JPH0479263B2 - - Google Patents
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- JPH0479263B2 JPH0479263B2 JP58222077A JP22207783A JPH0479263B2 JP H0479263 B2 JPH0479263 B2 JP H0479263B2 JP 58222077 A JP58222077 A JP 58222077A JP 22207783 A JP22207783 A JP 22207783A JP H0479263 B2 JPH0479263 B2 JP H0479263B2
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- Japan
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- composite piezoelectric
- piezoelectric material
- electrodes
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- piezoelectric vibrator
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Landscapes
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は超音波診断装置のセンサー部に係り、
特に振動子材料に好適な複合圧電振動子を用いて
構成される超音波探触子に関する。
特に振動子材料に好適な複合圧電振動子を用いて
構成される超音波探触子に関する。
複合圧電振動子には種々のものがあるが、ここ
では主に第１図に示す形式の複合圧電振動子１０
１を対象とする。１０２は柱状のPZTなどの圧
電振動子、１０３はエポキシやポリウレタンなど
の有機物である。１０２，１０３の比率や材質を
適当に選ぶことにより、音響インピーダンスが低
くかつ電気機械結合係数の高い圧電振動子を実現
することが可能である。さらに、１０３としてポ
リウレタンやシリコンゴムなどの軟らかいものを
用いることで、１０１をフレキシブルにすること
が可能である。
では主に第１図に示す形式の複合圧電振動子１０
１を対象とする。１０２は柱状のPZTなどの圧
電振動子、１０３はエポキシやポリウレタンなど
の有機物である。１０２，１０３の比率や材質を
適当に選ぶことにより、音響インピーダンスが低
くかつ電気機械結合係数の高い圧電振動子を実現
することが可能である。さらに、１０３としてポ
リウレタンやシリコンゴムなどの軟らかいものを
用いることで、１０１をフレキシブルにすること
が可能である。
複合圧電振動子を用いて形成された多重リング
超音波探触子の従来例を第２図に示す。導電性支
持体２０１上に導電ペースト２０２でPZTなど
の振動子２０３を接着し、それを２次元的に切断
２０４，２０５し、切断溝にエポキシなどの有機
物を埋め込み、蒸着などによりリング状の電極２
０６を表面に形成することで多重リング探触子を
得るというものである。
超音波探触子の従来例を第２図に示す。導電性支
持体２０１上に導電ペースト２０２でPZTなど
の振動子２０３を接着し、それを２次元的に切断
２０４，２０５し、切断溝にエポキシなどの有機
物を埋め込み、蒸着などによりリング状の電極２
０６を表面に形成することで多重リング探触子を
得るというものである。
この構成の探触子では、特に、複合圧電振動子
のフレキシブルな性質を生かしきれていない。さ
らに支持体側がアース電極として使わねばならな
いという制約が生じる。すなわち超音波発振面の
側にリング状の分割電極があり、これには、例え
ば100〜300ボルトの信号が導びくためのリード線
が接続されるので、安全性の高い振動子が作りに
くい欠点を有す。
のフレキシブルな性質を生かしきれていない。さ
らに支持体側がアース電極として使わねばならな
いという制約が生じる。すなわち超音波発振面の
側にリング状の分割電極があり、これには、例え
ば100〜300ボルトの信号が導びくためのリード線
が接続されるので、安全性の高い振動子が作りに
くい欠点を有す。
本発明はこのような点に鑑みてなされたもの
で、主として、複合圧電振動子の特徴を生かして
構成される超音波探触子を提供することにある。
で、主として、複合圧電振動子の特徴を生かして
構成される超音波探触子を提供することにある。
本発明の特徴は、フレキシブルな複合圧電材料
の第１面に多重リング電極などの分割電極が設け
られ、第２面には一面にアース用電極が設けられ
るとともに、前記第２面と送受波面とし、第１面
にはバツキング材が設けられている構造にある。
の第１面に多重リング電極などの分割電極が設け
られ、第２面には一面にアース用電極が設けられ
るとともに、前記第２面と送受波面とし、第１面
にはバツキング材が設けられている構造にある。
この構造によれば、任意の曲面を有する振動子
も容易に得られ、また、音波発振面はアース電極
で覆われるので、安全性の上からも優れている。
も容易に得られ、また、音波発振面はアース電極
で覆われるので、安全性の上からも優れている。
さらに、本発明は、フレキシブルな複合圧電材
の板の第２面を所定の形状の支持体に仮接着し、
第１面に分割電極を形成し、さらに第１面にバツ
キング材を形成し、その後上記支持体をはずして
第２面に一様なアース用電極を形成する超音波探
触子の製造方法に第２の特徴を有する。このよう
な製造方法によれば、任意の曲面形状のこの探触
子面を有し、しかも高電圧信号が印加される分割
電極が表面でなく裏側の面に設けられた超音波探
触子が容易に得られる。
の板の第２面を所定の形状の支持体に仮接着し、
第１面に分割電極を形成し、さらに第１面にバツ
キング材を形成し、その後上記支持体をはずして
第２面に一様なアース用電極を形成する超音波探
触子の製造方法に第２の特徴を有する。このよう
な製造方法によれば、任意の曲面形状のこの探触
子面を有し、しかも高電圧信号が印加される分割
電極が表面でなく裏側の面に設けられた超音波探
触子が容易に得られる。
本実施例の説明に先立つて、送受波面が曲面状
である超音波探触子の製造方法の理解を容易にす
るため、複合圧電振動子による平面多重リング探
触子を参考例として説明する。
である超音波探触子の製造方法の理解を容易にす
るため、複合圧電振動子による平面多重リング探
触子を参考例として説明する。
第３図ａに示す複合圧電振動子３０１上に蒸着
あるいはスクリーン印刷などによりリング状の電
極３０４，３０５，３０６を形成する（第３図
ｂ）。ここで３０２はPZTなどの柱状の圧電振動
子、３０３はエポキシなどの有機物である。次に
信号線３０７，３０８，３０９を３０４，３０
５，３０６と各々接続し（第３図ｃ）、バツキン
グ材３１０を接着する（第３図ｄ）。次に反対側
の振動子面３１１に蒸着やスクリーン印刷などに
よりアース電極３１２を形成する（第３図ｅ，
ｆ）。
あるいはスクリーン印刷などによりリング状の電
極３０４，３０５，３０６を形成する（第３図
ｂ）。ここで３０２はPZTなどの柱状の圧電振動
子、３０３はエポキシなどの有機物である。次に
信号線３０７，３０８，３０９を３０４，３０
５，３０６と各々接続し（第３図ｃ）、バツキン
グ材３１０を接着する（第３図ｄ）。次に反対側
の振動子面３１１に蒸着やスクリーン印刷などに
よりアース電極３１２を形成する（第３図ｅ，
ｆ）。
このアース電極を設けた面が、探触子の送受波
面となる。必要ならアース電極の表面に保護層も
しくはマツチング層を設ける。
面となる。必要ならアース電極の表面に保護層も
しくはマツチング層を設ける。
本発明では、上記の有機物３０３としてシリコ
ンゴム等を使用して、フレキシブルな複合圧電振
動子３０１を構成する。これを用いて凹面，凸面
などに多重リング探触子を作ることも可能であ
る。凹面の例を第４図に示す。フレキシブルな複
合圧電振動子４０１を所定の曲率半径を有する支
持体４０２にワツクスなどの加熱すると軟らかく
なる樹脂などで仮接着し（第４図ａ）、蒸着など
により電極４０５，４０６，４０７を形成する
（第４図ｂ）。４０３，４０４はそれぞれPZTな
どの柱状の圧電振動子、有機物である。次に断面
図で示す第４図ｃのように信号線４０８，４０
９，４１０を接続し、バツキング材４１１を接着
する（第４図ｄ）。次に加熱してワツクスなどを
とかし、４０２からはずし、蒸着などによりアー
ス電極４１２を前面に形成する（第４図ｅ）。
ンゴム等を使用して、フレキシブルな複合圧電振
動子３０１を構成する。これを用いて凹面，凸面
などに多重リング探触子を作ることも可能であ
る。凹面の例を第４図に示す。フレキシブルな複
合圧電振動子４０１を所定の曲率半径を有する支
持体４０２にワツクスなどの加熱すると軟らかく
なる樹脂などで仮接着し（第４図ａ）、蒸着など
により電極４０５，４０６，４０７を形成する
（第４図ｂ）。４０３，４０４はそれぞれPZTな
どの柱状の圧電振動子、有機物である。次に断面
図で示す第４図ｃのように信号線４０８，４０
９，４１０を接続し、バツキング材４１１を接着
する（第４図ｄ）。次に加熱してワツクスなどを
とかし、４０２からはずし、蒸着などによりアー
ス電極４１２を前面に形成する（第４図ｅ）。
特開昭58−22046にあるように、複合圧電振動
子によりアレー状の超音波探触子が構成される
が、フレキシブルな特性を利用することにより、
凹面あるいは凸面などの任意形状のアレー状超音
波探触子を実現することが可能である。その一例
として、凸面探触子の場合を第５図に示す。フレ
キシブルな複合圧電振動子５０１（第５図ａ）を
所定の曲面を有する凹面の支持体５０４にワツク
スなどで仮接着する（第５図ｂ）。５０２は柱状
圧電振動子、５０３は有機物である。次に蒸気な
どにより電極５０５，５０６，…を形成し、各々
の電極に信号線５０７，５０８，…を接続し、バ
ツキング材５０９を接着し（第５図ｃ）、加熱し
てワツクスをとかし５０４をはずす。次にアース
電極５０１を形成する（第５図ｄ）。
子によりアレー状の超音波探触子が構成される
が、フレキシブルな特性を利用することにより、
凹面あるいは凸面などの任意形状のアレー状超音
波探触子を実現することが可能である。その一例
として、凸面探触子の場合を第５図に示す。フレ
キシブルな複合圧電振動子５０１（第５図ａ）を
所定の曲面を有する凹面の支持体５０４にワツク
スなどで仮接着する（第５図ｂ）。５０２は柱状
圧電振動子、５０３は有機物である。次に蒸気な
どにより電極５０５，５０６，…を形成し、各々
の電極に信号線５０７，５０８，…を接続し、バ
ツキング材５０９を接着し（第５図ｃ）、加熱し
てワツクスをとかし５０４をはずす。次にアース
電極５０１を形成する（第５図ｄ）。
さらに、第５図ではｘ方向にわん曲した構成と
なつているが、５０４，５０９として、ｙ方向に
も変形したものにすれば、ｘ，ｙ方向に変形して
探触子（たとえば、ｘ方向には凸面、ｙ方向には
凹面）を簡単に作ることが可能である。
なつているが、５０４，５０９として、ｙ方向に
も変形したものにすれば、ｘ，ｙ方向に変形して
探触子（たとえば、ｘ方向には凸面、ｙ方向には
凹面）を簡単に作ることが可能である。
これらの例では前面がアース電極であり、高圧
信号がそれぞれ印加される多重リング状電もしく
はアレー状電極がバツキング材の側に形成される
ので、人体等に使用するのに安全性が高い。
信号がそれぞれ印加される多重リング状電もしく
はアレー状電極がバツキング材の側に形成される
ので、人体等に使用するのに安全性が高い。
〔発明の効果〕
以上のべたように本発明によれば、任意の曲面
をなす多重電極形の超音波探触子が容易に得ら
れ、しかも、安全性の高い構造の探触子が得られ
る。
をなす多重電極形の超音波探触子が容易に得ら
れ、しかも、安全性の高い構造の探触子が得られ
る。
第１図は複合圧電振動子、第２図は従来の複合
圧電材料による多重リング探触子、第３図は参考
例として示す複合圧電振動子による平面多重リン
グ探触子の製造方法、第４図は本発明の複合圧電
振動子による凹面多重リング探触子、第５図は本
発明の複合圧電振動子による凸面リニア探触子で
ある。 ３０１，４０１，５０１…複合圧電振動子、３
０４，３０５，３０６，４０５，４０６，４０
７，５０７，５０８…信号電極、３０７，３０
８，３０９，４０８，４０９，４１０，５０７，
５０８…信号線、３１２，４１２，５１０…アー
ス電極、３１０，４１１，５０９…バツキング
材、４０２，５０４…支持台。
圧電材料による多重リング探触子、第３図は参考
例として示す複合圧電振動子による平面多重リン
グ探触子の製造方法、第４図は本発明の複合圧電
振動子による凹面多重リング探触子、第５図は本
発明の複合圧電振動子による凸面リニア探触子で
ある。 ３０１，４０１，５０１…複合圧電振動子、３
０４，３０５，３０６，４０５，４０６，４０
７，５０７，５０８…信号電極、３０７，３０
８，３０９，４０８，４０９，４１０，５０７，
５０８…信号線、３１２，４１２，５１０…アー
ス電極、３１０，４１１，５０９…バツキング
材、４０２，５０４…支持台。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 無機圧電材料から成る柱状の振動子が多数有
機物の中に分散して存在する複合圧電材の板の第
２面を所定の曲面状を有する支持体に仮接着する
こと、前記支持体に仮接着された前記複合圧電材
の板の第１面にそれぞれ高電圧が印加される複数
の分割電極を形成すること、前記分割電極を覆う
ように前記複合圧電材の板の第１面にバツキング
材を形成すること、前記複合圧電材の板の第２面
から前記支持体をはずすこと、及び前記複合圧電
材の板の第２面に一様にアース用電極を形成する
こととの工程を含んで成る送受波面が曲面状であ
る超音波探触子の製造方法。 ２ 前記複数の分割電極は多重リング型の電極で
あることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記
載の超音波探触子の製造方法。 ３ 前記複数の分割電極はアレー状電極であるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の超
音波探触子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22207783A JPS60114239A (ja) | 1983-11-28 | 1983-11-28 | 超音波探触子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22207783A JPS60114239A (ja) | 1983-11-28 | 1983-11-28 | 超音波探触子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60114239A JPS60114239A (ja) | 1985-06-20 |
| JPH0479263B2 true JPH0479263B2 (ja) | 1992-12-15 |
Family
ID=16776756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22207783A Granted JPS60114239A (ja) | 1983-11-28 | 1983-11-28 | 超音波探触子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60114239A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2554468B2 (ja) * | 1985-12-03 | 1996-11-13 | 日本電波工業株式会社 | 超音波探触子及びその製造方法 |
| JPS6312996U (ja) * | 1986-02-20 | 1988-01-28 | ||
| US4801835A (en) * | 1986-10-06 | 1989-01-31 | Hitachi Medical Corp. | Ultrasonic probe using piezoelectric composite material |
| JPH0622331Y2 (ja) * | 1987-12-07 | 1994-06-15 | 株式会社島津製作所 | アンニュラアレー形超音波探触子 |
| JP7305479B2 (ja) * | 2019-07-31 | 2023-07-10 | キヤノンメディカルシステムズ株式会社 | 超音波プローブ及び超音波診断装置 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5334973B2 (ja) * | 1974-05-16 | 1978-09-25 | ||
| JPS56103598A (en) * | 1979-12-17 | 1981-08-18 | Philips Corp | Method of manufacturing bent ultrasonic wave transducer array |
| JPS5732200A (en) * | 1980-06-25 | 1982-02-20 | Commissariat Energie Atomique | Method of producing composite ultrasonic wave converter |
| JPS5822039A (ja) * | 1981-07-31 | 1983-02-09 | 株式会社島津製作所 | 超音波振動子 |
| JPS5822046A (ja) * | 1981-08-03 | 1983-02-09 | 株式会社日立メディコ | 超音波探触子 |
| JPS58183152A (ja) * | 1982-04-20 | 1983-10-26 | 松下電器産業株式会社 | 超音波探触子およびその製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5334973U (ja) * | 1976-08-31 | 1978-03-27 | ||
| JPS55157394U (ja) * | 1979-04-27 | 1980-11-12 |
-
1983
- 1983-11-28 JP JP22207783A patent/JPS60114239A/ja active Granted
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5334973B2 (ja) * | 1974-05-16 | 1978-09-25 | ||
| JPS56103598A (en) * | 1979-12-17 | 1981-08-18 | Philips Corp | Method of manufacturing bent ultrasonic wave transducer array |
| JPS5732200A (en) * | 1980-06-25 | 1982-02-20 | Commissariat Energie Atomique | Method of producing composite ultrasonic wave converter |
| JPS5822039A (ja) * | 1981-07-31 | 1983-02-09 | 株式会社島津製作所 | 超音波振動子 |
| JPS5822046A (ja) * | 1981-08-03 | 1983-02-09 | 株式会社日立メディコ | 超音波探触子 |
| JPS58183152A (ja) * | 1982-04-20 | 1983-10-26 | 松下電器産業株式会社 | 超音波探触子およびその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60114239A (ja) | 1985-06-20 |
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