JP5714526B2 - フレキシブルタッチパネル - Google Patents

Description

本発明は、薄く、曲げやすい、フレキシブル性を有するタッチパネルに関する。

近年、携帯端末の入力装置として、キーボードやポインティングデバイスに代わって、タッチパネルが用いられるようになってきている。さらに、将来的な携帯端末として、従来のような剛性のある形態からフレキシブル性（可撓性）を有する形態のものが求められている。そのため、携帯端末に用いられるタッチパネルにもフレキシブル性、つまり薄さと曲げやすさが求められるようになってきている。

一方、タッチパネルは、２次元的な位置検出のために、２枚の電極基板を接着シートによって接着して構成されている。１枚の電極基板の厚さが数十μｍ程度であるため、従来のタッチパネルはおよそ１００μｍ程度以上の厚さを有するものであり、フレキシブル性に劣るものであった。

なお、感光性樹脂層と導電層からなる感光性導電フィルムを用いて導電膜基板を形成する技術が知られている（例えば、特許文献１参照。）。

国際公開公報ＷＯ２０１０／０２１２２４パンフレット

上記特許文献１に記載の感光性導電フィルムを用いた導電膜基板は、１枚の導電膜基板に関するものである。そのため、タッチパネルを形成するには、結局のところ２枚の導電膜基板をそれぞれ形成する必要があり、タッチパネルとして一定の厚さを有するものであった。

そこで、本発明の目的は、薄く、曲げやすさ、つまりフレキシブル性を有するタッチパネルを提供することである。

本発明に係るフレキシブルタッチパネルは、基材シートと、
前記基材シートの上に設けられ、第１軸についてパターン化された第１軸検出用電極と、
前記第１軸検出用電極の上に設けられた絶縁層と、
前記絶縁層の上に設けられ、前記第１軸と垂直な第２軸についてパターン化された第２軸検出用電極と、
前記第１軸検出用電極から外部への電気的接続を行う第１引き回し回路と、
前記第２軸検出用電極から外部への電気的接続を行う第２引き回し回路と、
を備える。

また、前記第２引き回し回路を構成する各配線間にマイグレーション防止層を有してもよい。

さらに、前記第２引き回し回路を構成する各配線間に設けられた前記マイグレーション防止層は、前記各配線と面一に設けられていてもよい。

またさらに、前記マイグレーション防止層は、前記第１軸検出用電極の上に設けられた前記絶縁層と面一に設けられていてもよい。

また、前記マイグレーション防止層は、前記絶縁層と同一の材料からなるものであってもよい。

さらに、前記基材シートの裏面に反り返り防止層をさらに備えてもよい。

またさらに、前記マイグレーション防止層は、底部の面積に比べて頂部の面積が小さく、厚さ方向に沿った断面形状が底部から頂部にかけてテーパー状であってもよい。

本発明に係るフレキシブルタッチパネルによれば、２枚の電極基板に代えて、第１軸検出用電極と、第２軸検出用電極とを、薄い絶縁層を間に挟む構成とすることによって、薄く、曲げやすさ、つまりフレキシブル性を有するタッチパネルを提供することができる。

本発明の実施の形態１に係るフレキシブルタッチパネルの構成を示す分解斜視図である。 本発明の実施の形態２に係るフレキシブルタッチパネルの構成を示す分解斜視図である。 図２のＢ−Ｂ方向から見たフレキシブルタッチパネルの断面図である。 本発明の実施の形態２に係るフレキシブルタッチパネルの製造方法の一工程のうち、基材シート上に導電層を設けるステップを示す概略断面図である。 本発明の実施の形態２に係るフレキシブルタッチパネルの製造方法の一工程のうち、導電層をパターン化するステップを示す概略断面図である。 本発明の実施の形態２に係るフレキシブルタッチパネルの製造方法の一工程のうち、第１引き回し回路を設けるステップを示す概略断面図である。 本発明の実施の形態２に係るフレキシブルタッチパネルの製造方法の一工程のうち、絶縁層及び導電層を設けるステップを示す概略断面図である。 本発明の実施の形態２に係るフレキシブルタッチパネルの製造方法の一工程のうち、マスクを設け、上方から露光するステップを示す概略断面図である。 本発明の実施の形態２に係るフレキシブルタッチパネルの製造方法の一工程のうち、マスクを除去して裏面から露光するステップを示す概略断面図である。 本発明の実施の形態２に係るフレキシブルタッチパネルの製造方法の一工程のうち、アルカリ現像を行って未硬化の絶縁層及び導電層を除去するステップを示す概略断面図である。 本発明の実施の形態２に係るフレキシブルタッチパネルの製造方法の一工程のうち、カバー層を設け、フレキシブルタッチパネルを得るステップを示す概略断面図である。 本発明の実施の形態３に係るフレキシブルタッチパネルの構成を示す分解斜視図である。 図１２のＣ−Ｃ方向から見たフレキシブルタッチパネルの断面図である。 本発明の実施の形態４に係るフレキシブルタッチパネルの構成を示す分解斜視図である。 図１４のＤ−Ｄ方向から見たフレキシブルタッチパネルの断面図である。 本発明の実施の形態５に係るフレキシブルタッチパネルの構成を示す分解斜視図である。 図１６のＥ−Ｅ方向から見たフレキシブルタッチパネルの断面図である。 本発明の実施の形態６に係るフレキシブルタッチパネルの構成を示す分解斜視図である。 図１８のＦ−Ｆ方向から見たフレキシブルタッチパネルの断面図である。

以下に、本発明の実施の形態に係るフレキシブルタッチパネルについて添付図面を用いて説明する。なお、図面において、実質的に同一の部材には同一の符号を付している。

（実施の形態１）
図１は、実施の形態１に係るフレキシブルタッチパネル１０の構成を示す分解斜視図である。このタッチパネル１０は、基材シート１と、基材シート１の上に設けられたｘ軸についてパターン化されたｘ軸検出用電極３と、ｘ軸検出用電極３の上に設けられた絶縁層４と、絶縁層４の上に設けられたｙ軸についてパターン化されたｙ軸検出用電極６と、ｘ軸検出用電極３から外部への電気的接続を行う第１引き回し回路７と、ｙ軸検出用電極６から外部への電気的接続を行う第２引き回し回路８と、を備える。さらに、このフレキシブルタッチパネル１０は、表面を保護するカバー層９を設けてもよい。また、このフレキシブルタッチパネル１０は、従来のタッチパネルと比較すると、２枚の電極基板に代えて、ｘ軸検出用電極３と、ｙ軸検出用電極６とを、薄い絶縁層４を間に挟む構成とする点で相違する。実施の形態１に係るフレキシブルタッチパネル１０によれば、上記構成とすることによって、薄く、曲げやすさ、つまりフレキシブル性を有するフレキシブルタッチパネル１０とすることができる。

また、図１０の断面図に示すように、第１引き回し回路７の上には絶縁層４は設けられていなくてもよい。さらに、第１引き回し回路７及び第２引き回し回路８は、図１の分解斜視図に示すように、ｘ軸検出用電極３及びｙ軸検出用電極６から同じ方向の端面に向かって形成されていてもよい。また、端面において、第１引き回し回路７と第２引き回し回路８の上面は絶縁層４及びカバー層９によって覆われていなくてもよい。
上記第１引き回し回路７及び第２引き回し回路８に関する追加的構成によれば、端面において、第１引き回し回路７と第２引き回し回路８の上面が絶縁層４及びカバー層９によって覆われていないので、第１引き回し回路７と第２引き回し回路８の上面にフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）を設けることによって、第１引き回し回路７と第２引き回し回路８とフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）とを容易に接続できる。

以下に、このフレキシブルタッチパネル１０を構成する各部材について説明する。

＜基材シート＞
基材シート１の材質としては、アクリル、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリブチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリアミド、ポリウレタン、ポリ塩化ビニル、ポリフッ化ビニル、ポリイミドなどの樹脂フィルムが挙げられる。基材シート１の厚みは５〜８００μｍの範囲で適宜設定可能である。厚さが５μｍ未満では、層としての強度が不足して剥離する際に破れたりするので取り扱いが困難となり、厚さが８００μｍを越える場合は、基材シート１に剛性がありすぎて加工が困難となると共に、フレキシブル性が得られなくなる。

＜ｘ軸検出用電極及びｙ軸検出用電極＞
図１では、ｘ軸検出用電極３及びｙ軸検出用電極６は、それぞれ短冊状の複数の電極によって構成しているが、電極の形状は短冊状に限られない。例えば、ｘ軸検出用電極３として、対角方向で接続した複数の菱形電極によって構成し、ｙ軸検出用電極６として、対角方向で接続した複数の菱形電極によって構成してもよい。この場合、ｘ軸検出用電極３を構成する菱形電極と、ｙ軸検出用電極を構成する菱形電極とを、面に垂直な方向から見て互いに重複しないように配置してもよい。このようにｘ軸検出用電極３とｙ軸検出用電極６とを重複しないように配置することによって、ｘ軸及びｙ軸の検出感度を互いに影響しないようにできる。
また、図１では、ｘ軸検出用電極３及びｙ軸検出用電極６の数をそれぞれ４個としているが、これに限らず、任意の数を設けることができる。

また、ｘ軸検出用電極３及びｙ軸検出用電極６は、導電層１３及び１６をそれぞれパターン化して形成することができる。
導電層１３、１６としては、例えば、ウレタンアクリレート、シアノアクリレートなどの光硬化性樹脂バインダーと、導電性ナノファイバと、からなるものを使用できる。また、導電層１３、１６は、グラビア印刷、オフセット印刷、スクリーン印刷等の汎用の各種印刷手法により設けることができるほか、導電性ナノファイバを含有させた光硬化性樹脂からなるドライフィルムなどのようなシートを貼り付けるなどして設けることもできる。

さらに、導電層１３、１６は、例えば、アクリル、ポリエステル、ポリウレタン、ポリ塩化ビニルなどの各種樹脂バインダーと、導電性ナノファイバと、からなるものを使用してもよい。この各種樹脂バインダーと、導電性ナノファイバと、からなるものを、グラビア印刷、オフセット印刷、スクリーン印刷等の汎用の各種印刷手法により設けてもよい。

導電層１３、１６の厚みは、数十ｎｍから数百ｎｍの範囲で適宜設定できる。厚さが数十ｎｍより薄いと層としての強度が不足し、厚さが数百ｎｍより厚いと柔軟性が十分でなくなる。

＜導電性ナノファイバ＞
上記導電性ナノファイバは、およそ１０〜１００，０００の範囲のアスペクト比を有する。アスペクト比が大きいと、各導電性ナノファイバが互いに接触しやすくなり、有効なｘ軸検出用電極３及びｙ軸検出用電極６が形成できる。また、高透明性のために導電性ナノファイバの全体密度が低くなることから、透明性の高いｘ軸検出用電極３及びｙ軸検出用電極６を得るために有利になる。すなわち、高アスペクト比を有する導電性ナノファイバを使用することによって、ｘ軸検出用電極３及びｙ軸検出用電極６が実質的に透明になるように導電性ナノファイバの密度を十分低くできる。

また、導電性ナノファイバの直径ｄが太くなると、抵抗率が実質的に小さくなり、導電性は良好になるが、その一方で、より多くの光を吸収するため光透過率が減少する。その結果、透明性が悪くなる。また、粒界および表面散乱に基づく抵抗率への影響は、直径１０ｎｍ未満で大きくなる。直径が太くなるとこれらの影響は急激に減少する。ｘ軸検出用電極３及びｙ軸検出用電極６全体の抵抗率は、導電性ナノファイバの直径が１０ｎｍから１００ｎｍにかけて大幅に減少する。しかし、電気的特性における上記改善は、透明導電膜の透明性減少とのバランスをとる必要がある。

導電性ナノファイバとしては、例えば、銀、金、銅、ニッケル、金めっきされた銀、アルミニウム等を用いることができる。具体的には、導電性ナノファイバの例としては、金、銀、白金、銅、パラジウムなどの金属イオンを担持した前駆体表面にプローブの先端部から印加電圧又は電流を作用させ連続的にひき出して作製した金属ナノファイバや、ペプチド又はその誘導体が自己組織化的に形成したナノファイバに金粒子を付加してなるペプチドナノファイバなどがあげられる。また、カーボンナノチューブなどの黒っぽい導電性ナノファイバ３であっても、影との色または反射性などに差が認められる場合は対象となる。なお、導電性ナノファイバとしては、上記例示に限定されるものではない。導電性ナノワイヤとしては、特に銀ナノファイバが好ましい。

＜絶縁層＞
絶縁層４は、一般的に使用される絶縁性樹脂を用いたものであれば使用できる。また、絶縁層４は、感光性樹脂層１４を設け、これを硬化させることによって得ることができる。感光性樹脂層１４には、通常使用されるウレタンアクリレート、シアノアクリレートなどの光硬化性樹脂を使用できる。なお、光硬化性樹脂としては、可視光、紫外光等以外の波長領域の光で硬化されるものであってもよい。

＜第１引き回し回路及び第２引き回し回路＞
第１引き回し回路７は、ｘ軸検出用電極３から発せられた電気信号を外部に取り出すものである。また、第２引き回し回路８は、ｙ軸検出用電極６から発せられた電気信号を外部に取り出すものである。第１引き回し回路７及び第２引き回し回路８は、電気的配線として通常使用される導電性材料であれば使用できる。例えば、銀ペーストを使用できる。あるいは、上記導電層１３、１６と同様に、導電性ナノファイバを含むものであってもよい。

なお、例えば、図１０の断面図に示すように、第１引き回し回路７の上には絶縁層４は設けられていなくてもよい。さらに、図１の分解斜視図に示すように、第１引き回し回路７及び第２引き回し回路８は、ｘ軸検出用電極３及びｙ軸検出用電極６から同じ方向の端面に向かって形成されていてもよい。また、端面において、第１引き回し回路７と第２引き回し回路８の上面は絶縁層４及びカバー層９によって覆われていなくてもよい。またさらに、端面において、第１引き回し回路７と第２引き回し回路８とは、基材シート１の上に重ならないように平面的に互いに離間して配置されていてもよい。

従来のように２枚の電極基板を重ねてタッチパネルを形成する場合、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）を２枚の電極基板の間に挟んで、第１引き回し回路及び第２引き回し回路と外部との接続を行っていた。具体的には、２枚の電極基板の間に挟んだフレキシブルプリント基板と下側の電極基板の第１引き回し回路との接続を行うと共に、上側の電極基板の第２引き回し回路とは、上側の電極基板の貫通孔を介して接続を行っていた。これは、タッチパネルを２枚の電極基板を重ねて構成しているので、中央部だけでなく端面にわたって電極基板が存在するため、フレキシブルプリント基板との電気的接続には電極基板を貫通する孔（ビアホール）が必要であるという課題があった。本発明者は、この課題の存在に着目し、この課題を解決しうる上記構成を見出したものである。

つまり、第１引き回し回路７と第２引き回し回路８とが、ｘ軸検出用電極３及びｙ軸検出用電極６から同じ方向の端面に向かって形成され、しかも端面において、第１引き回し回路７と第２引き回し回路８の上面が絶縁層４及びカバー層９によって覆われていない構成とする場合には、ｘ軸検出用電極３及びｙ軸検出用電極６で検出された電気信号を外部に取り出すためのフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）との接続を容易に行うことができる。
上記構成によれば、端面において、第１引き回し回路７と第２引き回し回路８の上面が絶縁層４及びカバー層９によって覆われていないので、従来のように２枚の電極基板の間にフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）を挟むのではなく、第１引き回し回路７と第２引き回し回路８の上面にフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）を設けることによってビアホール等を介することなく、第１引き回し回路７と第２引き回し回路８とフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）とを容易に接続することができる。

＜カバー層＞
カバー層９は、フレキシブルタッチパネル１０を保護するために必要により設けてもよい。カバー層９は、例えば、絶縁層４と同様に、一般的に使用される絶縁性樹脂を用いてもよい。

（実施の形態２）
図２は、実施の形態２に係るフレキシブルタッチパネル１０ａの構成を示す分解斜視図である。図３は、図２のＢ−Ｂ方向から見たフレキシブルタッチパネル１０ａの断面図である。このフレキシブルタッチパネル１０ａは、第１引き回し回路７を構成する配線間にマイグレーション防止層１２を有することを特徴とする。

ここで、「マイグレーション」とは、配線を形成する金属成分が配線間の電界の影響によって絶縁物の上を移動し、隣接する配線間での電気的短絡を生じる現象である。特に、銀のイオンマイグレーションが問題視されており、銀ペーストや銀ナノファイバ等を用いた配線におけるエレクトロマイグレーションを防ぐことが求められている。この実施の形態２に係るフレキシブルタッチパネル１０ａでは、上記の通り、第１引き回し回路７の配線間にマイグレーション防止層１２を有する。これによって、第１引き回し回路７を構成する配線間のマイグレーションを防止できるという効果を有する。さらに、第１引き回し回路７の配線間にマイグレーション防止層１２を有することにより、カバー層９を第１引き回し回路７の配線間を覆うように設けた場合、マイグレーション防止層１２は、第１引き回し回路７の配線間の凹みを補うようにしてカバー層９に覆われる。よって、表面が平滑なタッチパネルを作成する際に、マイグレーション防止層１２が補う凹み分だけ、カバー層９の厚みを薄くできる。その結果、全体として、薄く、フレキシブル性を有するフレキシブルタッチパネル１０ａを得ることができる。

このマイグレーション防止層１２は、絶縁層からなる。また、第２引き回し回路７の配線間に感光性樹脂層を設け、露光して硬化させることによって、マイグレーション防止層１２を形成できる。この感光性樹脂層としては、実施の形態１で使用したものと同様のものを用いることができる。

＜フレキシブルタッチパネルの製造方法＞
図４から図１１は、実施の形態２に係るフレキシブルタッチパネル１０ａの製造方法の各ステップを示す概略断面図である。なお、各断面図は、図２のＢ−Ｂ方向からみた断面図に対応する。以下に、フレキシブルタッチパネル１０ａの製造方法を説明する。
（１）基材シート１を用意する。基材シートとしては、上述の材料を使用できる。
（２）基材シート１の上に導電層１３を設ける（図４）。
（３）導電層１３をｘ軸についてパターン化して、ｘ軸検出用電極３を形成する（図５）。
（４）ｘ軸検出用電極３から発せられた電気信号を外部に取り出す第１引き回し回路７を設ける（図６）。
（５）パターン化されたｘ軸検出用電極３の上に感光性樹脂層１４及び導電層１６を設ける（図７）。なお、ここでは感光性樹脂層１４及び導電層１６とが積層されたフィルムを貼付しているが、これに限られず、感光性樹脂層１４を設けるステップと、導電層１６を設けるステップと、を順に行ってもよい。

（６）導電層１６のうち電極を設ける箇所に窓を有するマスク１８を設け、そのマスク１８の上方から露光して感光性樹脂層１４を硬化させる（図８）。
（７）マスク１８を除去し、基材シート１の裏面から露光する（図９）。
（８）アルカリ現像または酸を用いたエッチングを行うことによって、表面または裏面からの露光によって、感光性樹脂１４が硬化した箇所はその上の導電層１６も残存する。一方、表面からの露光時にマスク１８によって覆われ露光されず、さらに裏面からの露光時にもｘ軸検出用電極３および第１引き回し回路７に覆われ露光されなかった部分の感光性樹脂１４は未硬化となるため除去される。その結果、感光性樹脂１４が硬化して絶縁層４が形成される。また、導電層１６がｙ軸についてパターン化されたｙ軸検出用電極６が形成される。さらに、第１引き回し回路７の各配線間にマイグレーション防止層１２を形成することができる（図１０）。このマイグレーション防止層１２によって、第１引き回し回路７を構成する配線間のマイグレーションを防止できる。なお、第１引き回し回路７の上には絶縁層４を設けない。

（９）ｙ軸検出用電極６から発せられた電気信号を外部に取り出す第２引き回し回路８を設ける（図示せず）。なお、この第２引き回し回路８は、図２のＢ−Ｂ方向からみた断面図にはあらわれない。また、第２引き回し回路は、第１引き回し回路７と同じ端面に向かって形成してもよい。さらに、第２引き回し回路８は、基材シート１の上に直接に設けてもよい。またさらに、端面において、第１引き回し回路７と第２引き回し回路８とは、基材シート１の上に重ならないように平面的に互いに離間して配置されていてもよい。
（１０）ｙ軸検出用電極６を覆うようにカバー層９を設ける（図１１）。この場合、端面において、第１引き回し回路７と第２引き回し回路８との上面にはカバー層９を設けなくてもよい。第１引き回し回路７の配線間にマイグレーション防止層１２を設け、カバー層９を第１引き回し回路７の配線間を覆うように設けた場合、マイグレーション防止層１２は、第１引き回し回路７の配線間の凹みを補うようにしてカバー層９に覆われる。そこで、表面が平滑なタッチパネルを作成する際に、マイグレーション防止層１２が補う凹み分だけ、カバー層９の厚みを薄くできる。その結果、全体として、薄く、フレキシブル性を有するフレキシブルタッチパネル１０ａを得ることができる。
（１１）端面において、第１引き回し回路７と第２引き回し回路８の上面にフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）を設け、第１引き回し回路７と第２引き回し回路８とフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）とを接続する（図示せず）。この場合、第１引き回し回路７と第２引き回し回路８とが、ｘ軸検出用電極３及びｙ軸検出用電極６から同じ方向の端面に向かって形成され、しかも端面において、第１引き回し回路７と第２引き回し回路８の上面が絶縁層４及びカバー層９によって覆われていないので、第１引き回し回路７と第２引き回し回路８とフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）とを容易に接続することができる。
以上によってフレキシブルタッチパネル１０ａを得ることができる。

（実施の形態３）
図１２は、実施の形態３に係るフレキシブルタッチパネル１０ｂの構成を示す分解斜視図である。図１３は、図１２のＣ−Ｃ方向から見たフレキシブルタッチパネル１０ｂの断面図である。このタッチパネル１０ｂでは、図１２に示すように、マイグレーション防止層１２は、第２引き回し回路８を構成する各配線と面一に設けられている。さらに、マイグレーション防止層１２は、絶縁層４に対しても面一に設けられている。このように構成することで、フレキシブルタッチパネル１０ｂの中央部、つまり、ｘ軸検出用電極３、絶縁層４、ｙ軸検出用電極６、及びマイグレーション防止層１２からなるディスプレイ部と、端部、つまり第１引き回し回路７からなる周縁部との段差をほぼ解消できる。

絶縁層４の上に形成されているｙ軸検出用電極６の厚さはおよそ数十ｎｍであり、一方、第１引き回し回路７及びマイグレーション防止層１２の厚さはおよそ数十μｍである。つまり、ｙ軸検出用電極６の厚さは、第１引き回し回路７及びマイグレーション防止層１２の厚さに比べて無視しうるものである。そのため、絶縁層４、ｙ軸検出用電極６、第１引き回し回路７及びマイグレーション防止層１２を覆うようにカバー層９を設けた場合、上記中央部と端部との間でカバー層が弛むことなく貼り合わされる。その結果、中央部と端部との間で虹ムラが発生したり、空気が噛んだりすることを防止できる。さらに、絶縁層４の厚さと、第１引き回し回路７及びマイグレーション防止層１２の厚さとを同一にしているので、カバー層９を貼る際に絶縁層４とマイグレーション防止層１２との間で空気が噛むことも防止できる。

（実施の形態４）
図１４は、実施の形態４に係るフレキシブルタッチパネル１０ｃの構成を示す分解斜視図である。図１５は、図１４のＤ−Ｄ方向から見たフレキシブルタッチパネル１０ｃの断面図である。このフレキシブルタッチパネル１０ｃは、絶縁層４が、第１引き回し回路７が形成された領域の外縁部にもマイグレーション防止層１２と同じ厚みで形成され、さらに、マイグレーション防止層１２と同一の材料からなることを特徴とする。このように構成することによって、基材シート１の上にマイグレーション防止層１２と絶縁層４とを形成した際に、それぞれの厚みと材質が同一であるためマイグレーション防止層１２と絶縁層４が形成された領域内の収縮率が同一となる。その結果、作成されるフレキシブルタッチパネル１０ｃのディスプレイ部と端部の間で、マイグレーション防止層１２と絶縁層４の収縮率の差によって生じる凹凸の発生を抑制することができる。

（実施の形態５）
図１６は、実施の形態５に係るフレキシブルタッチパネル１０ｄの構成を示す分解斜視図である。図１７は、図１６のＥ−Ｅ方向から見たフレキシブルタッチパネル１０ｄの断面図である。このフレキシブルタッチパネル１０ｄは、基材シート１の裏面に、厚みと材料が、マイグレーション防止層１２及び絶縁層４と同一の反り返り防止層２２をさらに備えることを特徴とする。このように構成することによって、基材シート１の上にマイグレーション防止層１２と絶縁層４とを形成したときに基材シート１の表面側に生じる応力（収縮応力）を解消できる。その結果、フレキシブルタッチパネル１０ｄ全体としてカールの発生を抑制できる。

（実施の形態６）
図１８は、実施の形態６に係るフレキシブルタッチパネル１０ｅの構成を示す分解斜視図である。図１９は、図１８のＦ−Ｆ方向から見たフレキシブルタッチパネル１０ｅの断面図である。このフレキシブルタッチパネル１０ｅは、マイグレーション防止層１２の形状を底部の面積に比べて頂部の面積が小さく、厚さ方向に沿った断面形状が底部から頂部にかけてテーパー状にしたことを特徴とする。このように構成することによって、フレキシブルタッチパネル１０ｅの端部、つまり第２引き回し回路８が形成されている箇所において、第２引き回し回路８を構成する各配線間に一定の遊び部分を備えるので、基材シート１の表面を凹面状に撓ませた場合にも撓みを許容できる。その一方、テーパー状のマイグレーション防止層１２によって、各配線が互いに接触しないように離間させることができる。その結果、端部においてフレキシブル性を備えつつ第２引き回し回路８の短絡を防止できるフレキシブルタッチパネル１０ｅとすることができる。

なお、上記様々な実施の形態のうちの任意の実施の形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの実施の形態において有する効果を奏するようにすることができる。

本発明は、添付図面を参照しながら好ましい実施の形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。

本発明に係るフレキシブルタッチパネルは、薄く、曲げやすさ、つまりフレキシブル性を有するタッチパネルとして有用である。このフレキシブルタッチパネルは、フレキシブル性を有するので、曲面状のディスプレイ等に組み合わせることができる。

１ 基材シート
３ ｘ軸検出用電極
４ 絶縁層
６ ｙ軸検出用電極
７ 第１引き回し回路
８ 第２引き回し回路
９ カバー層
１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、１０ｅ フレキシブルタッチパネル
１２ マイグレーション防止層
１３、１６ 導電層
１４ 感光性樹脂層
１８ マスク
２２ 反り返り防止シート

Claims (6)

1. 基材シートと、
   前記基材シートの上に設けられ、第１軸についてパターン化された導電性ナノファイバを含む第１軸検出用電極と、
   感光性樹脂層の一部を硬化させて前記第１軸検出用電極の上に設けられた絶縁層と、
   前記絶縁層の上に設けられ、前記第１軸と垂直な第２軸についてパターン化された第２軸検出用電極と、
   前記第１軸検出用電極から外部への電気的接続を行う、前記第１軸検出用電極より厚みが厚く、前記第１軸検出用電極と異なる導電性材料で構成された第１引き回し回路と、
   前記第２軸検出用電極から外部への電気的接続を行う第２引き回し回路と、
   前記感光性樹脂層の他の一部を硬化させて、前記第１引き回し回路を構成する各配線の間に、その各配線の上面を覆わないように形成されたマイグレーション防止層とを備えた、フレキシブルタッチパネル。
2. 端面において、前記第１引き回し回路の上面と、前記第２引き回し回路の上面とが露出した請求項１に記載のフレキシブルタッチパネル。
3. 前記マイグレーション防止層は、前記各配線と面一に設けられている、請求項１又は２に記載のフレキシブルタッチパネル。
4. 前記基材シートの裏面に反り返り防止層を更に備えた、請求項１から３のいずれかに記載のフレキシブルタッチパネル。
5. 前記マイグレーション防止層は、底部の面積に比べて頂部の面積が小さく、厚さ方向に沿った断面形状が底部から頂部にかけてテーパー状である、請求項１から４のいずれかに記載のフレキシブルタッチパネル。
6. 基材シートの上に導電性ナノファイバを含む第１導電層を形成する工程と、
   前記第１導電層を第１軸についてパターン化して第１軸検出用電極を形成する工程と、
   前記第１軸検出用電極から外部へ電気的接続を行う、前記第１軸検出用電極よりも厚みが厚く、前記第１軸検出用電極と異なる導電性材料で構成された第１引き回し回路を形成する工程と、
   パターン化された前記第１軸検出用電極と前記第１引き回し回路の上に、感光性樹脂層とその感光性樹脂層の上に積層される第２導電層とを形成する工程と、
   前記第２導電層の上にマスクを設け、そのマスクの上方から露光し、マスクを除去して、アルカリ現像又は酸を用いたエッチングを行うことにより、第２導電層を第２軸についてパターン化して第２軸検出用電極を形成し、前記基材シートの裏面から露光し、アルカリ現像又は酸を用いたエッチングを行うことにより、感光性樹脂層の一部を硬化させて前記第１軸検出用電極の上に絶縁層を形成するとともに、感光性樹脂層の他の一部を硬化させて、前記第１引き回し回路を構成する各配線の間に、その各配線の上面を覆わないようにマイグレーション防止層を形成する工程と、
   前記第２軸検出用電極から外部への電気的接続を行う第２引き回し回路を形成する工程とを備えた、フレキシブルタッチパネルの製造方法。

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