JP2005193286A - レーザ加工方法及びレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 このレーザ加工方法は、加工対象物の主面の変位を測定する第2のレーザ光をレンズで集光して照射し、当該照射に応じた反射光を検出しながら、過酷対象物の切断予定ライン上の一点から一端の間の変位を取得する変位取得ステップ(S06〜S07)と、当該取得した変位に基づいて加工対象物の主面に対してレンズを保持する初期位置を設定し、当該設定した初期位置にレンズを保持する位置設定ステップ(S08〜S09)と、を備え、レンズを初期位置に保持した状態で加工用の第1のレーザ光を照射して切断予定ラインの一端部において改質領域を形成した後にレンズを保持した状態を解除してレンズの位置を調整しながら改質領域を形成する。
【選択図】 図6
Description
切断予定ラインに沿って改質領域を安定して形成することができるので、改質領域を形成した後にダイシングフィルム2aの拡張等により加工対象物としてのウエハをチップ状に割断・分離する工程において、良好な切断品質で且つ大量のウエハを割断する場合でも常に安定してウエハの割断を行うことができる。
Claims (18)
- 第1のレーザ光をレンズで集光して加工対象物の内部に集光点を合わせて照射し、前記加工対象物の切断予定ラインに沿って前記加工対象物の内部に改質領域を形成するレーザ加工方法であって、
前記加工対象物の主面の変位を測定するための第2のレーザ光を前記加工対象物に向けて照射し、当該照射に応じて前記主面で反射される反射光を検出しながら、前記切断予定ライン上の一点と前記切断予定ラインの一端との間の変位を取得する変位取得ステップと、
当該取得した変位に基づいて前記加工対象物の主面に対して前記レンズを保持する初期位置を設定し、当該設定した初期位置に前記レンズを保持する位置設定ステップと、
当該レンズを初期位置に保持した状態で前記第1のレーザ光を照射して前記切断予定ラインの一端部において前記改質領域を形成し、当該一端部において前記改質領域を形成した後に前記レンズを前記初期位置に保持した状態を解除して前記レンズの位置を調整しながら前記改質領域を形成する加工ステップと、
を備えるレーザ加工方法。 - 前記変位取得ステップにおいては、前記第1のレーザ光を照射せずに前記第2のレーザ光を照射する、請求項9に記載のレーザ加工装置。
- 前記第1のレーザ光と前記第2のレーザ光とを前記レンズで集光して同一の軸線上で前記加工対象物に向けて照射する、請求項1又は2に記載のレーザ加工方法。
- 前記変位取得ステップにおいては、前記切断予定ライン上の一点から前記切断予定ラインの一端に向かって変位を取得する、請求項1から3のいずれか1項に記載のレーザ加工方法。
- 前記変位取得ステップにおいては、前記第2のレーザ光の反射光の光量も併せて取得しており、
前記位置設定ステップにおいては、当該取得した光量の変化量が極値となった部位における変位に基づいて前記初期位置を設定する、請求項1から4のいずれか1項に記載のレーザ加工方法。 - 前記変位取得ステップにおいては、前記第2のレーザ光の反射光の光量も併せて取得しており、
前記位置設定ステップにおいては、当該取得した光量が所定の閾値となった部位における変位に基づいて前記初期位置を設定する、請求項1から4のいずれか1項に記載のレーザ加工方法。 - 前記加工ステップにおいては、前記第2のレーザ光を前記加工対象物の主面に向けて照射し、当該照射に応じて前記主面で反射される反射光の光量に基づいて前記レンズを前記初期位置に保持した状態を解除する、請求項1から6のいずれか1項に記載のレーザ加工方法。
- 前記加工ステップにおいては、前記反射光の光量の変化量が極大値となった後に前記レンズを前記初期位置に保持した状態を解除する、請求項7に記載のレーザ加工方法。
- 前記加工ステップにおいては、前記反射光の光量が所定の閾値となった後に前記レンズを前記初期位置に保持した状態を解除する、請求項7に記載のレーザ加工方法。
- 第1のレーザ光を加工対象物の内部に集光点を合わせて照射し、前記加工対象物の切断予定ラインに沿って前記加工対象物の内部に改質領域を形成するレーザ加工装置であって、
前記第1のレーザ光と前記加工対象物の主面の変位を測定するための第2のレーザ光とを前記加工対象物に向けて集光するレンズと、
前記第2のレーザ光の照射に応じて前記主面で反射される反射光を検出して前記主面の変位を取得する変位取得手段と、
前記加工対象物と前記レンズとを前記主面に沿って相対的に移動させる移動手段と、
前記レンズを前記主面に対して進退自在に保持する保持手段と、
前記移動手段及び前記保持手段それぞれの挙動を制御する制御手段と、
を備え、
前記第2のレーザ光を照射しながら、前記制御手段は前記加工対象物と前記レンズとを前記切断予定ラインに沿って相対的に移動させるように前記移動手段を制御し、前記変位取得手段は前記切断予定ラインの一点と前記切断予定ラインの一端との間の変位を取得し、前記制御手段は当該取得した変位に基づいて設定される初期位置に前記レンズが保持されるように前記保持手段を制御し、
当該レンズを初期位置に保持した状態で前記第1のレーザ光を照射しながら、前記制御手段は前記加工対象物と前記レンズとを前記切断予定ラインに沿って相対的に移動させるように前記移動手段を制御して前記切断予定ラインの一端部において前記改質領域を形成し、
当該一端部において改質領域を形成した後に、前記制御手段は前記レンズを前記初期位置に保持した状態を解除して前記レンズの位置を調整しながら保持するように前記保持手段を制御し、前記加工対象物と前記レンズとを前記切断予定ラインに沿って相対的に移動させるように前記移動手段を制御して前記改質領域を形成する、
レーザ加工装置。 - 前記制御手段が前記加工対象物と前記レンズとを前記切断予定ラインに沿って相対的に移動させるように前記移動手段を制御し、前記変位取得手段が前記切断予定ラインの一点と前記切断予定ラインの一端との間の変位を取得する際に、前記第1のレーザ光を照射せずに前記第2のレーザ光を照射する、請求項10に記載のレーザ加工装置。
- 前記レンズは、前記第1のレーザ光と前記第2のレーザ光とを同一の軸線上で前記加工対象物に向けて集光する、請求項10又は11に記載のレーザ加工装置。
- 前記制御手段は前記第2のレーザ光が前記切断予定ラインの一点から一端にかけて照射されるように前記移動手段を制御し、
前記変位取得手段は当該第2のレーザ光の照射に応じて前記切断予定ラインの一点から一端に向かって変位を取得する、請求項10から12のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。 - 前記変位取得手段は前記第2のレーザ光の反射光の光量も併せて取得し、
前記制御手段は当該取得した光量の変化量が極値となった部位における変位に基づいて前記初期位置を設定する、請求項10から13のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。 - 前記変位取得手段は前記第2のレーザ光の反射光の光量も併せて取得し、
前記制御手段は当該取得した光量が所定の閾値となった部位における変位に基づいて前記初期位置を設定する、請求項10から13のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。 - 前記制御手段は前記第2のレーザ光の反射光の光量に基づいて前記レンズを前記初期位置に保持した状態を解除するように前記保持手段を制御する、請求項10から15のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。
- 前記制御手段は、前記反射光の光量の変化量が極大値となった後に前記レンズを前記初期位置に保持した状態を解除するように前記保持手段を制御する、請求項16に記載のレーザ加工装置。
- 前記制御手段は、前記反射光の光量が所定の閾値となった後に前記レンズを前記初期位置に保持した状態を解除するように前記保持手段を制御する、請求項16に記載のレーザ加工装置。
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