明
する。
する。
第1図ないし第3図は本発明の一実施例における超音波
探触子を示し、第1図は概略断面図、第2図は電極を設
けた複合圧電素子の一部切欠平面図、第3図は電極を設
けた複合圧電素子の断面図である。
探触子を示し、第1図は概略断面図、第2図は電極を設
けた複合圧電素子の一部切欠平面図、第3図は電極を設
けた複合圧電素子の断面図である。
第1図ないし第3図に示すように、複合圧電素子1は多
数の柱状の圧電体エレメント2が二次元(all!目状
)に配列され、これらの圧電体工レメント2はその間隙
に有機高分子3が充填され、硬化されて接合されている
。圧電体エレメント2はPZT系、PbTl0.系など
の圧電セラミックから成り、有機高分子3はシリコーン
ゴム、ポリウレタンおよびエポキシ樹脂などから成る。
数の柱状の圧電体エレメント2が二次元(all!目状
)に配列され、これらの圧電体工レメント2はその間隙
に有機高分子3が充填され、硬化されて接合されている
。圧電体エレメント2はPZT系、PbTl0.系など
の圧電セラミックから成り、有機高分子3はシリコーン
ゴム、ポリウレタンおよびエポキシ樹脂などから成る。
このように圧電体エレメント2が一次元につながりを有
し、有機高分子3が三次元につながりを有する複合圧電
素子1の構造は、■−3型連結構造の複合圧電素子と呼
ばれ、例えば、文献Proc、IEEE、1985.U
ltraSon+cs’5ytrz:+、p643
p647において公知である。
し、有機高分子3が三次元につながりを有する複合圧電
素子1の構造は、■−3型連結構造の複合圧電素子と呼
ばれ、例えば、文献Proc、IEEE、1985.U
ltraSon+cs’5ytrz:+、p643
p647において公知である。
特に第2図および第3図から明らかなように、上記複合
圧電素子1の一部、図示例では中心付近に圧電体エレメ
ント2に平行となるように、すなわち、複合圧電素子1
の厚み方向につながるように金、銀、アルミ、銅等から
成る電気的な導体4が設けられている。例えば、複合圧
電体素子1にドリル、あるいはレーザなどで穴を開け、
この穴に導体4を挿入し、有機高分子3と同じ材料で固
定し、あるいは複合圧電素子1を作製するとき、すなわ
ち、板状の圧電体と格子状(網目状)に切断加工し、そ
の溝に有機高分子3を充填する前の段階で、導体4を設
け、その後、有機高分子3を充填して形成する。
圧電素子1の一部、図示例では中心付近に圧電体エレメ
ント2に平行となるように、すなわち、複合圧電素子1
の厚み方向につながるように金、銀、アルミ、銅等から
成る電気的な導体4が設けられている。例えば、複合圧
電体素子1にドリル、あるいはレーザなどで穴を開け、
この穴に導体4を挿入し、有機高分子3と同じ材料で固
定し、あるいは複合圧電素子1を作製するとき、すなわ
ち、板状の圧電体と格子状(網目状)に切断加工し、そ
の溝に有機高分子3を充填する前の段階で、導体4を設
け、その後、有機高分子3を充填して形成する。
このように、導体4を設けた複合圧電素子1の一方の面
(前面)には、導体4と電気的に接続するように、蒸着
、焼付、めっきなどの方法により第1の電極であるアー
ス電極5が設けられ、複合圧電素子1の他方の面(背面
)には第2の電極である信号電極6がアース電極5と同
じ方法で設けられ、この信号電極6には導体4を避け、
この導体4と電気的に接続しないように逃げのための穴
6aが形成されている。第3図に示すように、アース電
極5と接続している導体4の反対側の部分に信号電極6
の穴6a内においてリード線7が接続され、信号電極6
の一部にリード線8が接続されている。信号電極6面に
は必要に応じてバッキング材9が設けられている。一方
、平坦面になっているアース電極5面にはエポキシ樹脂
などのような音響整合層10が設けられている。
(前面)には、導体4と電気的に接続するように、蒸着
、焼付、めっきなどの方法により第1の電極であるアー
ス電極5が設けられ、複合圧電素子1の他方の面(背面
)には第2の電極である信号電極6がアース電極5と同
じ方法で設けられ、この信号電極6には導体4を避け、
この導体4と電気的に接続しないように逃げのための穴
6aが形成されている。第3図に示すように、アース電
極5と接続している導体4の反対側の部分に信号電極6
の穴6a内においてリード線7が接続され、信号電極6
の一部にリード線8が接続されている。信号電極6面に
は必要に応じてバッキング材9が設けられている。一方
、平坦面になっているアース電極5面にはエポキシ樹脂
などのような音響整合層10が設けられている。
上記のようにアース電極5用のリード線7を取り出す導
体4を複合圧電素子1の中心付近に設けることにより、
仮にこの部分から放射する超音波の振幅が、リード線が
接続されていな°い他の部分から放射する超音波の振幅
と異なる場合においても音場の対称性を保つことができ
、超音波の音場を乱すおそれはない。また、アース電極
5面の部分からリード線を取り出していないので、アー
ス電極5面は平坦であるため、音響整合層10を設ける
とき、均一の厚さに形成することができる。したがって
、複合圧電素子1から放射される超音波の振幅(よ音響
整合層10を通り、媒体に均一な形で放射することがで
き、あるいは所望の形で放射することができるので、サ
イドローブを小さくすることができ、分解能の高い超音
波探触子、すなわち、分解能の高い超音波画像を得るこ
とができる。
体4を複合圧電素子1の中心付近に設けることにより、
仮にこの部分から放射する超音波の振幅が、リード線が
接続されていな°い他の部分から放射する超音波の振幅
と異なる場合においても音場の対称性を保つことができ
、超音波の音場を乱すおそれはない。また、アース電極
5面の部分からリード線を取り出していないので、アー
ス電極5面は平坦であるため、音響整合層10を設ける
とき、均一の厚さに形成することができる。したがって
、複合圧電素子1から放射される超音波の振幅(よ音響
整合層10を通り、媒体に均一な形で放射することがで
き、あるいは所望の形で放射することができるので、サ
イドローブを小さくすることができ、分解能の高い超音
波探触子、すなわち、分解能の高い超音波画像を得るこ
とができる。
なお、上記実施例においては、−次元のつながりをもっ
た圧電体エレメント2と三次元のつながりをもつ有機高
分子3とを含む1−3型複合圧電素子を用いた場合につ
いて説明したが、その他、有機高分子の中に圧電体の粉
末を混入した0−3型複合圧電素子、圧電セラミック単
体および種々の複合圧電体材料を用いても同様の効果が
得られる。また、上記実施例においては、電気的導体4
を複合圧電素子1の中心付近に設けた場合について説明
したが、リード線7の取り出し部を極めて小さくするこ
とができるので、複合圧電素子1の他の場所に電気的導
体4を設けても同様の効果が得られる。また、上記実施
例においては、複合圧電素子1に電極を全面に設けたい
わゆるシングルトランスジューサタイプについて説明し
たが、その他、アニユラ型、リニア型などのアレイタイ
プに用いても同様の効果が得られる。
た圧電体エレメント2と三次元のつながりをもつ有機高
分子3とを含む1−3型複合圧電素子を用いた場合につ
いて説明したが、その他、有機高分子の中に圧電体の粉
末を混入した0−3型複合圧電素子、圧電セラミック単
体および種々の複合圧電体材料を用いても同様の効果が
得られる。また、上記実施例においては、電気的導体4
を複合圧電素子1の中心付近に設けた場合について説明
したが、リード線7の取り出し部を極めて小さくするこ
とができるので、複合圧電素子1の他の場所に電気的導
体4を設けても同様の効果が得られる。また、上記実施
例においては、複合圧電素子1に電極を全面に設けたい
わゆるシングルトランスジューサタイプについて説明し
たが、その他、アニユラ型、リニア型などのアレイタイ
プに用いても同様の効果が得られる。
発明の詳細
な説明したように本発明によれば、第′1の電極側のリ
ード線を圧電素子の一部に設けた導体に第2の電極側で
接続しているので、第1の電極側のリード線取り出し部
を極めて小さくすることができ、しかも、第1の電極面
上を平坦にすることができる。これにより音響整合層を
介してリード線取り出し部分と他の部分から放射する超
音波をほぼ同じ振幅にすることができ、また、超音波を
放射する音場は乱れることがなくなり、所望の音場を形
成することかでき、しかも、サイドローブを小さくする
ことができる。したがって、高分解能化を図ることがで
きる。
ード線を圧電素子の一部に設けた導体に第2の電極側で
接続しているので、第1の電極側のリード線取り出し部
を極めて小さくすることができ、しかも、第1の電極面
上を平坦にすることができる。これにより音響整合層を
介してリード線取り出し部分と他の部分から放射する超
音波をほぼ同じ振幅にすることができ、また、超音波を
放射する音場は乱れることがなくなり、所望の音場を形
成することかでき、しかも、サイドローブを小さくする
ことができる。したがって、高分解能化を図ることがで
きる。
第1図ないし第3図は本発明の一実施例における超音波
探触子を示し、第1図は概略断面図、第2図は電極を設
けた複合圧電素子の一部切欠平面図、第3図は電極を設
けた複合圧電素子の断面図、第4図は従来例における超
音波探触子を示す概略断面図である。 1・・・複合圧電素子、2・・・圧電体エレメント、3
・・・有機高分゛子、4・・・導体、5.6・・・電極
、7.8・・・リード線、9・・・バッキング材、10
・・・音響整合層。 代理人の氏名 弁理士小暇治 明ばか2名第1図 第2図 纂3図 第4図 平成3年9月72日
探触子を示し、第1図は概略断面図、第2図は電極を設
けた複合圧電素子の一部切欠平面図、第3図は電極を設
けた複合圧電素子の断面図、第4図は従来例における超
音波探触子を示す概略断面図である。 1・・・複合圧電素子、2・・・圧電体エレメント、3
・・・有機高分゛子、4・・・導体、5.6・・・電極
、7.8・・・リード線、9・・・バッキング材、10
・・・音響整合層。 代理人の氏名 弁理士小暇治 明ばか2名第1図 第2図 纂3図 第4図 平成3年9月72日
Claims (5)
- (1)圧電素子と、この圧電素子の一部に設けられた導
体と、上記圧電素子の一方の面に上記導体と電気的に接
続されて設けられた第1の電極と、上記圧電素子の他方
の面に上記導体を避けるように設けられた第2の電極と
、上記導体に上記第2の電極側で接続されたリード線と
、上記第2の電極に接続されたリード線と、上記第1の
電極面上に設けられた音響整合層とを備えた超音波探触
子。 - (2)導体が圧電素子の厚み方向につながりを有するよ
うに設けられた請求項1記載の超音波探触子。 - (3)導体が圧電素子の中心付近に設けられた請求項2
記載の超音波探触子。 - (4)圧電素子が圧電体と有機高分子から成る複合圧電
素子である請求項1ないし3のいずれかに記載の超音波
探触子。 - (5)複合圧電素子が圧電体と有機高分子の0−3型、
1−3型のいずれかの構造を有する請求項4記載の超音
波探触子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2333847A JPH04203994A (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 超音波探触子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2333847A JPH04203994A (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 超音波探触子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04203994A true JPH04203994A (ja) | 1992-07-24 |
Family
ID=18270614
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2333847A Pending JPH04203994A (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 超音波探触子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04203994A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0564292A (ja) * | 1991-08-30 | 1993-03-12 | Shimadzu Corp | 超音波振動子 |
JP2005284255A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Lg Philips Lcd Co Ltd | 液晶表示素子 |
JP2009038675A (ja) * | 2007-08-02 | 2009-02-19 | Toshiba Corp | 超音波トランスデューサおよび超音波トランスデューサを備えた超音波プローブ |
JP2012060634A (ja) * | 2010-09-06 | 2012-03-22 | Samsung Medison Co Ltd | 超音波診断装置用プローブ |
-
1990
- 1990-11-29 JP JP2333847A patent/JPH04203994A/ja active Pending
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