JP2004282752A - 能動型スマートアンテナシステム及びその製造方法 - Google Patents

能動型スマートアンテナシステム及びその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2004282752A
JP2004282752A JP2004070759A JP2004070759A JP2004282752A JP 2004282752 A JP2004282752 A JP 2004282752A JP 2004070759 A JP2004070759 A JP 2004070759A JP 2004070759 A JP2004070759 A JP 2004070759A JP 2004282752 A JP2004282752 A JP 2004282752A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
smart antenna
antenna system
active smart
signal
electronic switch
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004070759A
Other languages
English (en)
Inventor
Jae Yeong Park
ヨン パク ヤ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
LG Electronics Inc
Original Assignee
LG Electronics Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by LG Electronics Inc filed Critical LG Electronics Inc
Publication of JP2004282752A publication Critical patent/JP2004282752A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01QANTENNAS, i.e. RADIO AERIALS
    • H01Q1/00Details of, or arrangements associated with, antennas
    • H01Q1/36Structural form of radiating elements, e.g. cone, spiral, umbrella; Particular materials used therewith
    • H01Q1/38Structural form of radiating elements, e.g. cone, spiral, umbrella; Particular materials used therewith formed by a conductive layer on an insulating support
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01QANTENNAS, i.e. RADIO AERIALS
    • H01Q21/00Antenna arrays or systems
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01QANTENNAS, i.e. RADIO AERIALS
    • H01Q23/00Antennas with active circuits or circuit elements integrated within them or attached to them
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/05Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
    • H01L2224/0554External layer
    • H01L2224/0556Disposition
    • H01L2224/05568Disposition the whole external layer protruding from the surface
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/05Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
    • H01L2224/0554External layer
    • H01L2224/05573Single external layer
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32225Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/00014Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details

Abstract

【課題】一つの高抵抗基板上に、移相器、アンテナ及び低雑音増幅器を同時に構成することで、製品のサイズを減少し、製造費用を低減し、品質を向上し得る能動型スマートアンテナシステム及びその製造方法を提供する。
【解決手段】信号を受信するアンテナ100と、該アンテナ100を通して受信された信号の雑音が最小化されるように該信号を増幅する低雑音増幅器200と、該低雑音増幅器200により増幅された信号の位相を制御する移相器300と、を一つの高抵抗基板10上に設けることにより、能動型スマートアンテナシステムを構成する。
【選択図】図1A

Description

本発明は、アンテナシステムに係るもので、詳しくは、能動型スマートアンテナシステム(Smart Antenna System)及びその製造方法に関するものである。
一般に、スマートアンテナシステムは、次世代通信システムに必要な核心部品であって、移動車両用衛星放送/通信及び軍事用通信のような高周波帯域に使用され、アンテナ配列の大きさによって基地局又は端末機に位置されることもできる。このようなスマートアンテナシステムは、相対的に多くの使用者を受容することができるため、システムの容量を増加し得るという利点がある。
このような利点を有するスマートアンテナシステムの最も核心的な部品は、移相器(Phase Shifter)であり、この移相器は、信号の位相制御を通して使用周波数を正確に追跡することができるし、移相器を構成するインダクタ及びキャパシタなどに接続されたスイッチを調節して、入力される信号の位相を遅延させることで、所望の位相を有する信号に変換することができる。現在、車両用衛星受信器に最も広く適用されている移相方法は、機械的モータを利用して位相を遅延する受動型スマートアンテナシステム(Passive Smart Antenna System)であるが、このような受動型スマートアンテナシステムは、サイズが大きくて製造費用が高価であるため普及率が低い。よって、相対的にサイズが小さくて製造費用が廉価な能動型スマートアンテナシステム(Active Smart Antenna System)の開発が要求されている。
以下、このような能動型スマートアンテナシステムの構成について、図2に基づいて説明する。
図2は、一般の能動型スマートアンテナシステムの構成を示したブロック図で、図示されるように、一般の能動型スマートアンテナシステムは、信号を送受信するアンテナ100と、該アンテナを通して受信された信号を雑音発生が最小化されるように増幅する低雑音増幅器(Low Noise Amplifier;LNA)200と、増幅された信号の位相を制御する移相器300と、から構成されている。
このように構成された一般の能動型スマートアンテナシステム中、最も大きな空間及び費用を占める部品は、移相器300である。該移相器300は、主として、1ビット(11.25°位相変移器から構成)、2ビット(11.25°及び22.5°の位相変移器から構成)、3ビット(11.25°、22.5°及び45°の位相変移器から構成)、4ビット(11.25°、22.5°、45°及び90°の位相変移器から構成)、及び5ビット(11.25°、22.5°、45°、90°及び180°の位相変移器から構成)移相器に区分することができる。衛星放送受信機に使用し得る能動型スマートアンテナシステムを実現するためには、5ビット移相器がほぼ100個程度必要である。
最近、MMIC(Microwave Monolithic Integrated Circuit)技術の発達に伴い、HEMT(High Electron Mobility Transistor)及びFETのような電子スイッチング素子を利用した移相器が開発され、これを利用した能動型スマートアンテナシステムの開発が活発に行われている。即ち、一つのシリコン基板(例えば、GaAs基板)上に電子スイッチ、インダクタ及びキャパシタなどを構成し、それら構成された電子スイッチ、インダクタ及びキャパシタなどをパッケージングすることで移相器300を製造し、該製造された移相器300を適用して能動型スマートアンテナシステムを設計する技術が提案されている。
しかし、このような一般の能動型スマートアンテナシステムは、半導体工程のMMIC技術により、前記一つのシリコン基板上に複数の素子を組み合わせて移相器300を構成するので、製造費用が高価で前記インダクタのQ(Quality Factor;例えば、8〜13)が低いため、高度の品質を期待しにくい。
また、一般の能動型スマートアンテナシステムは、移相器300の他にも、アンテナ100及び低雑音増幅器(LNA)200又は送受信モジュールと一緒に構成すべきであるため、これらを別途の印刷回路基板上に搭載して組み立てるようになる。よって、一般のスマートアンテナシステムにおいては、製造された移相器300を印刷回路基板に接合するためのリード部分が要求されるため、サイズが大きくなるだけでなく、インダクタのQが悪化する。
従って、現在、一般の能動型スマートアンテナシステムには、高度のQを有するインダクタを適用しながらも製品の製造原価を低減し、前記移相器300、アンテナ100及び低雑音増幅器(LNA)200を容易にパッケージングし得る能動型スマートアンテナシステム及びその製造方法が要求される。
このような一般の能動型スマートアンテナシステムにおいては、半導体工程のMMIC技術により移相器を製造するため、製品の製造費用が高価であるという不都合な点があった。
また、一般の能動型スマートアンテナシステムにおいては、半導体工程のMMIC技術により移相器を製造するため、製品の品質が低下するという不都合な点があった。
また、一般の能動型スマートアンテナシステムにおいては、半導体工程のMMIC技術により移相器を製造するため、アンテナ及び低雑音増幅器(LNA)、若しくは送受信モジュールを結合するための個別パッケージングにより製品のサイズが大きくなるという不都合な点があった。
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたもので、一つの高抵抗基板上に、移相器、アンテナ及び低雑音増幅器を同時に構成することで、製品の製造費用を低減し得る能動型スマートアンテナシステム及びその製造方法を提供することを目的とする。
また、本発明の他の目的は、一つの高抵抗基板上に、移相器、アンテナ及び低雑音増幅器を同時に構成することで、製品の品質を向上し得る能動型スマートアンテナシステム及びその製造方法を提供することにある。
また、本発明のその他の目的は、一つの高抵抗基板上に、移相器、アンテナ及び低雑音増幅器を同時に構成することで、製品のサイズを減少し得る能動型スマートアンテナシステム及びその製造方法を提供することにある。
このような目的を達成するため、本発明に係る能動型スマートアンテナシステムは、信号を受信するアンテナと、該アンテナを通して受信された信号の雑音が最小化されるように該信号を増幅する低雑音増幅器と、該低雑音増幅器により増幅された信号の位相を制御する移相器と、が一つの高抵抗基板上に形成されることを特徴とする。
また、本発明に係る能動型スマートアンテナシステムの製造方法においては、信号を受信するアンテナと、該アンテナを通して受信された信号の雑音が最小化されるように該信号を増幅する低雑音増幅器と、該低雑音増幅器により増幅された信号の位相を制御する移相器と、を一つの高抵抗基板上に構成することを特徴とする。
本発明に係る能動型スマートアンテナシステムは、一つの高抵抗基板上に、移相器、アンテナ及び低雑音増幅器を同時に構成することで、製品の製造費用を低減し得るという効果がある。
また、一つの高抵抗基板上に、移相器、アンテナ及び低雑音増幅器を同時に構成することで、製品のサイズを減少し得るという効果がある。
また、一つの高抵抗基板上に、移相器、アンテナ及び低雑音増幅器を同時に構成することで、製品の品質を向上し得るという効果がある。
以下、本発明に係る能動型スマートアンテナシステム及びその製造方法の最良の実施形態について、図面に基づいて説明する。
図1(A)〜図1(I)は、本発明に係る能動型スマートアンテナシステムの第1乃至第9実施形態の構造をそれぞれ示した断面図である。
先ず、図1(A)に示したように、本発明に係る能動型スマートアンテナシステムの第1実施形態は、一つの高抵抗基板10の上面に、信号を受信するアンテナ100と、該アンテナを通して受信された信号を雑音が最小化されるように増幅する低雑音増幅器(LNA)200と、該低雑音増幅器200により増幅された信号の位相を制御する移相器300と、を形成することで構成される。
以下、このように構成された本発明に係る能動型スマートアンテナシステムの製造方法について説明する。
まず、高抵抗基板10の上面に銅のような導電体を用いて導電体層を形成するが、このとき、高抵抗基板10は、高抵抗シリコン基板、高抵抗セラミック基板及び印刷回路基板中何れか一つが選択される。
次いで、高抵抗基板10の上面に形成された導電体層をパターニングすることで、アンテナ100を構成するためのアンテナ構造物20を形成し、移相器300及び低雑音増幅器200を構成するための信号電極30、接地電極50及びインダクタ40をそれぞれ形成する。ここで、アンテナ構造物20から構成されたアンテナ100は、パッチアンテナ又はスロットアンテナであることが好ましく、インダクタ40は、ストリップラインインダクタ(Strip Line Inductor)又は螺旋型インダクタであることが好ましい。
また、インダクタ40は、微細電子機械システム(Micro Electro Mechanical System;MEMS)を適用して精密に製造することができるが、このように形成されたインダクタ40は、一般の能動型スマートアンテナシステムにおける集積化されたインダクタのQよりも高いQ(例えば、50〜60)を有するという利点がある。
次いで、信号電極30及び接地電極50の下面の高抵抗基板10に貫通ホール(Via Hole)をそれぞれ穿孔形成し、それら貫通ホールをメッキすることで、貫通信号電極(Via Signal Electrode)30A及び貫通接地電極(Via Ground Electrode)50Aをそれぞれ形成する。よって、本発明に係る能動型スマートアンテナシステムは、貫通信号電極30Aを通して、高抵抗基板10の上面及び下面にそれぞれ形成された信号電極30を電気的に接続することができる。
次いで、ピンダイオード、HEMT及びFETのような電子スイッチ60を高抵抗基板10の上面の信号電極30に接続するため、電子スイッチ60をベアチップ(Bare Chip)状に接地電極50の上面に設置する。即ち、ワイヤボンディング技法を利用することで、上面に複数の信号電極30が形成されたベアチップ状の電子スイッチ60を、高抵抗基板10上面の接地電極50の上面に付着(導電性接着剤を利用した物理的接着)した後、アルミニウムや金から形成されたボンディングワイヤ60Aを、ベアチップ状の電子スイッチ60の上面に形成された各信号電極30と高抵抗基板10上面の信号電極30とに熱又は超音波により接着する。ここで、ボンディングワイヤ60Aを利用して、ベアチップ状の電子スイッチ60を印刷回路基板(PCB)のような高抵抗基板10上に直接接続することは、チップオンボード技法として、当業者には公知の技術である。
このとき、キャパシタ70を高抵抗基板10上面の複数の信号電極30に接続するが、これは一般の表面実装技術を利用して行うことができる。ここで、キャパシタ70は、薄膜キャパシタであることが好ましい。
また、移相器300の電子スイッチ60を高抵抗基板10上面の信号電極30に接続する方法と同様に、トランジスタ80を高抵抗基板10上面の信号電極30に接続することで低雑音増幅器200を形成する。
以下、このような一つの高抵抗基板10にアンテナ100、移相器300及び低雑音増幅器200を同時に構成する、本発明に係る能動型スマートアンテナシステムの第2〜第9実施形態について、図面に基づいて説明する。
即ち、図1(B)に示した本発明に係る能動型スマートアンテナシステムの第2実施形態は、図1(A)のベアチップ状の電子スイッチ60を、ワイヤボンディング技法でないフリップチップボンディング技法により、高抵抗基板10の上面に形成された複数の信号電極30と接続されるように形成したものである。
このように構成された本発明に係る能動型スマートアンテナシステムの第2実施形態においては、ベアチップ状の電子スイッチ60のサイズは若干増加するが、前記ボンディングワイヤに比べて物理的に安定した接着剤により信号電極30及び接地電極50と接続されるため、構造的に安定で不良率が少なく製造費用が低減される。
このような本発明に係る能動型スマートアンテナシステムの第2実施形態においては、高抵抗基板10として低価格の両面基板を使用したが、移相器300のサイズを減少するためには、高抵抗基板10として、低価格の両面基板に代えて多層基板を適用することができる。以下、多層基板が適用された本発明に係る能動型スマートアンテナシステムの構造について説明する。
図1(C)に示した本発明に係る能動型スマートアンテナシステムの第3実施形態は、図1(A)の複数のインダクタ40を、高抵抗基板10の内部に積層形成したものである。ここで、高抵抗基板10は、インダクタ40を積層できるように、エポキシPCB基板、テフロン(登録商標)PCB基板及びLTCC(Low Temperature Co-fired Ceramic) PCB基板中の、何れか一つが選択される。
このように構成された本発明に係る能動型スマートアンテナシステムの第3実施形態においては、インダクタ40を高抵抗基板10の内部に積層することで、移相器300の占める構造的な領域が縮小されるため、サイズを大幅に縮小し得るという効果がある。
また、図1(D)に示した本発明に係る能動型スマートアンテナシステムの第4実施形態は、図1(C)のベアチップ状の電子スイッチ60を、ワイヤボンディング技法でないフリップチップボンディング技法により、高抵抗基板10の上面に形成された複数の信号電極30と接続されるように形成したものである。
このように構成された本発明に係る能動型スマートアンテナシステムの第4実施形態においては、複数のインダクタ40を高抵抗基板10の内部に積層し、ベアチップ状の電子スイッチ60をフリップチップボンディング技法により高抵抗基板10の上面に形成された複数の信号電極30と接続することで、移相器300の占める構造的な領域が縮小されるだけでなく、構造的に安定で不良率が少ないため、製造費用が低減される。
そして、図1(E)及び図1(F)に示した本発明に係る能動型スマートアンテナシステムの第5及び第6実施形態は、ベアチップ状の電子スイッチ60を保護するため、該当の素子が位置された部分にエポキシのようなポリマー保護物質(Polymeric Protection Material)90をコーティング又は硬化したものである。従って、構造的に安定した能動型スマートアンテナシステムを構成することができる。ここで、前記ポリマー保護物質90は、ベアチップ状の電子スイッチ60のように物理的に脆弱な部分を補強するために部分的に適用することができるし、高抵抗基板10の全面に適用することもできる。
以下、製造費用を低減するため、信号電極30及びインダクタ40を高抵抗基板10の上面にのみ形成した、本発明に係る能動型スマートアンテナシステムについて説明する。
即ち、図1(G)及び図1(H)に示した本発明に係る能動型スマートアンテナシステムの第7及び第8実施形態は、高抵抗基板10に貫通ホールを穿孔形成するか、又はインダクタ40を積層することなく、信号電極30及びインダクタ40を高抵抗基板10の上面にのみ形成したものである。従って、高抵抗基板10の製造費用及び製造時間を減らし得るという効果がある。
以下、ベアチップ状の電子スイッチ60及びトランジスタ80の高さにより発生するリードインダクタンスを減少し得る、本発明に係る能動型スマートアンテナシステムについて説明する。
図1(I)に示した本発明に係る能動型スマートアンテナシステム第9実施形態は、ベアチップ状の電子スイッチ60及びトランジスタ80を設置すべき部分の高抵抗基板10を予め決定された深さだけエッチングした後、それらエッチングされた部分にベアチップ状の電子スイッチ60及びトランジスタ80をそれぞれ設けたものである。従って、ベアチップ状の電子スイッチ60及びトランジスタ80と信号電極30間の間隔が狭くなるため、リードインダクタンスの減少による性能向上を期待することができる。
図1Aは、本発明に係る能動型スマートアンテナシステムの第1実施形態の構造を示す断面図である。 図1Bは、本発明に係る能動型スマートアンテナシステムの第2実施形態の構造を示す断面図である。 図1Cは、本発明に係る能動型スマートアンテナシステムの第3実施形態の構造を示す断面図である。 図1Dは、本発明に係る能動型スマートアンテナシステムの第4実施形態の構造を示す断面図である。 図1Eは、本発明に係る能動型スマートアンテナシステムの第5実施形態の構造を示す断面図である。 図1Fは、本発明に係る能動型スマートアンテナシステムの第6実施形態の構造を示す断面図である。 図1Gは、本発明に係る能動型スマートアンテナシステムの第7実施形態の構造を示す断面図である。 図1Hは、本発明に係る能動型スマートアンテナシステムの第8実施形態の構造を示す断面図である。 図1Iは、本発明に係る能動型スマートアンテナシステムの第9実施形態の構造を示す断面図である。 一般の能動型スマートアンテナシステムの構造を示したブロック図である。
符号の説明
100:アンテナ
200:低雑音増幅器
300:移相器
10:高抵抗基板
20:アンテナ構造物
30:信号電極
30A:貫通信号電極
40:インダクタ
50:接地電極
50A:貫通接地電極
60:電子スイッチ
60A、80A:ボンディングワイヤ
70:キャパシタ
80:トランジスタ
90:ポリマー保護物質

Claims (29)

  1. 信号を受信するアンテナと、該アンテナを通して受信された信号の雑音が最小化されるように該信号を増幅する低雑音増幅器と、該低雑音増幅器により増幅された信号の位相を制御する移相器とが、一つの高抵抗基板上に構成されることを特徴とする能動型スマートアンテナシステム。
  2. 前記高抵抗基板は、
    高抵抗セラミック基板、高抵抗シリコン基板及び印刷回路基板中の、何れか一つであることを特徴とする請求項1記載の能動型スマートアンテナシステム。
  3. 前記高抵抗基板は、
    該高抵抗基板の上面と下面間を電気的に接続する信号電極を有する両面基板であることを特徴とする請求項2記載の能動型スマートアンテナシステム。
  4. 前記アンテナは、
    パッチアンテナ又はスロットアンテナであることを特徴とする請求項2記載の能動型スマートアンテナシステム。
  5. 前記移相器は、
    前記同様な導電体から形成された複数の信号電極、接地電極及びインダクタ、並びに、前記信号電極に接続される電子スイッチ及びキャパシタから構成されることを特徴とする請求項2記載の能動型スマートアンテナシステム。
  6. 前記インダクタは、
    微細電子機械システム技法により、ストリップライン構造又は螺旋型構造に形成されることを特徴とする請求項5記載の能動型スマートアンテナシステム。
  7. 前記電子スイッチは、
    前記信号電極とボンディングワイヤにより接続されるベアチップ状に形成されることを特徴とする請求項5記載の能動型スマートアンテナシステム。
  8. 前記電子スイッチを保護するポリマー保護物質が、更に包含されることを特徴とする請求項7記載の能動型スマートアンテナシステム。
  9. 前記電子スイッチは、
    前記高抵抗基板の一部分をエッチングした後、該エッチングされた部分に形成されることを特徴とする請求項5記載の能動型スマートアンテナシステム。
  10. 前記電子スイッチは、
    前記信号電極とフリップチップボンディング技法により接続され、ベアチップ状に形成されることを特徴とする請求項5記載の能動型スマートアンテナシステム。
  11. 前記電子スイッチを保護するポリマー保護物質が、更に包含されることを特徴とする請求項10記載の能動型スマートアンテナシステム。
  12. 前記低雑音増幅器は、
    前記信号電極とボンディングワイヤにより接続され、ベアチップ状に形成されることを特徴とする請求項1又は2記載の能動型スマートアンテナシステム。
  13. 前記低雑音増幅器は、
    前記信号電極とフリップチップボンディング技法により接続され、ベアチップ状に形成されることを特徴とする請求項1又は2記載の能動型スマートアンテナシステム。
  14. 前記高抵抗基板は、
    エポキシ印刷回路基板、テフロン(登録商標)印刷回路基板及びLTCC印刷回路基板中の、何れか一つであることを特徴とする請求項1記載の能動型スマートアンテナシステム。
  15. 前記移相器は、
    前記同様な導電体から形成された複数の信号電極、接地電極及びインダクタ、並びに、前記信号電極に接続される電子スイッチ及びキャパシタから形成されることを特徴とする請求項11記載の能動型スマートアンテナシステム。
  16. 前記インダクタは、
    前記高抵抗基板の内部に積層して形成されることを特徴とする請求項15記載の能動型スマートアンテナシステム。
  17. 信号を受信するアンテナと、該アンテナを通して受信された信号の雑音が最小化されるように該信号を増幅する低雑音増幅器と、該低雑音増幅器により増幅された信号の位相を制御する移相器と、を一つの高抵抗基板上に構成することを特徴とする能動型スマートアンテナシステムの製造方法。
  18. 前記高抵抗基板は、
    高抵抗セラミック基板、高抵抗シリコン基板及び印刷回路基板中の、何れか一つであることを特徴とする請求項17記載の能動型スマートアンテナシステムの製造方法。
  19. 前記高抵抗基板は、
    該高抵抗基板の上面と下面間を電気的に接続する信号電極を有する両面基板であることを特徴とする請求項18記載の能動型スマートアンテナシステムの製造方法。
  20. 前記一つの高抵抗基板の上面に導電体層を均一に形成する段階と、
    前記形成された導電体層をパターニングして複数の信号電極、接地電極及びインダクタを形成する段階と、
    前記形成された信号電極に接続される電子スイッチ及びキャパシタをそれぞれ前記接地電極及び信号電極の上面に形成する段階と、
    を包含することを特徴とする請求項18記載の能動型スマートアンテナシステムの製造方法。
  21. 前記電子スイッチは、
    前記信号電極とボンディングワイヤにより接続され、ベアチップ状に形成されることを特徴とする請求項20記載の能動型スマートアンテナシステムの製造方法。
  22. 前記電子スイッチを保護するポリマー保護物質を形成する段階を、更に包含することを特徴とする請求項21記載の能動型スマートアンテナシステムの製造方法。
  23. 前記電子スイッチは、
    前記信号電極とフリップチップボンディング技法により接続され、ベアチップ状に形成されることを特徴とする請求項20記載の能動型スマートアンテナシステムの製造方法。
  24. 前記電子スイッチを保護するポリマー保護物質を形成する段階を、更に包含することを特徴とする請求項23記載の能動型スマートアンテナシステムの製造方法。
  25. 前記電子スイッチは、
    前記高抵抗基板の一部分をエッチングした後、該エッチングされた部分に形成されることを特徴とする請求項20、21及び23の何れか一つに記載の能動型スマートアンテナシステムの製造方法。
  26. 前記形成された電子スイッチを保護するポリマー保護物質を形成する段階を、更に包含することを特徴とする請求項25記載の能動型スマートアンテナシステムの製造方法。
  27. 前記形成された導電体層をパターニングしてアンテナを形成する段階を、更に包含することを特徴とする請求項20記載の能動型スマートアンテナシステムの製造方法。
  28. 前記アンテナは、
    パッチアンテナ又はスロットアンテナであることを特徴とする請求項27記載の能動型スマートアンテナシステムの製造方法。
  29. 前記形成された信号電極に接続される低雑音増幅器を形成する段階を、更に包含することを特徴とする請求項20記載の能動型スマートアンテナシステムの製造方法。

JP2004070759A 2003-03-14 2004-03-12 能動型スマートアンテナシステム及びその製造方法 Pending JP2004282752A (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030016185A KR100548244B1 (ko) 2003-03-14 2003-03-14 저가형 능동 스마트 안테나 시스템 및 그 제조 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2004282752A true JP2004282752A (ja) 2004-10-07

Family

ID=32768652

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004070759A Pending JP2004282752A (ja) 2003-03-14 2004-03-12 能動型スマートアンテナシステム及びその製造方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7365683B2 (ja)
EP (1) EP1458053B1 (ja)
JP (1) JP2004282752A (ja)
KR (1) KR100548244B1 (ja)
CN (1) CN1531139A (ja)
AT (1) ATE337629T1 (ja)
DE (1) DE602004002007T2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011044774A (ja) * 2009-08-19 2011-03-03 Japan Aerospace Exploration Agency アナログ・デジタル積層型可変移相器
WO2012105470A1 (ja) * 2011-01-31 2012-08-09 株式会社 ヨコオ 地上放送波受信用アンテナ装置及びその構成部品

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100429773C (zh) * 2004-01-28 2008-10-29 松下电器产业株式会社 模块及使用它的安装构造体
KR100747978B1 (ko) * 2005-06-17 2007-08-08 엘지이노텍 주식회사 프론트 앤드 모듈 및 그 제조방법
WO2007083378A1 (ja) * 2006-01-20 2007-07-26 Fujitsu Limited チップ部品の実装構造、実装方法及び電子装置
EP2048739A4 (en) * 2006-07-28 2009-08-05 Murata Manufacturing Co ANTENNA DEVICE AND RADIO COMMUNICATION DEVICE
US8138588B2 (en) * 2006-12-21 2012-03-20 Texas Instruments Incorporated Package stiffener and a packaged device using the same
US7728771B2 (en) * 2007-07-03 2010-06-01 Northrop Grumman Systems Corporation Dual band quadpack transmit/receive module
WO2009052683A1 (en) * 2007-10-25 2009-04-30 Hong Kong Applied Science And Technology Research Institute Co., Ltd. Electronic circuit package
US20090115051A1 (en) * 2007-11-01 2009-05-07 Lap-Wai Lydia Leung Electronic Circuit Package
US20090189269A1 (en) * 2008-01-24 2009-07-30 Lap-Wai Lydia Leung Electronic Circuit Package
JP2012009828A (ja) * 2010-05-26 2012-01-12 Jtekt Corp 多層回路基板
EP2599366A4 (en) * 2010-07-28 2014-12-24 Nokia Corp TELECOMMUNICATIONS DEVICE AND CORRESPONDING METHOD
CN105321937A (zh) * 2014-06-25 2016-02-10 常州欧密格光电科技有限公司 超小超薄高光效侧射型高亮白光多晶led元件
US9667467B2 (en) 2015-08-25 2017-05-30 The Boeing Company Gain distribution in compact high gain phased array antenna systems and methods
US10256538B2 (en) 2015-08-25 2019-04-09 The Boeing Company Integrated true time delay for broad bandwidth time control systems and methods
CN105186125A (zh) * 2015-08-28 2015-12-23 上海无线电设备研究所 一种星载裸芯片微带天线及其制造方法
CN110741509A (zh) * 2017-02-24 2020-01-31 Ami 研发有限责任公司 槽线体积天线
CN107958897A (zh) * 2017-11-28 2018-04-24 上海旦迪通信技术有限公司 一种北斗lna集成模块及其制备方法
WO2021056171A1 (zh) * 2019-09-24 2021-04-01 上海旦迪通信技术有限公司 基于ltcc技术的gnss射频前端模块及其制备方法
CN110943299B (zh) * 2019-11-29 2021-01-08 北京京东方传感技术有限公司 移相器和相控阵天线
CN112103637B (zh) * 2020-08-30 2022-09-02 西南电子技术研究所(中国电子科技集团公司第十研究所) 模块化星载Ka频段有源相控阵天线系统

Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01233902A (ja) * 1988-03-15 1989-09-19 Matsushita Electric Works Ltd 平面アンテナ
JPH03196705A (ja) * 1989-12-26 1991-08-28 Hitachi Ltd マイクロ波集積回路とそれを用いたアクティブアンテナ及びコンバータ
JPH0432301A (ja) * 1990-05-29 1992-02-04 Mitsubishi Electric Corp 移相器
JPH04352506A (ja) * 1991-05-30 1992-12-07 Mitsubishi Electric Corp アンテナ一体化マイクロ波回路
JPH05160635A (ja) * 1991-12-03 1993-06-25 Yuseisho Tsushin Sogo Kenkyusho アクティブフェイズドアレイアンテナ
JPH1174416A (ja) * 1997-08-29 1999-03-16 Mitsubishi Electric Corp 半導体チップ用キャリア,半導体モジュール,半導体チップ用キャリアの製造方法,および半導体モジュールの製造方法
JPH11168354A (ja) * 1997-12-04 1999-06-22 Mitsubishi Electric Corp 可変移相器
JP2000223906A (ja) * 1999-01-28 2000-08-11 Kyocera Corp ハイパスフィルタおよびそれを具備する回路基板
JP2001102739A (ja) * 1999-09-27 2001-04-13 Matsushita Electric Works Ltd チップ部品の実装方法
JP2001168602A (ja) * 1999-12-14 2001-06-22 Mitsubishi Electric Corp 反射形移相器
JP2001230606A (ja) * 2000-02-15 2001-08-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd マイクロストリップ線路と、これを用いたマイクロ波装置
JP2002118487A (ja) * 2000-10-06 2002-04-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 高周波複合スイッチモジュール
JP2002134325A (ja) * 2000-07-08 2002-05-10 Lg Electronics Inc カーボンナノチューブ及び/またはカーボンナノファイバーを利用したインダクター
JP2002250886A (ja) * 2000-12-06 2002-09-06 Xerox Corp マイクロ光電気機械式レーザスキャナ
JP2002290143A (ja) * 2001-03-26 2002-10-04 Tdk Corp 表面実装型アンテナ及びこれが実装された基板、並びに、表面実装型アンテナの実装方法

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2659501B1 (fr) * 1990-03-09 1992-07-31 Alcatel Espace Systeme d'antenne imprimee active a haut rendement pour radar spatial agile.
JP3130575B2 (ja) * 1991-07-25 2001-01-31 日本電気株式会社 マイクロ波ミリ波送受信モジュール
JP2840493B2 (ja) * 1991-12-27 1998-12-24 株式会社日立製作所 一体型マイクロ波回路
JP3141692B2 (ja) * 1994-08-11 2001-03-05 松下電器産業株式会社 ミリ波用検波器
JPH0870216A (ja) 1994-08-26 1996-03-12 Aisin Seiki Co Ltd 平面アンテナ
US5554865A (en) * 1995-06-07 1996-09-10 Hughes Aircraft Company Integrated transmit/receive switch/low noise amplifier with dissimilar semiconductor devices
US6130602A (en) * 1996-05-13 2000-10-10 Micron Technology, Inc. Radio frequency data communications device
US6082610A (en) 1997-06-23 2000-07-04 Ford Motor Company Method of forming interconnections on electronic modules
US6104343A (en) * 1998-01-14 2000-08-15 Raytheon Company Array antenna having multiple independently steered beams
US6518932B1 (en) * 1999-02-15 2003-02-11 Communications Research Laboratory, Independent Administrative Institute Radio communication device
JP2000278009A (ja) * 1999-03-24 2000-10-06 Nec Corp マイクロ波・ミリ波回路装置
US6249439B1 (en) * 1999-10-21 2001-06-19 Hughes Electronics Corporation Millimeter wave multilayer assembly
JP2001230506A (ja) 2000-02-15 2001-08-24 Canon Inc 電子機器
WO2002023672A2 (en) * 2000-09-15 2002-03-21 Raytheon Company Microelectromechanical phased array antenna
TW523920B (en) * 2000-11-18 2003-03-11 Lenghways Technology Co Ltd Integrated multi-channel communication passive device manufactured by using micro-electromechanical technique
US20030011515A1 (en) * 2001-07-16 2003-01-16 Motorola, Inc. Apparatus for effecting transfer of electromagnetic energy
JP2003248054A (ja) * 2002-02-27 2003-09-05 Hitachi Ltd モノパルスレーダ装置
JP4233280B2 (ja) * 2002-08-02 2009-03-04 株式会社沖デジタルイメージング Ledアレイ

Patent Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01233902A (ja) * 1988-03-15 1989-09-19 Matsushita Electric Works Ltd 平面アンテナ
JPH03196705A (ja) * 1989-12-26 1991-08-28 Hitachi Ltd マイクロ波集積回路とそれを用いたアクティブアンテナ及びコンバータ
JPH0432301A (ja) * 1990-05-29 1992-02-04 Mitsubishi Electric Corp 移相器
JPH04352506A (ja) * 1991-05-30 1992-12-07 Mitsubishi Electric Corp アンテナ一体化マイクロ波回路
JPH05160635A (ja) * 1991-12-03 1993-06-25 Yuseisho Tsushin Sogo Kenkyusho アクティブフェイズドアレイアンテナ
JPH1174416A (ja) * 1997-08-29 1999-03-16 Mitsubishi Electric Corp 半導体チップ用キャリア,半導体モジュール,半導体チップ用キャリアの製造方法,および半導体モジュールの製造方法
JPH11168354A (ja) * 1997-12-04 1999-06-22 Mitsubishi Electric Corp 可変移相器
JP2000223906A (ja) * 1999-01-28 2000-08-11 Kyocera Corp ハイパスフィルタおよびそれを具備する回路基板
JP2001102739A (ja) * 1999-09-27 2001-04-13 Matsushita Electric Works Ltd チップ部品の実装方法
JP2001168602A (ja) * 1999-12-14 2001-06-22 Mitsubishi Electric Corp 反射形移相器
JP2001230606A (ja) * 2000-02-15 2001-08-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd マイクロストリップ線路と、これを用いたマイクロ波装置
JP2002134325A (ja) * 2000-07-08 2002-05-10 Lg Electronics Inc カーボンナノチューブ及び/またはカーボンナノファイバーを利用したインダクター
JP2002118487A (ja) * 2000-10-06 2002-04-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 高周波複合スイッチモジュール
JP2002250886A (ja) * 2000-12-06 2002-09-06 Xerox Corp マイクロ光電気機械式レーザスキャナ
JP2002290143A (ja) * 2001-03-26 2002-10-04 Tdk Corp 表面実装型アンテナ及びこれが実装された基板、並びに、表面実装型アンテナの実装方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011044774A (ja) * 2009-08-19 2011-03-03 Japan Aerospace Exploration Agency アナログ・デジタル積層型可変移相器
WO2012105470A1 (ja) * 2011-01-31 2012-08-09 株式会社 ヨコオ 地上放送波受信用アンテナ装置及びその構成部品
JP2012160878A (ja) * 2011-01-31 2012-08-23 Yokowo Co Ltd 地上放送波受信用アンテナ装置及びその構成部品
CN103430449A (zh) * 2011-01-31 2013-12-04 株式会社友华 地面广播波接收用天线装置及其构成部件
CN103430449B (zh) * 2011-01-31 2016-04-27 株式会社友华 地面广播波接收用天线装置及其构成部件
US9553555B2 (en) 2011-01-31 2017-01-24 Yokowo Co., Ltd. Terrestrial broadcast wave reception-use antenna device and component of same

Also Published As

Publication number Publication date
DE602004002007T2 (de) 2006-12-07
KR20040081638A (ko) 2004-09-22
DE602004002007D1 (de) 2006-10-05
ATE337629T1 (de) 2006-09-15
US7365683B2 (en) 2008-04-29
EP1458053A1 (en) 2004-09-15
US20040178959A1 (en) 2004-09-16
CN1531139A (zh) 2004-09-22
KR100548244B1 (ko) 2006-02-02
EP1458053B1 (en) 2006-08-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2004282752A (ja) 能動型スマートアンテナシステム及びその製造方法
KR101452548B1 (ko) 후면 수동 디바이스 집적을 이용하는 반도체 다이
CN100456468C (zh) 高频电子器件的封装
US6980066B2 (en) High-frequency module
US10950569B2 (en) High frequency module and communication device
US10971466B2 (en) High frequency module and communication device
KR970067892A (ko) 고주파 집적회로장치 및 그 제조방법
KR100713195B1 (ko) 고주파모듈 및 그 제조방법
KR20150108147A (ko) 밀리미터파용 레이더 온 패키지 및 이를 구비하는 레이더 어셈블리
KR100986230B1 (ko) 다층구조 패키지 및 이를 이용한 위상배열 레이다송수신모듈 패키지
JP2006514438A (ja) 接続要素を有する高周波チップパッケージ
WO2020012598A1 (ja) 半導体装置
US20090156137A1 (en) Method and system for increased resolution switching using mems and switched capacitors
JP2005117139A (ja) マイクロ波モジュール、及びこれを用いたアレーアンテナ装置
US7250673B2 (en) Signal isolation in a package substrate
JP5709352B2 (ja) 背面多層信号ルーティングを有するmmic
JP2011097526A (ja) ミリ波無線装置
WO2011104774A1 (ja) 半導体装置
CN114696863B (zh) 高频模块
JP3081786B2 (ja) 高周波半導体装置
US7471146B2 (en) Optimized circuits for three dimensional packaging and methods of manufacture therefore
KR20050065861A (ko) 광대역 무선 송수신 모듈
WO1999054935A1 (fr) Dispositif portable de telecommunications
JP2003332517A (ja) マイクロ波集積回路及びその製造方法並びに無線装置
CN114696864B (zh) 高频模块

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060308

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060608

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060802

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20061101

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070131

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20070627