JP4320098B2 - アレイ型複合圧電体 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アレイ型複合圧電体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
圧電体（圧電振動子ともいう）は、例えば、超音波医療診断装置の電気−音響変換素子（トランスデューサ）として利用されている。この圧電体は、チタン酸ジルコン酸鉛（以下、ＰＺＴという）などからなる板状の圧電セラミックスの上下の両面に電極を形成し、両電極間に電界を印加することにより、圧電セラミックスを分極させて製造したものが一般に使用されている。また、最近では、複数個の棒状圧電セラミックス体が二次元方向に、互いに平行に立設された状態で樹脂材料に固定されてなる複合材料（以下、複合圧電体形成材料という）の上下の両面に電極を形成し、両電極間に電界を印加することにより、圧電セラミックス体を分極させて製造した複合圧電体（１−３型複合圧電体）も研究され、その成果が報告されている（例えば、「エレクトロ・セラミクス」、’８６、３月号、４７〜５１頁参照）。
【０００３】
圧電体の中央部から放射される超音波（以下、メインローブという）の音圧と、その周囲に現れる超音波（以下、サイドローブという）の音圧とが一様な圧電体を、超音波医療診断装置に用いて体内の異物を観察すると、検出された異物がメインローブによるものか、サイドローブによるものか判別ができず異物の位置を正確に測定することができない、あるいはサイドローブの放射方向に、比較的大きな異物があると、サイドローブによって送受信された反射パルスが強く映像として出力され、この異物があたかも圧電体の中心軸方向にあるものとして映像化されてしまうという問題がある。
【０００４】
このような理由から、圧電体から放射されるサイドローブの音圧を、メインローブよりも大幅に小さくすること（以下、「重み付け」という）は非常に重要である。また、「重み付け」を行うことにより、近距離場における複雑な干渉音場（フレーネル音場）がなくなる効果もあるとされている。
【０００５】
圧電体を「重み付け」を行う方法としては、圧電体の表面に複数個の溝を形成する方法や、圧電体の電極をすだれ状に形成する方法などが知られている。また、特開平１１−１４６４９２号公報では、圧電体の超音波放射面に、複数の溝を設けた音響整合材を貼り合わせることにより、「重み付け」を行った超音波探触子が提案されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
複合圧電体に「重み付け」を行う場合には、複合圧電体形成材料を構成する樹脂と圧電セラミックス体との機械的強度や融点などの特性上の違いにより、その表面に溝を形成したり、電極をすだれ状に形成するのは難しいという問題がある。また、複数の溝を表面に設けた音響整合材を複合圧電体の超音波放射面に貼り合わせることにより、「重み付け」を行うことは可能であるが、溝を設けた音響整合材は、溝を設けていない音響整合材と比較すると劣化しやすい傾向があり、長期間にわたる使用には適さないという問題がある。
【０００７】
従って、本発明の目的は、容易に製造することができるサイドローブの音圧の小さい複合圧電体を得るのに適した複合圧電体形成材料を提供することにある。さらに、本発明は、サイドローブの音圧が小さく、長期間にわたって使用するのに適した複合圧電体を提供することもその目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、複数個の棒状圧電セラミックス体が二次元方向に、互いに平行に立設された状態で樹脂材料に固定されてなる複合圧電体形成材料であって、少なくともその一次元方向における棒状圧電セラミックス体の体積分率が中央が低く、かつ両側端部で高くなるように調整されている複合圧電体形成材料の上下の面に電極を形成し、次いで両電極間に電界を印加して、棒状圧電セラミックス体を分極させて得られた複合圧電体を、複合圧電体形成材料中の棒状圧電セラミックス体の体積分率が中央が低く、かつ両側端部で高くなるように調整されている方向に沿って切断して得た複合圧電体素子を複数個、プラスチック製吸音材に貼り合わせてなるアレイ型複合圧電体にある。
【０００９】
上記の複合圧電体形成材料は、複数個の棒状圧電セラミックス体が、上記一次元方向において、棒状圧電セラミックス体の体積分率が中央から両側端部に段階的に高くなるように調整されていることが好ましい。また、上記の複合圧電体形成材料は、複数個の棒状圧電セラミックス体が、互いに断面の中心間の距離を一定にし、その断面積を中央が小さく、かつ両側端部が大きくすることにより、棒状圧電セラミックス体の体積分率が中央が低く、かつ両側端部で高くなるように調整されていることが好ましい。
【００１０】
ここで、本発明における棒状圧電セラミックス体の体積分率とは、単位体積の複合圧電体形成材料において棒状圧電セラミックス体が占める空間の割合を意味する。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図１に、本発明で用いる複合圧電体形成材料の一例の斜視図を、図２に、その拡大上図の一例を示す。複合圧電体形成材料１は、一次元方向（横方向）にそれぞれ断面の中心間の距離Ｌを一定にして、中央の棒状圧電セラミックス体２ａから両端に向かって段階的に、直径の大きい棒状圧電セラミックス体２ｂ、棒状圧電セラミックス体２ｃ、棒状圧電セラミックス体２ｄが平行に立設され、別の一次元方向（縦方向）には、断面の中心間の距離Ｌを一定にして、直径が同じ棒状圧電セラミックス体がそれぞれ平行に立設された状態で樹脂材料３に固定されているものである。このように棒状圧電セラミックス体が二次元方向に立設されることにより一次元方向（横方向）において、棒状圧電セラミックス体の体積分率は中央は低く（粗）、両側端部では高く（密）なる。
【００１４】
本発明で用いる複合圧電体形成材料は、図１及び２に示すように一次元方向で、棒状圧電セラミックス体の体積分率が中央から両側端部に向かって段階的に高くなるように、平行に立設されていることが好ましいが、段階的でなくても良い。また、本発明で用いる複合圧電体形成材料は、例えば、一次元方向で中央から両側端部に向かって、棒状圧電セラミックス体を、その間隔が段階的に狭くなるように平行に立設することにより、体積分率を中央から両側端部に向かって段階的に高くなるようにしても良い。なお、複合圧電体形成材料中の棒状圧電セラミックス体の体積分率は、中央で４０〜６０％であることが好ましく、両側端部で８０〜９０％であることが好ましい。
【００１５】
本発明で用いる複合圧電体形成材料の製造方法に、特には制限はない。例えば、本発明で用いる複合圧電体形成材料は、棒状圧電セラミックス体を治具などで固定した状態で、容器に入れて、次いで、容器に樹脂を流し込み一定時間放置して樹脂を硬化させた後、容器から取り出し、治具を切り離し、所定の形状、厚さに切断し、研磨することにより製造することができる。
【００１６】
本発明で用いる複合圧電体形成材料に用いられる棒状圧電セラミックス体の形状に特には制限はなく、円柱であっても、角柱であっても良い。また、その材料としては、チタン酸鉛、ＰＺＴなど公知の圧電セラミックス材料を使用することができ、通常はＰＺＴを使用することが好ましい。棒状圧電セラミックス体の直径は、複合圧電体から放射される超音波の周波数によって異なるが、例えば、周波数３ＭＨｚの超音波を放射する複合圧電体であれば、７０〜１００μｍの範囲内にあることが好ましい。
【００１７】
棒状圧電セラミックス体の製造方法に特には制限はない。例えば、円柱状圧電セラミックス体は、押出し成形法により成形された円柱状圧電セラミックス成形体を焼成して焼結させることにより製造することができる。また、角柱状圧電セラミックス体は、ダイシング法などにより製造することができる。
【００１８】
本発明で用いる複合圧電体形成材料に用いられる樹脂材料としては、ウレタン樹脂、ポリエチレン樹脂、エポキシ樹脂などを挙げることができる。
【００１９】
図３に、本発明で用いる複合圧電体形成材料からなる複合圧電体の一次元方向における音響インピーダンス及び電気機械結合係数ｋ33の分布をシュミレーションした一例の結果を示す。図において、横軸は棒状圧電セラミックス体の体積分率を示す。また、音響インピーダンスと電気機械結合係数ｋ33は、それぞれ両側端部の値を１００％とした時の値である。
【００２０】
図３に示すように、本発明で用いる複合圧電体形成材料からなる複合圧電体は、電気機械結合係数ｋ33が、中央（棒状圧電セラミックス体の体積分率が低い部分）で最も高く、両側端部（棒状圧電セラミックス体の体積分率が高くなる部分）に進むに従ってその値が低くなり、一方、音響インピーダンスは中央で最も低く、両側端部に進むに従ってその値が高くなることがわかる。この圧電体は、中央の電気機械結合係数が最も相対的に高いことから、メインローブの音圧がサイドローブの音圧よりも大きくなる。さらに、この圧電体は、中央の音響インピーダンスが相対的に低いことから、音響インピーダンスの低い媒体（例えば、音響整合材）へのメインローブの伝搬効率はサイドローブの伝搬効率よりも大きくなる。以上のことから、本発明で用いる複合圧電体形成材料からなる圧電体は、それ単独でもサイドローブの音圧はメインローブの音圧と比較して小さく、さらに、音響整合材と貼り合わせることによって、サイドローブの音圧をより小さくできることがわかる。
【００２１】
図４に、本発明で用いる複合圧電体の斜視図を示す。複合圧電体４は、上述の複合圧電体形成材料１の上下面に電極５を形成し、両電極間に電界を印加することにより、棒状圧電セラミックス体を分極させることにより製造することができる。電極５の材料は、通常の圧電体に使用されているものであれば特には制限はなく、例えば、銀などを挙げることができる。電極の形成方法としては、例えば、スパッタ法や無電解メッキ法などを挙げることができる。また、両電極間に印加する電圧は、１〜５ｋＶ／ｍｍで行うのが一般的である。
【００２２】
図５に、本発明のアレイ型複合圧電体の斜視図を示す。本発明のアレイ型複合圧電体は、上記の複合圧電体を、複合圧電体形成材料中の棒状圧電セラミックス体の体積分率が両端に向かって段階的に高くなっている方向に沿って切断して得た複合圧電体素子４ａを複数個、プラスチック製吸音材（バッキング材ともいう）６の上に並列配置して貼り合わせるたものである。プラスチック製吸音材の材質としては、ゴムシート等が挙げられる。
【００２３】
図６に、本発明のアレイ型複合圧電体の複合圧電体素子の棒状圧電セラミックス体の配列状態を示す一例の断面図を示す。複合圧電体素子４ａは、長さ方向に中央の棒状圧電セラミックス体２ａから両端に向かって段階的に、直径の大きい棒状圧電セラミックス体２ｂ、棒状圧電セラミックス体２ｃ、棒状圧電セラミックス体２ｄが平行に立設され、別の一次元方向（縦方向）には、断面の中心間の距離Ｌを一定にして、直径が同じ棒状圧電セラミックス体がそれぞれ平行に立設された状態で樹脂材料に固定されている。すなわち、本発明のアレイ型圧電体は、複合圧電体素子のそれぞれに「重み付け」が行われている。
【００２４】
【発明の効果】
本発明のアレイ型複合圧電体は、サイドローブの音圧がメインローブの音圧よりも大幅に小さくなることから、これを用いた超音波医療用診断装置は分解能が高く、精度の高い超音波診断を行うことができる。また、本発明のアレイ型複合圧電体は、劣化しにくく長期間安定に使用するために特に有利なものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明で用いる複合圧電体形成材料の一例の斜視図である。
【図２】 図１に示した複合圧電体形成材料の拡大上面図である。
【図３】 本発明で用いるの複合圧電体形成材料からなる複合圧電体の一次元方向での音響インピーダンス及び電気機械結合係数ｋ33の分布をシュミレーションした一例の結果である。
【図４】 本発明で用いる複合圧電体の一例の斜視図である。
【図５】 本発明のアレイ型複合圧電体の一例の斜視図である。
【図６】 本発明のアレイ型複合圧電体の複合圧電体素子の棒状圧電セラミックス体の配列状態を示す一例の断面図である。
【符号の説明】
１ 複合圧電体形成材料
２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ 棒状圧電セラミックス体
３ 樹脂材料
４ 複合圧電体
４ａ 複合圧電体素子
５ 電極
６ 吸音材
７ 圧電体
８ メインローブ
９ サイドローブ
【発明の属する技術分野】
本発明は、アレイ型複合圧電体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
圧電体（圧電振動子ともいう）は、例えば、超音波医療診断装置の電気−音響変換素子（トランスデューサ）として利用されている。この圧電体は、チタン酸ジルコン酸鉛（以下、ＰＺＴという）などからなる板状の圧電セラミックスの上下の両面に電極を形成し、両電極間に電界を印加することにより、圧電セラミックスを分極させて製造したものが一般に使用されている。また、最近では、複数個の棒状圧電セラミックス体が二次元方向に、互いに平行に立設された状態で樹脂材料に固定されてなる複合材料（以下、複合圧電体形成材料という）の上下の両面に電極を形成し、両電極間に電界を印加することにより、圧電セラミックス体を分極させて製造した複合圧電体（１−３型複合圧電体）も研究され、その成果が報告されている（例えば、「エレクトロ・セラミクス」、’８６、３月号、４７〜５１頁参照）。
【０００３】
圧電体の中央部から放射される超音波（以下、メインローブという）の音圧と、その周囲に現れる超音波（以下、サイドローブという）の音圧とが一様な圧電体を、超音波医療診断装置に用いて体内の異物を観察すると、検出された異物がメインローブによるものか、サイドローブによるものか判別ができず異物の位置を正確に測定することができない、あるいはサイドローブの放射方向に、比較的大きな異物があると、サイドローブによって送受信された反射パルスが強く映像として出力され、この異物があたかも圧電体の中心軸方向にあるものとして映像化されてしまうという問題がある。
【０００４】
このような理由から、圧電体から放射されるサイドローブの音圧を、メインローブよりも大幅に小さくすること（以下、「重み付け」という）は非常に重要である。また、「重み付け」を行うことにより、近距離場における複雑な干渉音場（フレーネル音場）がなくなる効果もあるとされている。
【０００５】
圧電体を「重み付け」を行う方法としては、圧電体の表面に複数個の溝を形成する方法や、圧電体の電極をすだれ状に形成する方法などが知られている。また、特開平１１−１４６４９２号公報では、圧電体の超音波放射面に、複数の溝を設けた音響整合材を貼り合わせることにより、「重み付け」を行った超音波探触子が提案されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
複合圧電体に「重み付け」を行う場合には、複合圧電体形成材料を構成する樹脂と圧電セラミックス体との機械的強度や融点などの特性上の違いにより、その表面に溝を形成したり、電極をすだれ状に形成するのは難しいという問題がある。また、複数の溝を表面に設けた音響整合材を複合圧電体の超音波放射面に貼り合わせることにより、「重み付け」を行うことは可能であるが、溝を設けた音響整合材は、溝を設けていない音響整合材と比較すると劣化しやすい傾向があり、長期間にわたる使用には適さないという問題がある。
【０００７】
従って、本発明の目的は、容易に製造することができるサイドローブの音圧の小さい複合圧電体を得るのに適した複合圧電体形成材料を提供することにある。さらに、本発明は、サイドローブの音圧が小さく、長期間にわたって使用するのに適した複合圧電体を提供することもその目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、複数個の棒状圧電セラミックス体が二次元方向に、互いに平行に立設された状態で樹脂材料に固定されてなる複合圧電体形成材料であって、少なくともその一次元方向における棒状圧電セラミックス体の体積分率が中央が低く、かつ両側端部で高くなるように調整されている複合圧電体形成材料の上下の面に電極を形成し、次いで両電極間に電界を印加して、棒状圧電セラミックス体を分極させて得られた複合圧電体を、複合圧電体形成材料中の棒状圧電セラミックス体の体積分率が中央が低く、かつ両側端部で高くなるように調整されている方向に沿って切断して得た複合圧電体素子を複数個、プラスチック製吸音材に貼り合わせてなるアレイ型複合圧電体にある。
【０００９】
上記の複合圧電体形成材料は、複数個の棒状圧電セラミックス体が、上記一次元方向において、棒状圧電セラミックス体の体積分率が中央から両側端部に段階的に高くなるように調整されていることが好ましい。また、上記の複合圧電体形成材料は、複数個の棒状圧電セラミックス体が、互いに断面の中心間の距離を一定にし、その断面積を中央が小さく、かつ両側端部が大きくすることにより、棒状圧電セラミックス体の体積分率が中央が低く、かつ両側端部で高くなるように調整されていることが好ましい。
【００１０】
ここで、本発明における棒状圧電セラミックス体の体積分率とは、単位体積の複合圧電体形成材料において棒状圧電セラミックス体が占める空間の割合を意味する。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図１に、本発明で用いる複合圧電体形成材料の一例の斜視図を、図２に、その拡大上図の一例を示す。複合圧電体形成材料１は、一次元方向（横方向）にそれぞれ断面の中心間の距離Ｌを一定にして、中央の棒状圧電セラミックス体２ａから両端に向かって段階的に、直径の大きい棒状圧電セラミックス体２ｂ、棒状圧電セラミックス体２ｃ、棒状圧電セラミックス体２ｄが平行に立設され、別の一次元方向（縦方向）には、断面の中心間の距離Ｌを一定にして、直径が同じ棒状圧電セラミックス体がそれぞれ平行に立設された状態で樹脂材料３に固定されているものである。このように棒状圧電セラミックス体が二次元方向に立設されることにより一次元方向（横方向）において、棒状圧電セラミックス体の体積分率は中央は低く（粗）、両側端部では高く（密）なる。
【００１４】
本発明で用いる複合圧電体形成材料は、図１及び２に示すように一次元方向で、棒状圧電セラミックス体の体積分率が中央から両側端部に向かって段階的に高くなるように、平行に立設されていることが好ましいが、段階的でなくても良い。また、本発明で用いる複合圧電体形成材料は、例えば、一次元方向で中央から両側端部に向かって、棒状圧電セラミックス体を、その間隔が段階的に狭くなるように平行に立設することにより、体積分率を中央から両側端部に向かって段階的に高くなるようにしても良い。なお、複合圧電体形成材料中の棒状圧電セラミックス体の体積分率は、中央で４０〜６０％であることが好ましく、両側端部で８０〜９０％であることが好ましい。
【００１５】
本発明で用いる複合圧電体形成材料の製造方法に、特には制限はない。例えば、本発明で用いる複合圧電体形成材料は、棒状圧電セラミックス体を治具などで固定した状態で、容器に入れて、次いで、容器に樹脂を流し込み一定時間放置して樹脂を硬化させた後、容器から取り出し、治具を切り離し、所定の形状、厚さに切断し、研磨することにより製造することができる。
【００１６】
本発明で用いる複合圧電体形成材料に用いられる棒状圧電セラミックス体の形状に特には制限はなく、円柱であっても、角柱であっても良い。また、その材料としては、チタン酸鉛、ＰＺＴなど公知の圧電セラミックス材料を使用することができ、通常はＰＺＴを使用することが好ましい。棒状圧電セラミックス体の直径は、複合圧電体から放射される超音波の周波数によって異なるが、例えば、周波数３ＭＨｚの超音波を放射する複合圧電体であれば、７０〜１００μｍの範囲内にあることが好ましい。
【００１７】
棒状圧電セラミックス体の製造方法に特には制限はない。例えば、円柱状圧電セラミックス体は、押出し成形法により成形された円柱状圧電セラミックス成形体を焼成して焼結させることにより製造することができる。また、角柱状圧電セラミックス体は、ダイシング法などにより製造することができる。
【００１８】
本発明で用いる複合圧電体形成材料に用いられる樹脂材料としては、ウレタン樹脂、ポリエチレン樹脂、エポキシ樹脂などを挙げることができる。
【００１９】
図３に、本発明で用いる複合圧電体形成材料からなる複合圧電体の一次元方向における音響インピーダンス及び電気機械結合係数ｋ33の分布をシュミレーションした一例の結果を示す。図において、横軸は棒状圧電セラミックス体の体積分率を示す。また、音響インピーダンスと電気機械結合係数ｋ33は、それぞれ両側端部の値を１００％とした時の値である。
【００２０】
図３に示すように、本発明で用いる複合圧電体形成材料からなる複合圧電体は、電気機械結合係数ｋ33が、中央（棒状圧電セラミックス体の体積分率が低い部分）で最も高く、両側端部（棒状圧電セラミックス体の体積分率が高くなる部分）に進むに従ってその値が低くなり、一方、音響インピーダンスは中央で最も低く、両側端部に進むに従ってその値が高くなることがわかる。この圧電体は、中央の電気機械結合係数が最も相対的に高いことから、メインローブの音圧がサイドローブの音圧よりも大きくなる。さらに、この圧電体は、中央の音響インピーダンスが相対的に低いことから、音響インピーダンスの低い媒体（例えば、音響整合材）へのメインローブの伝搬効率はサイドローブの伝搬効率よりも大きくなる。以上のことから、本発明で用いる複合圧電体形成材料からなる圧電体は、それ単独でもサイドローブの音圧はメインローブの音圧と比較して小さく、さらに、音響整合材と貼り合わせることによって、サイドローブの音圧をより小さくできることがわかる。
【００２１】
図４に、本発明で用いる複合圧電体の斜視図を示す。複合圧電体４は、上述の複合圧電体形成材料１の上下面に電極５を形成し、両電極間に電界を印加することにより、棒状圧電セラミックス体を分極させることにより製造することができる。電極５の材料は、通常の圧電体に使用されているものであれば特には制限はなく、例えば、銀などを挙げることができる。電極の形成方法としては、例えば、スパッタ法や無電解メッキ法などを挙げることができる。また、両電極間に印加する電圧は、１〜５ｋＶ／ｍｍで行うのが一般的である。
【００２２】
図５に、本発明のアレイ型複合圧電体の斜視図を示す。本発明のアレイ型複合圧電体は、上記の複合圧電体を、複合圧電体形成材料中の棒状圧電セラミックス体の体積分率が両端に向かって段階的に高くなっている方向に沿って切断して得た複合圧電体素子４ａを複数個、プラスチック製吸音材（バッキング材ともいう）６の上に並列配置して貼り合わせるたものである。プラスチック製吸音材の材質としては、ゴムシート等が挙げられる。
【００２３】
図６に、本発明のアレイ型複合圧電体の複合圧電体素子の棒状圧電セラミックス体の配列状態を示す一例の断面図を示す。複合圧電体素子４ａは、長さ方向に中央の棒状圧電セラミックス体２ａから両端に向かって段階的に、直径の大きい棒状圧電セラミックス体２ｂ、棒状圧電セラミックス体２ｃ、棒状圧電セラミックス体２ｄが平行に立設され、別の一次元方向（縦方向）には、断面の中心間の距離Ｌを一定にして、直径が同じ棒状圧電セラミックス体がそれぞれ平行に立設された状態で樹脂材料に固定されている。すなわち、本発明のアレイ型圧電体は、複合圧電体素子のそれぞれに「重み付け」が行われている。
【００２４】
【発明の効果】
本発明のアレイ型複合圧電体は、サイドローブの音圧がメインローブの音圧よりも大幅に小さくなることから、これを用いた超音波医療用診断装置は分解能が高く、精度の高い超音波診断を行うことができる。また、本発明のアレイ型複合圧電体は、劣化しにくく長期間安定に使用するために特に有利なものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明で用いる複合圧電体形成材料の一例の斜視図である。
【図２】 図１に示した複合圧電体形成材料の拡大上面図である。
【図３】 本発明で用いるの複合圧電体形成材料からなる複合圧電体の一次元方向での音響インピーダンス及び電気機械結合係数ｋ33の分布をシュミレーションした一例の結果である。
【図４】 本発明で用いる複合圧電体の一例の斜視図である。
【図５】 本発明のアレイ型複合圧電体の一例の斜視図である。
【図６】 本発明のアレイ型複合圧電体の複合圧電体素子の棒状圧電セラミックス体の配列状態を示す一例の断面図である。
【符号の説明】
１ 複合圧電体形成材料
２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ 棒状圧電セラミックス体
３ 樹脂材料
４ 複合圧電体
４ａ 複合圧電体素子
５ 電極
６ 吸音材
７ 圧電体
８ メインローブ
９ サイドローブ
Claims (4)
- 複数個の棒状圧電セラミックス体が二次元方向に、互いに平行に立設された状態で樹脂材料に固定されてなる複合圧電体形成材料であって、少なくともその一次元方向における棒状圧電セラミックス体の体積分率が、中央が低く、かつ両側端部で高くなるように調整されている複合圧電体形成材料の上下の面に電極を形成し、次いで両電極間に電界を印加して、棒状圧電セラミックス体を分極させて得られた複合圧電体を、複合圧電体形成材料中の棒状圧電セラミックス体の体積分率が中央が低く、かつ両側端部で高くなるように調整されている方向に沿って切断して得た複合圧電体素子を複数個、プラスチック製吸音材に貼り合わせてなるアレイ型複合圧電体。
- 上記棒状圧電セラミックス体がチタン酸ジルコン酸鉛からなることを特徴とする請求項１に記載のアレイ型複合圧電体。
- 複数個の棒状圧電セラミックス体が、上記一次元方向において、棒状圧電セラミックス体の体積分率が中央から両側端部に段階的に高くなるように調整されていることを特徴とする請求項１に記載のアレイ型複合圧電体。
- 複数個の棒状圧電セラミックス体が、上記一次元方向において、互いに断面の中心間の距離を一定にし、その断面積を中央が小さく、かつ両側端部が大きくすることにより、棒状圧電セラミックス体の体積分率が中央が低く、かつ両側端部が高くなるように調整されていることを特徴とする請求項１に記載のアレイ型複合圧電体。
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| JP34355499A JP4320098B2 (ja) | 1999-12-02 | 1999-12-02 | アレイ型複合圧電体 |
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| JP2001161000A JP2001161000A (ja) | 2001-06-12 |
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