JP2004282038A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 開口部と前記開口部を通過する荷電粒子線を偏向させるために前記開口部を挟んで対向するように配置された第１電極および第２電極から成る電極部とを複数有する電極基板と、
   前記第１電極に第１電圧を印加するための第１配線を有する第１配線層及び前記第２電極に第２電圧を印加するための第２配線を有する第２配線層とを積層した配線基板と、を有する偏向器であって、
   前記電極基板の前記第１電極および前記第２電極は、前記配線基板に設けられた接続配線パッドを介して、前記配線基板の前記第１配線および前記第２配線にそれぞれ電気的に接続されることを特徴とする偏向器。
2. 前記配線基板には、前記電極基板の前記開口部に対向する領域に、前記接続配線パッド、前記第１配線および前記第２配線が無いことを特徴とする請求項１に記載の偏向器。
3. 開口部と前記開口部を通過する荷電粒子線を偏向させるために前記開口部を挟んで対向するように配置された第１電極および第２電極から成る電極部とを複数有する電極基板と、
   前記第１電極に第１電圧を印加するための第１配線を有する第１配線層と前記第２電極に第２電圧を印加するための第２配線を有する第２配線層とを積層した配線基板と、を有する偏向器であって、
   前記電極基板の前記第１電極および前記第２電極は、前記電極基板に設けられた電極配線パッドと前記配線基板に設けられた接続配線パッドとを介して、前記配線基板の前記第１配線および前記第２配線にそれぞれ電気的に接続されることを特徴とする偏向器。
4. 前記電極基板の前記配線基板と接合する面とは反対の面には、シールド電極が配されていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の偏向器。
5. 前記配線基板は、前記電極基板の前記開口部に対応する位置にビーム開口部を有し、
   前記配線基板のビーム開口部の側面、前記配線基板のビーム開口部の配線層の表面および前記配線基板の裏面にグランド電極が配置されていることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の偏向器。
6. 開口部と前記開口部を通過する荷電粒子線を偏向させるために前記開口部を挟んで対向するように配置された第１電極および第２電極から成る電極部とを有する電極基板と、
   前記第１電極に電圧を印加するための配線を有する配線基板と、
   前記第２電極にグランド電位を与えるシールド基板と、を備え、
   前記シールド基板は、前記電極基板および前記配線基板よりも前記荷電粒子線の通過方向において前側に配置されていることを特徴とする偏向器。
7. 開口部と前記開口部を通過する荷電粒子線を偏向させるために前記開口部を挟んで対向するように配置された第１電極および第２電極から成る電極部とを有する電極基板と、
   前記第１電極に第１電圧を印加するための第１配線を有する第１配線基板と、
   前記第２電極に第２電圧を印加するための第２配線を有する第２配線基板と、を備え、
   前記電極基板は、前記第１配線基板と前記第２配線基板の間に配置されていることを特徴とする偏向器。
8. 請求項１乃至７の何れか一項に記載の偏向器を備えることを特徴とする荷電粒子線露光装置。