JP2682342B2 - 複合圧電体 - Google Patents
複合圧電体Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ソナーや超音波診断装
置などのセンサとして用いる超音波探触子の複合圧電体
に関する。
置などのセンサとして用いる超音波探触子の複合圧電体
に関する。
【０００２】
【従来の技術】水や生体を対象とするソナーや超音波診
断装置などの超音波探触子に用いる圧電体の材料とし
て、最近、柱状の圧電セラミックスを多数配列し、間隙
に高分子材を充填したいわゆる１−３形複合圧電体の検
討が行われている。このような複合圧電体としては、Pr
o.IEEE,1985,U1trasonics Symp.p643〜647に記載のもの
がある。
断装置などの超音波探触子に用いる圧電体の材料とし
て、最近、柱状の圧電セラミックスを多数配列し、間隙
に高分子材を充填したいわゆる１−３形複合圧電体の検
討が行われている。このような複合圧電体としては、Pr
o.IEEE,1985,U1trasonics Symp.p643〜647に記載のもの
がある。
【０００３】図３は従来の複合圧電体の構成を示す斜視
図である。図３に示すように一次元の形状を有する柱状
の圧電セラミックス２と圧電セラミックス２の間隙に三
次元的に設けた高分子材３とで複合圧電体１を構成し、
厚さを均一にしたものである。この複合圧電体は音響イ
ンピーダンスを小さくし、より被検体（生体の音響イン
ピーダンスは約１．６ＭＲａｙ１）の音響インピーダン
スに近付けることができ、しかも電気機械結合係数も大
きい値を有していることにより、効率良くかつ広帯域の
周波数特性を得ることができるため、高分解能の超音波
断層像を得ることが可能であるという特徴を有したもの
であった。
図である。図３に示すように一次元の形状を有する柱状
の圧電セラミックス２と圧電セラミックス２の間隙に三
次元的に設けた高分子材３とで複合圧電体１を構成し、
厚さを均一にしたものである。この複合圧電体は音響イ
ンピーダンスを小さくし、より被検体（生体の音響イン
ピーダンスは約１．６ＭＲａｙ１）の音響インピーダン
スに近付けることができ、しかも電気機械結合係数も大
きい値を有していることにより、効率良くかつ広帯域の
周波数特性を得ることができるため、高分解能の超音波
断層像を得ることが可能であるという特徴を有したもの
であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の複合圧電体では、圧電セラミックス単体から
なるものに比べて広い周波数帯域特性が得られるもの
の、まだ十分な周波数特性を得ることはできていなかっ
た。
うな従来の複合圧電体では、圧電セラミックス単体から
なるものに比べて広い周波数帯域特性が得られるもの
の、まだ十分な周波数特性を得ることはできていなかっ
た。
【０００５】本発明は、このような従来の問題を解決す
るものであり、さらに一層の広帯域周波数特性を有する
優れた複合圧電体を提供することを目的とする。
るものであり、さらに一層の広帯域周波数特性を有する
優れた複合圧電体を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、縦断面形状の相似な棒状の形態を有する多
数の圧電素子と前記圧電素子の間隙に充填された有機高
分子材とを備えた複合圧電体において、厚さを不均一と
し、それぞれの厚さに対応した周波数の振動モードを発
生することができる構成にしたものである。
に本発明は、縦断面形状の相似な棒状の形態を有する多
数の圧電素子と前記圧電素子の間隙に充填された有機高
分子材とを備えた複合圧電体において、厚さを不均一と
し、それぞれの厚さに対応した周波数の振動モードを発
生することができる構成にしたものである。
【０００７】
【作用】本発明は上記構成により、複合圧電体の部分に
それぞれの厚みに対応した周波数の振動モードが発生す
るため、広い周波数帯域を有する特性を得ることができ
る。したがって、本発明の複合圧電体を用いた超音波探
触子は、極めて短いパルス応答波形を得ることができる
ため、被検深度が深く、かつ分解能の高い超音波画像を
得ることができる。
それぞれの厚みに対応した周波数の振動モードが発生す
るため、広い周波数帯域を有する特性を得ることができ
る。したがって、本発明の複合圧電体を用いた超音波探
触子は、極めて短いパルス応答波形を得ることができる
ため、被検深度が深く、かつ分解能の高い超音波画像を
得ることができる。
【０００８】
【実施例】以下本発明の一実施例について図面を参照な
しがら説明する。
しがら説明する。
【０００９】図１は、本発明の一実施例の複合圧電体の
断面図である。また図２は、本発明の一実施例の複合圧
電体の圧電素子の幅と長さ（複合圧電体の厚さ）の形状
比と電気機械結合係数の関係を示す図である。
断面図である。また図２は、本発明の一実施例の複合圧
電体の圧電素子の幅と長さ（複合圧電体の厚さ）の形状
比と電気機械結合係数の関係を示す図である。
【００１０】図１において、１１は複合圧電体であり、
一方の面は平坦であり、他方の面は凹面形状である。１
２は棒状をした複数個の圧電素子であり、ＰＺＴ系，Ｐ
ｂＴｉＯ3系などの圧電セラミックスやＬｉＮｂＯ3等の
単結晶が使用される。１３はこれら圧電素子１２の間隙
に三次元的に充填されてこれらを互いに結合する有機高
分子材であり、例えばシリコーンゴム，エポキシ樹脂あ
るいはウレタン樹脂などが使用される。１４，１５は複
合圧電体１１の両面に設けられた電極であり、メッキ，
蒸着，あるいは焼付けなどの方法により設けられる。な
おここでは図示していないが必要に応じて複合圧電体１
１の電極１４面上に背面負荷材を設け、さらに複合圧電
体１１の電極１５面上には音響整合層もしくは保護膜の
ようなものを設けてもよい。そしてこれら電極１４，１
５に電圧を印加することにより複合圧電体１１が機械振
動してそれぞれの厚さに対応した周波数の超音波を発生
させる。
一方の面は平坦であり、他方の面は凹面形状である。１
２は棒状をした複数個の圧電素子であり、ＰＺＴ系，Ｐ
ｂＴｉＯ3系などの圧電セラミックスやＬｉＮｂＯ3等の
単結晶が使用される。１３はこれら圧電素子１２の間隙
に三次元的に充填されてこれらを互いに結合する有機高
分子材であり、例えばシリコーンゴム，エポキシ樹脂あ
るいはウレタン樹脂などが使用される。１４，１５は複
合圧電体１１の両面に設けられた電極であり、メッキ，
蒸着，あるいは焼付けなどの方法により設けられる。な
おここでは図示していないが必要に応じて複合圧電体１
１の電極１４面上に背面負荷材を設け、さらに複合圧電
体１１の電極１５面上には音響整合層もしくは保護膜の
ようなものを設けてもよい。そしてこれら電極１４，１
５に電圧を印加することにより複合圧電体１１が機械振
動してそれぞれの厚さに対応した周波数の超音波を発生
させる。
【００１１】以下具体例を用いて説明する。圧電素子１
２の幅ｗと長さ（複合圧電体１１の厚さ）ｔとの形状比
（ｗ／ｔ）により、複合圧電体１１の電気機械結合係数
ｋは、図２に示すような関係がある。図２は圧電素子１
２として富士セラミックス社のＰＺＴ系圧電セラミック
スＣ−６、有機高分子材１３としてエポキシ樹脂を用い
て、圧電素子１２の複合圧電体１１に対する体積比率を
約２５％としたときの形状比（ｗ／ｔ）と電気機械結合
係数ｋとの関係を示したものである。図２の関係から明
らかなように複合圧電体１１の圧電素子１２の形状比に
よって電気機械係合係数ｋが変化することがわかる。こ
のことは図１に示したように複合圧電体１１に不均一な
厚さを持たせ、かつ従来のように圧電素子１２を同じ間
隔で配列した場合、厚みの薄い部分（図では中央付近）
と厚い部分（図では外周部分）とでは圧電素子１２の形
状比が大きく変化する。すなわち、それぞれの厚さの部
分の電気機械結合係数ｋが変わることになり、周波数特
性が劣化することを意味する。例えば図１において、複
合圧電体１１の直径を２０mmに、複合圧電体１１の一方
の面を平面に、他方の面の曲率半径を８０mmの凹面形状
とし、中央部の最も薄い部分の厚みを０．２mm、最外周
部の最も厚い部分を０．８２mm、そして圧電素子１２を
等間隔で、圧電素子１２の幅を一定の０．１５mmにした
場合、中央部の最も薄い部分の圧電素子１２の形状比は
０．７５に、そして最外周部の最も厚い部分の圧電素子
１２の形状比は０．１８となる。このことは図２に示し
たように電気機械結合係数ｋは圧電素子１２の形状比が
０．７５から０．１８の範囲において変化していること
になり、特に形状比０．３以下になると電気機械結合係
数ｋの低下が顕著になってくる。
２の幅ｗと長さ（複合圧電体１１の厚さ）ｔとの形状比
（ｗ／ｔ）により、複合圧電体１１の電気機械結合係数
ｋは、図２に示すような関係がある。図２は圧電素子１
２として富士セラミックス社のＰＺＴ系圧電セラミック
スＣ−６、有機高分子材１３としてエポキシ樹脂を用い
て、圧電素子１２の複合圧電体１１に対する体積比率を
約２５％としたときの形状比（ｗ／ｔ）と電気機械結合
係数ｋとの関係を示したものである。図２の関係から明
らかなように複合圧電体１１の圧電素子１２の形状比に
よって電気機械係合係数ｋが変化することがわかる。こ
のことは図１に示したように複合圧電体１１に不均一な
厚さを持たせ、かつ従来のように圧電素子１２を同じ間
隔で配列した場合、厚みの薄い部分（図では中央付近）
と厚い部分（図では外周部分）とでは圧電素子１２の形
状比が大きく変化する。すなわち、それぞれの厚さの部
分の電気機械結合係数ｋが変わることになり、周波数特
性が劣化することを意味する。例えば図１において、複
合圧電体１１の直径を２０mmに、複合圧電体１１の一方
の面を平面に、他方の面の曲率半径を８０mmの凹面形状
とし、中央部の最も薄い部分の厚みを０．２mm、最外周
部の最も厚い部分を０．８２mm、そして圧電素子１２を
等間隔で、圧電素子１２の幅を一定の０．１５mmにした
場合、中央部の最も薄い部分の圧電素子１２の形状比は
０．７５に、そして最外周部の最も厚い部分の圧電素子
１２の形状比は０．１８となる。このことは図２に示し
たように電気機械結合係数ｋは圧電素子１２の形状比が
０．７５から０．１８の範囲において変化していること
になり、特に形状比０．３以下になると電気機械結合係
数ｋの低下が顕著になってくる。
【００１２】電気機械結合係数ｋは周波数特性と感度と
に大きく関係しているものであり、電気機械結合係数ｋ
を低下させると周波数帯域特性も低下して狭帯域にな
り、かつ感度も低下するという比例関係にあることは既
に知られている。したがって、圧電素子１２の形状比の
値を変化させる。この場合は電気機械結合係数ｋを低下
させることは周波数特性を劣化させることになるので好
ましくないことである。
に大きく関係しているものであり、電気機械結合係数ｋ
を低下させると周波数帯域特性も低下して狭帯域にな
り、かつ感度も低下するという比例関係にあることは既
に知られている。したがって、圧電素子１２の形状比の
値を変化させる。この場合は電気機械結合係数ｋを低下
させることは周波数特性を劣化させることになるので好
ましくないことである。
【００１３】このような問題を解決して周波数特性をさ
らに広帯域にするのが、本実施例の特徴である。
らに広帯域にするのが、本実施例の特徴である。
【００１４】例えば図１において、複合圧電体１１の直
径を２０mm、複合圧電体１１の一方の面を平面に、他方
の面を曲率半径が８０mmの凹面形状にし、中央部の最も
薄い部分の厚さを０．２mm、最外周部の最も厚い部分を
０．８２mmとして、圧電素子１２の形状比（ｗ／ｔ）を
どの場所においても一定となる値、例えば０．５という
値に設定した場合には、中央部の最も薄い部分の圧電素
子１２の幅ｗ1は０．１mmに、そして最外周部の最も厚
い部分の圧電素子１２の幅ｗ2は０．４１mmとなる。こ
のように圧電素子１２の縦断面形状を一定で配列すると
いうことは、複合圧電体１１の圧電素子１２の配列間隔
も変えていくということになる。圧電素子の幅が中央部
から外側にいくにしたがって広くなっていることから、
圧電素子１２の配列間隔もまた中央部から外側にいくに
したがって広くなっていくことになる。また、複合圧電
体１１の中間の厚さをもつ部分の圧電素子１２の幅は順
次変えて圧電素子１２の形状比（ｗ／ｔ）を約０．５に
なるようにすれば良い。
径を２０mm、複合圧電体１１の一方の面を平面に、他方
の面を曲率半径が８０mmの凹面形状にし、中央部の最も
薄い部分の厚さを０．２mm、最外周部の最も厚い部分を
０．８２mmとして、圧電素子１２の形状比（ｗ／ｔ）を
どの場所においても一定となる値、例えば０．５という
値に設定した場合には、中央部の最も薄い部分の圧電素
子１２の幅ｗ1は０．１mmに、そして最外周部の最も厚
い部分の圧電素子１２の幅ｗ2は０．４１mmとなる。こ
のように圧電素子１２の縦断面形状を一定で配列すると
いうことは、複合圧電体１１の圧電素子１２の配列間隔
も変えていくということになる。圧電素子の幅が中央部
から外側にいくにしたがって広くなっていることから、
圧電素子１２の配列間隔もまた中央部から外側にいくに
したがって広くなっていくことになる。また、複合圧電
体１１の中間の厚さをもつ部分の圧電素子１２の幅は順
次変えて圧電素子１２の形状比（ｗ／ｔ）を約０．５に
なるようにすれば良い。
【００１５】以上のように不均一な厚みを有する複合圧
電体１１の圧電素子１２の形状比（ｗ／ｔ）をほぼ同じ
値にし、かつ圧電素子１２の配列間隔を変えることによ
り、複合圧電体１１の中央部から最外周部にわたって電
気機械結合係数ｋがほぼ一定で、かつ高い値を有するこ
ととなり、広い周波数特性を有するものが得られ、しか
も設計が容易になる。また、凹面形状を有しているた
め、この形状に沿って超音波ビームを集束させることも
同時にできるという特徴を有している。
電体１１の圧電素子１２の形状比（ｗ／ｔ）をほぼ同じ
値にし、かつ圧電素子１２の配列間隔を変えることによ
り、複合圧電体１１の中央部から最外周部にわたって電
気機械結合係数ｋがほぼ一定で、かつ高い値を有するこ
ととなり、広い周波数特性を有するものが得られ、しか
も設計が容易になる。また、凹面形状を有しているた
め、この形状に沿って超音波ビームを集束させることも
同時にできるという特徴を有している。
【００１６】したがって、本発明の複合圧電体を用いた
超音波深触子は、きわめて短いパルス応答波形を得るこ
とができるため、被検深度が深く、かつ分解能の高い超
音波画像を得ることができる。
超音波深触子は、きわめて短いパルス応答波形を得るこ
とができるため、被検深度が深く、かつ分解能の高い超
音波画像を得ることができる。
【００１７】なお、本実施例においては、複合圧電体１
１の一方の面をある曲率をもたせた凹面形状構成の場合
について説明したが、この他に、凸面形状や両面に曲面
形状をもたせる、もしくは非球面のような複数の曲率半
径をもたせた曲面の形状にすることによっても同様に広
帯域の周波数特性を得ることができる。
１の一方の面をある曲率をもたせた凹面形状構成の場合
について説明したが、この他に、凸面形状や両面に曲面
形状をもたせる、もしくは非球面のような複数の曲率半
径をもたせた曲面の形状にすることによっても同様に広
帯域の周波数特性を得ることができる。
【００１８】なお、本実施例においては、複合圧電体１
１の形状が円板状の場合について説明したが、この他に
複合圧電体１１にアレイ状に電極を設けたいわゆるアレ
イタイプのアレイ電極方向に直交する方向に対して本実
施例を用いても同様に広帯域の周波数特性を得ることが
できる。
１の形状が円板状の場合について説明したが、この他に
複合圧電体１１にアレイ状に電極を設けたいわゆるアレ
イタイプのアレイ電極方向に直交する方向に対して本実
施例を用いても同様に広帯域の周波数特性を得ることが
できる。
【００１９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明
は、棒状の圧電素子を垂直に多数配列し、前記圧電素子
の周辺に有機高分子材を充填してなる複合圧電体におい
て、前記複合圧電体の厚さを不均一とし、前記圧電素子
の太さと長さをほぼ一定比率とし、かつ前記圧電素子の
配列間隔を不均一とすることにより、それぞれの厚みに
対応した周波数の振動モードを均一に発生することがで
き、複合圧電体の厚みの範囲に対応した広い周波数帯域
特性を得ることができる。したがって、本発明の複合圧
電体を用いた超音波探触子は、きわめて短いパルス応答
波形を得ることができるため、被検深度が深く、かつ分
解能の高い超音波画像を得ることができる。
は、棒状の圧電素子を垂直に多数配列し、前記圧電素子
の周辺に有機高分子材を充填してなる複合圧電体におい
て、前記複合圧電体の厚さを不均一とし、前記圧電素子
の太さと長さをほぼ一定比率とし、かつ前記圧電素子の
配列間隔を不均一とすることにより、それぞれの厚みに
対応した周波数の振動モードを均一に発生することがで
き、複合圧電体の厚みの範囲に対応した広い周波数帯域
特性を得ることができる。したがって、本発明の複合圧
電体を用いた超音波探触子は、きわめて短いパルス応答
波形を得ることができるため、被検深度が深く、かつ分
解能の高い超音波画像を得ることができる。
【図１】本発明の一実施例における複合圧電体の概略構
成を示す断面図
成を示す断面図
【図２】本発明の複合圧電体の圧電体素子の形状比と電
気機械結合係数との関係を示す図
気機械結合係数との関係を示す図
【図３】従来の複合圧電体の概略構成を示す斜視図
１１ 複合圧電体 １２ 圧電素子 １３ 有機高分子材 １４，１５ 電極
Claims (5)
- 【請求項１】 棒状の圧電素子を垂直に多数配列し、前
記圧電素子の間隙に有機高分子材を充填してなる複合圧
電体において、前記複合圧電体の厚さを不均一とし、前
記圧電素子の太さと長さをほぼ一定比率とし、かつ前記
圧電素子の配列間隔を不均一としたことを特徴とする複
合圧電体。 - 【請求項２】 一方の面が平坦で、他方の面が曲面形状
であることを特徴とする請求項１記載の複合圧電体。 - 【請求項３】 両面がそれぞれ違う曲面形状であること
を特徴とする請求項１記載の複合圧電体。 - 【請求項４】 曲面が凹面形状であることを特徴とする
請求項１記載の複合圧電体。 - 【請求項５】 圧電素子の配列間隔が中央部では狭く、
外側に行くにしたがって広くなるように構成したことを
特徴とする請求項１記載の複合圧電体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22687192A JP2682342B2 (ja) | 1992-08-26 | 1992-08-26 | 複合圧電体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22687192A JP2682342B2 (ja) | 1992-08-26 | 1992-08-26 | 複合圧電体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0678399A JPH0678399A (ja) | 1994-03-18 |
| JP2682342B2 true JP2682342B2 (ja) | 1997-11-26 |
Family
ID=16851884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22687192A Expired - Fee Related JP2682342B2 (ja) | 1992-08-26 | 1992-08-26 | 複合圧電体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2682342B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6247368B1 (en) | 1999-01-04 | 2001-06-19 | International Business Machines Corporation | CMP wet application wafer sensor |
| JP4519330B2 (ja) * | 2001-01-11 | 2010-08-04 | パナソニック株式会社 | 超音波探触子 |
| JP2002232995A (ja) * | 2001-02-06 | 2002-08-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波探触子及びその製造方法 |
| JP2006200976A (ja) * | 2005-01-19 | 2006-08-03 | Denso Corp | 超音波センサ |
-
1992
- 1992-08-26 JP JP22687192A patent/JP2682342B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0678399A (ja) | 1994-03-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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